JP3924481B2 - 半導体チップを使用した半導体装置 - Google Patents

半導体チップを使用した半導体装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3924481B2
JP3924481B2 JP2002063684A JP2002063684A JP3924481B2 JP 3924481 B2 JP3924481 B2 JP 3924481B2 JP 2002063684 A JP2002063684 A JP 2002063684A JP 2002063684 A JP2002063684 A JP 2002063684A JP 3924481 B2 JP3924481 B2 JP 3924481B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
die pad
semiconductor chip
pad portion
die
insulating substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2002063684A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003264267A (ja
Inventor
慎二 磯川
委巳 山口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP2002063684A priority Critical patent/JP3924481B2/ja
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to DE10392365T priority patent/DE10392365T5/de
Priority to KR1020037016753A priority patent/KR100951626B1/ko
Priority to CNB038008084A priority patent/CN100524703C/zh
Priority to PCT/JP2003/001994 priority patent/WO2003077312A1/ja
Priority to US10/506,826 priority patent/US7242033B2/en
Priority to AU2003211644A priority patent/AU2003211644A1/en
Priority to TW92104514A priority patent/TWI258193B/zh
Publication of JP2003264267A publication Critical patent/JP2003264267A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3924481B2 publication Critical patent/JP3924481B2/ja
Priority to US11/810,724 priority patent/US20070246731A1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/48463Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
    • H01L2224/48465Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/8319Arrangement of the layer connectors prior to mounting
    • H01L2224/83192Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/8338Bonding interfaces outside the semiconductor or solid-state body
    • H01L2224/83385Shape, e.g. interlocking features
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/91Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
    • H01L2224/92Specific sequence of method steps
    • H01L2224/922Connecting different surfaces of the semiconductor or solid-state body with connectors of different types
    • H01L2224/9222Sequential connecting processes
    • H01L2224/92242Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector
    • H01L2224/92247Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector the second connecting process involving a wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/12Passive devices, e.g. 2 terminal devices
    • H01L2924/1204Optical Diode
    • H01L2924/12041LED

