JP5042297B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
以下の説明では、ウェハ基板上に半導体素子が形成された段階(ダイシング前の段階)のものを「半導体ウェハ」と呼ぶ。また、半導体チップを、単に「チップ」とも呼んで説明する。
また、チップとパッケージ用回路基板との接続には、インターポーザと称される接点付きのフレキシブル配線回路基板を間に介在させる場合もある(特許文献1、2)。
よって、従来では、特許文献1、2などに示されているとおり、先ず、金属支持基板上にフレキシブルな配線回路基板を形成して適当な剛性を持った該配線回路基板とし、工程での取り扱い性を改善した状態でチップ実装を行ない、さらに、配線回路基板上のチップを樹脂で覆い封止した後で、金属支持基板を除去するといった方法が用いられている。
従って、チップを樹脂にて封止するに際しては、図6(a)に示すように、大面積の配線回路基板100上に多数実装されたチップ200に対して液状の樹脂300を滴下し、図6(b)に示すように、成形型(上型400と下型410とを含む)によって加圧と加熱とを行ない、樹脂を硬化させて封止を完了する。大面積の配線回路基板100上において多数のチップが一体的に樹脂封止された状態のものは、その後、金属製支持体層110が除去され、個々の半導体装置へと分断される。
その2つの加工のうちの1つは、図6(a)、(b)に示すような、液状樹脂を型内で硬化させる封止加工であって、液状樹脂を取り扱うために、該液状樹脂の供給や、封止における樹脂量や品質の管理が煩雑であり、これらの変動によって成形品位のばらつきが起き易い。また、樹脂供給系のメンテナンス作業に手間がかかるなどの問題がある。
また、液状樹脂による封止加工では、滴下された樹脂が型内で加圧され細部に行きわたる際に、液状樹脂が横方向へ流れるため、素子に大きな横方向の力が作用する場合があり、それによって素子の位置がずれ、素子と配線回路基板との接続が破壊されるといった問題もあることがわかった。
前記2つの加工のうちの他の1つは、樹脂封止の後で金属支持基板を除去する加工であって、金属支持基板と配線回路基板とが一体不可分な積層体として形成されているために、金属支持基板を除去する手段としてエッチングを用いなければならない。このようなエッチングによる金属支持基板の除去は、従来では当然の加工として特に問題にはされていなかったが、レジストの付与、エッチング液への浸漬、レジストの除去、洗浄など、製造工程が煩雑であり、製造コストを高くしている。また、金属支持基板が消失するので、該金属支持基板を再利用することができないことも問題である。
(1)半導体チップが配線回路基板上に実装されかつ樹脂封止された構造を有する半導体装置の製造方法であって、
半導体チップの電極に接続し得る接続用導体部を持った配線回路基板を、金属製支持体層上に、該金属製支持体層から剥離可能となるように、かつ、接続用導体部が該配線回路基板の上面側に位置するように形成する工程と、
前記配線回路基板の接続用導体部と半導体チップの電極とを接続して、該配線回路基板に半導体チップを実装する工程と、
前記配線回路基板に実装された半導体チップ上に封止用樹脂組成物からなるシート状樹脂組成物を配置し加熱することによって、封止用樹脂組成物によって半導体チップを封止する工程と、
前記封止の後、金属製支持体層を配線回路基板から剥離する工程とを、
有することを特微とする、前記半導体装置の製造方法。
(2)金属製支持体層と配線回路基板との間に剥離層が形成されており、それによって、金属製支持体層から配線回路基板が剥離可能となっている、上記(1)記載の製造方法。
(3)剥離層が、
(I)ポリイミドからなる層、または、
(II)金属、金属酸化物、無機酸化物から選ばれる1つの材料からなる層
である、上記(2)記載の製造方法。
とりわけ、シート状樹脂組成物は、固形のシートであるから、工程における樹脂組成物の取り扱いや型内への送り込みもシートであるため容易であり、また、予め決定された所定の厚さにてシートが供給されるため、成形装置内で樹脂を計量する必要がない。また、シート中にボイド等が含まれていないため、ボイドを含まない成型物が容易に得られる。
