JP2008157707A - 角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検出素子21を駆動させるドライブ信号を入力するドライブ電極部26と、検出素子21の駆動状態を検知してモニタ信号を出力するモニタ電極部28と、検出素子21に与えられた角速度に起因して発生するセンシング信号を出力するセンシング電極部27とを設け、ドライブ電極部26およびモニタ電極部28およびセンシング電極部27は、基板上に形成した下部電極と、下部電極上に形成した圧電材料からなる圧電膜と、圧電膜上に形成した上部電極とを有し、モニタ電極部28の上部、下部電極間における静電容量値とセンシング電極部27の上部、下部電極間における静電容量値とを等しくするとともに、モニタ電極部28の両端部間の抵抗値とセンシング電極部27の両端部間の抵抗値とを等しくした構成である。
【選択図】図1
Description
22 電子回路
23 ケース
24 軸部
25 アーム部
26 ドライブ電極部
27 センシング電極部
28 モニタ電極部
28a 一部
29 基板
30 下部電極
31 圧電膜
32 上部電極
33 増幅回路
Claims (3)
- 角速度検出用の検出素子を備え、前記検出素子には、前記検出素子を駆動させるドライブ信号を入力するドライブ電極部と、前記検出素子の駆動状態を検知してモニタ信号を出力するモニタ電極部と、前記検出素子に与えられた角速度に起因して発生するセンシング信号を出力するセンシング電極部とを設け、前記ドライブ電極部および前記モニタ電極部および前記センシング電極部は、基板上に形成した下部電極と、前記下部電極上に形成した圧電材料からなる圧電膜と、前記圧電膜上に形成した上部電極とを有し、
前記モニタ電極部の上部、下部電極間における静電容量値と前記センシング電極部の上部、下部電極間における静電容量値とを等しくするとともに、前記モニタ電極部の両端部間の抵抗値と前記センシング電極部の両端部間の抵抗値とを等しくした角速度センサ。 - 前記振動子は、軸部に一対のアーム部を有する音叉形状としたものであって、前記アーム部に前記ドライブ電極部と前記センシング電極部とを設け、前記軸部に近接した前記アーム部に前記モニタ電極部を設けた請求項1記載の角速度センサ。
- 前記基板の主材料はシリコンとし、前記圧電材料はPZTとした請求項1記載の角速度センサ。
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