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は,半導体チップを使用した半導体装置のうち,前記半導体チップを,絶縁基板の表面に形成した金属膜によるダイパッド部に対してダイボンディングし,更に,この半導体チップを合成樹脂製のモールド部にてパッケージして成る半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に,この種の半導体装置において,その半導体チップを,絶縁基板の表面に形成した金属膜によるダイパッド部に対してダイボンディングするに際しては,半田ペースト等の加熱溶融性のダイボンディング剤を使用し,このダイボンディング剤の適宜量を,前記絶縁基板におけるダイパッド部の表面に塗着し,このダイボンディング剤の上に,半導体チップを載せ,この状態で,前記ダイボンディング剤を,加熱にて一旦溶融したのち凝固するという方法を採用している。
【0003】
この場合において,従来は,前記絶縁基板における金属膜によるダイパッド部を,これにダイボンディングする半導体チップにおける矩形と相似の矩形にしているものの,その大きを,前記半導体チップより遥かに大きくしていることにより,以下に述べるような問題があった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
すなわち,前記ダイパッド部の表面に塗着したダイボンディング剤は,当該ダイボンディング剤を加熱にて溶融したとき,前記ダイパッド部の表面を四方に大きく広がり,この溶融ダイボンディング剤に載っている半導体チップも,前記溶融ダイボンディング剤の四方への広がりに伴って,前記ダイパッド部の表面に沿って中心からずれるように移動し,この中心からずれ移動した位置において,前記溶融ダイボンディング剤の凝固にてダイパッド部に対して固定されることになる。
【0005】
また,前記ダイパッド部に対して半導体チップが,当該半導体チップにおける各側面が前記ダイパッド部における矩形の各側面と非平行の傾いた姿勢で供給された場合に,この傾いた姿勢は修正されることなく前記傾いた姿勢のままでダイパッド部に固定されることになる。
【0006】
従って,絶縁基板におけるダイパッド部にダイボンディングした半導体チップを,合成樹脂製のモールド部にてパッケージする場合には,このモールド部における大きさを,当該モールド部にてパッケージする半導体チップが前記したように中心からずれ移動すること,及びその各側面がダイパッド部の各側面と非平行の傾いた姿勢になることを見込み,このいずれの場合においても,当該モールド部にて完全にパッケージできるように,大きくしなければならないから,半導体装置の大型化及び重量のアップを招来するのである。
【0007】
特に,前記半導体装置が,半導体チップを発光ダイオードチップにし,且つ,モールド部を透明合成樹脂製にしたチップ型LEDである場合には,前記した中心からずれ移動すること,及びその各側面がダイパッド部の各側面と非平行の傾いた姿勢になることにより,発光ダイオードチップからの光の指向性が変化するから,光の指向性のバラ付きが大きくなるのである。
【0008】
本発明は,これらの問題を解消することを技術的課題とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この技術的課題を達成するため本発明の請求項1は,
平面視で矩形にした絶縁基板の左右両端に端子電極を設け,前記絶縁基板の上面のうち前記両端子電極間の部分には,金属膜にて平面視で矩形にしたダイパッド部を,当該ダイパッド部における四つの各側面が前記絶縁基板における四つの各側面と平行になるように形成するとともに,このダイパッド部における一つの側面から外向きに延びて一方の端子電極に電気的に接続する金属膜による細幅の配線パターンを形成し,前記ダイパッド部の上面には,他方の端子電極に対して電気的に接続する平面視で矩形にした半導体チップを,加熱溶融性のダイボンディング剤にてダイボンディングし,この半導体チップを,前記絶縁基板の上面に形成した合成樹脂製のモールド部にてパッケージして成る半導体装置において,
前記ダイパッド部の矩形における長さ寸法及び幅寸法を,前記半導体チップの矩形における長さ寸法及び幅寸法の0.50〜1.50倍にし,更に,前記細幅の配線パターンを,平面視において前記ダイパッド部における一つの側面に対して傾斜する。」
ことを特徴としている。
【0010】
また,本発明の請求項2は,
「前記請求項1の記載において,前記ダイパッド部の周囲に,当該ダイパッド部から一体的に外向きに前記半導体チップの側面よりも外側にまで延びるようにした細幅の延長部を部分的に設ける。」
