JP5934464B2 - 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器 - Google Patents

弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器 Download PDF

Info

Publication number
JP5934464B2
JP5934464B2 JP2010189862A JP2010189862A JP5934464B2 JP 5934464 B2 JP5934464 B2 JP 5934464B2 JP 2010189862 A JP2010189862 A JP 2010189862A JP 2010189862 A JP2010189862 A JP 2010189862A JP 5934464 B2 JP5934464 B2 JP 5934464B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
acoustic wave
surface acoustic
wave resonator
idt
frequency
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2010189862A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2012049816A (ja
JP2012049816A5 (enrdf_load_stackoverflow
Inventor
卓弥 大脇
卓弥 大脇
慶吾 飯澤
慶吾 飯澤
國人 山中
國人 山中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2010189862A priority Critical patent/JP5934464B2/ja
Priority to US13/212,714 priority patent/US8928432B2/en
Priority to CN201110246634.1A priority patent/CN102386879B/zh
Priority to CN201120313638.2U priority patent/CN202353522U/zh
Publication of JP2012049816A publication Critical patent/JP2012049816A/ja
Publication of JP2012049816A5 publication Critical patent/JP2012049816A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5934464B2 publication Critical patent/JP5934464B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
    • H03H9/02551—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of quartz substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
    • H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
    • H03B5/30—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
    • H03B5/32—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
    • H03B5/326—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator the resonator being an acoustic wave device, e.g. SAW or BAW device
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
    • H03H9/02653—Grooves or arrays buried in the substrate
    • H03H9/02661—Grooves or arrays buried in the substrate being located inside the interdigital transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders or supports
    • H03H9/0538—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
    • H03H9/0542—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a lateral arrangement
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14538—Formation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
JP2010189862A 2010-08-26 2010-08-26 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器 Expired - Fee Related JP5934464B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010189862A JP5934464B2 (ja) 2010-08-26 2010-08-26 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器
US13/212,714 US8928432B2 (en) 2010-08-26 2011-08-18 Surface acoustic wave resonator, surface acoustic wave oscillator, and electronic apparatus
CN201110246634.1A CN102386879B (zh) 2010-08-26 2011-08-24 表面声波谐振器、表面声波振荡器及电子设备
CN201120313638.2U CN202353522U (zh) 2010-08-26 2011-08-24 表面声波谐振器、表面声波振荡器及电子设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010189862A JP5934464B2 (ja) 2010-08-26 2010-08-26 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012049816A JP2012049816A (ja) 2012-03-08
JP2012049816A5 JP2012049816A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2013-10-17
JP5934464B2 true JP5934464B2 (ja) 2016-06-15

Family

ID=45696373

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010189862A Expired - Fee Related JP5934464B2 (ja) 2010-08-26 2010-08-26 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8928432B2 (enrdf_load_stackoverflow)
JP (1) JP5934464B2 (enrdf_load_stackoverflow)
CN (2) CN102386879B (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110133037A (ko) * 2009-02-27 2011-12-09 세이코 엡슨 가부시키가이샤 탄성 표면파 공진자, 탄성 표면파 발진기, 및 전자 기기
JP4645923B2 (ja) * 2009-02-27 2011-03-09 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器
JP5678486B2 (ja) * 2010-06-17 2015-03-04 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器
JP5934464B2 (ja) 2010-08-26 2016-06-15 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器
JP2012049818A (ja) 2010-08-26 2012-03-08 Seiko Epson Corp 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器、電子機器
JP2012049817A (ja) 2010-08-26 2012-03-08 Seiko Epson Corp 弾性表面波デバイス、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器
JP2012060419A (ja) 2010-09-09 2012-03-22 Seiko Epson Corp 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置
JP2012060420A (ja) * 2010-09-09 2012-03-22 Seiko Epson Corp 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置
JP2012060418A (ja) 2010-09-09 2012-03-22 Seiko Epson Corp 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置
JP2012060421A (ja) * 2010-09-09 2012-03-22 Seiko Epson Corp 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置
JP2012060422A (ja) 2010-09-09 2012-03-22 Seiko Epson Corp 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置
CN103312291B (zh) * 2013-06-19 2016-04-13 江苏物联网研究发展中心 静电梳齿谐振器
FR3030154B1 (fr) * 2014-12-10 2018-11-23 Sasu Frec'n'sys Dispositif de capteur a ondes elastiques de surface a reponse electrique stable
JP2017224890A (ja) * 2016-06-13 2017-12-21 株式会社村田製作所 弾性波装置
CN112260656A (zh) * 2020-10-19 2021-01-22 广东广纳芯科技有限公司 兰姆波谐振器及其制造方法
CN112332797B (zh) * 2020-10-29 2024-02-02 广东广纳芯科技有限公司 兰姆波谐振器及其制造方法
WO2024027033A1 (en) * 2022-08-04 2024-02-08 Huawei Technologies Co., Ltd. Acoustic resonator