さらに、シート状樹脂組成物による樹脂封止では、該シート状樹脂組成物が最初から全ての素子を均等に覆うように配置されるので、樹脂組成物が横方向に流れることが少なく、よって、チップが横方向にずれるといった問題も抑制される。
また、金属製支持体層の除去工程においても、金属箔のまま剥がすといった簡単な加工になることに加え、剥がした金属製支持体層を再利用することも可能になり、製造コストを低減することができる。
当該製造方法は、先ず、該配線回路基板2を、金属製支持体層1の上に、該支持体層から剥離可能となるように形成する。同図の例では、剥離層5を介在させることによって、剥離可能な積層状態となっている。剥離層については後述する。
次に、図1(a)に示すように、配線回路基板2の接続用導体部と半導体チップ3の電極(図示せず)とを接続して、該配線回路基板に半導体チップを実装する。
次に、図1(b)に示すように、配線回路基板に実装された半導体チップ上に封止用樹脂組成物からなるシート状樹脂組成物Tを配置し加熱することによって(必要に応じて加圧をも行って)、図1(c)に示すように、前記シート状樹脂組成物Tの材料である封止用樹脂組成物tによって半導体チップを封止する。
前記封止の後、図1(d)に示すように、金属製支持体層1を配線回路基板2から剥離する。このとき、図1の態様では、金属製支持体層1と剥離層5とが一体となって、シート状を呈したまま、配線回路基板2から剥離する。
以上の加工工程を有することによって、発明の効果の説明で述べたとおり、チップ実装の後の樹脂封止の工程と、金属製支持体層の剥離の工程とが大きく簡略化され、製造コストを低減することができる。
図1の例では、説明のために3つのチップを描いているが、実際の製造では、1枚に集合した配線回路基板上に実装し得るチップの数は、40〜100程度であり、その配置パターンは、分断加工が容易なように、行列状の配置パターンとするのが好ましい。
実際の製造工程では、接続用導体部21が露出している面を、さらに剥離ライナーで覆い、半導体チップとの接続に臨んで該剥離ライナーを剥がして用いてもよい。
図2では、配線回路基板2に1つのチップが実装される状態を拡大して描いているが、上記したように、配線回路基板は、多数のチップが実装できるものであってよく、そのままアレイとして、または、個々の半導体装置へと分断し得るものであってよい。
尚、図2(b)では、実装後の接続用導体部21、電極31のそれぞれの突起を省略して描いている。実際の工程においても、半導体チップ3と配線回路基板2とは加圧によって隙間無く密着する。
半導体素子を形成するためのウェハ基板は、シリコンなどの半導体結晶基板の他、絶縁性の結晶基板、ガラス基板、有機化合物からなる基板など、半導体素子のためのあらゆる基板であってよい。これらの基板のなかでも、最も汎用的なものはシリコン結晶基板(シリコンウェハ)である。
また、半導体素子は、半導体ウェハの段階で再配線層が形成されたものであってもよく、また、素子の基板を貫通するスルーホールビア(導通路)が形成されて、チップ本来の電極とは反対側の面(素子の基板の裏面)まで電極が延伸している態様であってもよい。
また、上記のように、素子の基板にスルーホールビア(導通路)が設けられ、半導体チップの電極が裏面側へと連絡し得る構造となっている場合には、配線回路基板の接続用導体部を該スルーホールビアの端子に接続してもよい。また、その場合には、配線回路基板を、チップ側において、チップの電極とスルーホールビアとを接続するために用いてもよ
く、裏面側およびチップ側の両方に配線回路基板を積層してもよい。
チップの電極と配線回路基板の接続用導体部との接続は、ワイヤーボンディングであってもよいが、フリップチップ実装などのように、チップの電極を接続用導体部に直接的に接合する実装態様が好ましい。
