JPH0660029B2 - 光フアイバ用母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ用母材の製造方法Info
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- JPH0660029B2 JPH0660029B2 JP60282115A JP28211585A JPH0660029B2 JP H0660029 B2 JPH0660029 B2 JP H0660029B2 JP 60282115 A JP60282115 A JP 60282115A JP 28211585 A JP28211585 A JP 28211585A JP H0660029 B2 JPH0660029 B2 JP H0660029B2
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/06—Doped silica-based glasses
- C03B2201/08—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant
- C03B2201/12—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant doped with fluorine
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はガラス母材に対する不純物元素の混入を防止で
き、かつ高品質な光フアイバ用母材を製造する方法に関
する。
き、かつ高品質な光フアイバ用母材を製造する方法に関
する。
光フアイバ用母材を大量生産する一般的な方法としてＶ
ＡＤ法が知られている。このＶＡＤ法は回転する出発部
材、例えばガラス板あるいはガラス棒の上に酸水素炎中
で生成したガラス微粒子を堆積させて円柱状の多孔質母
材をつくり、この多孔質母材を焼結して透明な光フアイ
バ用母材を製造する方法である。この方法において多孔
質母材を焼結し透明化するには母材をＨｅもしくはＡｒ
ガス雰囲気で１６００℃以上に加熱する必要がある。こ
の加熱炉としては通常カーボン炉が用いられている。か
かる加熱炉における焼結に際して特に留意しなければな
らない点はＣｕやＦｅなどの遷移元素の混入並びに水分
の混入の防止である。遷移元素が１ppb 以上混入する
と、光フアイバの損失波長特性が全波長にわたり著しく
損われ、また水分が０．１ppm 以上混入すると長波長域
におけるその特性が損なわれるからである。そこで通常
上記多孔質母材を脱水することが行なわれ、この脱水処
理として該多孔質母材を塩素系ガスやフツ素系ガスを添
加した不活性ガス雰囲気中で高温加熱する方法が知られ
ている。なかでもフツ素系ガスを用いる方法は多孔質母
材の脱水を行うのみならずフツ素を添加させる効果をも
有している。多孔質母材中にフツ素を添加すると光フア
イバの必須要件である屈折率分布の調整ができる利点が
ある。尚この点に関しては特公昭５５−１５６８２号公
報、特開昭５５−６７５３３号公報に詳しく説明されて
いる。
ＡＤ法が知られている。このＶＡＤ法は回転する出発部
材、例えばガラス板あるいはガラス棒の上に酸水素炎中
で生成したガラス微粒子を堆積させて円柱状の多孔質母
材をつくり、この多孔質母材を焼結して透明な光フアイ
バ用母材を製造する方法である。この方法において多孔
質母材を焼結し透明化するには母材をＨｅもしくはＡｒ
ガス雰囲気で１６００℃以上に加熱する必要がある。こ
の加熱炉としては通常カーボン炉が用いられている。か
かる加熱炉における焼結に際して特に留意しなければな
らない点はＣｕやＦｅなどの遷移元素の混入並びに水分
の混入の防止である。遷移元素が１ppb 以上混入する
と、光フアイバの損失波長特性が全波長にわたり著しく
損われ、また水分が０．１ppm 以上混入すると長波長域
