JPH08192337A - 位置合わせ方法 - Google Patents
位置合わせ方法Info
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- JPH08192337A JPH08192337A JP1847595A JP1847595A JPH08192337A JP H08192337 A JPH08192337 A JP H08192337A JP 1847595 A JP1847595 A JP 1847595A JP 1847595 A JP1847595 A JP 1847595A JP H08192337 A JPH08192337 A JP H08192337A
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- alignment mark
- alignment
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 信頼性が悪く、形状精度の悪い位置合わせマ
ークの対象物に対して、高精度な位置合わせを可能にす
ることにある。 【構成】 対象物の４つのコーナに３行３列に配置した
９個の位置合わせマーク（以下、マーク）を設け、各コ
ーナのマークの画像をＴＶカメラ等の２次元センサで取
り込み、取り込んだ画像から画像認識装置により各マー
クの位置を認識し、各コーナ毎に各マークの基準位置を
予め定め、各マーク毎に各マークの基準位置と対応する
認識した各マークの位置を比較し、各マーク毎のずれ量
を求め、各コーナ毎に全てのマーク毎のずれ量を平均し
てコーナのずれ量を求め、全てのコーナのずれ量に基づ
き対象物のずれ量および回転移動量を求め、該対象物の
ずれ量および回転移動量に基づき対象物を移動して位置
合わせをする。図にマークの検出画像（ａ）と、各マー
クの基準位置と認識位置（ｂ）を示す。
ークの対象物に対して、高精度な位置合わせを可能にす
ることにある。 【構成】 対象物の４つのコーナに３行３列に配置した
９個の位置合わせマーク（以下、マーク）を設け、各コ
ーナのマークの画像をＴＶカメラ等の２次元センサで取
り込み、取り込んだ画像から画像認識装置により各マー
クの位置を認識し、各コーナ毎に各マークの基準位置を
予め定め、各マーク毎に各マークの基準位置と対応する
認識した各マークの位置を比較し、各マーク毎のずれ量
を求め、各コーナ毎に全てのマーク毎のずれ量を平均し
てコーナのずれ量を求め、全てのコーナのずれ量に基づ
き対象物のずれ量および回転移動量を求め、該対象物の
ずれ量および回転移動量に基づき対象物を移動して位置
合わせをする。図にマークの検出画像（ａ）と、各マー
クの基準位置と認識位置（ｂ）を示す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高精度の位置合わせが要
求されるプリント基板、セラミック基板等の製造分野で
利用される位置合わせ方法に関する。
求されるプリント基板、セラミック基板等の製造分野で
利用される位置合わせ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術として、位置合わせマークの位
置精度が問題となる場合については、例えば特開昭６３
−１９７９５３号に記載されているように、ワーク基板
の伸縮があるため、４つの合わせマークの重心及び傾き
を合わせることで、位置合わせのずれの最小化を図って
いる等の発明があるが、位置合わせマークの形状精度が
問題となる場合については、高精度の位置合わせは困難
であった。
置精度が問題となる場合については、例えば特開昭６３
−１９７９５３号に記載されているように、ワーク基板
の伸縮があるため、４つの合わせマークの重心及び傾き
を合わせることで、位置合わせのずれの最小化を図って
いる等の発明があるが、位置合わせマークの形状精度が
問題となる場合については、高精度の位置合わせは困難
であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】高精度な位置合わせが
必要であるにもかかわらずグリーンシートの位置合わせ
用の基準穴の如く、脆い材料に形成された基準穴は、バ
リ、欠けあるいは目詰りが発生し易く、位置合わせ用基
準穴の信頼性及び形状精度が悪く、高精度な位置認識は