フリップチップ実装の場合の接合方法としては、公知の方法を用いることができ、例えば、Au−Au接合、Auスタッドバンプ−はんだ接合、はんだバンプ接合、Agペーストを用いた接合、ACF(異方導電性フィルム)やNCF(非導電性フィルム)を用いた接合が挙げられる。ファインピッチに対応するために、Auスタッドバンプ−はんだ接合が好適に用いられる。また、チップと当該配線回路基板との間に、バンプ高さなどの為に間隙が生じる場合には、アンダーフィル材料などを充填してもよい。
このような典型的な構造例以外に、例えば、図3(a)に示すように、特定の接続用導体部21a、21b同士が互いに接続された構造や、逆に、1つの接続用導体部が複数の外部接続用導体部と接続された構造(図示せず)、また、図3(b)に示すように、特定の接続用導体部21a、21b同士が層内で互いに接続されているだけで、下面の外部接続用導体部とは接続されていない構造など、その接続構造のパターンは用途に応じて自由に変更し、組合せてよい。
配線回路基板内の配線(層内を横方向に延びる導体層)は、図2、図3、図4(a)に示すように単層であってもよいし、図4(b)に示すように多層であってもよい。
図4(a)に示す例では、絶縁層20の内部に導体層23が所定の接続パターンにて形成されており、該導体層23から素子側へ延びた導通路(金属柱)24の先端部が接続用導体部21となっており、逆に、該導体層23から金属製支持体層側へ延びた導通路(金属柱)25の先端部が外部接続用導体部22となっている。図の例では、それぞれの導通路の先端部には、電気的な接続をより好ましく行い耐食性を高めるための金属膜が形成されている。
図4(b)に示す例では、絶縁層20の内部に、素子側の導体層26と、金属製支持体層側の導体層27とが、上下2段に分離した状態にて設けられている。素子側の導体層26は、絶縁層内に埋没しており(図の例では、接着剤層20bによって覆われている)、金属製支持体層側の導体層27は、図の例では、剥離層5に直接隣接して設けられている。これら導体層26、27は、それらの間の所定位置に設けられた導通路28によって互いに接続されている。接着剤層20bの上面には、所定の位置に開口が設けられて導体層26が露出しており、その開口内の露出部分が、素子との接続用導体部21となっている。一方、図の例では、金属製支持体層側の導体層27の下面は、全面的に絶縁層の下面に露出しており、金属製支持体層1の下面の所定位置に開口(貫通孔h)が設けられ、剥離層5が除去されて、導体層27の下面が露出しており、その開口内の露出部分が、外部接続用導体部22となっている。それぞれの開口内の露出部分は、単に導体層が露出しただ
けの態様であってもよいが、図の例では、電気的な接続をより好ましく行い耐食性を高めるための金属膜が各露出部分の表面に形成されている。
前記した金属膜の形成方法はメッキが好ましく、該金属膜の材料としては、銅、金、銀、白金、鉛、錫、ニッケル、コバルト、インジウム、ロジウム、クロム、タングステン、ルテニウムなどの単独金属、またはこれら2種類以上からなる合金などが挙げられる。これらの中でも好ましい材料としては、金、錫、ニッケルなどが挙げられ、下地層をNiとし、表層をAuとする2層構造などが好ましい金属膜の態様として挙げられる。
また、図4(a)、(b)に示すように、金属製支持体層に対して、外部接続用導体部22の位置に開口(貫通孔h)を設けることによって、外部接続用導体部22の先端部を絶縁層20aの下面から突起させることが可能となっている。
ベース絶縁層の材料としては、特に限定はされないが、例えば、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、ポリエーテルニトリル樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、エポキシ樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂などの公知の合成樹脂や、それらの樹脂と、合成繊維布、ガラス布、ガラス不織布、並びに、TiO2 、SiO2 、ZrO2 や鉱物、粘土などの微粒子との複合した樹脂などが挙げられる。特に、金属製支持体層を剥離した後、より薄く、より大きな機械的強度を有し、より好ましい電気的特性(絶縁特性など)を有するフレキシブルな絶縁層となる点からは、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ガラス布複合エポキシ樹脂が好ましい材料として挙げられる。