におけるその特性が損なわれるからである。そこで通常
上記多孔質母材を脱水することが行なわれ、この脱水処
理として該多孔質母材を塩素系ガスやフツ素系ガスを添
加した不活性ガス雰囲気中で高温加熱する方法が知られ
ている。なかでもフツ素系ガスを用いる方法は多孔質母
材の脱水を行うのみならずフツ素を添加させる効果をも
有している。多孔質母材中にフツ素を添加すると光フア
イバの必須要件である屈折率分布の調整ができる利点が
ある。尚この点に関しては特公昭５５−１５６８２号公
報、特開昭５５−６７５３３号公報に詳しく説明されて
いる。
又上記フツ素ガスを用いた処理は通常、焼結と同時にも
しくは前工程として、カーボン炉内で行なわれる。カー
ボン炉にはカーボン発熱体が母材の加熱処理中に発生す
る水分や酸素で消耗するのを防ぐため、カーボン発熱体
と焼結雰囲気とを隔離する炉心管が配置されており、従
来アルミナ製のものが使用されていた。しかし、アルミ
ナ製の炉心管を用いるとアルミナの中に含まれるアルカ
リ成分が高温で周囲に飛散し、これが多孔質母材表面に
付着し、クリストバライト層を形成するという問題があ
る。さらに若干の反応が起り、AlF3なるものをつくり、
これがフアイバ中に混入することが起つた。そこで炉心
管として石英ガラス製のものが実用化されている。
しくは前工程として、カーボン炉内で行なわれる。カー
ボン炉にはカーボン発熱体が母材の加熱処理中に発生す
る水分や酸素で消耗するのを防ぐため、カーボン発熱体
と焼結雰囲気とを隔離する炉心管が配置されており、従
来アルミナ製のものが使用されていた。しかし、アルミ
ナ製の炉心管を用いるとアルミナの中に含まれるアルカ
リ成分が高温で周囲に飛散し、これが多孔質母材表面に
付着し、クリストバライト層を形成するという問題があ
る。さらに若干の反応が起り、AlF3なるものをつくり、
これがフアイバ中に混入することが起つた。そこで炉心
管として石英ガラス製のものが実用化されている。
石英ガラスの炉心管の使用は、アルミナ炉心管の使用に
比し、下記の利点を有する。
比し、下記の利点を有する。
加工精度を高くとれるので気密性が良く、スート母
材の脱水が容易に行われる。
材の脱水が容易に行われる。
アルミナに比し高純度であり、Ｆｅ、アルカリ等の
不純物を殆んど含有していない。
不純物を殆んど含有していない。
これらを用いて得られたガラス母材は、アルカリに
よる表面失透を起さない。
よる表面失透を起さない。
熱的な破損（サーマルシヨツクによる破壊）がな
い。
い。
フツ素系ガスを用いた場合に、AlF3などの不純物ガ
スの発生がない。但し、SiF4ガスの発生はあるが、ガラ
ス母材への不純物としての悪影響は及ぼさない。
スの発生がない。但し、SiF4ガスの発生はあるが、ガラ
ス母材への不純物としての悪影響は及ぼさない。
なお、石英炉心管の使用については、特公昭５８−５８
２９９号、同５８−４２１３６号、特開昭６０−８６０
４９各号公報に詳しく説明されている。
２９９号、同５８−４２１３６号、特開昭６０−８６０
４９各号公報に詳しく説明されている。
〔発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら、上記のような利点を有する一方で、石英
管は高熱で変形し易いという欠点を持つていた。ちなみ
に、温度１３００℃程度と常温の間の昇降温を毎日くり
かえすと、１ケ月以上経過すると失透による破壊や変形
が起きていた。また、SF6やCF4の弗素系ガスを用いた場
合、石英がエツチングされ、ひどい場合にはピンホール
を生じることさえあつたが、これは外気の混入や雰囲気
ガスが戸外へ漏出する原因ともなり製造工程上悪影響を
招く結果になる。
管は高熱で変形し易いという欠点を持つていた。ちなみ
に、温度１３００℃程度と常温の間の昇降温を毎日くり
かえすと、１ケ月以上経過すると失透による破壊や変形
が起きていた。また、SF6やCF4の弗素系ガスを用いた場
