JPH029727A - 光フアイバ用母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ用母材の製造方法Info
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- JPH029727A JPH029727A JP63159058A JP15905888A JPH029727A JP H029727 A JPH029727 A JP H029727A JP 63159058 A JP63159058 A JP 63159058A JP 15905888 A JP15905888 A JP 15905888A JP H029727 A JPH029727 A JP H029727A
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 56
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000005373 porous glass Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 9
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 4
- 238000004017 vitrification Methods 0.000 claims description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 5
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract 3
- 239000011162 core material Substances 0.000 abstract 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 4
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N germanium dioxide Chemical compound O=[Ge]=O YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000007380 fibre production Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000007524 flame polishing Methods 0.000 description 1
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 1
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005491 wire drawing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/10—Non-chemical treatment
- C03B37/12—Non-chemical treatment of fibres or filaments during winding up
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B20/00—Processes specially adapted for the production of quartz or fused silica articles, not otherwise provided for
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/10—Non-chemical treatment
- C03B37/14—Re-forming fibres or filaments, i.e. changing their shape
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S65/00—Glass manufacturing
- Y10S65/90—Drying, dehydration, minimizing oh groups
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は元ファイバ用母材の製造方法に関するものであ
る。
る。
光ファイバ用母材の製造法の一つとして、従来、ガラス
原料を火災加水分解反応させて生成したガラス微粒子を
、回転する出発材ガラス微粒子の外周部に堆積させてゆ
き(スート付けともいう)、回転軸方向に多孔質体を成
長させてガラスロッドとその外周の多孔質体からなる多
孔質母材を得た後、該多孔質母材を高温電気炉中で焼結
し透明ガラス化する方法が行われている。この焼結工程
で重要な点は、気泡残留等のない完全に透明なガラス母
材を得ることである。
原料を火災加水分解反応させて生成したガラス微粒子を
、回転する出発材ガラス微粒子の外周部に堆積させてゆ
き(スート付けともいう)、回転軸方向に多孔質体を成
長させてガラスロッドとその外周の多孔質体からなる多
孔質母材を得た後、該多孔質母材を高温電気炉中で焼結
し透明ガラス化する方法が行われている。この焼結工程
で重要な点は、気泡残留等のない完全に透明なガラス母
材を得ることである。
ここで、焼結とは、多孔質母材を構成するガラス微粒子
相互の融着が進み、該母材中の空隙が徐々に孤立してゆ
く過程であると言える。この孤立した空隙が収縮し、消
滅して完全に透明なガラス体となるには、焼結雰囲気が
重要なファクターとなっていて、ガラス中での溶解度の
大きいガス雰囲気下で焼結した場合に容易に透明なガラ
スが得られる。具体的にはAr又はN2雰囲気では残留
気泡が生じるが、溶解度の大きいHs 雰囲気では、
残留気泡のない透明なガラスを得やすいことが判ってい
る。このため、多孔質母材はHe 雰囲気下で焼結する
のが一般的である。
相互の融着が進み、該母材中の空隙が徐々に孤立してゆ
く過程であると言える。この孤立した空隙が収縮し、消
滅して完全に透明なガラス体となるには、焼結雰囲気が
重要なファクターとなっていて、ガラス中での溶解度の
大きいガス雰囲気下で焼結した場合に容易に透明なガラ
スが得られる。具体的にはAr又はN2雰囲気では残留
気泡が生じるが、溶解度の大きいHs 雰囲気では、
残留気泡のない透明なガラスを得やすいことが判ってい
る。このため、多孔質母材はHe 雰囲気下で焼結する
のが一般的である。
上記の従来法により製造された光ファイバ母材は、次の
線引工程くおいて外径100〜200μm の細い光フ
ァイバに引き伸ばされる。この線引工程では元ファイバ
用母材をまず適当な外径の線引可能形状に加工する必要
があるため、+900p以上の高温に加熱して延伸成形
される。このとき、ガラス母材中に、特にその出発材ガ
ラスロッドとスート付けKよす合成したガラスとの界面
に、微小な結晶粒、気泡等の欠陥が存在していた場合に
は、これらの欠韻が大型化して、延伸ガラス母材中に気
泡が発生し、延伸ガラスロッド製造歩留シを著しく低下
させる問題がちった。具体的にはガラス母材中に直径0
.1〜0.5 ta程度の結晶粒や気泡が存在している
と、延伸後のガラスロッドでは1〜51程度の気泡に大
型化してしまう。このような大型の気泡のあるガラスロ
ッドを線引きすると、ファイバが断線して安定な製造が
不可能である。
線引工程くおいて外径100〜200μm の細い光フ
ァイバに引き伸ばされる。この線引工程では元ファイバ
用母材をまず適当な外径の線引可能形状に加工する必要
があるため、+900p以上の高温に加熱して延伸成形
される。このとき、ガラス母材中に、特にその出発材ガ
ラスロッドとスート付けKよす合成したガラスとの界面
に、微小な結晶粒、気泡等の欠陥が存在していた場合に
は、これらの欠韻が大型化して、延伸ガラス母材中に気
泡が発生し、延伸ガラスロッド製造歩留シを著しく低下
させる問題がちった。具体的にはガラス母材中に直径0
.1〜0.5 ta程度の結晶粒や気泡が存在している
と、延伸後のガラスロッドでは1〜51程度の気泡に大
型化してしまう。このような大型の気泡のあるガラスロ
ッドを線引きすると、ファイバが断線して安定な製造が
不可能である。
本発明の目的は、上記の問題点を解消して、延伸成形し
て線引母材としても気泡や結晶粒がなく、安定なファイ
バ製造を可能とする光ファイバ母材の製造方法を提供す
ることにあシ、特にその多孔質母材から透明ガラス母材
への焼結方法の改良にある。
て線引母材としても気泡や結晶粒がなく、安定なファイ
バ製造を可能とする光ファイバ母材の製造方法を提供す
ることにあシ、特にその多孔質母材から透明ガラス母材
への焼結方法の改良にある。
本発明者らは研究努力の結果、He 雰囲気中で焼結
して得られた透明ガラス母材をさら(CN 2又はAr
等のHe以外の不活性ガス含有雰囲気中で加熱処理する
という手段で、上記の目的を達成できることを見出した
。
して得られた透明ガラス母材をさら(CN 2又はAr
等のHe以外の不活性ガス含有雰囲気中で加熱処理する
という手段で、上記の目的を達成できることを見出した
。
本発明はガラスロッドの外周にガラス微粒子を堆積させ
て多孔質ガラス母材を合盾し、該多孔質母材をH@ 雰
囲気で焼結して透明ガラス化した後に、得られた焼結体
を不活性ガス(Hsを除く)の分圧0.8気圧以上の雰
囲気で熱処理することを特徴とする光ファイバ用母材の
製造方法である。
て多孔質ガラス母材を合盾し、該多孔質母材をH@ 雰
囲気で焼結して透明ガラス化した後に、得られた焼結体
を不活性ガス(Hsを除く)の分圧0.8気圧以上の雰
囲気で熱処理することを特徴とする光ファイバ用母材の
製造方法である。
本発明の特KtEましい実施態様としては、不活性ガス
()Isを除く)の分圧0.8気圧以上の雰囲気での熱
処理が800〜tooot:’の温度範囲内で120〜
360分間保持することを特徴とする上記方法が挙げら
れる。また、該ガラスロッドが、クラッドを含むコア母
材であれば、コア径に対してクラツド径が大ぎい型の光
ファイバ用母材を高品質に歩留り良く製造することがで
きる。
()Isを除く)の分圧0.8気圧以上の雰囲気での熱
処理が800〜tooot:’の温度範囲内で120〜
360分間保持することを特徴とする上記方法が挙げら
れる。また、該ガラスロッドが、クラッドを含むコア母
材であれば、コア径に対してクラツド径が大ぎい型の光
ファイバ用母材を高品質に歩留り良く製造することがで
きる。
本発明において多孔質ガラス体を製造し、これを焼結し
て透明ガラス体とするところまでは、従来技術によシ行
う。即ち、ガラス微粒子合成用バーナK例えば5icz
’4等のガラス原料ガス、N2.CI(4等の燃焼ガス
、02等の助燃ガスを導入して、該バーナの火炎中で上
記ガラス原料を火炎加水分解反応させることKよりガラ
ス微粒子を生成させて、これを回転する出発材ガラスロ
ッドの外周に堆積させて、ガラスロントド多孔質ガラス
体からなる複合体を得る。この複合体を加熱炉中、He
雰囲気下で温度1500〜1650C程度に加熱し
て該複合体を透明化する。
て透明ガラス体とするところまでは、従来技術によシ行
う。即ち、ガラス微粒子合成用バーナK例えば5icz
’4等のガラス原料ガス、N2.CI(4等の燃焼ガス
、02等の助燃ガスを導入して、該バーナの火炎中で上
記ガラス原料を火炎加水分解反応させることKよりガラ
ス微粒子を生成させて、これを回転する出発材ガラスロ
ッドの外周に堆積させて、ガラスロントド多孔質ガラス
体からなる複合体を得る。この複合体を加熱炉中、He
雰囲気下で温度1500〜1650C程度に加熱し
て該複合体を透明化する。
本発明の特徴とするところは、この透明化した焼結体を
さらに不活性ガス(Heを除く)の分圧0.8気圧以上
の雰囲気で、好ましくは800〜1000pの温度範囲
内で120〜360分間、加熱処理する点にある。この
処理により、その後の高温での延伸処理における欠陥の
大型化を防止できて、歩留まυ良く高品質の光ファイバ
母材用延伸ロンドが得られる。
さらに不活性ガス(Heを除く)の分圧0.8気圧以上
の雰囲気で、好ましくは800〜1000pの温度範囲
内で120〜360分間、加熱処理する点にある。この
処理により、その後の高温での延伸処理における欠陥の
大型化を防止できて、歩留まυ良く高品質の光ファイバ
母材用延伸ロンドが得られる。
本発明では雰囲気中の不活性ガス(1(eを除く)分圧
が0.8気圧以上であればその他の含有ガスについて制
限するところはなく、例えばN2 分圧が0.8気圧
以上の空気を用いることもできる。
が0.8気圧以上であればその他の含有ガスについて制
限するところはなく、例えばN2 分圧が0.8気圧
以上の空気を用いることもできる。
従来法により、光ファイバ用多孔質母材をHe雰囲気で
焼結し六後延伸加工して得たガラスロッド中に発生した
気泡をガス分析したところ、その主成分はHe であ
った。この事実から、焼結時にガラス内に溶解したH6
が延伸加工時に発泡することが気泡発生の原因と考
えられる。
焼結し六後延伸加工して得たガラスロッド中に発生した
気泡をガス分析したところ、その主成分はHe であ
った。この事実から、焼結時にガラス内に溶解したH6
が延伸加工時に発泡することが気泡発生の原因と考
えられる。
一般にガラス中への気体の溶解度は高温になるほど小さ
くなる傾向がある。したがって、延伸加工時の+ 90
0tl:’以上という高温状態ではガラス中に溶解して
いたH8 が過飽和にな)、一方のガラスは充分に軟
化しているので、過剰He が気泡となって析出する
わけである。
くなる傾向がある。したがって、延伸加工時の+ 90
0tl:’以上という高温状態ではガラス中に溶解して
いたH8 が過飽和にな)、一方のガラスは充分に軟
化しているので、過剰He が気泡となって析出する
わけである。
そこで、本発明者らは延伸加工時の気泡発生を防ぐため
にガラス中のガス濃度を飽和点以下にすることが有効で
あると考えついた。すなわち、焼結したガラス中からH
e ガスを揮散させてHe 温度を低下させれば、延
伸加工時の気泡発生の防止が期待できる。
にガラス中のガス濃度を飽和点以下にすることが有効で
あると考えついた。すなわち、焼結したガラス中からH
e ガスを揮散させてHe 温度を低下させれば、延
伸加工時の気泡発生の防止が期待できる。
以上の知見に基き本発明者らが鋭意検討したところ、具
体的手段としては焼結体を不活性ガス(Heを除く)分
圧0.8気圧以上の雰囲気下、800〜toooCの温
度内で120〜360分間保持することが有効であった
。
体的手段としては焼結体を不活性ガス(Heを除く)分
圧0.8気圧以上の雰囲気下、800〜toooCの温
度内で120〜360分間保持することが有効であった
。
不活性ガスとしてはN2.Arを用いることができるが
、中でもN2 ガスは不活性ガスとして最も一般的な
ものでコストも低く、しかもガラス中への溶解度が小さ
いため適当である。以下N2ガスで本発明にいう不活性
ガス(Heを除く)を代表して説明する。また雰囲気の
N2 分圧を0.8気圧以上としたことにより、他の
ガス特にガラス中への溶解度の大きいHe 、 H2が
たとえ残存していたとしても、十分にHe を揮散で
きる。
、中でもN2 ガスは不活性ガスとして最も一般的な
ものでコストも低く、しかもガラス中への溶解度が小さ
いため適当である。以下N2ガスで本発明にいう不活性
ガス(Heを除く)を代表して説明する。また雰囲気の
N2 分圧を0.8気圧以上としたことにより、他の
ガス特にガラス中への溶解度の大きいHe 、 H2が
たとえ残存していたとしても、十分にHe を揮散で
きる。
またN2100チの雰囲気の場合はN2 圧1a t
mが好ましい。
mが好ましい。
保持温度が800C未満ではガラス中のH6拡散速度が
小さくなυ脱He 効果は得られるものの効果が小さ
い。また7000Cを越えると出発ロッドと合成した透
明ガラスとの界面に存在するOH基(これは出発ロッド
の表面に付着するダストや不純物を除去する目的で出発
ロッドの表面を火炎研摩したことく由来するものである
)が、熱処理に際し、出発材ロッド中に拡散、侵入する
量が無視できなくなるので好ましくない。OH基の吸収
帯は波長1.38μmに存在し、これは元ファイバの使
用波長1.3μ口 又は1.55μmに近いので、OH
基がコアロッドに拡散侵入すると、光ファイバの伝送損
失特性を劣化させる要因となるからである。
小さくなυ脱He 効果は得られるものの効果が小さ
い。また7000Cを越えると出発ロッドと合成した透
明ガラスとの界面に存在するOH基(これは出発ロッド
の表面に付着するダストや不純物を除去する目的で出発
ロッドの表面を火炎研摩したことく由来するものである
)が、熱処理に際し、出発材ロッド中に拡散、侵入する
量が無視できなくなるので好ましくない。OH基の吸収
帯は波長1.38μmに存在し、これは元ファイバの使
用波長1.3μ口 又は1.55μmに近いので、OH
基がコアロッドに拡散侵入すると、光ファイバの伝送損
失特性を劣化させる要因となるからである。
保持時間についても同様の事情があシ、120分間未満
では脱Hs 量が不充分で好ましくなく、360分間
を越えても脱He 効果は飽和状態になシ、やはl)
OH基の拡散量が無視できなくなる。
では脱Hs 量が不充分で好ましくなく、360分間
を越えても脱He 効果は飽和状態になシ、やはl)
OH基の拡散量が無視できなくなる。
以上からN2 分圧0.8気圧以上の雰囲気下、80
0〜+ooocの温度範囲で120〜660分間加熱処
理することがガラス焼結体からHeを揮散させるのに最
も有効であシ、この処理後該焼結体を線引き用に延伸加
工してもmae されているので気泡の発生はみられ
ない。
0〜+ooocの温度範囲で120〜660分間加熱処
理することがガラス焼結体からHeを揮散させるのに最
も有効であシ、この処理後該焼結体を線引き用に延伸加
工してもmae されているので気泡の発生はみられ
ない。
なお、本発明はガラスロッドの外周にスート付けして、
ガラスロッド−多孔置体複合体を焼結して透明な焼結体
を得る工程によるガラス母材の製造方法であれば、ガラ
ス組成、スーと付は方法の如可んを問わず適用できる。
ガラスロッド−多孔置体複合体を焼結して透明な焼結体
を得る工程によるガラス母材の製造方法であれば、ガラ
ス組成、スーと付は方法の如可んを問わず適用できる。
実施例1
出発材として、中心がG e O2添加5in2(比屈
折率差0.5 % )でステップ型屈折率分布のコアと
、5102 からなるクラッド部分を有してなるガラ
スロッドを用意した。該出発ロッド外周に火炎加水分解
反応により生成させたガラス微粒子を堆積して、直径1
50nφ、長さ700龍の多孔質母材を合成した。これ
をHs100%雰囲気の加熱炉中を回転しながら下降さ
せ、直径70Hφ、長さ400mの焼結体を得た。該焼
結体を肉眼観察したところ、微小気泡らしい0.1fl
程度の欠陥存在が認められた。該焼結体をN2 分圧0
.8気圧、温度900Cの加熱炉内に180分間保持し
て熱処理した後、2000Cに加熱して約30分間の延
伸加工を行った。
折率差0.5 % )でステップ型屈折率分布のコアと
、5102 からなるクラッド部分を有してなるガラ
スロッドを用意した。該出発ロッド外周に火炎加水分解
反応により生成させたガラス微粒子を堆積して、直径1
50nφ、長さ700龍の多孔質母材を合成した。これ
をHs100%雰囲気の加熱炉中を回転しながら下降さ
せ、直径70Hφ、長さ400mの焼結体を得た。該焼
結体を肉眼観察したところ、微小気泡らしい0.1fl
程度の欠陥存在が認められた。該焼結体をN2 分圧0
.8気圧、温度900Cの加熱炉内に180分間保持し
て熱処理した後、2000Cに加熱して約30分間の延
伸加工を行った。
得られた延伸加ニガラス・ロンドには1醇以上の気泡は
1個も見出されなかった。
1個も見出されなかった。
比較例1
実施例1と同様に作製し、同程度の欠陥を有する焼結体
を、N2 雰囲気中での熱処理なしで延伸加工したと
ころ、得られた延伸ガラス母材中には1〜2關の気泡が
8個存在していた。
を、N2 雰囲気中での熱処理なしで延伸加工したと
ころ、得られた延伸ガラス母材中には1〜2關の気泡が
8個存在していた。
実施例2
上記実施例1と同様の光ファイバ用多孔質母材を作製し
て焼結し透明ガラス体(焼結体)を得た。この焼結体の
熱処理条件を種々に変化させて、その後の延伸加工時に
発生する気泡数を調べ、さらにファイバ化して1.38
μm[おけるOH吸収による伝送損失の変化を調べた。
て焼結し透明ガラス体(焼結体)を得た。この焼結体の
熱処理条件を種々に変化させて、その後の延伸加工時に
発生する気泡数を調べ、さらにファイバ化して1.38
μm[おけるOH吸収による伝送損失の変化を調べた。
第2図はN2 分圧は0.8気圧、熱処理温度を60
0Cの一定値くして、保持時間を60分間から480分
間で変化させたときの、気泡数とOH吸収ロス変化を示
す。同図から、600Cで処理すると、420分間の処
理時間をかけても、効果がないことがわかる。また@度
を低くするほど非常に長時間の処理を要することも実験
によシわかった。
0Cの一定値くして、保持時間を60分間から480分
間で変化させたときの、気泡数とOH吸収ロス変化を示
す。同図から、600Cで処理すると、420分間の処
理時間をかけても、効果がないことがわかる。また@度
を低くするほど非常に長時間の処理を要することも実験
によシわかった。
第1図にはN2 分圧0.8気圧、熱処理温度800
Cの場合、第6図はN2 分圧0.8気圧、熱処理温
度1200Cの場合の結果を同様に示す。第1図から8
00Cでは60分の処理時間では気泡が7個発生し、ま
た420分以上ではロスも十分低いことがわかる。また
第5図からは、+200t:’ではOH吸収ロスの増大
が著しい。なお800〜+0OoCの温度範囲では第2
図と同様の傾向が見られた。
Cの場合、第6図はN2 分圧0.8気圧、熱処理温
度1200Cの場合の結果を同様に示す。第1図から8
00Cでは60分の処理時間では気泡が7個発生し、ま
た420分以上ではロスも十分低いことがわかる。また
第5図からは、+200t:’ではOH吸収ロスの増大
が著しい。なお800〜+0OoCの温度範囲では第2
図と同様の傾向が見られた。
以上から温度800〜100OCでは時間120分〜3
60分間保持する本発明の条件が有効であることが確認
できた。
60分間保持する本発明の条件が有効であることが確認
できた。
以上説明したように、出発材ガラス微粒子の外周に火炎
加水分解によるガラス微粒子を堆積させて合成した光フ
ァイバ用多孔質母材をH8雰囲気で焼結し、得られた焼
結体を高温で延伸加工するに先たち、N2 雰囲気下
で熱処理する本発明によって、延伸加工時にガラス母材
中に気泡が発生するのを防止でき、光ファイバ用母材製
造の歩留りを向上できると共に、良質な線引母材を得る
ことができるので、断線等なく安定して元ファイバを製
造することを可能とする。
加水分解によるガラス微粒子を堆積させて合成した光フ
ァイバ用多孔質母材をH8雰囲気で焼結し、得られた焼
結体を高温で延伸加工するに先たち、N2 雰囲気下
で熱処理する本発明によって、延伸加工時にガラス母材
中に気泡が発生するのを防止でき、光ファイバ用母材製
造の歩留りを向上できると共に、良質な線引母材を得る
ことができるので、断線等なく安定して元ファイバを製
造することを可能とする。
第1図ないし第3図は、焼結体をN2 雰囲気下で加
熱処理するときの@度、保持時間と、延伸工程でのガラ
ス体中の気泡発生数、ファイバ化したもののOH吸収ロ
スとの関係を示すグラフ図である。 !F、1図は温度800Cで、本発明条件で有効な範囲
を示し、第2図は600C,第5図は+2oocの場合
を示す。
熱処理するときの@度、保持時間と、延伸工程でのガラ
ス体中の気泡発生数、ファイバ化したもののOH吸収ロ
スとの関係を示すグラフ図である。 !F、1図は温度800Cで、本発明条件で有効な範囲
を示し、第2図は600C,第5図は+2oocの場合
を示す。
Claims (3)
- (1)ガラスロッドの外周にガラス微粒子を堆積させて
多孔質ガラス母材を合成し、該多孔質母材をHe雰囲気
で焼結して透明ガラス化した後に、得られた焼結体を不
活性ガス(Heを除く)の分圧0.8気圧以上の雰囲気
で熱処理することを特徴とする光ファイバ用母材の製造
方法。 - (2)該ガラスロッドがクラッドを含むコア母材である
特許請求の範囲第1項記載の光ファイバ用母材の製造方
法。 - (3)不活性ガス(Heを除く)の分圧0.8気圧以上
の雰囲気での熱処理が800〜1000℃の温度範囲内
で120〜360分間保持することを特徴とする特許請
求の範囲第1項記載の光ファイバ用母材の製造方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63159058A JPH029727A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
KR1019890008705A KR910009177B1 (ko) | 1988-06-28 | 1989-06-23 | 광파이버용 모재의 제조방법 |
AU37080/89A AU609621B2 (en) | 1988-06-28 | 1989-06-27 | Method for producing glass preform for optical fiber |
DE8989111759T DE68904607T2 (de) | 1988-06-28 | 1989-06-28 | Verfahren zum herstellen von glasvorformen fuer optische fasern. |
EP89111759A EP0348935B1 (en) | 1988-06-28 | 1989-06-28 | Method for producing glass preform for optical fiber |
US07/372,084 US4978378A (en) | 1988-06-28 | 1989-06-28 | Method for producing glass preform for optical fiber |
CA000604213A CA1338203C (en) | 1988-06-28 | 1989-06-28 | Method for producing glass preform for optical fiber |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63159058A JPH029727A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH029727A true JPH029727A (ja) | 1990-01-12 |
JPH0478568B2 JPH0478568B2 (ja) | 1992-12-11 |
Family