ことを特徴としている。
【0011】
更にまた,本発明の請求項3は,
「前記請求項1又は2の記載において,前記ダイパッド部に,凹み部を,当該凹み部内に前記半導体チップが嵌まることがない大きさにして設ける。」
ことを特徴としている。
【0012】
【発明の作用・効果】
このように,絶縁基板の表面に形成したダイパッド部において,その矩形における長さ寸法及び幅寸法を,半導体チップの矩形における長さ寸法及び幅寸法の0.50〜1.50倍にしたことにより,前記半導体チップを,前記ダイパッド部に対して,当該半導体チップにおける各側面がダイパッド部における各側面に対して非平行の向き姿勢で載せられているか,或いは,半導体チップが前記ダイパッド部の中心からずれた位置に載せられている場合に,加熱にて溶融したダイボンディング剤の表面張力が半導体チップ及びダイパッド部の各側面に同時に作用するから,以下において詳しく述べるように,この表面張力によるセルフアライメントにて,前記矩形の半導体チップは,その各側面が矩形のダイパッド部における各側面と平行又は略平行になる姿勢の向きに自動的に修正されるとともに,当該半導体チップをダイパッド部における中心に正確に位置するように自動的に修正されることになる。
【0013】
絶縁基板におけるダイパッド部に対する半導体チップのダイボンディングに際して,ダイボンディング剤の表面張力によるセルフアライメントにて,半導体チップにおけるダイパッド部の中心からのずれを小さくすることができるとともに,半導体チップにおける各側面をダイパッド部における各側面に対して平行又は平行に近づけることができるから,この半導体チップをパッケージするモールド部を,従来の場合よりも小さく,ひいては,半導体装置を小型・軽量化できるのである。
【0014】
特に,半導体装置が,その半導体チップを発光ダイオードチップにしたチップ型LEDである場合には,その小型・軽量化できるとともに,光の指向性のバラ付きを小さくできるのである。
これに加えて,本発明は,前記ダイパッド部と一方の端子電極とを電気的に接続する細幅の配線パターンを,平面視において前記ダイパッド部における一つの側面に対して傾斜するという構成にしたことにより,この配線パターンのうち前記モールド部にてパッケージされる部分における長さを長くでき,ひいては,前記配線パターンをパッケージするモールド部との密着面積を増大することができるから,前記したようにモールド部を小さくした場合に,この配線パターンを伝って大気中の湿度等が侵入することを確実に低減できる。
【0015】
ところで,このように,ダイパッド部における矩形の長さ寸法及び幅寸法を,半導体チップの矩形における長さ寸法及び幅寸法の0.50〜1.50倍にするという構成にした場合,このダイパッド部に塗着したダイボンディング剤の盛り上がり高さが,前記ダイパッド部を前記したように構成しない場合よりも高くなるから,前記半導体チップにおけるダイパッド部からの高さ位置が,高くなるとともに,この高さ位置が不揃いになるばかりか,ダイボンディング剤の盛り上り高さが高くなることで,これに対する半導体チップのめり込み深さが深くなることで,半導体チップに電気的なショートを発生したり,半導体チップが発光ダイオードチップである場合には,当該発光ダイオードチップからの発光量を減少したりする。
【0016】
これに対して,本発明は,請求項2又は請求項3の構成にすることを提案する。
【0017】
すなわち,請求項2は,前記ダイパッド部の周囲に,当該ダイパッド部から一体的に外向きに半導体チップの側面よりも外側にまで延びるようにした細幅の延長部を部分的に設けるという構成にしたのであり,これにより,前記ダイパッド部の表面において加熱にて溶融したダイボンディング剤の一部は,前記細幅の延長部の表面に広がり,この広がりによって,前記ダイパッド部の表面におけるダイボンディング剤の盛り上がり高さを,当該ダイボンディング剤によるセルフアライメントを確保した状態のもとで,低くできるから,半導体チップにおけるダイパッド部からの浮き上がり高さを低くできるとともに,高さの不揃いを低減でき,しかも,ダイボンディング剤に対する半導体チップのめり込み深さが浅くなって,半導体チップに電気的ショートが発生することを低減でき,且つ,半導体チップが発光ダイオードチップである場合には,当該発光ダイオードチップからの発光量が低下することを回避できるのである。
【0018】
また,請求項3は,前記ダイパッド部に,凹み部を,当該凹み部内に前記半導体チップが嵌まることがない大きさにして設けるという構成にしたものであり,これにより,前記ダイパッド部の表面において加熱にて溶融したダイボンディング剤の一部は,前記凹み部に入って,前記ダイパッド部の表面におけるダイボンディング剤の盛り上がり高さを,当該ダイボンディング剤によるセルフアライメントを確保した状態のもとで,低くできるから,半導体チップにおけるダイパッド部からの浮き上がり高さを低くできるとともに,高さの不揃いを低減でき,しかも,ダイボンディング剤に対する半導体チップのめり込み深さが浅くなって,半導体チップに電気的ショートが発生することを低減でき,且つ,半導体チップが発光ダイオードチップである場合には,当該発光ダイオードチップからの発光量が低下することを回避できるのである。
【0019】
もちろん,請求項2による構成と請求項3による構成とを組み合わせた形態にしても良いことはいうまでもない。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下,本発明の実施の形態を,チップ型LEDに適用した場合の図面について説明する。
【0021】
図1〜図6は,第1の実施の形態を示す。
【0022】
この図において,符号1は,チップ型LEDを示し,このチップ型LED1は,平面視で矩形のチップ型にした絶縁基板2を備え,この絶縁基板2の上面には,その左右両端に金属膜による端子電極4,5が形成されているとともに,この両端子電極4,5間の部位に平面視で矩形にした金属膜によるダイパッド部3が,当該ダイパッド部における四つの各側面が前記絶縁基板2における四つの各側面と平行になるように形成されている。更に,前記絶縁基板2の上面のうち前記ダイパッド部3と一方の端子電極4との間の部分には,前記ダイパッド部3における一つの側面から外向きに延びて一方の端子電極4に電気的に接続する金属膜による細幅の配線パターン6が形成されている。
【0023】
更に,前記チップ型LED1は,前記ダイパッド部3の上面にダイボンディングした平面視で矩形の発光ダイオードチップ7と,この発光ダイオードチップ7と前記他方の端子電極5との間をワイヤボンディングした細い金属線8と,前記発光ダイオードチップ6及び配線パターン6の部分をパッケージする透明合成樹脂製のモールド部9とを備えている。
【0024】
なお,前記両端子電極4,5は,絶縁基板2の上面から端面及び下面にわたるように延びている。
【0025】
そして,前記絶縁基板2上面におけるダイパッド部3に対して発光ダイオードチップ7をダイボンディングするに際しては,以下に述べるように構成する。
【0026】
前記発光ダイオードチップ7は,一般的に言って,長さ寸法L0で幅寸法W0の矩形であるから,前記ダイパッド部3を,その長さ寸法L1及び幅寸法W1を,前記発光ダイオードチップ7の矩形における長さ寸法L0及び幅寸法W0と等しいか,略等しくした合同又は略合同の矩形して,このダイパッド部3の上面に,図3に示すように,半田ペースト10の適宜量を塗着し,次いで,この半田ペースト10の上に,図4に示すように,前記発光ダイオードチップ7を載せ,この状態で,半田の溶融点以上の温度に加熱したのち冷却して半田を凝固するというようにする。
【0027】
このように構成することにより,前記矩形の発光ダイオードチップ7を,前記矩形のダイパッド部3に対して,図5に二点鎖線で示すように,当該発光ダイオードチップ7における各側面がダイパッド部3における各側面に対して非平行の向き姿勢で載せられているか,或いは,発光ダイオードチップ7が前記ダイパッド部3の中心からずれた位置に載せられている場合に,加熱溶融した半田における表面張力が発光ダイオードチップ7及びダイパッド部3の各側面に同時に作用するから,この表面張力によるセルフアライメントにて,前記矩形の発光ダイオードチップ7は,その各側面が矩形のダイパッド部3における各側面と平行又は略平行になる姿勢の向きに自動的に修正されるとともに,当該発光ダイオードチップ7がダイパッド部3における中心に正確に位置するように自動的に修正されることになる。
【0028】
そして,前記発光ダイオードチップ7は,前記のように修正された姿勢のままで,溶融半田の凝固にて固定される。
【0029】
この場合において,本発明者達の実験によると,加熱溶融した半田における表面張力のセルフアライメントによる前記した自動的な修正は,前記ダイパッド3における矩形の長さ寸法L1及び幅寸法W1を,前記発光ダイオードチップ7における矩形の長さ寸法L0及び幅寸法W0の0.50〜1.50倍の範囲内にした場合において確実に達成できるのであり,好ましくは,0.65〜1.35倍の範囲内で,最も好ましいのは,0.75〜1.25倍の範囲内であった。また,導電性ペースト等の半田ペースト以外の加熱溶融性ダイボンディング剤についても同様であった。
【0030】
つまり,このように構成することにより,絶縁基板2におけるダイパッド部3に対する発光ダイオードチップ7のダイボンディングに際して,ダイボンディング剤のセルフアライメントにより,発光ダイオードチップ7におけるダイパッド部3の中心からのずれを小さくすることができるとともに,発光ダイオードチップ7における各側面をダイパッド部3における各側面に対して平行又は平行に近づけることができるから,この発光ダイオードチップ7をパッケージするモールド部9及び絶縁基板における幅寸法を,従来の場合よりも小さくでき,ひいては,チップ型LED1を小型・軽量化できるとともに,発光ダイオードチップ6からの発射される光の指向性のバラ付きを小さくできる。
【0031】
しかも,本実施の形態においては,前記ダイパッド部3と一方の端子電極4とを電気的に接続する細幅の配線パターン6を,図2に二点鎖線Aで示すように,前記ダイパッド部3における一つの側面に対して直角にすることなく,実線で示すように,前記ダイパッド部3における一つの側面に対して斜めに傾斜することにより,この配線パターン6の長さを長くし,これをパッケージするモールド部9との密着面積を増大するようにして,この配線パターン6を伝って大気中の湿度等が侵入することを確実に低減できるように構成している。この場合,前記配線パターンは,一本にすることに限らず,図7に実線で示す傾斜状の配線パターン6と,二点鎖線で示す傾斜状の配線パターン6′との二本にしても良い。
【0032】
次に,図8は,第2の実施の形態を示す。
【0033】
この第2の実施の形態は,前記絶縁基板2における上面に矩形に形成したダイバッド部3における各隅角部に,当該ダイパッド部3から一体的に外向きに前記半導体チップ7の 側面よりも外側にまで延びるようにした細幅の延長部3aを設けたものである。
【0034】
このように,ダイパッド部3に,当該ダイパッド部3から一体的に外向きに延びる細幅の延長部3aを部分的に設けることにより,このダイパッド部3の表面に塗着した半田ペースト10を,これに発光ダイオードチップ7を載せたのち加熱溶融したとき,この溶融半田の一部が,前記細幅の延長部3aの表面にまで広がることになるから,この広がりによって,前記ダイパッド部3の表面における溶融半田の盛り上がり高さを,当該溶融半田の表面張力によるセルフアライメントを確保した状態のもとで,低くできるのである。
【0035】
この場合,第2の実施の形態の変形例としては,前記ダイパッド部3に対する細幅の延長部3aを,図9に示すように,前記ダイパッド部3における各側面の部分に設けるという構成しても良い。
【0036】
そして,図10及び図11は,第3の実施の形態を示す。
【0037】
この第3の実施の形態は,前記絶縁基板2における上面に矩形に形成したダイバッド部3に,凹み部11を,当該凹み部11内に前記発光ダイオードチップ7が嵌まることがない大きさにして設けるものである。
【0038】
このように構成することにより,前記ダイパッド部3の表面に塗着した半田ペースト10を,これに発光ダイオードチップ7を載せたのち加熱溶融したとき,この溶融半田の一部が,前記凹み部11に入ることになるから,これによって,前記ダイパッド部3の表面における溶融半田の盛り上がり高さを,当該溶融半田の表面張力によるセルフアライメントを確保した状態のもとで,低くできるのである。
【0039】
前記実施の形態は,発光ダイオードチップを使用したチップ型LEDに適用した場合であったが,本発明は,このチップ型LEDに限らず,ダイオード又はトランジスター等の他の半導体装置に適用できることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態によるチップ型LEDを示す縦断正面図である。
【図2】図1の平面図である。
【図3】前記第1の実施の形態によるチップ型LEDを示す斜視図である。
【図4】前記第1の実施の形態における分解斜視図である。
【図5】図4のV−V視断面図である。
【図6】前記第1の実施の形態において絶縁基板に発光ダイオードチップをダイボンディングした状態を示す縦断正面図である。
【図7】図6の平面図である。
【図8】第2の実施の形態における絶縁基板を示す斜視図である。
【図9】第2の実施の形態における別の絶縁基板を示す斜視図である。
【図10】第3の実施の形態における絶縁基板を示す斜視図である。
【図11】図10の XII XII 視断面図である。
【符号の説明】
1 チップ型LED
2 絶縁基板
3 ダイパッド部
3a 延長部
4,5 端子電極
6 配線パターン
7 発光ダイオードチップ
8 金属線
9 モールド部
10 半田ペースト(ダイボンディング剤)

Claims (3)

  1. 平面視で矩形にした絶縁基板の左右両端に端子電極を設け,前記絶縁基板の上面のうち前記両端子電極間の部分には,金属膜にて平面視で矩形にしたダイパッド部を,当該ダイパッド部における四つの各側面が前記絶縁基板における四つの各側面と平行になるように形成するとともに,このダイパッド部における一つの側面から外向きに延びて一方の端子電極に電気的に接続する金属膜による細幅の配線パターンを形成し,前記ダイパッド部の上面には,他方の端子電極に対して電気的に接続する平面視で矩形にした半導体チップを,加熱溶融性のダイボンディング剤にてダイボンディングし,この半導体チップを,前記絶縁基板の上面に形成した合成樹脂製のモールド部にてパッケージして成る半導体装置において,
    前記ダイパッド部の矩形における長さ寸法及び幅寸法を,前記半導体チップの矩形における長さ寸法及び幅寸法の0.50〜1.50倍にし,更に,前記細幅の配線パターンを,平面視において前記ダイパッド部における一つの側面に対して傾斜することを特徴とする半導体チップを使用した半導体装置。
  2. 前記請求項1の記載において,前記ダイパッド部の周囲に,当該ダイパッド部から一体的に外向きに前記半導体チップの側面よりも外側にまで延びるようにした細幅の延長部を部分的に設けることを特徴とする半導体チップを使用した半導体装置。
  3. 前記請求項1又は2の記載において,前記ダイパッド部に,凹み部を,当該凹み部内に前記半導体チップが嵌まることがない大きさにして設けることを特徴とする半導体チップを使用した半導体装置。
JP2002063684A 2002-03-08 2002-03-08 半導体チップを使用した半導体装置 Expired - Lifetime JP3924481B2 (ja)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002063684A JP3924481B2 (ja) 2002-03-08 2002-03-08 半導体チップを使用した半導体装置
KR1020037016753A KR100951626B1 (ko) 2002-03-08 2003-02-24 반도체 칩을 사용한 반도체 장치
CNB038008084A CN100524703C (zh) 2002-03-08 2003-02-24 使用半导体芯片的半导体装置
PCT/JP2003/001994 WO2003077312A1 (en) 2002-03-08 2003-02-24 Semiconductor device using semiconductor chip
DE10392365T DE10392365T5 (de) 2002-03-08 2003-02-24 Halbleitervorrichtung mit einem Halbleiterchip
US10/506,826 US7242033B2 (en) 2002-03-08 2003-02-24 Semiconductor device using LED chip
AU2003211644A AU2003211644A1 (en) 2002-03-08 2003-02-24 Semiconductor device using semiconductor chip
TW92104514A TWI258193B (en) 2002-03-08 2003-03-04 Semiconductor device using semiconductor chip
US11/810,724 US20070246731A1 (en) 2002-03-08 2007-06-07 Semiconductor device using semiconductor chip

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002063684A JP3924481B2 (ja) 2002-03-08 2002-03-08 半導体チップを使用した半導体装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003264267A JP2003264267A (ja) 2003-09-19
JP3924481B2 true JP3924481B2 (ja) 2007-06-06

Family

ID=29196835

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002063684A Expired - Lifetime JP3924481B2 (ja) 2002-03-08 2002-03-08 半導体チップを使用した半導体装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3924481B2 (ja)

Families Citing this family (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1816685A4 (en) 2004-10-27 2010-01-13 Kyocera Corp LIGHT EMITTING ELEMENT PLATE, BEARING CAPACITOR FOR LIGHT EMITTING ELEMENTS, LIGHT EMITTING DEVICE AND LIGHTING DEVICE
US9070850B2 (en) 2007-10-31 2015-06-30 Cree, Inc. Light emitting diode package and method for fabricating same
US8669572B2 (en) 2005-06-10 2014-03-11 Cree, Inc. Power lamp package
US8398448B2 (en) * 2005-11-09 2013-03-19 Koninklijke Electronics N.V. Assembling lighting elements onto a substrate
US7675145B2 (en) 2006-03-28 2010-03-09 Cree Hong Kong Limited Apparatus, system and method for use in mounting electronic elements
US7635915B2 (en) 2006-04-26 2009-12-22 Cree Hong Kong Limited Apparatus and method for use in mounting electronic elements
JP5125060B2 (ja) * 2006-11-02 2013-01-23 日亜化学工業株式会社 発光装置
JP4940900B2 (ja) * 2006-11-08 2012-05-30 日亜化学工業株式会社 実装用部品、および半導体装置
US9711703B2 (en) 2007-02-12 2017-07-18 Cree Huizhou Opto Limited Apparatus, system and method for use in mounting electronic elements
JP5082710B2 (ja) * 2007-09-19 2012-11-28 日亜化学工業株式会社 発光装置
JP5192773B2 (ja) * 2007-10-22 2013-05-08 パナソニック株式会社 発光装置
US10256385B2 (en) 2007-10-31 2019-04-09 Cree, Inc. Light emitting die (LED) packages and related methods
JP2009302229A (ja) * 2008-06-12 2009-12-24 Mitsubishi Materials Corp 位置合わせ性に優れたはんだペーストを用いた基板と被搭載物の接合方法
WO2009151123A1 (ja) * 2008-06-12 2009-12-17 三菱マテリアル株式会社 はんだペーストを用いた基板と被搭載物の接合方法
JP2010056399A (ja) * 2008-08-29 2010-03-11 Mitsubishi Materials Corp 位置合わせ性に優れたはんだペーストを用いた基板と被搭載物の接合方法
JP5363789B2 (ja) * 2008-11-18 2013-12-11 スタンレー電気株式会社 光半導体装置
US8368112B2 (en) 2009-01-14 2013-02-05 Cree Huizhou Opto Limited Aligned multiple emitter package
JP5585013B2 (ja) * 2009-07-14 2014-09-10 日亜化学工業株式会社 発光装置
US9012938B2 (en) 2010-04-09 2015-04-21 Cree, Inc. High reflective substrate of light emitting devices with improved light output
WO2011126135A1 (ja) * 2010-04-09 2011-10-13 ローム株式会社 Ledモジュール
JP6262816B2 (ja) * 2011-02-16 2018-01-17 ローム株式会社 Ledモジュール
US8704433B2 (en) 2011-08-22 2014-04-22 Lg Innotek Co., Ltd. Light emitting device package and light unit
US8773006B2 (en) * 2011-08-22 2014-07-08 Lg Innotek Co., Ltd. Light emitting device package, light source module, and lighting system including the same
JP6154987B2 (ja) * 2011-09-22 2017-06-28 新電元工業株式会社 半導体装置
US8564004B2 (en) 2011-11-29 2013-10-22 Cree, Inc. Complex primary optics with intermediate elements
JP6079223B2 (ja) * 2011-12-28 2017-02-15 日亜化学工業株式会社 発光装置用パッケージ成形体
US9093621B2 (en) 2011-12-28 2015-07-28 Nichia Corporation Molded package for light emitting device
JP5876299B2 (ja) * 2012-01-18 2016-03-02 セミコンダクター・コンポーネンツ・インダストリーズ・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー 回路装置
JP6191308B2 (ja) * 2012-07-27 2017-09-06 日亜化学工業株式会社 ライン光源用発光装置
JP2013225690A (ja) * 2013-07-01 2013-10-31 Rohm Co Ltd 半導体発光装置
JP6167825B2 (ja) * 2013-10-07 2017-07-26 三菱電機株式会社 半導体装置
JP6487626B2 (ja) * 2014-03-24 2019-03-20 スタンレー電気株式会社 半導体装置