Family Cites Families (94)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US382217A (en) 1888-05-01 Sand-molding machine
US4130813A (en) 1977-05-23 1978-12-19 Raytheon Company Surface wave device having enhanced reflectivity gratings
JPS54156455A (en) 1978-05-31 1979-12-10 Toshiba Corp Surface acoustic wave element and its trimming method
JPS575418A (en) 1980-06-13 1982-01-12 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Cavity type surface elastic wave resonator
JPS5799813A (en) 1980-12-13 1982-06-21 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Surface acoustic wave resonator
GB2078042B (en) 1980-06-13 1984-08-08 Nippon Telegraph & Telephone Surface acoustic wave resonator
JPS5833309A (ja) 1981-08-21 1983-02-26 Toyo Commun Equip Co Ltd すべり波共振器
JPS6192011A (ja) 1984-10-11 1986-05-10 Nec Kansai Ltd 弾性表面波素子の製造方法
JPS6468114A (en) 1987-09-09 1989-03-14 Hiroshi Shimizu Structure for idt exciting type piezoelectric resonator
JPH01231412A (ja) 1988-03-11 1989-09-14 Fujitsu Ltd 弾性表面波ディバイスの周波数特性調整方法
JPH0279609A (ja) * 1988-09-16 1990-03-20 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波共振子
JPH02189011A (ja) 1989-01-18 1990-07-25 Fujitsu Ltd 弾性表面波デバイスの製造方法
JPH03266846A (ja) 1990-03-16 1991-11-27 Konica Corp 感光性平版印刷版の処理方法及び処理装置
CA2038474C (en) 1990-03-19 1994-09-20 Yoshio Satoh Surface-acoustic-waver filter having a plurality of electrodes
JP2982208B2 (ja) 1990-03-30 1999-11-22 富士通株式会社 弾性表面波素子
JP3126416B2 (ja) * 1991-06-26 2001-01-22 キンセキ株式会社 弾性表面波装置
JPH0590865A (ja) 1991-09-30 1993-04-09 Oki Electric Ind Co Ltd 弾性表面波フイルタの中心周波数調整方法
JP3225702B2 (ja) * 1993-08-09 2001-11-05 株式会社村田製作所 弾性表面波共振子フィルタ
JP3411124B2 (ja) 1994-05-13 2003-05-26 松下電器産業株式会社 弾性表面波モジュール素子の製造方法
JP3216137B2 (ja) 1994-09-29 2001-10-09 セイコーエプソン株式会社 Ｓａｗデバイス
US5815900A (en) 1995-03-06 1998-10-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method of manufacturing a surface acoustic wave module
JPH10270974A (ja) 1997-03-25 1998-10-09 Kenwood Corp 表面弾性波素子
JP3266846B2 (ja) 1998-01-20 2002-03-18 東洋通信機株式会社 反射反転型弾性表面波変換器及びフィルタ
JP3301399B2 (ja) 1998-02-16 2002-07-15 株式会社村田製作所 弾性表面波装置
FR2779289B1 (fr) 1998-05-29 2000-09-01 Thomson Csf Transducteur unidirectionnel grave a ondes acoustiques de surface
JP3840852B2 (ja) 1998-10-15 2006-11-01 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波装置及び２ポート弾性表面波共振子
JP2000216632A (ja) * 1999-01-20 2000-08-04 Kubota Corp 表面弾性波発振器
HK1040579A1 (en) 1999-11-16 2002-06-14 三菱电机株式会社 Elastic wave device
JP2002100959A (ja) 2000-09-25 2002-04-05 Toyo Commun Equip Co Ltd 弾性表面波デバイス
JP3897229B2 (ja) 2001-04-27 2007-03-22 株式会社村田製作所 表面波フィルタ
AUPR507601A0 (en) 2001-05-21 2001-06-14 Microtechnology Centre Management Limited Surface acoustic wave sensor
JP3724575B2 (ja) 2001-08-09 2005-12-07 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波装置
JP3622202B2 (ja) 2001-08-29 2005-02-23 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波装置の温度特性調整方法
JP2003188675A (ja) 2001-12-19 2003-07-04 Alps Electric Co Ltd 表面弾性波素子及びそれを備えたデュプレクサ
JP2003258601A (ja) 2001-12-28 2003-09-12 Seiko Epson Corp 弾性表面波装置およびそれを用いた通信機器
JP2003283282A (ja) 2002-01-15 2003-10-03 Murata Mfg Co Ltd 電極を有する電子部品、及びその製造方法、通信装置
JP3826877B2 (ja) 2002-01-22 2006-09-27 株式会社村田製作所 弾性表面波装置およびそれを有する通信装置
CN100576738C (zh) 2002-04-15 2009-12-30 松下电器产业株式会社 表面声波器件及利用其的移动通信设备和传感器
JP2004274696A (ja) 2002-10-04 2004-09-30 Seiko Epson Corp 弾性表面波装置および弾性表面波装置の温度特性調整方法
JP4306458B2 (ja) 2003-03-20 2009-08-05 セイコーエプソン株式会社 電圧制御型発振器、クロック変換器及び電子機器
US7135805B2 (en) 2003-04-08 2006-11-14 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Surface acoustic wave transducer
JP2005012736A (ja) 2003-06-17 2005-01-13 Kazuhiko Yamanouchi 弾性表面波変換器とこれを用いた電子装置
JP2005099089A (ja) 2003-09-22 2005-04-14 Minolta Co Ltd 現像剤残量検知装置および画像形成装置
JP4246604B2 (ja) 2003-11-18 2009-04-02 富士通メディアデバイス株式会社 弾性表面波デバイス
JP2005204275A (ja) 2003-12-12 2005-07-28 Seiko Epson Corp 弾性表面波素子片およびその製造方法並びに弾性表面波装置
US7315805B2 (en) 2004-02-05 2008-01-01 Raytheon Company Operations and support discrete event stimulation system and method
WO2005099089A1 (ja) 2004-04-01 2005-10-20 Toyo Communication Equipment Co., Ltd. 弾性表面波デバイス