困難であるという問題がある。本発明の目的は、この問
題を解決し、信頼性が悪く、形状精度の悪い位置合わせ
マークの対象物に対して、高精度な位置合わせを可能に
することにある。
必要であるにもかかわらずグリーンシートの位置合わせ
用の基準穴の如く、脆い材料に形成された基準穴は、バ
リ、欠けあるいは目詰りが発生し易く、位置合わせ用基
準穴の信頼性及び形状精度が悪く、高精度な位置認識は
困難であるという問題がある。本発明の目的は、この問
題を解決し、信頼性が悪く、形状精度の悪い位置合わせ
マークの対象物に対して、高精度な位置合わせを可能に
することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、対象物の複数の領域内にそれぞれ多数の
位置合わせマークを設け、各領域の位置合わせマークの
画像をＴＶカメラ等の２次元センサで取り込み、取り込
んだ画像から画像認識装置により前記各位置合わせマー
クの位置を認識し、各領域毎に各位置合わせマークの基
準位置を予め定め、各領域毎に前記各位置合わせマーク
の基準位置と対応する前記認識した各位置合わせマーク
の位置を比較し、各位置合わせマーク毎のずれ量を求
め、各領域毎に全ての位置合わせマーク毎のずれ量を平
均して領域のずれ量を求め、全ての前記領域のずれ量に
基づき対象物のずれ量および回転移動量を求め、該対象
物のずれ量および回転移動量に基づき対象物を移動して
位置合わせするようにしている。さらに、前記取り込ん
だ位置合わせマークの画像の形状を予め定めた位置合わ
せマークの基準形状と比較判定し、判定の結果、所定以
上の異常があるとき、該異常のある位置合わせマークの
画像を前記位置合わせマーク毎のずれ量を求める対象と
なる位置合わせマークの画像から排除するようにしてい
る。さらに、前記各位置合わせマーク毎のずれ量を予め
定めた基準ずれ量と比較判定し、判定の結果、前記基準
ずれ量より大きな位置合わせマーク毎のずれ量を領域の
ずれ量を求める対象となる位置合わせマーク毎のずれ量
から排除するようにしている。また、対象物の複数の領
域内にそれぞれ多数の位置合わせマークを設け、各領域
の位置合わせマークの画像をＴＶカメラ等の２次元セン
サで取り込み、取り込んだ各領域内の画像をｘｙ投影
し、各領域毎にｙ方向の投影値により形成されるｙ投影
波形とｘ方向の投影値により形成されるｘ投影波形を求
め、該投影波形の内の予め定めたしきい値以下の複数の
波形部分の各パターン面積重心を各領域の各投影波形に
ついて求め、各領域の各投影波形の複数のパターン面積
重心に基づき各領域の多数の位置合わせマークの基準穴
代表検出位置を求め、各領域毎に多数の位置合わせマー
クの予め定めた基準穴代表基準位置と前記基準穴代表検
出位置とのずれ量を求め、全ての領域の前記ずれ量に基
づき対象物のずれ量および回転移動量を求め、該対象物
のずれ量および回転移動量に基づき対象物を移動して位
置合わせするようにしている。
め、本発明は、対象物の複数の領域内にそれぞれ多数の
位置合わせマークを設け、各領域の位置合わせマークの
画像をＴＶカメラ等の２次元センサで取り込み、取り込
んだ画像から画像認識装置により前記各位置合わせマー
クの位置を認識し、各領域毎に各位置合わせマークの基
準位置を予め定め、各領域毎に前記各位置合わせマーク
の基準位置と対応する前記認識した各位置合わせマーク
の位置を比較し、各位置合わせマーク毎のずれ量を求
め、各領域毎に全ての位置合わせマーク毎のずれ量を平
均して領域のずれ量を求め、全ての前記領域のずれ量に
基づき対象物のずれ量および回転移動量を求め、該対象
物のずれ量および回転移動量に基づき対象物を移動して
位置合わせするようにしている。さらに、前記取り込ん
だ位置合わせマークの画像の形状を予め定めた位置合わ
せマークの基準形状と比較判定し、判定の結果、所定以
上の異常があるとき、該異常のある位置合わせマークの
画像を前記位置合わせマーク毎のずれ量を求める対象と
なる位置合わせマークの画像から排除するようにしてい
る。さらに、前記各位置合わせマーク毎のずれ量を予め
定めた基準ずれ量と比較判定し、判定の結果、前記基準
ずれ量より大きな位置合わせマーク毎のずれ量を領域の
ずれ量を求める対象となる位置合わせマーク毎のずれ量
から排除するようにしている。また、対象物の複数の領
域内にそれぞれ多数の位置合わせマークを設け、各領域