ID=15685300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63159058A Granted JPH029727A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4978378A (ja) |
EP (1) | EP0348935B1 (ja) |
JP (1) | JPH029727A (ja) |
KR (1) | KR910009177B1 (ja) |
AU (1) | AU609621B2 (ja) |
CA (1) | CA1338203C (ja) |
DE (1) | DE68904607T2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US11591252B2 (en) | 2017-05-15 | 2023-02-28 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method for producing optical fiber preform, and optical fiber preform |
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JP5314429B2 (ja) * | 2006-12-05 | 2013-10-16 | 信越石英株式会社 | 合成不透明石英ガラス及びその製造方法 |
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EP3778504A1 (en) * | 2019-08-13 | 2021-02-17 | Sterlite Technologies Limited | Method for sintering of optical fibre preform |
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US4251251A (en) * | 1979-05-31 | 1981-02-17 | Corning Glass Works | Method of making optical devices |
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-
1988
- 1988-06-28 JP JP63159058A patent/JPH029727A/ja active Granted
-
1989
- 1989-06-23 KR KR1019890008705A patent/KR910009177B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1989-06-27 AU AU37080/89A patent/AU609621B2/en not_active Ceased
- 1989-06-28 US US07/372,084 patent/US4978378A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-06-28 DE DE8989111759T patent/DE68904607T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-06-28 CA CA000604213A patent/CA1338203C/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-06-28 EP EP89111759A patent/EP0348935B1/en not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US11591252B2 (en) | 2017-05-15 | 2023-02-28 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method for producing optical fiber preform, and optical fiber preform |
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Publication number | Publication date |
---|---|
US4978378A (en) | 1990-12-18 |
DE68904607D1 (de) | 1993-03-11 |
CA1338203C (en) | 1996-04-02 |
AU3708089A (en) | 1990-01-04 |
EP0348935A3 (en) | 1990-07-11 |
KR910000550A (ko) | 1991-01-29 |
EP0348935B1 (en) | 1993-01-27 |
EP0348935A2 (en) | 1990-01-03 |
JPH0478568B2 (ja) | 1992-12-11 |
KR910009177B1 (ko) | 1991-11-04 |
AU609621B2 (en) | 1991-05-02 |
DE68904607T2 (de) | 1993-07-15 |
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