JP2006013576A (ja) 2004-06-22 2006-01-12 Epson Toyocom Corp Ｓａｗデバイスとこれを用いた装置
JP2006074136A (ja) 2004-08-31 2006-03-16 Seiko Epson Corp 弾性表面波素子片および弾性表面波装置
JP2006148622A (ja) 2004-11-22 2006-06-08 Seiko Epson Corp 弾性表面波装置および電子機器
JP2006203408A (ja) 2005-01-19 2006-08-03 Epson Toyocom Corp 弾性表面波デバイス
EP1675260A3 (en) 2004-12-03 2007-08-15 Epson Toyocom Corporation Surface acoustic wave device
JP2006186623A (ja) 2004-12-27 2006-07-13 Seiko Epson Corp 弾性表面波素子、その製造方法、及び弾性表面波デバイス
JP2006295311A (ja) 2005-04-06 2006-10-26 Seiko Epson Corp 弾性表面波素子片および弾性表面波装置
JP3851336B1 (ja) 2005-05-31 2006-11-29 隆彌 渡邊 弾性表面波装置
WO2006137464A1 (ja) 2005-06-21 2006-12-28 Epson Toyocom Corporation 弾性表面波デバイス、モジュール、及び発振器
JP2007093213A (ja) 2005-09-26 2007-04-12 Epson Toyocom Corp 圧力センサ
JP4809042B2 (ja) 2005-11-10 2011-11-02 日本電波工業株式会社 弾性表面波素子及びその製造方法
JP4569447B2 (ja) 2005-11-18 2010-10-27 エプソントヨコム株式会社 弾性表面波素子片および弾性表面波デバイス
JP4412292B2 (ja) * 2006-02-06 2010-02-10 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波装置および電子機器
DE202006001907U1 (de) 2006-02-07 2006-04-13 Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH Entladungslampe mit vergossenem Sockel
JP2007259414A (ja) 2006-02-24 2007-10-04 Seiko Epson Corp 弾性表面波装置の温度特性調整方法および弾性表面波装置の製造方法、弾性表面波装置
JP2007267033A (ja) 2006-03-28 2007-10-11 Epson Toyocom Corp 弾性表面波素子及び弾性表面波デバイス
JP5141856B2 (ja) 2006-04-04 2013-02-13 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波装置の製造方法、及び弾性表面波装置
JP4968510B2 (ja) 2006-04-27 2012-07-04 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波素子片の周波数温度特性調整方法、及び弾性表面波素子片、並びに弾性表面波デバイス
JP2007300287A (ja) 2006-04-28 2007-11-15 Epson Toyocom Corp 弾性表面波素子および弾性表面波デバイス並びに電子機器
JP2007333500A (ja) 2006-06-14 2007-12-27 Epson Toyocom Corp 圧力センサの製造方法および圧力センサ
JP4158818B2 (ja) 2006-06-21 2008-10-01 株式会社村田製作所 弾性波フィルタ装置及びデュプレクサ
JP2008078739A (ja) 2006-09-19 2008-04-03 Fujitsu Media Device Kk 弾性波デバイスおよびフィルタ
JP2008078984A (ja) 2006-09-21 2008-04-03 Epson Toyocom Corp Ｓａｗデバイスおよび電子機器
US7504705B2 (en) 2006-09-29 2009-03-17 International Business Machines Corporation Striped on-chip inductor
JP4465625B2 (ja) * 2006-09-29 2010-05-19 Ｔｄｋ株式会社 弾性表面波フィルタおよび弾性表面波共振器
JP4645957B2 (ja) 2006-09-29 2011-03-09 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波素子片および弾性表面波装置
JP2008177886A (ja) * 2007-01-19 2008-07-31 Seiko Epson Corp Ｆｓｋ変調器
JP2008236295A (ja) 2007-03-20 2008-10-02 Seiko Epson Corp Ｓａｗ共振子
JP2008278349A (ja) 2007-05-02 2008-11-13 Seiko Epson Corp Ｓａｗ共振子
JP5018227B2 (ja) 2007-05-15 2012-09-05 セイコーエプソン株式会社 力検知ユニット
JP2008286521A (ja) 2007-05-15 2008-11-27 Epson Toyocom Corp 回転速度検知ユニット、及び回転速度センサ
JP4591800B2 (ja) 2008-02-20 2010-12-01 エプソントヨコム株式会社 弾性表面波デバイスおよび弾性表面波発振器
JP5146160B2 (ja) 2008-07-02 2013-02-20 株式会社村田製作所 弾性波共振子及びラダー型フィルタ
JP5422962B2 (ja) 2008-10-16 2014-02-19 富士電機株式会社 半導体装置の製造方法
CN102197590B (zh) 2008-10-24 2014-12-24 精工爱普生株式会社 表面声波谐振器、表面声波振荡器以及表面声波模块装置
JP4645923B2 (ja) 2009-02-27 2011-03-09 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器
KR20110133037A (ko) 2009-02-27 2011-12-09 세이코 엡슨 가부시키가이샤 탄성 표면파 공진자, 탄성 표면파 발진기, 및 전자 기기
JP5678486B2 (ja) 2010-06-17 2015-03-04 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器
JP5934464B2 (ja) 2010-08-26 2016-06-15 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器
JP2012049818A (ja) 2010-08-26 2012-03-08 Seiko Epson Corp 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器、電子機器
JP2012060418A (ja) 2010-09-09 2012-03-22 Seiko Epson Corp 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置
JP2012060422A (ja) 2010-09-09 2012-03-22 Seiko Epson Corp 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置
JP2012060421A (ja) 2010-09-09 2012-03-22 Seiko Epson Corp 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置
JP2012060419A (ja) 2010-09-09 2012-03-22 Seiko Epson Corp 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置
JP2012060420A (ja) 2010-09-09 2012-03-22 Seiko Epson Corp 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置
JP5652606B2 (ja) 2010-12-03 2015-01-14 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器、及び電子機器
JP5648908B2 (ja) 2010-12-07 2015-01-07 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、並びに発振器、および電子機器

