JP5046753B2 - 光ファイバ母材の製造方法及びその装置 - Google Patents
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Description
この装置では、反応室内に設置されたコア堆積用バーナとクラッド堆積用バーナにより生成されたガラス微粒子を、回転しつつ上昇するシャフトに取付けられた出発材の先端に堆積し成長させて、コア層とクラッド層からなる多孔質ガラス母材が製造される。コア層は、例えばGeO2がドープされたSiO2であり、クラッド層は、例えばほぼ純粋なSiO2である。
脱水は、例えば塩素と酸素とヘリウムから構成される脱水ガス中で、約1,100℃に加熱されて行われる。ガラス化は、例えばヘリウム雰囲気中で約1,500℃に加熱して行われる。
以上のような方法で製造された光ファイバ母材は、この外周にさらにクラッドが付加されて最終的な光ファイバ母材とされることもある。
なお、前記脱水焼結ステップにおいて、合成石英ガラス製の容器が1400℃を超える温度に曝される時間の総計を、該容器の合成石英ガラス管の少なくとも一部の領域でガラス層が厚さ方向ですべて結晶化するまでの時間以内とするか、または該容器の合成石英ガラスの厚さ(mm)に1,500時間を乗じた時間以内とするのが好ましい。
SiCl4、(CH3)SiCl3、(CH3) 2SiCl2等の珪素化合物を酸水素火炎で加水分解してスート堆積体を形成し、さらに加熱炉で溶融しガラス化した厚さ4mmの合成石英製の管の外側に、厚さ4mmの天然石英製の管をジャケッティングして複合管を作製した。合成石英製の管としては、例えばSH100(商品名、信越石英社製)が挙げられ、天然石英製の管には、例えばHERALUX-E(商品名、信越石英社製)が挙げられる。
図3に示したような合成石英製ガラス管9を炉心管2として装着した加熱炉を用いて、多孔質ガラス母材の脱水、焼結を行った。実施例1と同様の条件で、多孔質ガラス母材の脱水、焼結工程を20回繰り返したところで、図4に認められるような、炉心管の加熱領域に変形が確認され、30回程度で炉心管の変形部分が多孔質ガラス母材と接触した。
2 炉心管、
3 電気炉、
4 ガス導入ポート、
5 ガス排出ポート、
6 シャフト、
7 ガラス母材、
8 複合炉心管、
9 合成石英製ガラス管、
10 天然石英製ガラス管。
Claims (9)
- 光ファイバ母材を製造する方法であって、ガラス微粒子を堆積して多孔質ガラス母材を形成する多孔質ガラス母材形成ステップと、珪素化合物を酸水素火炎で加水分解して生成したガラス微粒子を堆積してなるスート堆積体を溶融して形成された合成石英製ガラス管の外側に、電気炉で天然石英を溶融して形成された天然石英製ガラス管がジャケッティングされてなる複合管を使用した容器を準備する容器準備ステップと、該容器に脱水反応ガス及び不活性ガスを導入するガス導入ステップと、脱水反応ガス及び不活性ガスが導入された該容器を加熱する加熱ステップと、加熱された該容器内に前記多孔質ガラス母材を挿入し、脱水、焼結する脱水焼結ステップとを有することを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
- 前記珪素化合物が、SiCl4、(CH3)SiCl3、(CH3)2SiCl2のいずれか又はこれらの混合化合物である請求項1に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 前記ジャケッティングが施されている部分が容器の一部であり、かつ前記加熱ステップで加熱される領域よりは広い部分に施されている請求項1に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 前記容器準備ステップの後に、容器の一部を大気解放とした状態で1,400〜1,600℃の高温に加熱する事前加熱ステップを有する請求項1に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 前記脱水焼結ステップにおいて、合成石英ガラス製の容器が1400℃を超える温度に曝される時間の総計を、該容器の合成石英ガラス管の少なくとも一部の領域でガラス層が厚さ方向ですべて結晶化するまでの時間以内とする請求項1に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 前記脱水焼結ステップにおいて、合成石英ガラス製の容器が1,400℃を超える温度に曝される時間の総計を、該容器の合成石英ガラスの厚さ(mm)に1,500時間を乗じた時間以内とする請求項1に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 光ファイバ用多孔質ガラス母材を脱水、焼結する装置であって、装置の一部を構成する炉心管が、珪素化合物を酸水素火炎で加水分解して生成したガラス微粒子を堆積してなるスート堆積体を溶融して形成された合成石英製ガラス管の外側に、電気炉で天然石英を溶融して形成された天然石英製ガラス管がジャケッティングされてなる複合管を使用した容器であることを特徴とする光ファイバ母材の製造装置。
- 前記珪素化合物が、SiCl4、(CH3)SiCl3、(CH3)2SiCl2のいずれか又はこれらの混合化合物である請求項7に記載の光ファイバ母材の製造装置。
- 前記ジャケッティングが施されている部分が容器の一部であり、かつ加熱源により加熱される領域よりは広い部分である請求項7に記載の光ファイバ母材の製造装置。
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