JP5052880B2 - 液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents
液晶表示装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5052880B2 JP5052880B2 JP2006337090A JP2006337090A JP5052880B2 JP 5052880 B2 JP5052880 B2 JP 5052880B2 JP 2006337090 A JP2006337090 A JP 2006337090A JP 2006337090 A JP2006337090 A JP 2006337090A JP 5052880 B2 JP5052880 B2 JP 5052880B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- source
- electrode
- pattern
- protective film
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1259—Multistep manufacturing methods
- H01L27/1288—Multistep manufacturing methods employing particular masking sequences or specially adapted masks, e.g. half-tone mask
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
Description
また、本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、第1マスクを用いて、下部基板上にゲートラインと、前記ゲートラインと接続されたゲート電極を含む第1導電パターン群を形成する工程と、前記第1導電パターン群を覆うようにゲート絶縁膜を形成する工程と、第2マスクを用いて、前記ゲート絶縁膜上に活性層及びオーミック接触層を含む半導体パターンと、前記半導体パターンと重畳されるデータラインと、前記半導体パターンと重畳されるソース・ドレイン金属パターンを含む第2導電パターン群を形成する工程と、第3マスクを用いて、前記半導体パターン及び前記第2導電パターン群を覆い、前記ソース・ドレイン金属パターンの一部を露出させる第1接触ホールを含む保護膜を形成する工程と、第4マスクを用いて、前記保護膜の一部をエッチングしてホールを形成し、前記ソース・ドレイン金属パターンをソース電極とドレイン電極に分離し、前記ソース電極とドレイン電極の間にチャネル部を形成して、前記第1接触ホールを覆う画素電極を形成する工程とを含み、前記第4マスクを用いた工程で前記保護膜に形成されるホールは、前記ソース電極及び前記ドレイン電極間に形成され、前記チャネル部に対応して形成され、前記第4マスクは、透過領域、遮断領域及び部分透過領域を備え、前記第4マスクを用いる工程は、前記保護膜上に透明導電膜及びフォトレジストを順次蒸着する工程と、露光及び現像工程を用いて、前記遮断領域に対応する部分に第1フォトレジストパターンと、前記部分透過領域に対応する部分に第1フォトレジストパターンより低い高さの第2フォトレジストパターンを形成する工程と、前記透明導電膜を前記第1及び第2フォトレジストパターンを用いてエッチングし、前記保護膜を露出させる工程と、前記保護膜、前記保護膜の下部の前記ソース・ドレイン金属パターン及びオーミック接触層をエッチングし、前記活性層を露出させる工程と、前記第1及び第2フォトレジストパターンを気体プラズマを用いてアッシングし、前記第2フォトレジストパターンを除去すると共に、前記透明導電膜を露出させる工程と、前記透明導電膜をエッチングしてパターニングする工程と、前記第1フォトレジストパターンをストリップする工程とを含み、前記気体プラズマを用いるアッシングにより、前記活性層の上部にチャネル保護膜が形成されることを特徴とする。
Claims (10)
- ゲートラインと、
前記ゲートラインと交差するデータラインと、
前記ゲートラインと前記データラインの交差部に形成される薄膜トランジスタと、
前記データラインの下で前記データラインと重畳し、前記薄膜トランジスタの活性層を含む半導体パターンと、
前記データライン及び前記薄膜トランジスタを覆う保護膜と
を備え、
前記データラインの下部に積層された前記半導体パターンのエッジと前記データラインのエッジは同一なエッジラインに沿ってパターニングされ、
前記薄膜トランジスタは、前記半導体パターンの露出された活性層と、前記露出された活性層を酸化させたチャネル保護膜を含むチャネル部とを備え、
前記保護膜には、前記チャネル部に対応するホールが形成される
ことを特徴とする液晶表示装置。 - 前記半導体パターンの上部に積層され、前記半導体パターンのエッジと同一なエッジラインに沿ってパターニングされ、前記データラインと接続され、前記保護膜により覆われるデータパッド下部電極、前記データパッド下部電極を覆う保護膜、前記保護膜を貫通して、前記データパッド下部電極を露出させる接触ホール、前記接触ホールを通じて前記データパッド下部電極と接続されるデータパッド上部電極を含むデータパッドを更に備えることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 第1マスクを用いて、下部基板上にゲートラインと、前記ゲートラインと接続されたゲート電極を含む第1導電パターン群を形成する工程と、
前記第1導電パターン群を覆うようにゲート絶縁膜を形成する工程と、
第2マスクを用いて、前記ゲート絶縁膜上に活性層及びオーミック接触層を含む半導体パターンと、前記半導体パターンと重畳されるデータラインと、前記半導体パターンと重畳されるソース・ドレイン金属パターンを含む第2導電パターン群を形成する工程と、
第3マスクを用いて、前記半導体パターン及び前記第2導電パターン群を覆い、前記ソース・ドレイン金属パターンの一部を露出させる第1接触ホールを含む保護膜を形成する工程と、
第4マスクを用いて、前記保護膜の一部をエッチングしてホールを形成し、前記ソース・ドレイン金属パターンをソース電極とドレイン電極に分離し、前記ソース電極とドレイン電極の間にチャネル部を形成して、前記第1接触ホールを覆う画素電極を形成する工程とを含み、
前記第4マスクを用いた工程で前記保護膜に形成されるホールは、前記ソース電極及び前記ドレイン電極間に形成され、前記チャネル部に対応して形成され、
前記第4マスクは、透過領域、遮断領域及び部分透過領域を備え、
前記第4マスクを用いる工程は、