合、石英がエツチングされ、ひどい場合にはピンホール
を生じることさえあつたが、これは外気の混入や雰囲気
ガスが戸外へ漏出する原因ともなり製造工程上悪影響を
招く結果になる。
本発明の目的は、上述のような従来法による光フアイバ
用母材の脱水・焼結及びフツ素添加処理における問題点
を解決し、炉心管が高寿命で使える光フアイバ用母材の
製造方法を提供するにある。
用母材の脱水・焼結及びフツ素添加処理における問題点
を解決し、炉心管が高寿命で使える光フアイバ用母材の
製造方法を提供するにある。
本発明者等は上記の問題点を解決する手段について鋭意
研究の結果、０．５〜１０重量％のアルミナを添加した
石英炉心管を使用することで、該炉心管を高温使用し得
ることが可能になるとの結論に至り、本発明に到達し
た。更には、フツ素系ガスを使用する場合にはSiF4ガス
を選択すれば、炉心管の長寿命化により有効であること
も見出した。
研究の結果、０．５〜１０重量％のアルミナを添加した
石英炉心管を使用することで、該炉心管を高温使用し得
ることが可能になるとの結論に至り、本発明に到達し
た。更には、フツ素系ガスを使用する場合にはSiF4ガス
を選択すれば、炉心管の長寿命化により有効であること
も見出した。
すなわち本発明は石英系スート母材をハロゲン系ガスを
添加された雰囲気下で加熱して、脱水・焼結及び屈折率
調整処理のうち少なくとも１つを行う光フアイバ用母材
の製造方法において、上記処理を０．５〜１０重量％の
アルミナを含有する石英炉心管を用いて行なうことを特
徴とする。
添加された雰囲気下で加熱して、脱水・焼結及び屈折率
調整処理のうち少なくとも１つを行う光フアイバ用母材
の製造方法において、上記処理を０．５〜１０重量％の
アルミナを含有する石英炉心管を用いて行なうことを特
徴とする。
本発明の好ましい実施態様としては、ハロゲン系ガスが
SiF4又はCl2である上記方法、脱水を行つた後に、屈折
率調整と焼結とを同時に行う上記方法が挙げられる。
SiF4又はCl2である上記方法、脱水を行つた後に、屈折
率調整と焼結とを同時に行う上記方法が挙げられる。
また本発明において石英系スート母材として、光フアイ
バのコア部および一部のクラツド部となるべき構造を有
する心棒を有するものを用いる上記方法も特に好ましい
本発明の実施の態様である。
バのコア部および一部のクラツド部となるべき構造を有
する心棒を有するものを用いる上記方法も特に好ましい
本発明の実施の態様である。
本明細書においては、石英系スート母材とは石英を主成
分とするガラススート母材を言い、これは例えば火炎加
水分解反応によりガラス原料ガス及び添加剤ガス等を不
活性ガス等をキヤリヤーとして火炎中に導入し、生成し
たガラス微粒子を堆積せしめる、あるいは、いわゆるゾ
ルゲル法すなわちアルコラートの加水分解により得る、
方法により作製でき、これらの技術は公知のものであ
る。
分とするガラススート母材を言い、これは例えば火炎加
水分解反応によりガラス原料ガス及び添加剤ガス等を不
活性ガス等をキヤリヤーとして火炎中に導入し、生成し
たガラス微粒子を堆積せしめる、あるいは、いわゆるゾ
ルゲル法すなわちアルコラートの加水分解により得る、
方法により作製でき、これらの技術は公知のものであ
る。
本発明においては、該石英系スート母材を脱水・焼結、
屈折率調整の少なくとも１つを、ハロゲン系ガスが添加
された雰囲気中にて加熱下に行う。
屈折率調整の少なくとも１つを、ハロゲン系ガスが添加
された雰囲気中にて加熱下に行う。
脱水の場合には、Cl2、SOCl2、CCl4などの塩素系ガスを
Ｈｅガス等不活性ガスにて希釈した雰囲気にて行う。ま
た、塩素系ガスに代えて、CF4、CCl2F2、C2F6、SF6、Si
F4等の弗素系ガスを用いることも好ましく、この場合に
は脱水と同時に焼結を行うことも勿論良い。脱水を目的
とする場合には上記ハロゲン系ガスの使用量は雰囲気ガ
