JP5488015B2 - スクリーン印刷方法 - Google Patents
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Description
請求項1:
スクリーン印刷を複数回行う際の精度を向上させる方法であって、被印刷物に第1の印刷物とアライメントマークが印刷された後、前記印刷されたアライメントマークと画像処理装置に登録されたアライメントマークの形状データ及び位置データからなる参照データとを比較してその後の印刷のための被印刷物の位置決めを行うスクリーン印刷方法において、前記印刷されたアライメントマークをカメラにて参照して形状データとして保存し、その形状データを前記画像処理装置の参照データに上書きし、該上書きした参照データをその後の印刷を行う際の被印刷物の位置決め用の参照データとして更新して用いることを特徴とするスクリーン印刷方法。
請求項2:
前記アライメントマークは、アライメントマークの最外周辺を通るように規定された長方形の外周の辺の長さの合計と、アライメントマーク自体の外周の辺の長さの合計の比が1:0.1〜1:50であることを特徴とするスクリーン印刷方法。
請求項3:
前記アライメントマークの形状が、T字形状、十字形状、四角形状、三角形状、楕円形状又は半円形状であることを特徴とする請求項1又は2記載のスクリーン印刷方法。
請求項4:
前記被印刷物に2点以上のアライメントマークを用いて画像処理を行うことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のスクリーン印刷方法。
請求項5:
前記画像処理装置へのアライメントマークの参照データ上書き更新頻度が印刷回数1〜5000回ごとであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載のスクリーン印刷方法。
請求項6:
前記印刷物は太陽電池の電極であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載のスクリーン印刷方法。
請求項7:
前記被印刷物は第1層目に電極パターンが印刷された太陽電池セルのウェハーであり、前記被印刷物側の位置決め基準として、前記第1層目と同時に印刷されたアライメントマークを用い、また画像処理装置の位置決め基準として、前記第1層目の電極パターンと同時に印刷されたアライメントマーク乃至は印刷回数最大5000回以内に印刷されたアライメントマークを用い、少なくとも1層以上の電極パターンを印刷して複層構造の電極とすることを特徴とする請求項6記載のスクリーン印刷方法。
請求項8:
前記アライメントマークは、太陽電池セルの第1層目のフィンガー電極パターンの一部を利用してアライメントマークを形成することを特徴とする請求項6又は7記載のスクリーン印刷方法。
請求項9:
前記アライメントマークとして、印刷パターンの一部が使用され、アライメントマークと印刷パターンの区切りが存在せず、前記被印刷物側の位置決め基準として、画像処理装置のカメラが視野に収めた部分全てをアライメントマークとして使用することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項記載のスクリーン印刷方法。
図2は、上述したように、アライメントマーク14,14を持つ太陽電池セルの受光面側の外観を示す。図1は太陽電池セルの2つのアライメントマークの拡大図である。図3に、この太陽電池セルに多層電極を形成するスクリーン印刷装置の外観を示す。図3の1が被印刷物、2が可動式のステージで、X,Y,θが可変であり、3が被印刷物上に印刷されたアライメントマークを認識するための固定のカメラ、4が固定のスクリーン、5がステージをスクリーン直下まで移動させるためのボールネジ、6が画像処理装置である。事前に6の画像処理装置に参照画像として図1(a)のアライメントマークA0,B0の形状と位置データを登録しておく。これらA0,B0と、被印刷物1上に同パターンとして1層目と同時に実印刷された図1(b)のアライメントマークA1,B1が規定の誤差範囲内で重なるようにステージ位置(X,Y,θ)を微調整する。微調整が終了したら、2層目以降の電極ペーストを印刷する。
例えば、アライメントマークが一辺の長さaの正三角形状の場合は、当該正三角形は各辺の長さがaと√3a/2の長さの長方形に収めることができる。この場合、アライメントマークの最外周辺を通るように規定された長方形の外周の辺の長さの合計と、アライメントマーク自体の外周の辺の長さの合計の比は(2+√3)a:3a≒1:0.8となる。
太陽電池のフィンガー電極の多層印刷を行うに際し、上記の図1〜3を用いて説明した方法によって画像処理装置への形状登録上書きを1000枚ごとに行った場合(実施例)と画像処理装置への形状登録上書きを行わない場合(比較例)との、第1層目と第2層目以降の電極のズレ由来の外観異常発生率の比較を表1に示す(両例とも約30000枚印刷時に比較)。アライメントマークは図1(b)に示す形状で、アライメントマークの最外周辺を通るように規定された長方形の外周の辺の長さの合計と、アライメントマーク自体の外周の辺の長さの合計の比が1:0.8のものを用いた。ここで、外観異常とは、電極フィンガー幅が150μm以上になった場合を示す。この場合、印刷に要した時間は両例ともほぼ差はなかった。
2 可動式ステージ
3 カメラ
4 スクリーン
5 ボールネジ
6 画像処理装置
11 基板
12 フィンガー電極
13 バスバー電極
14 アライメントマーク
Claims (9)
- スクリーン印刷を複数回行う際の精度を向上させる方法であって、被印刷物に第1の印刷物とアライメントマークが印刷された後、前記印刷されたアライメントマークと画像処理装置に登録されたアライメントマークの形状データ及び位置データからなる参照データとを比較してその後の印刷のための被印刷物の位置決めを行うスクリーン印刷方法において、前記印刷されたアライメントマークをカメラにて参照して形状データとして保存し、その形状データを前記画像処理装置の参照データに上書きし、該上書きした参照データをその後の印刷を行う際の被印刷物の位置決め用の参照データとして更新して用いることを特徴とするスクリーン印刷方法。
- 前記アライメントマークは、アライメントマークの最外周辺を通るように規定された長方形の外周の辺の長さの合計と、アライメントマーク自体の外周の辺の長さの合計の比が1:0.1〜1:50であることを特徴とするスクリーン印刷方法。
- 前記アライメントマークの形状が、T字形状、十字形状、四角形状、三角形状、楕円形状又は半円形状であることを特徴とする請求項1又は2記載のスクリーン印刷方法。
- 前記被印刷物に2点以上のアライメントマークを用いて画像処理を行うことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のスクリーン印刷方法。
- 前記画像処理装置へのアライメントマークの参照データ上書き更新頻度が印刷回数1〜5000回ごとであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載のスクリーン印刷方法。
- 前記印刷物は太陽電池の電極であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載のスクリーン印刷方法。
- 前記被印刷物は第1層目に電極パターンが印刷された太陽電池セルのウェハーであり、前記被印刷物側の位置決め基準として、前記第1層目と同時に印刷されたアライメントマークを用い、また画像処理装置の位置決め基準として、前記第1層目の電極パターンと同時に印刷されたアライメントマーク乃至は印刷回数最大5000回以内に印刷されたアライメントマークを用い、少なくとも1層以上の電極パターンを印刷して複層構造の電極とすることを特徴とする請求項6記載のスクリーン印刷方法。
- 前記アライメントマークは、太陽電池セルの第1層目のフィンガー電極パターンの一部を利用してアライメントマークを形成することを特徴とする請求項6又は7記載のスクリーン印刷方法。
- 前記アライメントマークとして、印刷パターンの一部が使用され、アライメントマークと印刷パターンの区切りが存在せず、前記被印刷物側の位置決め基準として、画像処理装置のカメラが視野に収めた部分全てをアライメントマークとして使用することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項記載のスクリーン印刷方法。
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