前記保護膜上に透明導電膜及びフォトレジストを順次蒸着する工程と、
露光及び現像工程を用いて、前記遮断領域に対応する部分に第1フォトレジストパターンと、前記部分透過領域に対応する部分に第1フォトレジストパターンより低い高さの第2フォトレジストパターンを形成する工程と、
前記透明導電膜を前記第1及び第2フォトレジストパターンを用いてエッチングし、前記保護膜を露出させる工程と、
前記保護膜、前記保護膜の下部の前記ソース・ドレイン金属パターン及びオーミック接触層をエッチングし、前記活性層を露出させる工程と、
前記第1及び第2フォトレジストパターンを気体プラズマを用いてアッシングし、前記第2フォトレジストパターンを除去すると共に、前記透明導電膜を露出させる工程と、
前記透明導電膜をエッチングしてパターニングする工程と、
前記第1フォトレジストパターンをストリップする工程と
を含み、
前記気体プラズマを用いるアッシングにより、前記活性層の上部にチャネル保護膜が形成される
ことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 前記第2マスクは、透過領域と遮断領域を備えることを特徴とする請求項3に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第2マスクを用いる工程は、 前記ゲート絶縁膜上に、非晶質シリコン層、n+非晶質シリコン層 、ソース・ドレイン金属層、フォトレジストを順次蒸着する工程と、
露光及び現像工程を用いて、前記遮断領域に対応する部分にフォトレジストパターンを形成する工程と、
前記ソース・ドレイン金属層と、前記ソース・ドレイン金属層の下部に形成された前記n+非晶質シリコン層及び前記非晶質シリコン層を前記フォトレジストパターンを用いて順次エッチングし、前記第2導電パターン群をパターニングする工程と、
前記フォトレジストパターンをストリップする工程と
を含むことを特徴とする請求項4に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 前記ソース・ドレイン金属層と、前記ソース・ドレイン金属層の下部の前記n+非晶質シリコン層及び前記非晶質シリコン層を順次エッチングし、前記第2導電パターン群をパターニングする工程は、
前記ソース・ドレイン金属層をウェットエッチングする工程と、
前記ソース・ドレイン金属層の下部の前記n+非晶質シリコン層及び前記非晶質シリコン層をドライエッチングする工程と
を含むことを特徴とする請求項5に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 前記ソース・ドレイン金属パターン及び前記ソース・ドレイン金属パターンの下部のオーミック接触層はドライエッチング工程でエッチングされることを特徴とする請求項3に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第2導電パターン群を形成する際に、
前記データラインと接続されたデータパッド下部電極を前記第2導電パターン群と同時に形成することを特徴とする請求項3に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 前記第1接触ホールを含む保護膜を形成する際に、
前記データパッド下部電極を露出させる第2接触ホールを前記第1接触ホールと同時に形成することを特徴とする請求項8に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 前記画素電極を形成する際に、
前記第2接触ホールを通じて露出されたデータパッド下部電極と接続されたデータパッド上部電極を前記画素電極と同時に形成することを特徴とする請求項9に記載の液晶表示装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050123389A KR100818887B1 (ko) | 2005-12-14 | 2005-12-14 | 액정 표시장치 및 그 제조 방법 |
KR10-2005-0123389 | 2005-12-14 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007164197A JP2007164197A (ja) | 2007-06-28 |
JP5052880B2 true JP5052880B2 (ja) | 2012-10-17 |
Family
ID=38165641
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006337090A Expired - Fee Related JP5052880B2 (ja) | 2005-12-14 | 2006-12-14 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7629189B2 (ja) |
JP (1) | JP5052880B2 (ja) |
KR (1) | KR100818887B1 (ja) |
CN (1) | CN100428038C (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5234301B2 (ja) * | 2005-10-03 | 2013-07-10 | Nltテクノロジー株式会社 | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタアレイ基板、液晶表示装置およびそれらの製造方法 |
JP5292066B2 (ja) * | 2007-12-05 | 2013-09-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
KR101469026B1 (ko) * | 2007-12-11 | 2014-12-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 그 표시판의 제조 방법 |
TWI374510B (en) * | 2008-04-18 | 2012-10-11 | Au Optronics Corp | Gate driver on array of a display and method of making device of a display |
KR101646645B1 (ko) * | 2009-07-29 | 2016-08-09 | 엘지디스플레이 주식회사 | 횡전계방식 액정표시소자의 제조방법 |
KR101323408B1 (ko) * | 2009-12-07 | 2013-10-29 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 제조방법 |
