JPH029727A - 光フアイバ用母材の製造方法 - Google Patents

光フアイバ用母材の製造方法

Info

Publication number
JPH029727A
JPH029727A JP63159058A JP15905888A JPH029727A JP H029727 A JPH029727 A JP H029727A JP 63159058 A JP63159058 A JP 63159058A JP 15905888 A JP15905888 A JP 15905888A JP H029727 A JPH029727 A JP H029727A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass
optical fiber
atmosphere
base material
bubbles
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP63159058A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0478568B2 (ja
Inventor
Masumi Ito
真澄 伊藤
Hiroshi Yokota
弘 横田
Toshio Danzuka
彈塚 俊雄
Masahiro Takagi
政浩 高城
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP63159058A priority Critical patent/JPH029727A/ja
Priority to KR1019890008705A priority patent/KR910009177B1/ko
Priority to AU37080/89A priority patent/AU609621B2/en
Priority to DE8989111759T priority patent/DE68904607T2/de
Priority to EP89111759A priority patent/EP0348935B1/en
Priority to US07/372,084 priority patent/US4978378A/en
Priority to CA000604213A priority patent/CA1338203C/en
Publication of JPH029727A publication Critical patent/JPH029727A/ja
Publication of JPH0478568B2 publication Critical patent/JPH0478568B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/10Non-chemical treatment
    • C03B37/12Non-chemical treatment of fibres or filaments during winding up
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01446Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B20/00Processes specially adapted for the production of quartz or fused silica articles, not otherwise provided for
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/10Non-chemical treatment
    • C03B37/14Re-forming fibres or filaments, i.e. changing their shape
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S65/00Glass manufacturing
    • Y10S65/90Drying, dehydration, minimizing oh groups

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は元ファイバ用母材の製造方法に関するものであ
る。
〔従来の技術〕
光ファイバ用母材の製造法の一つとして、従来、ガラス
原料を火災加水分解反応させて生成したガラス微粒子を
、回転する出発材ガラス微粒子の外周部に堆積させてゆ
き(スート付けともいう)、回転軸方向に多孔質体を成
長させてガラスロッドとその外周の多孔質体からなる多
孔質母材を得た後、該多孔質母材を高温電気炉中で焼結
し透明ガラス化する方法が行われている。この焼結工程
で重要な点は、気泡残留等のない完全に透明なガラス母
材を得ることである。
ここで、焼結とは、多孔質母材を構成するガラス微粒子
相互の融着が進み、該母材中の空隙が徐々に孤立してゆ
く過程であると言える。この孤立した空隙が収縮し、消
滅して完全に透明なガラス体となるには、焼結雰囲気が
重要なファクターとなっていて、ガラス中での溶解度の
大きいガス雰囲気下で焼結した場合に容易に透明なガラ
スが得られる。具体的にはAr又はN2雰囲気では残留
気泡が生じるが、溶解度の大きいHs  雰囲気では、
残留気泡のない透明なガラスを得やすいことが判ってい
る。このため、多孔質母材はHe 雰囲気下で焼結する
のが一般的である。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記の従来法により製造された光ファイバ母材は、次の
線引工程くおいて外径100〜200μm の細い光フ
ァイバに引き伸ばされる。この線引工程では元ファイバ
用母材をまず適当な外径の線引可能形状に加工する必要
があるため、+900p以上の高温に加熱して延伸成形
される。このとき、ガラス母材中に、特にその出発材ガ
ラスロッドとスート付けKよす合成したガラスとの界面
に、微小な結晶粒、気泡等の欠陥が存在していた場合に
は、これらの欠韻が大型化して、延伸ガラス母材中に気
泡が発生し、延伸ガラスロッド製造歩留シを著しく低下
させる問題がちった。具体的にはガラス母材中に直径0
.1〜0.5 ta程度の結晶粒や気泡が存在している
と、延伸後のガラスロッドでは1〜51程度の気泡に大
型化してしまう。このような大型の気泡のあるガラスロ
ッドを線引きすると、ファイバが断線して安定な製造が
不可能である。
本発明の目的は、上記の問題点を解消して、延伸成形し
て線引母材としても気泡や結晶粒がなく、安定なファイ
バ製造を可能とする光ファイバ母材の製造方法を提供す
ることにあシ、特にその多孔質母材から透明ガラス母材
への焼結方法の改良にある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明者らは研究努力の結果、He  雰囲気中で焼結
して得られた透明ガラス母材をさら(CN 2又はAr
等のHe以外の不活性ガス含有雰囲気中で加熱処理する
という手段で、上記の目的を達成できることを見出した
本発明はガラスロッドの外周にガラス微粒子を堆積させ
て多孔質ガラス母材を合盾し、該多孔質母材をH@ 雰
囲気で焼結して透明ガラス化した後に、得られた焼結体
を不活性ガス(Hsを除く)の分圧0.8気圧以上の雰
囲気で熱処理することを特徴とする光ファイバ用母材の
製造方法である。
本発明の特KtEましい実施態様としては、不活性ガス
()Isを除く)の分圧0.8気圧以上の雰囲気での熱
処理が800〜tooot:’の温度範囲内で120〜
360分間保持することを特徴とする上記方法が挙げら
れる。また、該ガラスロッドが、クラッドを含むコア母
材であれば、コア径に対してクラツド径が大ぎい型の光
ファイバ用母材を高品質に歩留り良く製造することがで
きる。
本発明において多孔質ガラス体を製造し、これを焼結し
て透明ガラス体とするところまでは、従来技術によシ行
う。即ち、ガラス微粒子合成用バーナK例えば5icz
’4等のガラス原料ガス、N2.CI(4等の燃焼ガス
、02等の助燃ガスを導入して、該バーナの火炎中で上
記ガラス原料を火炎加水分解反応させることKよりガラ
ス微粒子を生成させて、これを回転する出発材ガラスロ
ッドの外周に堆積させて、ガラスロントド多孔質ガラス
体からなる複合体を得る。この複合体を加熱炉中、He
  雰囲気下で温度1500〜1650C程度に加熱し
て該複合体を透明化する。
本発明の特徴とするところは、この透明化した焼結体を
さらに不活性ガス(Heを除く)の分圧0.8気圧以上
の雰囲気で、好ましくは800〜1000pの温度範囲
内で120〜360分間、加熱処理する点にある。この
処理により、その後の高温での延伸処理における欠陥の
大型化を防止できて、歩留まυ良く高品質の光ファイバ
母材用延伸ロンドが得られる。
本発明では雰囲気中の不活性ガス(1(eを除く)分圧
が0.8気圧以上であればその他の含有ガスについて制
限するところはなく、例えばN2  分圧が0.8気圧
以上の空気を用いることもできる。
〔作用〕
従来法により、光ファイバ用多孔質母材をHe雰囲気で
焼結し六後延伸加工して得たガラスロッド中に発生した
気泡をガス分析したところ、その主成分はHe  であ
った。この事実から、焼結時にガラス内に溶解したH6
  が延伸加工時に発泡することが気泡発生の原因と考
えられる。
一般にガラス中への気体の溶解度は高温になるほど小さ
くなる傾向がある。したがって、延伸加工時の+ 90
0tl:’以上という高温状態ではガラス中に溶解して
いたH8  が過飽和にな)、一方のガラスは充分に軟
化しているので、過剰He  が気泡となって析出する
わけである。
そこで、本発明者らは延伸加工時の気泡発生を防ぐため
にガラス中のガス濃度を飽和点以下にすることが有効で
あると考えついた。すなわち、焼結したガラス中からH
e  ガスを揮散させてHe 温度を低下させれば、延
伸加工時の気泡発生の防止が期待できる。
以上の知見に基き本発明者らが鋭意検討したところ、具
体的手段としては焼結体を不活性ガス(Heを除く)分
圧0.8気圧以上の雰囲気下、800〜toooCの温
度内で120〜360分間保持することが有効であった
不活性ガスとしてはN2.Arを用いることができるが
、中でもN2  ガスは不活性ガスとして最も一般的な
ものでコストも低く、しかもガラス中への溶解度が小さ
いため適当である。以下N2ガスで本発明にいう不活性
ガス(Heを除く)を代表して説明する。また雰囲気の
N2  分圧を0.8気圧以上としたことにより、他の
ガス特にガラス中への溶解度の大きいHe 、 H2が
たとえ残存していたとしても、十分にHe  を揮散で
きる。
またN2100チの雰囲気の場合はN2  圧1a t
mが好ましい。
保持温度が800C未満ではガラス中のH6拡散速度が
小さくなυ脱He  効果は得られるものの効果が小さ
い。また7000Cを越えると出発ロッドと合成した透
明ガラスとの界面に存在するOH基(これは出発ロッド
の表面に付着するダストや不純物を除去する目的で出発
ロッドの表面を火炎研摩したことく由来するものである
)が、熱処理に際し、出発材ロッド中に拡散、侵入する
量が無視できなくなるので好ましくない。OH基の吸収
帯は波長1.38μmに存在し、これは元ファイバの使
用波長1.3μ口 又は1.55μmに近いので、OH
基がコアロッドに拡散侵入すると、光ファイバの伝送損
失特性を劣化させる要因となるからである。
保持時間についても同様の事情があシ、120分間未満
では脱Hs  量が不充分で好ましくなく、360分間
を越えても脱He  効果は飽和状態になシ、やはl)
 OH基の拡散量が無視できなくなる。
以上からN2  分圧0.8気圧以上の雰囲気下、80
0〜+ooocの温度範囲で120〜660分間加熱処
理することがガラス焼結体からHeを揮散させるのに最
も有効であシ、この処理後該焼結体を線引き用に延伸加
工してもmae  されているので気泡の発生はみられ
ない。
なお、本発明はガラスロッドの外周にスート付けして、
ガラスロッド−多孔置体複合体を焼結して透明な焼結体
を得る工程によるガラス母材の製造方法であれば、ガラ
ス組成、スーと付は方法の如可んを問わず適用できる。
〔実施例〕
実施例1 出発材として、中心がG e O2添加5in2(比屈
折率差0.5 % )でステップ型屈折率分布のコアと
、5102  からなるクラッド部分を有してなるガラ
スロッドを用意した。該出発ロッド外周に火炎加水分解
反応により生成させたガラス微粒子を堆積して、直径1
50nφ、長さ700龍の多孔質母材を合成した。これ
をHs100%雰囲気の加熱炉中を回転しながら下降さ
せ、直径70Hφ、長さ400mの焼結体を得た。該焼
結体を肉眼観察したところ、微小気泡らしい0.1fl
程度の欠陥存在が認められた。該焼結体をN2 分圧0
.8気圧、温度900Cの加熱炉内に180分間保持し
て熱処理した後、2000Cに加熱して約30分間の延
伸加工を行った。
得られた延伸加ニガラス・ロンドには1醇以上の気泡は
1個も見出されなかった。
比較例1 実施例1と同様に作製し、同程度の欠陥を有する焼結体
を、N2  雰囲気中での熱処理なしで延伸加工したと
ころ、得られた延伸ガラス母材中には1〜2關の気泡が
8個存在していた。
実施例2 上記実施例1と同様の光ファイバ用多孔質母材を作製し
て焼結し透明ガラス体(焼結体)を得た。この焼結体の
熱処理条件を種々に変化させて、その後の延伸加工時に
発生する気泡数を調べ、さらにファイバ化して1.38
μm[おけるOH吸収による伝送損失の変化を調べた。
第2図はN2  分圧は0.8気圧、熱処理温度を60
0Cの一定値くして、保持時間を60分間から480分
間で変化させたときの、気泡数とOH吸収ロス変化を示
す。同図から、600Cで処理すると、420分間の処
理時間をかけても、効果がないことがわかる。また@度
を低くするほど非常に長時間の処理を要することも実験
によシわかった。
第1図にはN2  分圧0.8気圧、熱処理温度800
Cの場合、第6図はN2  分圧0.8気圧、熱処理温
度1200Cの場合の結果を同様に示す。第1図から8
00Cでは60分の処理時間では気泡が7個発生し、ま
た420分以上ではロスも十分低いことがわかる。また
第5図からは、+200t:’ではOH吸収ロスの増大
が著しい。なお800〜+0OoCの温度範囲では第2
図と同様の傾向が見られた。
以上から温度800〜100OCでは時間120分〜3
60分間保持する本発明の条件が有効であることが確認
できた。
〔発明の効果〕
以上説明したように、出発材ガラス微粒子の外周に火炎
加水分解によるガラス微粒子を堆積させて合成した光フ
ァイバ用多孔質母材をH8雰囲気で焼結し、得られた焼
結体を高温で延伸加工するに先たち、N2  雰囲気下
で熱処理する本発明によって、延伸加工時にガラス母材
中に気泡が発生するのを防止でき、光ファイバ用母材製
造の歩留りを向上できると共に、良質な線引母材を得る
ことができるので、断線等なく安定して元ファイバを製
造することを可能とする。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第3図は、焼結体をN2  雰囲気下で加
熱処理するときの@度、保持時間と、延伸工程でのガラ
ス体中の気泡発生数、ファイバ化したもののOH吸収ロ
スとの関係を示すグラフ図である。 !F、1図は温度800Cで、本発明条件で有効な範囲
を示し、第2図は600C,第5図は+2oocの場合
を示す。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ガラスロッドの外周にガラス微粒子を堆積させて
    多孔質ガラス母材を合成し、該多孔質母材をHe雰囲気
    で焼結して透明ガラス化した後に、得られた焼結体を不
    活性ガス(Heを除く)の分圧0.8気圧以上の雰囲気
    で熱処理することを特徴とする光ファイバ用母材の製造
    方法。
  2. (2)該ガラスロッドがクラッドを含むコア母材である
    特許請求の範囲第1項記載の光ファイバ用母材の製造方
    法。
  3. (3)不活性ガス(Heを除く)の分圧0.8気圧以上
    の雰囲気での熱処理が800〜1000℃の温度範囲内
    で120〜360分間保持することを特徴とする特許請
    求の範囲第1項記載の光ファイバ用母材の製造方法。
JP63159058A 1988-06-28 1988-06-28 光フアイバ用母材の製造方法 Granted JPH029727A (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63159058A JPH029727A (ja) 1988-06-28 1988-06-28 光フアイバ用母材の製造方法
KR1019890008705A KR910009177B1 (ko) 1988-06-28 1989-06-23 광파이버용 모재의 제조방법
AU37080/89A AU609621B2 (en) 1988-06-28 1989-06-27 Method for producing glass preform for optical fiber
DE8989111759T DE68904607T2 (de) 1988-06-28 1989-06-28 Verfahren zum herstellen von glasvorformen fuer optische fasern.
EP89111759A EP0348935B1 (en) 1988-06-28 1989-06-28 Method for producing glass preform for optical fiber
US07/372,084 US4978378A (en) 1988-06-28 1989-06-28 Method for producing glass preform for optical fiber
CA000604213A CA1338203C (en) 1988-06-28 1989-06-28 Method for producing glass preform for optical fiber

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63159058A JPH029727A (ja) 1988-06-28 1988-06-28 光フアイバ用母材の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH029727A true JPH029727A (ja) 1990-01-12
JPH0478568B2 JPH0478568B2 (ja) 1992-12-11

Family

ID=15685300

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63159058A Granted JPH029727A (ja) 1988-06-28 1988-06-28 光フアイバ用母材の製造方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4978378A (ja)
EP (1) EP0348935B1 (ja)
JP (1) JPH029727A (ja)
KR (1) KR910009177B1 (ja)
AU (1) AU609621B2 (ja)
CA (1) CA1338203C (ja)
DE (1) DE68904607T2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11591252B2 (en) 2017-05-15 2023-02-28 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method for producing optical fiber preform, and optical fiber preform

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5169421A (en) * 1990-09-15 1992-12-08 The Furukawa Electric Co., Ltd. Method of manufacturing silica glass optical waveguide preform
DE4236578A1 (de) * 1992-10-29 1994-06-23 Deutsche Bundespost Telekom Verfahren und Vorrichtung zur Vorformherstellung für Quarzglas- Lichtwellenleiter
US5356449A (en) * 1993-05-24 1994-10-18 At&T Bell Laboratories Vad process improvements
JPH08259253A (ja) * 1995-03-24 1996-10-08 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバの線引方法及び線引装置
JPH1011022A (ja) 1996-06-18 1998-01-16 Sharp Corp 表示装置の駆動回路
US6289698B1 (en) 1996-08-02 2001-09-18 Corning Incorporated Method of making a fiber preform with increases in alumina concentration at radial distances
JP2003183042A (ja) * 2001-12-14 2003-07-03 Shin Etsu Chem Co Ltd 光ファイバ用母材の製造方法及びその製造方法で製造した光ファイバ用母材
US20030221459A1 (en) * 2002-05-31 2003-12-04 Walczak Wanda J. Method for forming an optical waveguide fiber preform
US20030226376A1 (en) * 2002-06-10 2003-12-11 General Electric Company Fabrication of heavy walled silica tubing
US20040118164A1 (en) * 2002-12-19 2004-06-24 Boek Heather D. Method for heat treating a glass article
CN102583997B (zh) * 2004-11-29 2015-03-11 古河电气工业株式会社 光纤母材、光纤母材的制造方法以及光纤的制造方法
US20060281623A1 (en) * 2005-06-10 2006-12-14 General Electric Company Free-formed quartz glass ingots and method for making the same
US7450806B2 (en) * 2005-11-08 2008-11-11 Corning Incorporated Microstructured optical fibers and methods
JP5314429B2 (ja) * 2006-12-05 2013-10-16 信越石英株式会社 合成不透明石英ガラス及びその製造方法
JP5345352B2 (ja) * 2008-08-04 2013-11-20 株式会社フジクラ 光ファイバ用母材の製造方法
EP3778504A1 (en) * 2019-08-13 2021-02-17 Sterlite Technologies Limited Method for sintering of optical fibre preform

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3806570A (en) * 1972-03-30 1974-04-23 Corning Glass Works Method for producing high quality fused silica
GB1586119A (en) * 1976-07-05 1981-03-18 Fujitsu Ltd Method of producing an optical fibre preform
US4157906A (en) * 1978-02-21 1979-06-12 Corning Glass Works Method of drawing glass optical waveguides
US4251251A (en) * 1979-05-31 1981-02-17 Corning Glass Works Method of making optical devices
DE2938218C2 (de) * 1979-09-21 1986-10-09 Corning Glass Works, Corning, N.Y. Verfahren zur Herstellung eines Glasgegenstandes
DE3133013A1 (de) * 1980-08-26 1982-04-08 Western Electric Co., Inc., 10038 New York, N.Y. "verfahren zum herstellen eines lichtleiterfaserrohlings"
US4586943A (en) * 1983-10-20 1986-05-06 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method for the production of glass preform for optical fibers
JPS60239336A (ja) * 1984-05-11 1985-11-28 Furukawa Electric Co Ltd:The 石英系多孔質ガラス母材の熱処理方法
JPS6148437A (ja) * 1984-08-17 1986-03-10 Sumitomo Electric Ind Ltd GeO↓2−SiO↓2系ガラス母材の製造方法
JPS6172644A (ja) * 1984-09-19 1986-04-14 Sumitomo Electric Ind Ltd 低損失光フアイバの製造方法
JPS6265948A (ja) * 1985-09-14 1987-03-25 Furukawa Electric Co Ltd:The 光フアイバ母材の製造方法
JPS6272537A (ja) * 1985-09-25 1987-04-03 Asahi Glass Co Ltd 高純度石英ガラスの製造方法
JPS62176936A (ja) * 1986-01-30 1987-08-03 Sumitomo Electric Ind Ltd 光フアイバプリフオ−ムの製造方法および製造装置
JPH0196039A (ja) * 1987-10-07 1989-04-14 Sumitomo Electric Ind Ltd 光フアイバ用母材の製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11591252B2 (en) 2017-05-15 2023-02-28 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method for producing optical fiber preform, and optical fiber preform

Also Published As

Publication number Publication date
US4978378A (en) 1990-12-18
DE68904607D1 (de) 1993-03-11
CA1338203C (en) 1996-04-02
AU3708089A (en) 1990-01-04
EP0348935A3 (en) 1990-07-11
KR910000550A (ko) 1991-01-29
EP0348935B1 (en) 1993-01-27
EP0348935A2 (en) 1990-01-03
JPH0478568B2 (ja) 1992-12-11
KR910009177B1 (ko) 1991-11-04
AU609621B2 (en) 1991-05-02
DE68904607T2 (de) 1993-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH029727A (ja) 光フアイバ用母材の製造方法
JPS62275035A (ja) 光フアイバ用母材の製造方法
JPS60260430A (ja) フツ素をクラツド部に含有する光フアイバ用母材の製造方法
JPH06263468A (ja) ガラス母材の製造方法
JPS60251142A (ja) 光フアイバ用母材の製造方法
JPS632900B2 (ja)
JPH0791081B2 (ja) シングルモ−ドフアイバ用ガラス母材の製造方法
JPS63147840A (ja) 石英ガラス材の製造方法
JPH0469569B2 (ja)
JP2620275B2 (ja) ガラスの製造方法
JPH0230633A (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
JPH06127960A (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
JPS5855341A (ja) 光フアイバ−製造方法
JPH089487B2 (ja) 光フアイバ−用ガラス母材の製造方法
JPS6054936A (ja) プリフォ−ムロッドの製造方法
JPH1059730A (ja) 合成石英ガラスの製造方法
JPS62143834A (ja) 光フアイバ用母材の製造方法
JPS6256093B2 (ja)
JPH03232732A (ja) 耐水素性光ファイバ用ガラス母材の製造方法
JPH0329732B2 (ja)
JPH0226848A (ja) 高純度石英ガラスの製造方法
JPH02157136A (ja) 酸窒化ガラスの製造方法および酸窒化ガラス被覆光ファイバ母材の製造方法
JPH01203238A (ja) 光フアイバ用母材の製造方法
JPH05221674A (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JPS63315531A (ja) 光ファイバ母材の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071211

Year of fee payment: 15

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081211

Year of fee payment: 16

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081211

Year of fee payment: 16