US9601670B2 (en) 2014-07-11 2017-03-21 Cree, Inc. Method to form primary optic with variable shapes and/or geometries without a substrate
US10622522B2 (en) 2014-09-05 2020-04-14 Theodore Lowes LED packages with chips having insulated surfaces
JP2016096322A (ja) * 2014-11-07 2016-05-26 日亜化学工業株式会社 発光装置
US9589940B2 (en) 2014-11-07 2017-03-07 Nichia Corporation Light emitting device
JP2016115881A (ja) * 2014-12-17 2016-06-23 京セラ株式会社 発光素子搭載用基板および発光装置
JP6572757B2 (ja) 2015-11-30 2019-09-11 日亜化学工業株式会社 発光装置
JP6842246B2 (ja) * 2016-05-26 2021-03-17 ローム株式会社 Ledモジュール
JP6519549B2 (ja) * 2016-08-02 2019-05-29 日亜化学工業株式会社 発光装置
KR102638304B1 (ko) 2016-08-02 2024-02-20 삼성디스플레이 주식회사 표시장치
JP2018032748A (ja) * 2016-08-24 2018-03-01 パナソニックIpマネジメント株式会社 発光装置、照明装置及び発光装置の製造方法
JP6973727B2 (ja) * 2017-03-15 2021-12-01 ローム株式会社 電子装置
JP6680258B2 (ja) * 2017-04-21 2020-04-15 日亜化学工業株式会社 光源装置
JP7004397B2 (ja) * 2017-06-09 2022-01-21 ローム株式会社 光学装置
JP7057490B2 (ja) * 2017-11-30 2022-04-20 日亜化学工業株式会社 発光装置
JP7064325B2 (ja) * 2017-12-18 2022-05-10 スタンレー電気株式会社 半導体発光装置、および、それを用いた半導体発光装置の製造方法
JP7064324B2 (ja) * 2017-12-18 2022-05-10 スタンレー電気株式会社 半導体発光装置、および、それを用いた半導体発光装置の製造方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01157424U (ja) * 1988-04-06 1989-10-30
JPH06326141A (ja) * 1993-05-17 1994-11-25 Mitsubishi Electric Corp 半導体チップ接合用基材および半導体チップ接合用半田材および半導体チップ接合用半田材の製造方法
JP2536431B2 (ja) * 1993-09-30 1996-09-18 日本電気株式会社 半導体装置
JPH0823002A (ja) * 1994-07-05 1996-01-23 Hitachi Ltd 半導体装置及びその製造方法
JPH08321634A (ja) * 1995-05-26 1996-12-03 Stanley Electric Co Ltd 表面実装型発光ダイオード
JP3907145B2 (ja) * 1998-12-25 2007-04-18 ローム株式会社 チップ電子部品
JP2001168400A (ja) * 1999-12-09 2001-06-22 Rohm Co Ltd ケース付チップ型発光装置およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003264267A (ja) 2003-09-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3924481B2 (ja) 半導体チップを使用した半導体装置
KR100951626B1 (ko) 반도체 칩을 사용한 반도체 장치
JP3553405B2 (ja) チップ型電子部品
US7002185B2 (en) Semiconductor device using semiconductor chip
JPH11168235A (ja) 発光ダイオード
JPH1145958A (ja) 表面実装部品及びその製造方法
JP3993302B2 (ja) 半導体装置
US6501160B1 (en) Semiconductor device and a method of manufacturing the same and a mount structure
JP4703903B2 (ja) 半導体装置の製造方法および半導体装置
US20050194600A1 (en) Light-emitting diode
JP2001196641A (ja) 表面実装型の半導体装置
JP3864263B2 (ja) 発光半導体装置
JP3913138B2 (ja) 半導体チップを使用した半導体装置
JP2001352102A (ja) 光半導体装置
JPH03280453A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP2002280479A (ja) 表面実装型の半導体装置
JP4321742B2 (ja) 半導体チップを使用した半導体装置
KR100237912B1 (ko) 패키지 반도체, 그것을 이용한 반도체 장치 및 그 제조방법
JP4608810B2 (ja) 表面実装型の半導体装置
JP2002076161A (ja) 表面実装型の半導体装置
JP3287327B2 (ja) 半導体樹脂封止パッケージの製造方法
JPH08181168A (ja) 半導体装置
JPH01206652A (ja) 半導体装置
JP2003152010A (ja) 配線基板および半導体装置
JPS6068640A (ja) 半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040604

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061101

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061208

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070207

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070226

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 3924481

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100302

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110302

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120302

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130302

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140302

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term