ベース絶縁層の厚さは、3〜50μmが好ましい。
接着剤層の材料としては、特に限定はされないが、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリヒダントイン、ポリエーテルイミド、ポリエステル、ポリイミドシロキサン、シロキサン変性ポリアミドイミドなどの熱可塑性樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリイミド樹脂などが好ましいものとして挙げられ、これらをブレンドして用いてもよい。
尚、エポキシ系樹脂としては、特に限定はされないが、熱可塑性樹脂またはゴムまたはエラストマーなどとブレンドしたエポキシ樹脂や、シリカハイブリッド、ナノ粒子分散型エポキシ樹脂などが挙げられる。
また、アクリル系樹脂としては、特に限定はされないが、例えば、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレート、シリコーンアクリレートなどが挙げられる。
接着剤層の厚さは、1〜100μmが好ましい。
金属製支持体層上に配線回路基板を形成することにより、製造工程中、寸法安定性が良好となり、また、薄い配線回路基板の取り扱い性が良好となる。
導体層23の厚さは、特に限定はされないが、1〜50μmの範囲で適宜選択すればよい。また、導通路24、25は円柱状が好ましい形状であって、その直径は5〜500μm、好ましくは、5〜300μmである。
半導体チップとの線膨張係数の差を小さくするために、ニッケルと鉄を主な成分とする合金(例えば、42アロイ)を用いることが好ましい。
金属製支持体層の厚さが10μmを下回ると、該金属製支持体層に折れやシワが生じやすくなり、ロールプロセスでの取り扱い性が低下する。また、金属製支持体層の厚さが200μmを上回ると、その剛性によって巻き径が大きくなり、ロールプロセスでの取り扱いが困難となり、エッチングによる加工も困難となる。
剥離層の材料としては、有機物(シリコーン樹脂、ポリイミドなど)、無機物(金属、金属酸化物、無機酸化物など)が挙げられる。前記無機物としては、Ag、Ti、W、Ni、SiO2 などが例示される。
配線回路基板の製造工程や、チップを配線回路基板に実装する際の高熱条件を考慮すると、シリコーン樹脂は劣化する場合があるので、ポリイミドや前記無機物がより好ましい材料である。
剥離層を前記無機物からなる層とする場合、その厚さは、1〜100nmが好ましく、配線回路基板全体の反りを防止するためには、1〜50nmがより好ましい。
剥離層を、ポリイミド層とする場合の該層の形成方法としては、溶液を塗工する方法、電着法やCVD法によって堆積させる方法、または、別途形成したポリイミドフィルムをラミネートする方法などが挙げられる。また、剥離層を、金属、金属酸化物、無機酸化物などの無機物からなる層とする場合の該層の形成方法としては、電解めっき法、真空蒸着法、スパッタリング法などが挙げられる。
A成分:エポキシ樹脂
B成分:フェノール樹脂
C成分:エラストマー
D成分:無機質充填剤
E成分:硬化促進剤
A成分およびB成分とともに用いられるC成分のエラストマーは、エポキシ樹脂組成物に柔軟性および可撓性を付与するものであり、このような作用を奏するものであれば特にその構造を制限するものではないが、例えば、次のようなゴム質重合体があげられる。即ち、ポリアクリル酸エステル等の各種アクリルエステル共重合体、ブタジエンゴム、スチレン−ブタジエンゴム(SBR)、エチレン−酢酸ビニルコポリマー(EVA)、イソプレンゴム、アクリロニトリルゴム等からなる重合体があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。