の位置合わせマークの画像をＴＶカメラ等の２次元セン
サで取り込み、取り込んだ各領域内の画像をｘｙ投影
し、各領域毎にｙ方向の投影値により形成されるｙ投影
波形とｘ方向の投影値により形成されるｘ投影波形を求
め、該投影波形の内の予め定めたしきい値以下の複数の
波形部分の各パターン面積重心を各領域の各投影波形に
ついて求め、各領域の各投影波形の複数のパターン面積
重心に基づき各領域の多数の位置合わせマークの基準穴
代表検出位置を求め、各領域毎に多数の位置合わせマー
クの予め定めた基準穴代表基準位置と前記基準穴代表検
出位置とのずれ量を求め、全ての領域の前記ずれ量に基
づき対象物のずれ量および回転移動量を求め、該対象物
のずれ量および回転移動量に基づき対象物を移動して位
置合わせするようにしている。
【０００５】
【作用】上記手段により、位置合わせマークの信頼性及
び形状精度が悪い問題に対して、多数の位置合わせマー
クを設け、各位置合わせマーク検出することにより、１
部の異常な位置合わせマークの影響を軽減して、統計的
に高精度に位置合わせを可能とする。位置合わせマーク
を基準形状と比較し、形状に異常があるものを排除する
ことにより位置合わせ精度を向上する。位置合わせマー
クの基準位置からのずれ量を予め定めた基準ずれ量と比
較し、基準ずれ量より大きな位置合わせマークを排除す
ることにより位置合わせ精度を向上する。また、ｘｙ投
影による投影波形におけるしきい値以下の複数の波形部
分の各パターン面積重心を用いてずれ量を求めるため、
異常な形状の位置合わせマークおよび基準位置より異常
にずれた位置合わせマークによる影響を低減でき、位置
合わせ精度を向上する。
び形状精度が悪い問題に対して、多数の位置合わせマー
クを設け、各位置合わせマーク検出することにより、１
部の異常な位置合わせマークの影響を軽減して、統計的
に高精度に位置合わせを可能とする。位置合わせマーク
を基準形状と比較し、形状に異常があるものを排除する
ことにより位置合わせ精度を向上する。位置合わせマー
クの基準位置からのずれ量を予め定めた基準ずれ量と比
較し、基準ずれ量より大きな位置合わせマークを排除す
ることにより位置合わせ精度を向上する。また、ｘｙ投
影による投影波形におけるしきい値以下の複数の波形部
分の各パターン面積重心を用いてずれ量を求めるため、
異常な形状の位置合わせマークおよび基準位置より異常
にずれた位置合わせマークによる影響を低減でき、位置
合わせ精度を向上する。
【０００６】
【実施例】本発明の実施例を実施するに必要なシステム
の構成を図１に示す。位置を認識する被対象物２はＸＹ
Ｚθ方向に移動可能なＸＹＺθステージ１上に設置す
る。対象物２を照明する照明ランプ３及び照明用レンズ
４と対象物２の画像を検出する検出用レンズ５及びＣＣ
Ｄカメラ６を設け、対象物２の画像を取り込み、画像を
電気信号に変換する。電気信号に変換された画像情報は
画像処理装置７に入力され、画像処理装置７は画像情報
を画像処理し、事前に設定した設計位置に対する対象物
の位置ずれ量を算出する。算出された位置ずれ量は、シ
ステムを制御するコントローラ８に送られる。コントロ
ーラ８は、必要なＸＹＺθステージ１の移動量を算出
し、設計位置に対する対象物２の位置合わせを行う。
尚、コントローラ８は、照明ランプ３、ＣＣＤカメラ
６、画像処理装置７、ＸＹＺθステージ１を動作を制御
する。
の構成を図１に示す。位置を認識する被対象物２はＸＹ
Ｚθ方向に移動可能なＸＹＺθステージ１上に設置す
る。対象物２を照明する照明ランプ３及び照明用レンズ
４と対象物２の画像を検出する検出用レンズ５及びＣＣ
Ｄカメラ６を設け、対象物２の画像を取り込み、画像を
電気信号に変換する。電気信号に変換された画像情報は
画像処理装置７に入力され、画像処理装置７は画像情報
を画像処理し、事前に設定した設計位置に対する対象物
の位置ずれ量を算出する。算出された位置ずれ量は、シ
ステムを制御するコントローラ８に送られる。コントロ
ーラ８は、必要なＸＹＺθステージ１の移動量を算出
し、設計位置に対する対象物２の位置合わせを行う。
尚、コントローラ８は、照明ランプ３、ＣＣＤカメラ
６、画像処理装置７、ＸＹＺθステージ１を動作を制御
する。
【０００７】図２に本発明の実施例を説明するための例
として、ＣＣＤカメラ６のカメラ視野１０内に９点の位
置合わせマークである位置合わせ用基準穴を設けた場合
の（ａ）検出画像と、（ｂ）設計位置と検出重心位置の
関係を示す。図２（ａ）において、１０はカメラ視野を
示し、１１〜１９は基準穴〜の検出画像を示す。図
２（ｂ）において、２１〜２９は基準穴〜の設計中
心位置を示し、３１〜３９は基準穴〜のそれぞれの
検出重心位置を示す。図２（ａ）の検出画像では、基準
穴１２が位置的に異常があり、基準穴１４と基準穴
１９が形状的に異常がある。各基準穴の検出画像に基
づき各基準穴の検出重心位置を算出し、算出したそれぞ
れの基準穴の検出重心位置と対応する基準穴の設計中心
位置とを比較すると、基準穴１２の検出重心位置３２
と、基準穴１４の検出重心位置３４と、基準穴１９
の検出重心位置３９が、それぞれ設計中心位置と大きく
ずれることになる。そこで高精度に位置を検出するため
には、基準穴１２と基準穴１４と基準穴１９の情
報を無効にする判定が必要となる。判定の具体的方法に
ついては後に説明する。
として、ＣＣＤカメラ６のカメラ視野１０内に９点の位
置合わせマークである位置合わせ用基準穴を設けた場合
の（ａ）検出画像と、（ｂ）設計位置と検出重心位置の
関係を示す。図２（ａ）において、１０はカメラ視野を
示し、１１〜１９は基準穴〜の検出画像を示す。図
２（ｂ）において、２１〜２９は基準穴〜の設計中
心位置を示し、３１〜３９は基準穴〜のそれぞれの
検出重心位置を示す。図２（ａ）の検出画像では、基準
穴１２が位置的に異常があり、基準穴１４と基準穴
１９が形状的に異常がある。各基準穴の検出画像に基
づき各基準穴の検出重心位置を算出し、算出したそれぞ
れの基準穴の検出重心位置と対応する基準穴の設計中心
位置とを比較すると、基準穴１２の検出重心位置３２
と、基準穴１４の検出重心位置３４と、基準穴１９
の検出重心位置３９が、それぞれ設計中心位置と大きく
ずれることになる。そこで高精度に位置を検出するため
には、基準穴１２と基準穴１４と基準穴１９の情
報を無効にする判定が必要となる。判定の具体的方法に
ついては後に説明する。
【０００８】図３は、本実施例の設計基準位置と検出位
置の例を示す図である。この例では、図３（ｂ）に示す
ように対象物２の４コーナのそれぞれに、図２に示した
ものと同様な９点の位置合わせ用基準穴を設けた場合の
例である。図３（ｂ）の左上のコーナのカメラ視野１０
ａの詳細は、図３（ａ）に示すようになっている。他の
コーナでのカメラ視野１０は、図３（ａ）に示すものと
同様になっている。図３（ａ）ではカメラ視野１０ａ内
の基準穴代表設計基準位置４１ａに対し、基準穴代表検
出位置５１ａがずれている状態を示している（この基準
穴代表検出位置の求め方は、後で説明する）。他の各コ
ーナのカメラ視野１０ｂ、１０ｃ、１０ｄについても同
様である。図３（ｂ）は、各コーナにおける基準穴代表
検出位置５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄを点線で結ぶ
と、基準穴代表基準位置４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１
ｄと完全に合わせることができない状態を示している。
このような事は、温度、湿度、時間等により変形する有
機材料、未焼結のグリーンシートでは、よく発生する。
置の例を示す図である。この例では、図３（ｂ）に示す
ように対象物２の４コーナのそれぞれに、図２に示した
ものと同様な９点の位置合わせ用基準穴を設けた場合の
例である。図３（ｂ）の左上のコーナのカメラ視野１０
ａの詳細は、図３（ａ）に示すようになっている。他の
コーナでのカメラ視野１０は、図３（ａ）に示すものと
同様になっている。図３（ａ）ではカメラ視野１０ａ内
の基準穴代表設計基準位置４１ａに対し、基準穴代表検
出位置５１ａがずれている状態を示している（この基準
穴代表検出位置の求め方は、後で説明する）。他の各コ
ーナのカメラ視野１０ｂ、１０ｃ、１０ｄについても同
様である。図３（ｂ）は、各コーナにおける基準穴代表
検出位置５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄを点線で結ぶ
と、基準穴代表基準位置４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１
ｄと完全に合わせることができない状態を示している。
このような事は、温度、湿度、時間等により変形する有