KR101770969B1 (ko) * | 2011-01-21 | 2017-08-25 | 삼성디스플레이 주식회사 | 터치 센싱 기판 및 이의 제조 방법 |
JP6033071B2 (ja) * | 2011-12-23 | 2016-11-30 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP6070073B2 (ja) | 2012-10-31 | 2017-02-01 | 凸版印刷株式会社 | 薄膜トランジスタアレイ |
JP6278633B2 (ja) * | 2013-07-26 | 2018-02-14 | 三菱電機株式会社 | 薄膜トランジスタアレイ基板およびその製造方法、並びに、液晶表示装置およびその製造方法 |
CN103474396B (zh) * | 2013-09-24 | 2015-09-02 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Tft-lcd阵列基板的制造方法 |
US9366932B2 (en) * | 2013-09-24 | 2016-06-14 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd | TFT-LCD array substrate manufacturing method and LCD panel/device produced by the same |
CN107591411A (zh) * | 2017-07-06 | 2018-01-16 | 惠科股份有限公司 | 一种显示面板和显示装置 |
CN109410751B (zh) * | 2018-10-30 | 2021-04-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示基板及其制作方法、显示面板、显示装置 |
CN113206144B (zh) * | 2021-04-25 | 2023-04-07 | 北海惠科光电技术有限公司 | 薄膜晶体管的制备方法、薄膜晶体管及显示面板 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR0139346B1 (ko) | 1994-03-03 | 1998-06-15 | 김광호 | 박막 트랜지스터 액정표시장치의 제조방법 |
JP2755376B2 (ja) * | 1994-06-03 | 1998-05-20 | 株式会社フロンテック | 電気光学素子の製造方法 |
KR100192347B1 (ko) * | 1996-03-26 | 1999-06-15 | 구자홍 | 액정표시장치의 구조 및 제조방법 |
US6025605A (en) * | 1996-07-26 | 2000-02-15 | Lg Electronics Inc. | Aligned semiconductor structure |
KR100590753B1 (ko) * | 1999-02-27 | 2006-06-15 | 삼성전자주식회사 | 액정표시장치용박막트랜지스터기판및그제조방법 |
JP2001223363A (ja) | 2000-02-09 | 2001-08-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜トランジスタの製造方法 |
JP2001311965A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Nec Corp | アクティブマトリクス基板及びその製造方法 |
KR100372579B1 (ko) * | 2000-06-21 | 2003-02-17 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 |
JP4920140B2 (ja) * | 2001-05-18 | 2012-04-18 | ゲットナー・ファンデーション・エルエルシー | 液晶表示装置及びその製造方法 |
KR100825102B1 (ko) * | 2002-01-08 | 2008-04-25 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
KR20040022770A (ko) * | 2002-09-07 | 2004-03-18 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자의 제조방법 |
KR100886241B1 (ko) * | 2002-09-10 | 2009-02-27 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시소자의 제조방법 |
JP2004241774A (ja) * | 2003-02-03 | 2004-08-26 | Samsung Electronics Co Ltd | 薄膜トランジスタ表示板及びその製造方法とそのためのマスク |
KR100598737B1 (ko) * | 2003-05-06 | 2006-07-10 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법 |
KR100499376B1 (ko) | 2003-10-10 | 2005-07-04 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법 |
KR100500779B1 (ko) * | 2003-10-10 | 2005-07-12 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 박막 트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법 |
KR100619624B1 (ko) * | 2003-10-11 | 2006-09-08 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법 |
TWI382452B (zh) * | 2004-03-19 | 2013-01-11 | Samsung Display Co Ltd | 薄膜電晶體陣列面板及其製造方法 |
KR20050093881A (ko) * | 2004-03-19 | 2005-09-23 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법 |