C成分のエラストマーの含有量が下限値未満では、所望の柔軟性や可撓性を付与することが困難となり、封止用のシート状樹脂組成物として取り扱い作業性が低下する傾向を示し、逆に含有量が上限値を超えると、硬化後の弾性率が低下して、成形物とした際の強度が不足する傾向がみられる。
上記D成分の無機質充填剤の含有量は、エポキシ樹脂組成物全体の60〜95重量%の範囲に設定することが好ましく、特に好ましくは75〜90重量%である。
先ず、各配合成分を混合することによりエポキシ樹脂組成物を調製するが、各配合成分が均一に分散混合される方法であれば特に限定するものではない。
次に、必要に応じて各配合成分を溶剤等に溶解しワニス塗工により製膜する。あるいは、各配合成分を直接ニーダー等で混練することにより固形樹脂を調製し、このようにして得られた固形樹脂をシート状に押し出して製膜形成してもよい。中でも、簡便に均一な厚さのシートを得ることができるという点から、上記ワニス塗工法が好適に用いられる。
上記A成分〜E成分および必要に応じて他の添加剤を常法に準じて適宜混合し、有機溶剤に均一に溶解あるいは分散させ、ワニスを調製する。ついで、上記ワニスをポリエステルフィルム等の基材上に塗布し乾燥させ、ポリエステルフィルム等のフィルムで貼り合わせ、シート状エポキシ樹脂組成物を巻き取る。
実際のチップの封止工程において必要なシート状エポキシ樹脂組成物の厚さは、チップの大きさ、型内に配置される配線回路基板の大きさ、該基板上のチップの実装密度、チップを覆う樹脂層の厚さをどの程度とするかなどによっても異なるが、概ね200〜1000μm程度、とりわけ400〜800μmが、一般的なチップの封止には有用な厚さである。
他の封止用樹脂組成物からなるシート状樹脂組成物の場合にも、それぞれの材料に応じた加熱温度、加熱時間、加圧力を採用すればよい。
シート成型用金型については、封止後のパッケージの外形寸法を与えることができるものであれば、どの様なものであってもよいが、一般的には既存の圧縮成型用金型等を用いることができる。
金型内にチップを実装した基板を配置し、さらに、チップ上にシート状エポキシ樹脂組成物を載せ、金型が設置されているチャンバー内を減圧状態とした後に、前記条件にて加圧、成型を行う。
金属製支持体層の剥離によって露出した配線回路基板の下面には、面内に外部接続用導体部が含まれているが、その外部接続用導体部の表面に対して、図1(e)に示すように、バンプやハンダボールを付与する加工を施してもよい。
実施例1
本実施例では、図5に示すように、ステンレス(SUS403)からなる金属製支持体層1の上に、チタンからなる剥離層5を形成し、その上に半導体チップにとって再配線層となる配線回路基板20を形成し、チップとの接続を行ない、シート状エポキシ樹脂組成物を用いて封止した。
配線回路基板は、その面上に、半導体チップを(4×11)行列状の配置にて実装し得るよう、同じ形状の実装領域が繰り返しパターンにて面上に並んだものである。
半導体チップは、外周形状が一辺10mmの正方形であって、電極パッドの数が240個、各パッドは直径80μmの円形であって、各パッド上には直径60μmの金バンプが形成されている。
図5(a)に示すように、金属製支持体層1として、厚さ25μmのSUS304からなる箔を用い、その上に、チタン(Ti)をターゲットとするスパッタリングによって、厚さ100nmのチタン層を剥離層として全面に形成した。
図5(b)に示すように、感光性ポリアミック酸(3,4’,3,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、パラフェニレンジアミンとを反応させて得たもので、感光剤を含有する)を用いて、ポリイミド層(ベース絶縁層)20aを形成した。また、外部接続用導体部を形成すべき位置には、開口h1を形成した。該開口の底には剥離層5が露出している。ベース絶縁層の厚さは10μm、開口形状は円形であり、直径100μmである。