機材料、未焼結のグリーンシートでは、よく発生する。
【０００９】図４は本発明の実施例の処理手順を示す図
である。まず、各４コーナのカメラ視野１０ａ、１０
ｂ、１０ｃ、１０ｄにおいて、各々の平均ずれ量（△ｘ
2，△ｙ2）を求める共通処理Ａを実行する。共通処理Ａ
は、最初に、「画像取込／２値化」を行い、次に各基準
穴のパターンを識別するための「ラベリング」を行う。
次に各基準穴のパターンの面積を算出し、あらかじめ設
定してある基準面積値と比較し、異常な面積のパターン
を排除する。次に各基準穴のパターンの検出重心位置を
算出し、あらかじめ設定してある設計中心位置と比較
し、そのずれ量であるパターンずれ量（△ｘ1，△ｙ1）
を算出し、異常なパターンずれ量を排除する。残った有
効なパターンずれ量（△ｘ1，△ｙ1）を平均して、コー
ナにおける平均ずれ量（△ｘ2，△ｙ2）を求める。前記
の基準穴代表検出位置は基準穴代表設計基準位置を上記
平均ずれ量（△ｘ2，△ｙ2）だけずらしたものである。
次に、各４コーナにおける平均ずれ量（△ｘ2，△ｙ2）
をさらに平均化し、対象物２全体の重心ずれ量（△
ｘ3，△ｙ3）を算出し、さらに、各４コーナにおける平
均ずれ量（△ｘ2，△ｙ2）に基づき対象物２全体の回転
移動量Δθを算出して、対象物２の補正移動量（（△ｘ
3，△ｙ3）、Δθ）を求める。次に、ＸＹＺθステージ
上で対象物２を上記補正移動量に基づき、対象物２全体
の重心ずれ量（△ｘ3，△ｙ3）だけ移動し、さらに対象
物２を対象物２全体の回転移動量Δθだけ回転して、対
象物２を本来の設計位置にできるだけ近い位置に位置合
わせする。
である。まず、各４コーナのカメラ視野１０ａ、１０
ｂ、１０ｃ、１０ｄにおいて、各々の平均ずれ量（△ｘ
2，△ｙ2）を求める共通処理Ａを実行する。共通処理Ａ
は、最初に、「画像取込／２値化」を行い、次に各基準
穴のパターンを識別するための「ラベリング」を行う。
次に各基準穴のパターンの面積を算出し、あらかじめ設
定してある基準面積値と比較し、異常な面積のパターン
を排除する。次に各基準穴のパターンの検出重心位置を
算出し、あらかじめ設定してある設計中心位置と比較
し、そのずれ量であるパターンずれ量（△ｘ1，△ｙ1）
を算出し、異常なパターンずれ量を排除する。残った有
効なパターンずれ量（△ｘ1，△ｙ1）を平均して、コー
ナにおける平均ずれ量（△ｘ2，△ｙ2）を求める。前記
の基準穴代表検出位置は基準穴代表設計基準位置を上記
平均ずれ量（△ｘ2，△ｙ2）だけずらしたものである。
次に、各４コーナにおける平均ずれ量（△ｘ2，△ｙ2）
をさらに平均化し、対象物２全体の重心ずれ量（△
ｘ3，△ｙ3）を算出し、さらに、各４コーナにおける平
均ずれ量（△ｘ2，△ｙ2）に基づき対象物２全体の回転
移動量Δθを算出して、対象物２の補正移動量（（△ｘ
3，△ｙ3）、Δθ）を求める。次に、ＸＹＺθステージ
上で対象物２を上記補正移動量に基づき、対象物２全体
の重心ずれ量（△ｘ3，△ｙ3）だけ移動し、さらに対象
物２を対象物２全体の回転移動量Δθだけ回転して、対
象物２を本来の設計位置にできるだけ近い位置に位置合
わせする。
【００１０】次に、本発明の実施例２ついて、処理手順
を示す図５と投影データの処理を説明する図６により説
明する。実施例における処理は、図５に示すように、ま
ず、各４コーナのカメラ視野１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、
１０ｄにおいて、各々の平均ずれ量（△ｘ2，△ｙ2）を
求める共通処理Ｂを実行する。次に、各４コーナにおけ
る平均ずれ量（△ｘ2，△ｙ2）をさらに平均化し、対象
物２全体の重心ずれ量（△ｘ3，△ｙ3）を算出し、さら
に、各４コーナにおける平均ずれ量（△ｘ2，△ｙ2）に
基づき対象物２全体の回転移動量Δθを算出して、対象
物２の補正移動量（（△ｘ3，△ｙ3）、Δθ）を求め
る。次に、ＸＹＺθステージ上で対象物２を上記補正移
動量に基づき、対象物２全体の重心ずれ量（△ｘ3，△
ｙ3）だけ移動し、さらに対象物２を対象物２全体の回
転移動量Δθだけ回転して、対象物２を本来の設計位置
にできるだけ近い位置に位置合わせする。
を示す図５と投影データの処理を説明する図６により説
明する。実施例における処理は、図５に示すように、ま