ス中１容量％程度で一般には充分である。
Ｈｅガス等不活性ガスにて希釈した雰囲気にて行う。ま
た、塩素系ガスに代えて、CF4、CCl2F2、C2F6、SF6、Si
F4等の弗素系ガスを用いることも好ましく、この場合に
は脱水と同時に焼結を行うことも勿論良い。脱水を目的
とする場合には上記ハロゲン系ガスの使用量は雰囲気ガ
ス中１容量％程度で一般には充分である。
一方、屈折率調整を行う場合、例えば弗素を添加する場
合は、添加剤原料ガスとして、CF4、SF6、C2F6、SiF4等
を用いればよく、これ等のガスの濃度、処理温度を決定
することで、屈折率を調整することができる。例えば屈
折率を低下させるための弗素の添加は、雰囲気ガスとし
て弗素系ガス濃度２〜２０容量％のものを用いること
で、△ｎ（比屈折率差）を−０．３〜０．５％の範囲に
調整することができる。またホウ素を添加するにはBC
l3、BBr3等を、弗素とホウ素の両方に添加するにはBF3
を用いればよい。
合は、添加剤原料ガスとして、CF4、SF6、C2F6、SiF4等
を用いればよく、これ等のガスの濃度、処理温度を決定
することで、屈折率を調整することができる。例えば屈
折率を低下させるための弗素の添加は、雰囲気ガスとし
て弗素系ガス濃度２〜２０容量％のものを用いること
で、△ｎ（比屈折率差）を−０．３〜０．５％の範囲に
調整することができる。またホウ素を添加するにはBC
l3、BBr3等を、弗素とホウ素の両方に添加するにはBF3
を用いればよい。
屈折率調整が脱水処理又は焼結を兼ねるものであつても
よいし、さらに屈折率調整、脱水・焼結を同時に行つて
もよい。また雰囲気がハロゲン系ガスの１以上を混合し
たものであつてもよい。
よいし、さらに屈折率調整、脱水・焼結を同時に行つて
もよい。また雰囲気がハロゲン系ガスの１以上を混合し
たものであつてもよい。
上記の脱水、屈折率調整、焼結のいずれの処理も、その
温度は１１００℃以上で、石英系スート母材が透明化す
る温度以下の範囲が好ましい。
温度は１１００℃以上で、石英系スート母材が透明化す
る温度以下の範囲が好ましい。
そして、石英系スート母材の上記した条件による加熱処
理を行う炉心管として、０．５〜１０重量％程度の少量
のアルミナを添加した石英管を用いることで、高品質の
石英系ガラス母材を炉心管の損傷も少なく、製造できる
のである。
理を行う炉心管として、０．５〜１０重量％程度の少量
のアルミナを添加した石英管を用いることで、高品質の
石英系ガラス母材を炉心管の損傷も少なく、製造できる
のである。
以下に本発明の基礎となつた実験及び概念について説明
する。ここで断つておくが、以下に述べる概念は、本発
明に有効な実験による知見を得て、初めて説明できたも
のであつて、予め容易に類推できるものではなかつた。
する。ここで断つておくが、以下に述べる概念は、本発
明に有効な実験による知見を得て、初めて説明できたも
のであつて、予め容易に類推できるものではなかつた。
実験１ 外径１００mm、長さ３００mm厚さ２mmの石英炉心管を温
度１５００℃に加熱した状態に一昼夜保持したところ、
該炉心管は引伸び長さ４００mmになつてしまつた。
度１５００℃に加熱した状態に一昼夜保持したところ、
該炉心管は引伸び長さ４００mmになつてしまつた。
実験２ 実験１と同サイズで、アルミナを１％添加した石英から
なる炉心管を用い、実験１と同様に行つたところ、炉心
管の引伸びは殆んどなかつた。
なる炉心管を用い、実験１と同様に行つたところ、炉心
管の引伸びは殆んどなかつた。
実験３ 実験１と同じ炉心管を用い、一日毎に室温より１５００
℃までの昇温テストを繰り返したところ、該炉心管は２
０日後に失透による破壊を起した。
℃までの昇温テストを繰り返したところ、該炉心管は２
０日後に失透による破壊を起した。
実験４ 実験２と同じアルミナ１％添加石英炉心管について、実
験３と同様に一日毎に室温より１５００℃まで昇温する
テストを繰返したが、２０日間経過しても全く問題はな
かつた。
験３と同様に一日毎に室温より１５００℃まで昇温する
テストを繰返したが、２０日間経過しても全く問題はな
かつた。
実験５ 実験２の同様の実験を、アルミナを３重量％添加した石
英管を用いて行つたところ、実験２と同様に炉心管の引
伸びは殆んどなかつた。
英管を用いて行つたところ、実験２と同様に炉心管の引
伸びは殆んどなかつた。
実験６ アルミナを夫々０．５、１、３、５、７、１０、２０重
量％添加した石英ガラスを試作したところ、添加量が
０．５〜１０重量％の範囲では、充分に透明で加工の容
易なガラスが得られた。アルミナ添加量２０重量％の石
英ガラスは不透明で、加熱による加工も困難であつた。
量％添加した石英ガラスを試作したところ、添加量が
０．５〜１０重量％の範囲では、充分に透明で加工の容
易なガラスが得られた。アルミナ添加量２０重量％の石
英ガラスは不透明で、加熱による加工も困難であつた。
実験７ 厚さ５mmの１重量％のアルミナ添加石英片を、SF6ガス
中に置いて、温度１５００℃にて加熱したところ、約６
時間の加熱でその厚さは３mm以下となつた。
中に置いて、温度１５００℃にて加熱したところ、約６
時間の加熱でその厚さは３mm以下となつた。
実験８ 実験７と同じ石英片を、SiF4ガス中にて１５００℃で加
熱したところ６時間加熱してもその厚さに殆んど変化は
なかつた。
熱したところ６時間加熱してもその厚さに殆んど変化は
なかつた。
以上の実験１ないし８より次のことが明らかになつた。
ｉ）石英にアルミナを０．５〜１０重量％添加した材料
は純粋な石英に比べ極めて高温に耐え得る。
は純粋な石英に比べ極めて高温に耐え得る。
ii）フツ素系ガスの使用においては、SiF4ガスを選択す
れば上記i)に示した炉心管をエツチングしない。
れば上記i)に示した炉心管をエツチングしない。
この結果に基き本発明者らは、炉心管の中でスート母材
を１５００℃以上の高温で加熱処理する場合等において
は、０．５〜１０重量％のアルミナを添加した石英炉心
管を使用し、またフツ素系ガスを使用する際はSiF4を用
いることが好ましいと結論した次第である。
を１５００℃以上の高温で加熱処理する場合等において
は、０．５〜１０重量％のアルミナを添加した石英炉心
管を使用し、またフツ素系ガスを使用する際はSiF4を用
いることが好ましいと結論した次第である。
上記の事実は以下の如く説明できる。
アルミナの添加による石英管の耐熱温度の向上は、ガラ
ス中のアルミナの結合ができ粘性が大になつたことによ
ると考えられる。
ス中のアルミナの結合ができ粘性が大になつたことによ
ると考えられる。
またSiF4が好結果を与えるのは、石英（SiO2）炉心管や
多孔質母材とSF6とは下記(1)式 SiO2(s)+SF6(g)→SiF4(g)+SF2(g)+O2(g) ・・・(1) ただしｓ：固体、ｇ：気体 の如く反応し、炉心管をエツチングするのに対し、SiF4
は下記(2)式に示すように、SiO2との間に生成物を生じ
ない。
多孔質母材とSF6とは下記(1)式 SiO2(s)+SF6(g)→SiF4(g)+SF2(g)+O2(g) ・・・(1) ただしｓ：固体、ｇ：気体 の如く反応し、炉心管をエツチングするのに対し、SiF4
は下記(2)式に示すように、SiO2との間に生成物を生じ
ない。
すなわち炉心管をエツチングしないのである。
なお、アルミナ管使用の際の問題であつたAlF3の発生
は、アルミナを１０重量％以下含有する石英管では非常
に少なく、さらにSiF4ガスを使用すればAlF3の発生は全
くみられない。
は、アルミナを１０重量％以下含有する石英管では非常
に少なく、さらにSiF4ガスを使用すればAlF3の発生は全
くみられない。
〔実施例〕 以下実施例を示して具体的に説明する。
第１図は、本発明の１実施態様である、光フアイバ用ガ
ラス母材の製造装置を示す概略構造図である。第１図中
１はスート母材、２は支持棒、３は炉心管、４は発熱
体、５は炉本体、６は不活性ガスの導入口、７は雰囲気
ガス（例えばSiCl4，SF6，He等）の導入口である。
ラス母材の製造装置を示す概略構造図である。第１図中
１はスート母材、２は支持棒、３は炉心管、４は発熱
体、５は炉本体、６は不活性ガスの導入口、７は雰囲気
ガス（例えばSiCl4，SF6，He等）の導入口である。
次の実施例及び比較例は第１図の装置を用いて行つた。
実施例１ 発熱体４により、アルミナを１重量％添加した石英炉心
管３を１６００℃に加熱し、該管３内にSF6を５０c.c.
／分及びＨｅを５／分の割合で流し、その中にスート
母材１を下降速度２mm／分で挿入した。得られた透明ガ
ラス母材を引き続きフアイバに紡糸したところ、フアイ
バの残留水分は０．１ppm でありＣｕやＦｅに由来する
吸収は全くみられなかつた。ガラス母材中には、約１重
量％のフツ素が添加されていた。この条件で１ケ月連続
使用しても引伸びは殆んどなかつた。
管３を１６００℃に加熱し、該管３内にSF6を５０c.c.
／分及びＨｅを５／分の割合で流し、その中にスート
母材１を下降速度２mm／分で挿入した。得られた透明ガ
ラス母材を引き続きフアイバに紡糸したところ、フアイ
バの残留水分は０．１ppm でありＣｕやＦｅに由来する
吸収は全くみられなかつた。ガラス母材中には、約１重
量％のフツ素が添加されていた。この条件で１ケ月連続
使用しても引伸びは殆んどなかつた。
実施例２ 第１図の装置でアルミナを５重量％添加した石英炉心管
を用い、その他は実施例１と同じ条件で多孔質母材の処
理を行つたところ、実施例１と同様の結果が得られた。
を用い、その他は実施例１と同じ条件で多孔質母材の処
理を行つたところ、実施例１と同様の結果が得られた。
実施例３ SF6のかわりにCF4を５００c.c.／分流す他は、実施例１
と同様の条件で多孔質母材の処理を行つた。得られた透
明化母材には若干の気泡が残つていた。また炉心管が若
干エツチングされた。
と同様の条件で多孔質母材の処理を行つた。得られた透
明化母材には若干の気泡が残つていた。また炉心管が若
干エツチングされた。
実施例４ 中心部にコアとクラツドの一部を有するスート母材につ
いて、実施例１と同様の炉心管を用い、同じ条件で処理
したところ、得られた母材、フアイバは実施例１と同様
の結果を与えた。
いて、実施例１と同様の炉心管を用い、同じ条件で処理
したところ、得られた母材、フアイバは実施例１と同様
の結果を与えた。
実施例５ 実施例１で用いたと同じの多孔質母材を予めCl2を用い
て１２００℃で脱水し、その後は実施例１と同じ条件で
処理したところ、極めて低水分量のフアイバが得られ
た。水分量以外の結果は実施例１の場合と同じであつ
た。
て１２００℃で脱水し、その後は実施例１と同じ条件で
処理したところ、極めて低水分量のフアイバが得られ
た。水分量以外の結果は実施例１の場合と同じであつ
た。
比較例 炉心管として純石英管を用いた他は、実施例１と同じ条
件でフアイバを製造したところ、得られたフアイバ中の
残留水分は０．１ppm であつたが、炉心管の引伸びが起
こり、２０回の使用で該炉心管は破損した。
件でフアイバを製造したところ、得られたフアイバ中の
残留水分は０．１ppm であつたが、炉心管の引伸びが起
こり、２０回の使用で該炉心管は破損した。
以上の説明は、ＶＡＤ法による場合を例示したが、勿論
これに限定されるものではなく、その他外付け法等で得
た多孔質母材にはすべて本発明の方法を適用して効果が
ある。
これに限定されるものではなく、その他外付け法等で得
た多孔質母材にはすべて本発明の方法を適用して効果が
ある。
又、炉構造も１例を挙げたにすぎず、多孔質母材を移動
せずにすむ均質加熱炉によつても、本実施例と同様の優
れた結果が得られた。
せずにすむ均質加熱炉によつても、本実施例と同様の優
れた結果が得られた。
本発明はガラス母材に対する不純物元素の混入を防止で
き、炉心管の寿命を従来より延長でき、特にフツ素を添
加する場合はSiF4を用いることで炉心管のエツチングを
防止でき、経済性が向上し、かつ高純度のガラス物品を
得ることができるという効果を奏し、光フアイバ用母材
の製造に適用して有利である。
き、炉心管の寿命を従来より延長でき、特にフツ素を添
加する場合はSiF4を用いることで炉心管のエツチングを
防止でき、経済性が向上し、かつ高純度のガラス物品を
得ることができるという効果を奏し、光フアイバ用母材
の製造に適用して有利である。
第１図は本発明の光フアイバ用母材の製造方法の実施態
様を説明する図である。
様を説明する図である。
Claims (5)
- 【請求項１】石英系スート母材をハロゲン系ガスを添加
された雰囲気下で加熱して、脱水・焼結及び屈折率調整
処理のうち少なくとも１つを行う光フアイバ用母材の製
造方法において、上記処理を０．５〜１０重量％のアル
ミナを含有する石英炉心管を用いて行なうことを特徴と
する上記方法。 - 【請求項２】ハロゲン系ガスがSiF4である特許請求の範
囲の第(1)項に記載される光フアイバ用母材の製造方
法。 - 【請求項３】ハロゲン系ガスがCl2である特許請求の範
囲の第(1)項に記載される光フアイバ用母材の製造方
法。 - 【請求項４】脱水を行つた後屈折率調整及び焼結を同時
に行う特許請求の範囲第(1)項に記載される光フアイバ
用母材の製造方法。 - 【請求項５】石英系スート母材が、光フアイバのコア部
及び一部のクラッド部を有する構造となつた心棒を有し
ている特許請求の範囲第(1)項乃至第(4)項のいずれかに
記載される光フアイバ用母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60282115A JPH0660029B2 (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60282115A JPH0660029B2 (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62143834A JPS62143834A (ja) | 1987-06-27 |
| JPH0660029B2 true JPH0660029B2 (ja) | 1994-08-10 |
Family
ID=17648324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60282115A Expired - Lifetime JPH0660029B2 (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0660029B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5046753B2 (ja) * | 2006-06-26 | 2012-10-10 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法及びその装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59184735A (ja) * | 1983-04-06 | 1984-10-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光学系多孔質ガラスの透明ガラス化法 |
-
1985
- 1985-12-17 JP JP60282115A patent/JPH0660029B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62143834A (ja) | 1987-06-27 |
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