そして、開口h1内に露出している剥離層5の表面に、電解めっきにより、厚さ0.5μmの金層212、厚さ2μmのニッケル層211を順次形成した。これによって、金属製支持体層を剥離層と共に除去すると、金層212が外界に露出することになる。
図5(c)に示すように、クロム、銅の順にスパッタリングを施して、種膜(クロム層の厚さ50nm、銅層の厚さ100nm)23aを形成し、電解銅めっきにより、所定の配線パターンとされた厚さ10μmの導体層23、導通路25を形成した。その後、導体層23の無い部分の種膜を除去した。
図5(e)に示すように、めっきレジストr1、r2を除去し、露出した導体層23および導通路24を埋没させるように、エポキシおよびポリイミドを主成分とする接着剤層20bを形成し、導通路24の上端面が端子部として接着層上面に露出するように、該接着層をアルカリ性溶液にてエッチングした。
上記で得た配線回路基板(金属製支持体層が剥離可能に付いたもの)の全ての実装領域に、図1(a)に示すように、チップを実装した。
イーヴィグループ社製のアライナー、ボンディング装置を用いて、アライメントを行い、真空度3Pa、温度300℃、圧力1.5g/バンプの圧力にて、チップを実装した後、180℃にて2時間、接着剤層のエージングを行った。
実施例に用いたシート状エポキシ樹脂組成物を、以下のように形成した。
先ず、下記に示す各成分を、下記混合比率にて混合して、シート塗工用ワニスを作製した。
エポキシ樹脂a:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン社製、EPON825)、8.2重量部
フェノール樹脂:ノボラック型フェノール樹脂(明和高分子社製、ND−564)、5.0重量部
アクリル樹脂:アクリル共重合体(ナガセケムテックス社製、テイサンレジン SG−P3)、1.5重量部
硬化促進剤:2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール(四国化成工業、2PHZ−PW)、0.2重量部
シリカ粉末:平均粒径5.5μmの球状溶融シリカ粉末(電気化学工業社製、FB−7SDC)、64.3重量部、平均粒径0.5μmの球状溶融シリカ粉末(アドマテックス社製、SO−25R)、20重量部、
カーボンブラック:三菱化学社製、#20、0.8重量部
有機溶剤:メチルエチルケトン、100重量部
先ず、上記のように形成したシート塗工用ワニスを、厚さ50μmの第一のポリエステルフィルム上にコンマコーターにて塗工し乾燥させて、厚さ50μmのエポキシ樹脂組成物層とし、さらにその上に、厚さ38μmの第二のポリエステルフィルムを貼り合わせて、3層の積層体〔第二のポリエステルフィルム(厚さ38μm)/エポキシ樹脂組成物層(厚さ50μm)/第一のポリエステルフィルム(厚さ50μm)〕を形成した。この3層の積層体を、計12枚形成した。
次に、前記の積層体のそれぞれの第二のポリエステルフィルムを剥がし、エポキシ樹脂組成物層(厚さ50μm)同士を密着させて、第2の積層体〔第一のポリエステルフィルム/エポキシ樹脂組成物層(厚さ100μm)/第一のポリエステルフィルム〕を6枚形成した。
さらに、この6枚の積層体のそれぞれの片側の第一のポリエステルフィルムを剥がして、エポキシ樹脂組成物層(厚さ100μm)同士を密着させ、第3の積層体〔第一のポリエステルフィルム/エポキシ樹脂組成物層(厚さ200μm)/第一のポリエステルフィルム〕を3枚形成した。
さらに、前記の3枚の積層体のうちの2枚の積層体の片側の第一のポリエステルフィルムを剥がして、エポキシ樹脂組成物層(厚さ200μm)同士を密着させ、第4の積層体〔第一のポリエステルフィルム/エポキシ樹脂組成物層(厚さ400μm)/第一のポリエステルフィルム〕を1枚形成した。
さらに、前記で得た1枚の第4の積層体と、前記で残った1枚の第3の積層体とを、上記手順と同様に、第一のポリエステルフィルムを剥がして、エポキシ樹脂組成物層同士を密着させ、第5の積層体〔第一のポリエステルフィルム/エポキシ樹脂組成物層(厚さ600μm)/第一のポリエステルフィルム〕を1枚得た。