KR101241129B1 (ko) * | 2006-06-28 | 2013-03-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치용 어레이 기판 및 그 제조방법 |
-
2005
- 2005-12-14 KR KR1020050123389A patent/KR100818887B1/ko active IP Right Grant
-
2006
- 2006-12-12 US US11/637,053 patent/US7629189B2/en active Active
- 2006-12-13 CN CNB2006101670383A patent/CN100428038C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-14 JP JP2006337090A patent/JP5052880B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1983002A (zh) | 2007-06-20 |
US7629189B2 (en) | 2009-12-08 |
CN100428038C (zh) | 2008-10-22 |
JP2007164197A (ja) | 2007-06-28 |
KR20070063302A (ko) | 2007-06-19 |
KR100818887B1 (ko) | 2008-04-02 |
US20070138471A1 (en) | 2007-06-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5052880B2 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
JP4537946B2 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
JP4433480B2 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
JP4684871B2 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
JP4142672B2 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
JP4335845B2 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
KR100499371B1 (ko) | 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법 | |
JP4527615B2 (ja) | 薄膜トランジスタアレイ基板及びその製造方法 | |
JP4392390B2 (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
JP4499628B2 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
KR101139522B1 (ko) | 반투과형 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 | |
JP4537929B2 (ja) | 液晶表示装置および液晶表示装置の製造方法 | |
US7528918B2 (en) | Thin film transistor substrate of fringe field switching type and fabricating method thereof | |
KR20030082647A (ko) | 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법과 그에적용된 마스크 | |
US7416926B2 (en) | Liquid crystal display device and method for fabricating the same | |
KR20070070806A (ko) | 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 | |
JP4439448B2 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
KR20070076149A (ko) | 박막트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 | |
KR101085138B1 (ko) | 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법 | |
KR20080054629A (ko) | 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조방법 | |
KR100531486B1 (ko) | 박막트랜지스터 어레이 기판의 제조방법용 마스크 | |
KR20080054783A (ko) | 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조방법 | |
KR20080062477A (ko) | 액정표시장치 및 그 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100525 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100823 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110607 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110907 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120703 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120725 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5052880 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150803 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |