JP4830681B2 - 角速度センサ - Google Patents
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Description
12 第1のアーム
13 第2のアーム
14 接続部
15 内側駆動部
16 内側下部電極
17 内側圧電薄膜
18 内側上部電極
21 外側駆動部
22 外側下部電極
23 外側圧電薄膜
24 外側上部電極
27 検知部
28 検知下部電極
29 検知圧電薄膜
30 検知上部電極
33,36 内側分岐部
34,37 外側分岐部
35 第1の調整部
38 第2の調整部
Claims (4)
- 少なくとも2つのアームとこのアームを連結する接続部とを有する音叉と、この音叉の少なくとも1つのアームの主面に設けられた内側駆動部と、前記音叉の少なくとも1つのアームの主面に設けられるとともに前記内側駆動部と距離をおいて並設された外側駆動部と、前記音叉の少なくとも1つのアームの主面に設けられた検知部とを備え、前記検知部と連続して前記音叉の少なくとも1つのアームの長手方向の一端にこのアームの内側および外側に分岐する内側分岐部と外側分岐部を設けるとともに、この内側分岐部と外側分岐部の一方に調整部を設けた角速度センサ。
- 調整部をトリミングによって検知部の一部を除去することにより形成した請求項1記載の角速度センサ。
- 少なくとも2つのアームとこのアームを連結する接続部とを有する非圧電材料からなる音叉と、この音叉の少なくとも1つのアームの主面に設けられ、かつ内側下部電極とこの内側下部電極の上面に設けられた内側圧電薄膜とこの内側圧電薄膜の上面に設けられた内側上部電極とからなる内側駆動部と、前記音叉の少なくとも1つのアームの主面に設けられ、かつ前記内側駆動部と距離をおいて並設された外側下部電極とこの外側下部電極の上面に設けられた外側圧電薄膜とこの外側圧電薄膜の上面に設けられた外側上部電極とからなる外側駆動部と、前記音叉の少なくとも1つのアームの主面に設けられ、かつ検知下部電極とこの検知下部電極の上面に設けられた検知圧電薄膜とこの検知圧電薄膜の上面に設けられた検知上部電極とからなる検知部とを備え、前記検知部と連続して前記音叉の少なくとも1つのアームの長手方向の一端にこのアームの内側および外側に分岐する内側分岐部と外側分岐部を設けるとともに、この内側分岐部と外側分岐部の一方に調整部を設けた角速度センサ。
- 調整部をトリミングによって検知上部電極を除去することにより形成した請求項3記載の角速度センサ。
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