ず、各４コーナのカメラ視野１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、
１０ｄにおいて、各々の平均ずれ量（△ｘ2，△ｙ2）を
求める共通処理Ｂを実行する。次に、各４コーナにおけ
る平均ずれ量（△ｘ2，△ｙ2）をさらに平均化し、対象
物２全体の重心ずれ量（△ｘ3，△ｙ3）を算出し、さら
に、各４コーナにおける平均ずれ量（△ｘ2，△ｙ2）に
基づき対象物２全体の回転移動量Δθを算出して、対象
物２の補正移動量（（△ｘ3，△ｙ3）、Δθ）を求め
る。次に、ＸＹＺθステージ上で対象物２を上記補正移
動量に基づき、対象物２全体の重心ずれ量（△ｘ3，△
ｙ3）だけ移動し、さらに対象物２を対象物２全体の回
転移動量Δθだけ回転して、対象物２を本来の設計位置
にできるだけ近い位置に位置合わせする。
【００１１】共通処理Ｂは、最初に画像取込処理と２値
化処理を行い、次にｘ，ｙ投影処理を行ない、該処理の
結果に基づきパターン中心位置算出処理を行ない、最後
に該算出結果に基づき平均ずれ量を算出する。
化処理を行い、次にｘ，ｙ投影処理を行ない、該処理の
結果に基づきパターン中心位置算出処理を行ない、最後
に該算出結果に基づき平均ずれ量を算出する。
【００１２】次に、図６を参照して、上記共通処理Ｂの
についてさらに詳細に説明する。図６はコーナのカメラ
視野内の９個の基準穴を示す。最初に画像取込を行い、
各画素の検出値データの２値化を行なう。該２値化は、
例えば、基準穴以外の画素を‘１’、基準穴の画素を
‘０’とする。次に各コーナのカメラ視野のｘ、ｙ方向
に、投影データをとる「ｘｙ方向投影」を行う。すなわ
ち、ｙ方向の投影値は、ｙ軸上のｙの値がｙｋである点
を通るｘ軸に平行な線上の画素の値を全て加算し、その
加算値をｙｋにおける投影値とする。図６の右側に示さ
れた波形がｙ方向の投影値により形成される波形であ
る。ｘ方向の投影値も同様にして求められ、図６の下側
に示された波形がｘ方向の投影値により形成される波形
である。次に、パターン中心位値算出を行なう。すなわ
ち、上記の波形に対して、しきい値Ｔｈｙ、Ｔｈｘを予
め設定し、このしきい値以下の波形部分、すなわち図６
に示す各波形の黒く塗りつぶした部分、の各パターン面
積重心を求める。このしきい値により位置合わせ用基準
穴の異常な形状部分および位置合わせ用基準穴の基準位
置より異常にずれた部分の投影値は排除される。そし
て、ｙ方向投影による各重心のｙの値を求め、この各ｙ
の値に基づきｙ方向の中心位置の値ｙｃを求める。図６
の場合、各重心のｙの値はそれぞれｙ1、ｙ2、ｙ3であ
り、このｙ1、ｙ2、ｙ3に基づきｙｃを求める。ｘ方向
の中心位置の値ｘｃも同様にして求められる。これによ
りパターン中心位置（ｘｃ，ｙｃ）が求まる。このパタ
ーン中心位置（ｘｃ，ｙｃ）は、実施例１で述べた対象
物２のコーナにおける基準穴代表検出位置（ｘｃ，ｙ
ｃ）に当たる。次に、基準穴代表検出位置と基準穴代表
基準位置から平均ずれ量（△ｘ2，△ｙ2）が求められ
る。
についてさらに詳細に説明する。図６はコーナのカメラ
視野内の９個の基準穴を示す。最初に画像取込を行い、
各画素の検出値データの２値化を行なう。該２値化は、
例えば、基準穴以外の画素を‘１’、基準穴の画素を
‘０’とする。次に各コーナのカメラ視野のｘ、ｙ方向
に、投影データをとる「ｘｙ方向投影」を行う。すなわ
ち、ｙ方向の投影値は、ｙ軸上のｙの値がｙｋである点
を通るｘ軸に平行な線上の画素の値を全て加算し、その
加算値をｙｋにおける投影値とする。図６の右側に示さ
れた波形がｙ方向の投影値により形成される波形であ
る。ｘ方向の投影値も同様にして求められ、図６の下側
に示された波形がｘ方向の投影値により形成される波形
である。次に、パターン中心位値算出を行なう。すなわ
ち、上記の波形に対して、しきい値Ｔｈｙ、Ｔｈｘを予
め設定し、このしきい値以下の波形部分、すなわち図６
に示す各波形の黒く塗りつぶした部分、の各パターン面
積重心を求める。このしきい値により位置合わせ用基準
穴の異常な形状部分および位置合わせ用基準穴の基準位
置より異常にずれた部分の投影値は排除される。そし
て、ｙ方向投影による各重心のｙの値を求め、この各ｙ
の値に基づきｙ方向の中心位置の値ｙｃを求める。図６
の場合、各重心のｙの値はそれぞれｙ1、ｙ2、ｙ3であ
り、このｙ1、ｙ2、ｙ3に基づきｙｃを求める。ｘ方向
の中心位置の値ｘｃも同様にして求められる。これによ
りパターン中心位置（ｘｃ，ｙｃ）が求まる。このパタ
ーン中心位置（ｘｃ，ｙｃ）は、実施例１で述べた対象
物２のコーナにおける基準穴代表検出位置（ｘｃ，ｙ
ｃ）に当たる。次に、基準穴代表検出位置と基準穴代表
基準位置から平均ずれ量（△ｘ2，△ｙ2）が求められ
る。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、多数の位置合わせマー
クを設け、これらを検出することにより、１部の異常な
位置合わせマークの位置情報の影響を低減でき、位置合
わせの信頼性及び精度が良くなる。さらに、多数の位置
合わせマークを検出し、１部の形状の異常な位置合わせ
マークを判別し、位置合わせ情報から排除することによ
り、位置合わせの精度がさらに向上する。さらに、多数
の位置合わせマークを検出し、基準位置より異常にずれ
た１部の位置合わせマークを位置合わせ情報から排除す
ることにより、位置合わせの精度がさらに向上する。ま
た、ｘｙ投影による投影波形におけるしきい値以下の複
数の波形部分の各パターン面積重心を用いてずれ量を求
めることにより、異常な形状の位置合わせマークおよび
基準位置より異常にずれた位置合わせマークによる影響
を低減でき、位置合わせの信頼性及び精度が良くなる。
クを設け、これらを検出することにより、１部の異常な
位置合わせマークの位置情報の影響を低減でき、位置合
わせの信頼性及び精度が良くなる。さらに、多数の位置
合わせマークを検出し、１部の形状の異常な位置合わせ
マークを判別し、位置合わせ情報から排除することによ
り、位置合わせの精度がさらに向上する。さらに、多数
の位置合わせマークを検出し、基準位置より異常にずれ
た１部の位置合わせマークを位置合わせ情報から排除す
ることにより、位置合わせの精度がさらに向上する。ま
た、ｘｙ投影による投影波形におけるしきい値以下の複
数の波形部分の各パターン面積重心を用いてずれ量を求
めることにより、異常な形状の位置合わせマークおよび
基準位置より異常にずれた位置合わせマークによる影響
を低減でき、位置合わせの信頼性及び精度が良くなる。
【図１】本発明の実施例を実施するに必要なシステムの
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図２】実施例における（ａ）検出画像と、（ｂ）設計
位置と検出重心位置の関係を示す図である。
位置と検出重心位置の関係を示す図である。
【図３】実施例の設計基準位置と検出位置の例を示す図
である。
である。
【図４】本発明の実施例の処理手順を示す図である。
【図５】本発明の実施例２の処理手順を示す図である。
【図６】本発明の実施例２の投影データの処理を説明す
る図である。
る図である。
１ ＸＹＺθステージ ２ 対象物 ３ 照明ランプ ４ 照明レンズ ５ 検出用レンズ ６ ＣＣＤカメラ ７ 画像処理装置 ８ コントローラ
Claims (4)
- 【請求項１】 対象物の複数の領域内にそれぞれ多数の
位置合わせマークを設け、 各領域の位置合わせマークの画像をＴＶカメラ等の２次
元センサで取り込み、 取り込んだ画像から画像認識装置により前記各位置合わ
せマークの位置を認識し、 各領域毎に各位置合わせマークの基準位置を予め定め、 各領域毎に前記各位置合わせマークの基準位置と対応す
る前記認識した各位置合わせマークの位置を比較し、各
位置合わせマーク毎のずれ量を求め、 各領域毎に全ての位置合わせマーク毎のずれ量を平均し
て領域のずれ量を求め、 全ての前記領域のずれ量に基づき対象物のずれ量および
回転移動量を求め、 該対象物のずれ量および回転移動量に基づき対象物を移
動して位置合わせすることを特徴とする位置合わせ方
法。 - 【請求項２】 請求項１記載の位置合わせ方法におい
て、 前記取り込んだ位置合わせマークの画像の形状を予め定
めた位置合わせマークの基準形状と比較判定し、判定の
結果、所定以上の異常があるとき、該異常のある位置合
わせマークの画像を前記位置合わせマーク毎のずれ量を
求める対象となる位置合わせマークの画像から排除する
ことを特徴とする位置合わせ方法。 - 【請求項３】 請求項１記載の位置合わせ方法におい
て、前記各位置合わせマーク毎のずれ量を予め定めた基
準ずれ量と比較判定し、判定の結果、前記基準ずれ量よ
り大きな位置合わせマーク毎のずれ量を領域のずれ量を
求める対象となる位置合わせマーク毎のずれ量から排除
することを特徴とする位置合わせ方法。 - 【請求項４】 対象物の複数の領域内にそれぞれ多数の
位置合わせマークを設け、 各領域の位置合わせマークの画像をＴＶカメラ等の２次
元センサで取り込み、 取り込んだ各領域内の画像をｘｙ投影し、各領域毎にｙ
方向の投影値により形成されるｙ投影波形とｘ方向の投
影値により形成されるｘ投影波形を求め、 該投影波形の内の予め定めたしきい値以下の複数の波形
部分の各パターン面積重心を各領域の各投影波形につい
て求め、 各領域の各投影波形の複数のパターン面積重心に基づき
各領域の多数の位置合わせマークの基準穴代表検出位置
を求め、 各領域毎に多数の位置合わせマークの予め定めた基準穴
代表基準位置と前記基準穴代表検出位置とのずれ量を求
め、 全ての領域の前記ずれ量に基づき対象物のずれ量および
回転移動量を求め、 該対象物のずれ量および回転移動量に基づき対象物を移
動して位置合わせすることを特徴とする位置合わせ方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1847595A JPH08192337A (ja) | 1995-01-10 | 1995-01-10 | 位置合わせ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1847595A JPH08192337A (ja) | 1995-01-10 | 1995-01-10 | 位置合わせ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08192337A true JPH08192337A (ja) | 1996-07-30 |
Family
ID=11972675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1847595A Pending JPH08192337A (ja) | 1995-01-10 | 1995-01-10 | 位置合わせ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08192337A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003520947A (ja) * | 1999-12-21 | 2003-07-08 | スナップ − オン テクノロジーズ，インコーポレイテッド | マシン・ビジョン測定システムにおいて障害を自動的に識別する方法および装置 |
| CN101800265A (zh) * | 2009-02-10 | 2010-08-11 | 信越化学工业株式会社 | 丝网印刷法 |
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| CN112968117A (zh) * | 2020-10-27 | 2021-06-15 | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 | 一种芯片转移对位方法、设备、显示面板及存储介质 |
| CN113295093A (zh) * | 2021-06-18 | 2021-08-24 | 常州高光半导体材料有限公司 | 一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法 |
-
1995
- 1995-01-10 JP JP1847595A patent/JPH08192337A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US8783174B2 (en) | 2009-02-10 | 2014-07-22 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Screen printing method |
| KR20150043322A (ko) * | 2012-08-14 | 2015-04-22 | 가부시키가이샤 아도테크 엔지니어링 | 묘화 장치, 노광 묘화 장치, 묘화 방법 및 프로그램을 기억한 기록 매체 |
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