最後に、両外側に位置する第一のポリエステルフィルムを剥がして、厚さ600μmのシート状エポキシ樹脂組成物を得た。
上記において配線回路基板(金属製支持体層が剥離可能に付いたもの)にチップを実装したもの(図1(a))を金型内に配置し、その上に、上記で得たシート状エポキシ樹脂組成物を図1(b)に示すように載せ、金型を包囲しているチャンバー内を真空引きした。
次いで、下記の温度、圧力条件にて、シート状エポキシ樹脂組成物に金型を押し当てることで、該樹脂組成物を軟化させ、各チップをモールドする成型を行った。
シート状エポキシ樹脂組成物にてチップを覆う際の条件は、0.1kPaの真空下において、温度を130℃とし、プレスによって300kPaの圧力がシート状エポキシ樹脂組成物に加わるように荷重をかけ、該シート状エポキシ樹脂組成物を軟化させた。これによって、図1(c)に示すように、エポキシ樹脂組成物がチップを覆った。
その後、大気開放し、型を開いて成型物を取り出した。
さらに、大気圧下において、150℃、1時間の加熱条件にて、エポキシ樹脂組成物を完全硬化させた。
図1(d)に示すように、金属製支持体層1を剥離層5と共に、ベース絶縁層2から剥離した。
さらに、図1(e)に示すように、ベース絶縁層に露出した外部接続用導体部の端面である金層の表面に、半田ボールを形成した。
最後に、図1(f)に示すように、個々の半導体装置へとダイシングした。
本実施例によって、チップ実装の後の樹脂封止から金属製支持体層の剥離までの工程が、極めて簡単な作業内容にて、短時間で行えることが確認できた。
また、従来、液状の樹脂による樹脂封止の際に生じていたチップのずれや破損による不良率が充分に低減されることもわかった。さらに、回収した金属製支持体層を再使用し得ることもわかった。
2 配線回路基板
3 半導体チップ
4 バンプ
5 剥離層
T シート状樹脂組成物
t チップを封止した樹脂組成物
S 半導体装置
Claims (2)
- 半導体チップが、再配線層に接続されかつ樹脂封止された構造を有する半導体装置の製造方法であって、
当該製造方法は、
半導体チップの電極に接続し得る接続用導体部を持った前記の再配線層となる配線回路基板を、金属製支持体層上に、該金属製支持体層から剥離可能となるように、かつ、接続用導体部が該配線回路基板の上面側に位置するように形成する工程を有し、
前記工程では、金属製支持体層と前記配線回路基板との間に剥離層が形成され、それによって、該金属製支持体層から該配線回路基板が剥離可能となっており、該剥離層は、
(I)ポリイミドからなる層であるか、または、
(II)金属、金属酸化物、無機酸化物から選ばれる1つの材料からなる層であり、
当該製造方法は、前記工程の後に、
前記の再配線層となる配線回路基板の接続用導体部と半導体チップの電極とを接続して、該配線回路基板に半導体チップを実装する実装工程と、
前記配線回路基板に実装されて再配線層が付与された半導体チップ上に封止用樹脂組成物からなるシート状樹脂組成物を配置し加熱することによって、該封止用樹脂組成物によって半導体チップを封止する封止工程と、
前記封止工程の後、金属製支持体層を配線回路基板から剥離する剥離工程とを、
有することを特微とする、前記半導体装置の製造方法。 - 上記配線回路基板が、複数の半導体チップをダイシング可能なように実装し得るよう、個々の半導体チップに対応した配線回路基板が1つの平面内に必要数だけ並んで連なり、大面積の配線回路基板となったものであって、
上記実装工程において、前記大面積の配線回路基板中の個々の配線回路基板にそれぞれ半導体チップを実装し、
上記封止工程において、一枚のシート状樹脂組成物によってそれら半導体チップを一括して覆い、樹脂組成物によって封止した構造とし、
上記剥離工程において、金属製支持体層を配線回路基板から剥離し、
前記剥離工程の後にさらに分断工程を設け、該分断工程において個々の半導体装置へと分断する、
請求項1記載の半導体装置の製造方法。
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