Also Published As

Publication number Publication date
CN102386879B (zh) 2015-07-08
CN202353522U (zh) 2012-07-25
CN102386879A (zh) 2012-03-21
US20120049979A1 (en) 2012-03-01
JP2012049816A (ja) 2012-03-08
US8928432B2 (en) 2015-01-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5488825B2 (ja) 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器
JP5934464B2 (ja) 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器
JP4645923B2 (ja) 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器
JP5678486B2 (ja) 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器
JP5652606B2 (ja) 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器、及び電子機器
US8471434B2 (en) Surface acoustic wave device, surface acoustic wave oscillator, and electronic apparatus
JP5850109B2 (ja) 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器、及び電子機器
JP5750683B2 (ja) 二端子対弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器
JP2015084534A (ja) 二端子対弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器
JP2015084535A (ja) トランスバーサル型弾性表面波デバイス、弾性表面波発振器および電子機器
JP5737490B2 (ja) トランスバーサル型弾性表面波デバイス、弾性表面波発振器および電子機器
JP5737491B2 (ja) 弾性表面波フィルタ、電子機器
JP2015073305A (ja) 弾性表面波フィルタ、電子機器
JP2012049631A (ja) 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器、電子機器
JP2015029358A (ja) 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130823

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130823

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140327

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140418

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140528

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20141017

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150116

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20150205

A912 Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20150320

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160217

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160509

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5934464

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees