JP3576934B2 - 多元金属化合物層の成長のための方法及び混合金属又は金属化合物層の成長のための組成物 - Google Patents
多元金属化合物層の成長のための方法及び混合金属又は金属化合物層の成長のための組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3576934B2 JP3576934B2 JP2000212008A JP2000212008A JP3576934B2 JP 3576934 B2 JP3576934 B2 JP 3576934B2 JP 2000212008 A JP2000212008 A JP 2000212008A JP 2000212008 A JP2000212008 A JP 2000212008A JP 3576934 B2 JP3576934 B2 JP 3576934B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- mixture
- solvent
- ligand complex
- free
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/02—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
- C23C18/12—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
- C23C18/1204—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material inorganic material, e.g. non-oxide and non-metallic such as sulfides, nitrides based compounds
- C23C18/1208—Oxides, e.g. ceramics
- C23C18/1216—Metal oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/34—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/40—Oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/40—Oxides
- C23C16/401—Oxides containing silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/40—Oxides
- C23C16/405—Oxides of refractory metals or yttrium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/02—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
- C23C18/12—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
- C23C18/1225—Deposition of multilayers of inorganic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/02—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
- C23C18/12—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
- C23C18/125—Process of deposition of the inorganic material
- C23C18/1254—Sol or sol-gel processing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/02—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
- C23C18/12—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
- C23C18/125—Process of deposition of the inorganic material
- C23C18/1258—Spray pyrolysis
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02565—Oxide semiconducting materials not being Group 12/16 materials, e.g. ternary compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02623—Liquid deposition
- H01L21/02628—Liquid deposition using solutions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基材上に多元金属又は金属化合物層を成長させるための組成物と方法に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
半導体製造産業は、集積回路、記憶装置及びフラットパネルディスプレイ装置のための適切な電気デバイスを作るために半導体及び絶縁性又は誘電性基材に薄い層、プラグ、ビア及びパターンでもって金属、金属混合物及び金属化合物混合物を堆積させるのに適切な材料と堆積技術を必要としている。
【0003】
適当な電子材料基材上に金属、金属化合物及びそれらの混合物を堆積させるための様々な方法が知られており、それらには、物理的な方法(スパッタリング、分子線エピタキシー、蒸着及びレーザーアブレーション)、合金化、そして化学気相成長(プラズマ、光又はレーザーに支援される、低圧及び高温での)が含まれる。
【0004】
様々な多元金属酸化物が、“Advances in Processingof Ferroelectric Thin Films”,L.M.Sheppard,Ceramic Bulletin,Vol.71,No.1,pp.85−95(1992)、“Formation of Al2 O3 −Ta2 O5 Double−Oxide Thin Films by Low−Pressure MOCVD and Evaluation of Their Corrosion Resistances in Acid andAlkali Solutions”,Hara et al.,Journal of the Electrochemical Society,146(2),pp.510−516(1999)、“High Coercivity in Sm2 Fe17Nx Magnets”,Schnitzke etal.,Appl.Phys.Lett.57(26),pp.2853−2855(Dec.24,1990)、“Investigation of Ternary Transition−Metal Nitride Systems by Reactive Cosputtering”,Van Dover et al.,Chem.Mater.,Vol.5,pp.32−35(1993)、“Reactively Sputtered Ti−Si−N Films II.Diffusion Barriers for Aland Cu Metallizations on Si”,Sun etal.,J.Appl.Phys.,81(2),pp.664−671(Jan.15,1997)、“MOCVD Routes to Thin Metal Oxide Films for Superconducting Electronics”,Schulz et al.,Adv.Mater.6,No.10,pp.719−730(1994)、“Compositional and Microstructural Characterization of RuO2 −TiO2 Catalysts Synthesized by the Sol−Gel Method”,Guglielmi et.al.,J.Electrochem.Soc.,Vol.139,No.6,pp.1665−1661(June 1992)、“Enhancement of the Dielectric Constant of Ta2 O5 Through Substitution with TiO2 ”,Cava et al.,Nature,Vol.377,21,pp.215−217(Sept.1995)、米国特許第4058430号明細書で列挙されたものを含めて、文献で知られており、そのうちの後者の米国特許明細書には「原子層エピタキシー」として知られる成長方法も開示されている。
【0005】
化学気相成長(CVD)は、均一でコンフォーマルな成長をもたらす特性と高制御性の条件下で材料のアレイを成長させることができることから、近年支持を獲得している。一般的に、化学気相成長は、制御された仕方でもって高純度の材料を高速に成長させることができる。
【0006】
しかし、化学気相成長には、その実施を忌避させるいくつかの欠点がある。所望の化学物質の全てが、化学気相成長で処理できるだけ十分に揮発性であるわけではない。一部の化学物質は貯蔵あるいは送出条件において固体である。一部の化学物質は適切な貯蔵と送出のためには揮発性でありすぎる。
【0007】
化学気相成長を行うための状況は、例えば多元金属化学物質の気相成長、例として多元金属酸化物の化学気相成長におけるように、いくつかの化学物質を同時に成長(堆積)させる必要性によって更に複雑にされる。金属前駆物質がお互いどうし反応することがあり、あるいはCVDのための少なくとも1種の金属前駆物質が非常に揮発性であり又は非常に不揮発性である、すなわち固体であることがある。
【0008】
CVDのこれらの不都合を克服するために、先行技術では、固体の金属前駆物質を溶解するために、あるいはCVD用の液体の、特に粘稠な液体の、金属前駆物質を混合するために、溶媒を使用してきた。
【0009】
米国特許第5204314号明細書には、CVDのための金属前駆物質の液体混合物あるいは溶媒混合物のフラッシュ蒸発のための孔付きの装置が開示されている。
米国特許第5820664号明細書には、CVDにとって有用である、混合金属化合物前駆物質の種々の溶媒混合物が記載されている。
【0010】
しかし、CVDのために液体を送出するための溶媒系は、相溶性の揮発性溶媒を選定しなくてはならないので、問題がある。溶媒は、所定の流量と時間について送出される有効な化学物質の量を減少させる。より重大なことに、溶媒は、慎重な扱いを要する半導体及び電子デバイスの製造を行う敏感な反応帯域へ更に別の化学物質を導入する。そのような溶媒が存在することの不利な影響を考慮しなくてはならない。最後に、溶媒は環境及びコスト要因を代表するものである。溶媒又はその分解生成物は、利用後に再循環し、捕捉し、あるいは処理しなくてはならない。
【0011】
国際公開第98/46617号パンフレットには、金属前駆物質と、混合β−ジケトネートから金属を成長(堆積)させる方法とが記載されている。この国際出願は、直接の液体の注入によるCVD及びそのほかの成長用に金属前駆物質を液体で送出することに関するものである。混合β−ジケトネートを使用することは、前駆物質の液体状態を増進して送出を容易にする。溶媒はこれらの液体混合物にとっての一つの選択肢である。
【0012】
同様の開示が、“New Liquid Precursors for Chemical Vapor Deposition”,Gordon et al.,Mater.Res.Soc.Symp.Proc.,495,pp.63−68(1998)と、“Liquid Compounds for CVD of Alkaline Earth Metals”,Gordon et.al.,MRS Meeting,April 7,1999,San Francisco,CAに見られる。
【0013】
金属前駆物質の送出のために適切な液体媒体を提供する先行技術の試みは、選ばれた溶媒又は混合β−ジケトネート配位子を使用して送出のための液体条件を確保することを必要とした。溶媒にあっては、汚染と除去が問題となる。混合配位子にあっては、液体なしの条件に至りかねない意図しない配位子交換が問題となる。β−ジケトネート配位子はしばしば、固体条件に通じる条件を回避するためのβ−ジケトネート置換基の調節がないと固体金属化合物に通じ、かくして意図することなく配位子交換するという結果を更に悪化させる。本発明は、確固とした成長性能のために溶媒と配位子交換の欠点を回避するため、成長のために金属の無溶媒の共通配位子混合物を液体状態で、好ましくは直接の液体注入により使用することによって、これらの欠点を克服する。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明は、次に掲げるa)〜d)を含む、電子材料の基材上に酸素含有多元金属化合物層を成長させるための方法である。
a)周囲条件において液体を構成する2種以上の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒の液体混合物を提供すること。ここで、当該配位子は同一であって、アルキル、アルコキシド、水素、アミド、イミド、アジ化物イオン、硝酸根、シクロペンタジエニル、カルボニル、並びにそれらのフッ素、酸素及び窒素置換類似物からなる群より選ばれる。
b)当該無溶媒の液体混合物を、上記基材が位置している成長帯域へ送出すること。
c)当該基材を成長条件下で当該無溶媒の液体混合物と接触させ、この成長条件下での接触を、化学気相成長、スプレー熱分解、ゾル−ゲルプロセス、スピンコーティング及び原子層エピタキシーからなる群より選択すること。
d)当該無溶媒の液体混合物から当該基材上に酸素含有多元金属化合物層を成長させること。
【0015】
本発明は、より好ましくは、次に掲げるa)〜d)を含む、電子材料の基材上に酸素含有多元金属化合物層を成長させるための方法である。
a)周囲条件において液体を構成する2種以上の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒の液体混合物を提供すること。ここで、当該前駆物質の配位子は同一であって、そしてアルキル、アルコキシド、水素、アミド、イミド、アジ化物イオン、硝酸根、シクロペンタジエニル、カルボニル、並びにそれらのフッ素、酸素及び窒素置換類似物からなる群より選ばれる。
b)当該無溶媒の液体混合物を直接の液体注入によりフラッシュ蒸発帯域へ送出して当該無溶媒の液体混合物を気化させること。
c)当該基材を、得られた当該無溶媒の液体混合物の蒸気と成長条件下で接触させること。
d)当該無溶媒の液体混合物から当該基材上に酸素含有多元金属化合物層を成長させること。
【0016】
好ましくは、周囲条件は40℃以下且つ207kPa(ゲージ圧)(30psig)以下である。
より好ましくは、周囲条件は20〜30℃且つ34〜41kPa(ゲージ圧)(5〜6psig)である。
【0017】
好ましくは、無溶媒混合物は基材上に多元金属化合物層を成長させる前に酸素源と混合される。
好ましくは、酸素源は95+体積%の酸素、オゾン、亜酸化窒素、酸化窒素、二酸化窒素、水、過酸化水素、空気及びそれらの混合物からなる群から選ばれる。
【0018】
もう一つの側面において、本発明は、電子材料の基材上に多元金属化合物層を成長させるための方法であって、下記のa)〜d)、すなわち、
a)周囲条件において液体を構成する2種以上の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物であって、当該配位子が同一であり、且つアルキル、アルコキシド、ハロゲン、水素、アミド、イミド、アジ化物イオン、硝酸根、シクロペンタジエニル、カルボニル、並びにそれらのフッ素、酸素及び窒素置換類似物からなる群より選ばれる、無溶媒混合物を提供すること、
b)当該無溶媒混合物を直接の液体注入によりフラッシュ蒸発帯域へ送出して当該無溶媒混合物を気化させること、
c)当該基材を、得られた当該無溶媒混合物の蒸気と成長条件下で接触させること、
d)当該無溶媒混合物から当該基材上に多元金属化合物層を成長させること、
を含み、当該基材上に当該多元金属化合物層を成長させる前に当該無溶媒混合物を窒素源と混合する、電子材料の基材上に多元金属化合物層を成長させるための方法である。
好ましくは、窒素源は窒素、アンモニア、ヒドラジン、アルキルヒドラジン、アジ化水素、アルキルアミン及びそれらの混合物からなる群から選ばれる。
【0019】
好ましくは、無溶媒混合物から基材上に多元金属又は金属化合物層を作るための成長法は、化学気相成長、スプレー熱分解、ゾル−ゲルプロセス、スピンコーティング及び原子層エピタキシーからなる群より選ばれる。
【0020】
好ましくは、多元金属化合物層は、混合金属合金、混合金属酸化物、混合金属窒化物、混合金属炭化物、混合金属炭窒化物、混合金属酸炭窒化物、混合金属酸炭化物、混合金属硫化物、混合金属リン化物、混合金属ヒ化物、混合金属アンチモン化物、混合金属セレン化物、混合金属テルル化物及びそれらの混合物からなる群より選ばれる。
【0021】
本発明はまた、混合金属又は金属化合物層を成長させるための組成物であって、少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物を含み、当該混合物が周囲条件において液体であり、且つ当該前駆物質の配位子が、アルキル、アルコキシド、ハロゲン、水素、アミド、イミド、アジ化物イオン、硝酸根、シクロペンタジエニル、カルボニル、並びにそれらのフッ素、酸素及び窒素置換類似物からなる群より選ばれ、当該混合物は周囲条件において液体である第一の金属−配位子錯体前駆物質と、周囲条件において液体である第二の金属−配位子錯体前駆物質とを含む、混合金属又は金属化合物層の成長のための組成物である。
【0023】
好ましくは、少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物の金属は、亜鉛、カドミウム、水銀、アルミニウム、ガリウム、インジウム、タリウム、スズ、鉛、アンチモン、ビスマス、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、スカンジウム、イットリウム、ランタン、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、タングステン、マンガン、テクネチウム、レニウム、鉄、ルテニウム、オスミウム、コバルト、ロジウム、イリジウム、ニッケル、パラジウム、白金、銅、銀、金、ケイ素及びセリウムからなる群より個々に選ばれる。
【0024】
好ましくは、少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物の配位子は、ジメチルアミド、ジエチルアミド、エチルメチルアミド、ブチルアミド、ジプロピルアミド、メチルプロピルアミド、エチルプロピルアミド、メトキシ、エトキシ、プロポキシ及びブトキシからなる群より選ばれる。
【0025】
好ましくは、少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物は、Zr(N(CH2 CH3 )2 )4 、Sn(N(CH2 CH3 )2 )4 及びTi(N(CH2 CH3 )2 )4 を含む。
あるいはまた、少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物は、Z r(N(CH3 )2 )4 、Sn(N(CH3 )2 )4 及びTi(N(CH3 )2 )4 を含む。
【0026】
更にあるいは、少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物は、Zr(O(C4 H9 ))4 、Sn(O(C4 H9 ))4 及びTi(O(C4 H9 ))4 を含む。
更にあるいは、少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物は、Ta(N(CH3 )2 )5 及びTi(N(CH3 )2 )4 を含む。
更にあるいは、少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物は、CH3 CH2 N=Ta(N(CH2 CH3 )2 )3 及びTi(N(CH2 CH3 )2 )4 を含む。
更にあるいは、少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物は、Al(OCH2 CH3 )3 及びTa(OCH2 CH3 )5 を含む。
【0027】
好ましくは、少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物は、Si(N(CH2 CH3 )2 )4 を含み、且つ、Ti(N(CH2 CH3 )2 )4 、Zr(N(CH2 CH3 )2 )4 、Hf(N(CH2 CH3 )2 )4 、V(N(CH2 CH3 )2 )5 、V(N(CH2 CH3 )2 )4 、Nb(N(CH2 CH3 )2 )5 、Nb(N(CH2 CH3 )2 )4 、CH3 CH2 N=Nb(N(CH2 CH3 )2 )3 、CH3 CH2 N=V(N(CH2 CH3 )2 )3 、(CH3 CH2 N=)2 W(N(CH2 CH3 )2 )2 、(CH3 CH2 N=)2 Mo(N(CH2 CH3 )2 )2 及びCH3 CH2 N=Ta(N(CH2 CH3 )2 )3 からなる群より選ばれる金属−配位子錯体前駆物質を含む。
【0028】
【発明の実施の形態】
多成分金属含有材料、例えば混合金属酸化物や窒化物等は、各個々の金属酸化物/窒化物成分にはない独特の物理的性質を有することがよくある。例えば、一部の混合金属酸化物は、高誘電率材料、強誘電体、高温超伝導体、触媒及び耐腐食性コーティング用に使用することができる。また、一部の混合金属窒化物は、良好な拡散バリア特性、超伝導及び磁気特性を示す。
【0029】
電子産業では、集積回路(IC)デバイスの大きさがどんどん小さくなるにつれて、化学気相成長(CVD)により成長させた薄膜は種々の非平坦面におけるコンフォーマルカバレージに関して物理気相成長(PVD)法よりも有利であることを証明している。一般に、前駆物質の送出における容易さと再現性のために、CVD用途向けには液体の前駆物質の方が好まれる。CVD処理で使用される普通の前駆物質送出方法には、蒸気の抜き出し、キャリヤガスでのバブリング、霧滴(エーロゾル又はスプレー)での送出、そして直接の液体注入(DLI)が含まれる。DLIは、供給元コンテナにおけるのと同じ比率の構成成分を反応器へ送出するので、多成分の送出にとって特に好ましい方法である。DLIには、前駆物質を室温で保管しそして送出しようとする必要量のみを加熱するという、従って前駆物質の保存寿命を向上させるという、追加の利点がある。
【0030】
本発明においては、CVD用途におけるDLIを含めて、前駆物質分散送出法のために使用することができる新しい液体前駆物質混合物組成が開示される。揮発性の成分は、
1)それらが化学的に相容性であり、従って不揮発性のポリマー種又は多核種が生成されないように、
2)金属上での配位子交換のため又は配位子間反応のために沈降物が生じないように、すなわち全ての前駆物質について同一の配位子が使用される(すなわちホモレプチック(homoleptic)であり、本発明について言えば、(RN)=MはM(NR2 )と同じであると見なされる)ように、
3)混合物が低粘度と熱安定性を維持するように、そして
4)不所望の酸化還元化学反応(例えば、M+1+M’+3→M+2+M’+2)が起こらないように、
選ばれる。
【0031】
液体混合物は、液体の金属−配位子錯体を直接混合するか、あるいは液体の金属−配位子錯体(1種又は複数種)中に固体の金属−配位子錯体(1種又は複数種)を溶解させて、調製することができる。これらの系では、前駆物質混合物を溶解又は希釈し得られた混合物の全体を液相とするのに、溶媒は必要でなくあるいは求められない。有機溶媒を使用する広い範囲のCVD前駆物質溶液が、以前は薄膜の成長のための前駆物質として使用されていた。本発明の新しい無溶媒の前駆物質混合物は、CVD処理後に集めるべき余計な揮発性有機媒体がないので、排気中のCVD流出物を除去する負担を軽減する。その上、ここに記載された液体混合物では溶媒を使用しないので、大きな処理量の金属含有蒸気をCVD反応器へ送出することができる。こうして、これらの新しい液体前駆物質混合物を使用するCVDの全体プロセスは、従来技術の説明で述べた前駆物質溶液の液体注入による送出よりも環境に優しく且つ原価効率的である。
【0032】
CVD又はMOCVD(有機金属CVD)のほかに、本発明の液体混合物は、原子層エピタキシー、スピンコーティング、スプレー熱分解及びゾル−ゲルプロセスで処理することができる。原子層エピタキシーでは、ほぼ単層の前駆物質分子が表面に吸着される。この第一の前駆物質層の上に第二の反応物を投入し、続いてこの第二の反応物と既に表面にある第一の反応物とを反応させる。この交互の手順を繰り返して、原子の厚さに近い層でもって所望の厚さの元素又は化合物を提供する。基材の温度を制御して不所望の成長(堆積)を避けることができる。スピンコーティングでは、液体媒体を回転している基材上へ分配して、加熱又は反応等の作用により乾燥させる。スプレー熱分解では、霧滴(エーロゾル)を作り続いて前駆物質を熱的に又は光の作用で分解させる。ゾル−ゲルプロセスでは、前駆物質の加水分解と縮合を行い、前駆物質は回転、浸漬又は吹き付けにより目標の基材上に付着させる。得られたアモルファスの膜を比較的低温(500〜800℃)でアニールし、結晶化と緻密化を行う。DLIを使用するCVDでは、無溶媒混合物を周囲条件で貯蔵器から液体の状態でフラッシュ蒸発帯域へ送出し、そこで無溶媒混合物を金属−配位子錯体前駆物質の気化温度、典型的に100〜500℃まで素早く加熱する。これらは、反応室のような成長帯域において起こる様々な成長プロセスについてそれぞれの成長条件を構成する。
【0033】
多成分前駆物質は、金属アルキル、金属アルコキシド、金属ハロゲン化物、金属水素化物、金属アミド、金属イミド、金属アジ化物、金属硝酸塩、金属シクロペンタジエニル、金属カルボニル、及びそれらのフッ素、酸素及び窒素置換類似物からなる群より選ばれるが、それらに限定はされない。好ましくは、少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物の配位子は、ジメチルアミド、ジエチルアミド、エチルメチルアミド、ブチルアミド、ジプロピルアミド、メチルプロピルアミド、エチルプロピルアミド、メトキシ、エトキシ、プロポキシ及びブトキシからなる群より選ばれる。可能性のある従来技術の配位子交換の問題を回避するために、同じであるか共通の配位子、ホモレプチック配位子を使用することが重要である。好ましくは、ホモレプチック配位子は単座配位子である。
【0034】
金属配位子前駆物質の金属は、亜鉛、カドミウム、水銀、アルミニウム、ガリウム、インジウム、タリウム、スズ、鉛、アンチモン、ビスマス、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、スカンジウム、イットリウム、ランタン、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、タングステン、マンガン、テクネチウム、レニウム、鉄、ルテニウム、オスミウム、コバルト、ロジウム、イリジウム、ニッケル、パラジウム、白金、銅、銀、金、ケイ素及びセリウムのうちの1種又は2種以上でよい。
【0035】
2種以上の金属−配位子前駆物質の無溶媒混合物が液体でなければならない周囲条件は、一般に40℃以下且つ207kPa(ゲージ圧)(30psig)未満として定義される。好ましくは、液相の送出のための周囲条件は20〜30℃且つ34〜41kPa(ゲージ圧)(5〜6psig)である。
【0036】
適切に選ばれた前駆物質は、酸化剤又は窒素含有反応物の存在下においては、混合金属酸化物、窒化物及び酸窒化物のいずれかをもたらす。そのほかに、適切な前駆物質混合物とCVD条件を使用して、混合金属合金、炭化物、炭窒化物、酸炭化物、酸炭窒化物、硫化物、リン化物、ヒ化物、アンチモン化物、セレン化物及びテルル化物を成長させることも可能である。酸化剤又は窒素含有反応物には、95+体積%の酸素、オゾン、水、過酸化水素、亜酸化窒素、酸化窒素、二酸化窒素、空気、窒素ガス、アンモニア、ヒドラジン、アルキルヒドラジン、アルキルアミン及びそれらの混合物が含まれるが、酸化剤又は窒素含有反応物はそれらには限定されない。
【0037】
熱CVDに加えて、上記の前駆物質は、プラズマ、レーザー又は光に支援されるCVD成長、周知の成長手法のために、あるいは原子層エピタキシーにより、利用することができよう。更に、液体混合物前駆物質の適切な選択は、膜のゾル−ゲルプロセス、スプレー熱分解及びスピンコーティングにも当てはめることができる。
【0038】
少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の典型例の無溶媒混合物は、Zr(N(CH2 CH3 )2 )4 とSn(N(CH2 CH3 )2 )4 とTi(N(CH2 CH3 )2 )4 、又はZr(N(CH3 )2 )4 とSn(N(CH3 )2 )4 とTi(N(CH3 )2 )4 、又はZr(O(C4 H9 ))4 とSn(O(C4 H9 ))4 とTi(O(C4 H9 ))4 、又はTa(N(CH3 )2 )5 とTi(N(CH3 )2 )4 、又はCH3 CH2 N=Ta(N(CH2 CH3 )2 )3 とTi(N(CH2 CH3 )2 )4 、又はAl(OCH2 CH3 )3 とTa(OCH2 CH3 )5 、又はSi(N(CH2 CH3 )2 )4 と、次の群、すなわちTi(N(CH2 CH3 )2 )4 、Zr(N(CH2 CH3 )2 )4 、Hf(N(CH2 CH3 )2 )4 、V(N(CH2 CH3 )2 )5 、V(N(CH2 CH3 )2 )4 、Nb(N(CH2 CH3 )2 )5 、Nb(N(CH2 CH3 )2 )4 、CH3 CH2 N=Nb(N(CH2 CH3 )2 )3 、CH3 CH2 N=V(N(CH2 CH3 )2 )3 、(CH3 CH2 N=)2 W(N(CH2 CH3 )2 )2 、(CH3 CH2 N=)2 Mo(N(CH2 CH3 )2 )2 及びCH3 CH2 N=Ta(N(CH2 CH3 )2 )3 からなる群より選ばれる金属−配位子錯体前駆物質、を含む。
【0039】
【実施例】
次に、前駆物質と成長(堆積)のいくつかの比限定の例でもって、本発明を説明することにする。
【0040】
(例1)
この例はZr−Sn−Ti−Ox 前駆物質を説明する。
19.0g(0.05モル)のZr(N(CH2 CH3 )2 )4 、20.4g(0.05モル)のSn(N(CH2 CH3 )2 )4 、及び50.5g(0.15モル)のTi(N(CH2 CH3 )2 )4 を、不活性雰囲気下に室温で混合して、黄−オレンジ色の透明な液体混合物を得た。この混合物を110〜120℃の加熱浴温度範囲において減圧下で蒸留した。これはDLI送出のために有用であることを示す。
【0041】
(例2)
この例はTi−Ta−Ox を説明する。
Ti−Ta−Ox のための金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒液体混合物は、例1におけるのと同じやり方でもってTi(N(CH3 )2 )5 (液体)に溶かしたTa(N(CH3 )2 )5 (固体)から作ることができる。
【0042】
(例3)
この例はTi−Ta−Ox を説明する。
Ti−Ta−Ox のための金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒液体混合物は、例1におけるのと同じやり方でもってTi(N(CH2 CH3 )2 )4 に混合したCH3 CH2 N=Ta(N(CH2 CH3 )2 )3 から作ることができる。
【0043】
(例4)
この例はAlをドープしたTaOx を説明する。
AlをドープしたTaOx のための金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒液体混合物は、例1におけるのと同じやり方でもってAl(OCH2 CH3 )3 (固体)とTa(OCH2 CH3 )5 (液体)の混合物から作ることができる。
【0044】
(例5)
この例はM−Si−Mを説明する。
M−Si−Mのための金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒液体混合物は、例1におけるのと同じやり方でもって、(a)Si(N(CH2 CH3 )2 )4 (液体)と(b)M(N(CH2 CH3 )2 )x (この式中のM=Ti、Zr、Hf、V、Nbであり、x=4又は5である)、あるいは(c)(R−N=)x M’(N(CH2 CH3 )2 )y (この式中のM’=Ta、Nb、W、Moであり、R=C1 〜C5 アルキルであり、M’=Ta又はNbの場合x=1且つy=3、M’=W又はMoの場合x=y=2である)(全て液体)の混合物から作ることができる。
【0045】
(例6)
この例はCVDによる混合金属化合物の成長を説明する。
100sccmの酸素流とともに120sccmのヘリウムスイープガスを使用して、気化温度が110℃の直接液体注入装置の、混合金属化合物膜の成長のため240〜300℃に保持したウエハー基材ターゲット上へ、Zr(N(CH2 CH3 )2 )4 、Sn(N(CH2 CH3 )2 )4 及びTi(N(CH2 CH3 )2 )4 の金属−配位子錯体前駆物質の溶媒混合物を0.06ml/minで送出した。成長は10〜30nm(100〜300オングストローム)/minであった。反応器の反応室圧力は270Pa(2Torr)であった。これらの条件下でCVDにより前駆物質混合物から成長させた膜のエネルギー分散性X線分析から、成長した膜中にZr、Sn及びTi金属が取り込まれることが証明された。
【0046】
金属前駆物質を送出するための適切な液体媒体を提供するという以前の試みは、送出のために液体条件を確保するのに、選ばれた溶媒又は混合β−ジケトネート配位子の使用を必要とした。溶媒は費用を追加することになり、そして相溶性のために適切な選定をするという問題、且つまた汚染と使用後の除去という問題を引き起こす。液相での送出の目標を解決するための無溶媒の試みは、β−ジケトネート配位子を必要としたが、これらでは非液体条件に至りかねない意図しない配位子交換が問題となる。固体条件に通じる条件を回避するためにβ−ジケトネート置換基を操作しなければ、β−ジケトネート配位子はしばしば固体の金属化合物をもたらし、そうして意図しない配位子交換の結果を一層悪化させる。本発明は、ばらつきのない成長性能のために溶媒とβ−ジケトネート配位子交換の欠点を避けるため、好ましくは直接の液体注入による金属の混合物の成長用の液体状態の金属−配位子錯体において、無溶媒の、非β−ジケトネートの、単一又は共通配位子を使用することによって、これらの欠点を克服することを示した。
【0047】
本発明はいくつかの好ましい態様に関して説明されてはいるが、本発明の完全な範囲は特許請求の範囲の記載から確認されるべきものである。
Claims (19)
- 下記のa)〜d)を含む、電子材料の基材上に酸素含有多元金属化合物層を成長させるための方法。
a)周囲条件において液体を構成する2種以上の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒の液体混合物であって、当該配位子が同一であり、且つアルキル、アルコキシド、水素、アミド、イミド、アジ化物イオン、硝酸根、シクロペンタジエニル、カルボニル、並びにそれらのフッ素、酸素及び窒素置換類似物からなる群より選ばれる、無溶媒の液体混合物を提供すること
b)当該無溶媒の液体混合物を上記基材が位置している成長帯域へ送出すること
c)当該基材を成長条件下で当該無溶媒の液体混合物と接触させ、この成長条件下での接触を、化学気相成長、スプレー熱分解、ゾル−ゲルプロセス、スピンコーティング及び原子層エピタキシーからなる群より選択すること
d)当該無溶媒の液体混合物から当該基材上に酸素含有多元金属化合物層を成長させること - 下記のa)〜d)を含む、電子材料の基材上に酸素含有多元金属化合物層を成長させるための方法。
a)周囲条件において液体を構成する2種以上の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒の液体混合物であって、当該配位子が同一であり、且つアルキル、アルコキシド、水素、アミド、イミド、アジ化物イオン、硝酸根、シクロペンタジエニル、カルボニル、並びにそれらのフッ素、酸素及び窒素置換類似物からなる群より選ばれる、無溶媒の液体混合物を提供すること
b)当該無溶媒の液体混合物を直接の液体注入によりフラッシュ蒸発帯域へ送出して当該無溶媒の液体混合物を気化させること
c)当該基材を、得られた当該無溶媒の液体混合物の蒸気と成長条件下で接触させること
d)当該無溶媒の液体混合物から当該基材上に酸素含有多元金属化合物層を成長させること - 前記周囲条件が40℃以下且つ207kPa(ゲージ圧)(30psig)以下である、請求項1又は2記載の方法。
- 前記周囲条件が20〜30℃且つ34〜41kPa(ゲージ圧)(5〜6psig)である、請求項1又は2記載の方法。
- 前記基材上に前記多元金属化合物層を成長させる前に前記無溶媒混合物を酸素源と混合する、請求項1から4までのいずれか一つに記載の方法。
- 前記酸素源を95+体積%の酸素、オゾン、亜酸化窒素、酸化窒素、二酸化窒素、水、過酸化水素、空気及びそれらの混合物からなる群から選ぶ、請求項5記載の方法。
- 電子材料の基材上に多元金属化合物層を成長させるための方法であって、下記のa)〜d)、すなわち、
a)周囲条件において液体を構成する2種以上の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物であって、当該配位子が同一であり、且つアルキル、アルコキシド、ハロゲン、水素、アミド、イミド、アジ化物イオン、硝酸根、シクロペンタジエニル、カルボニル、並びにそれらのフッ素、酸素及び窒素置換類似物からなる群より選ばれる、無溶媒混合物を提供すること、
b)当該無溶媒混合物を直接の液体注入によりフラッシュ蒸発帯域へ送出して当該無溶媒混合物を気化させること、
c)当該基材を、得られた当該無溶媒混合物の蒸気と成長条件下で接触させること、
d)当該無溶媒混合物から当該基材上に多元金属化合物層を成長させること、
を含み、当該基材上に当該多元金属化合物層を成長させる前に当該無溶媒混合物を窒素源と混合する、電子材料の基材上に多元金属化合物層を成長させるための方法。 - 前記窒素源を窒素、アンモニア、ヒドラジン、アルキルヒドラジン、アジ化水素、アルキルアミン及びそれらの混合物からなる群から選ぶ、請求項7記載の方法。
- 前記多元金属化合物層を、混合金属合金、混合金属酸化物、混合金属窒化物、混合金属炭化物、混合金属炭窒化物、混合金属酸炭窒化物、混合金属酸炭化物、混合金属硫化物、混合金属リン化物、混合金属ヒ化物、混合金属アンチモン化物、混合金属セレン化物、混合金属テルル化物及びそれらの混合物からなる群より選ぶ、請求項1から4までのいずれか一つに記載の方法。
- 混合金属又は金属化合物層の成長のための組成物であって、少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物を含み、当該混合物が周囲条件において液体であり、且つ当該配位子が、アルキル、アルコキシド、ハロゲン、水素、アミド、イミド、アジ化物イオン、硝酸根、シクロペンタジエニル、カルボニル、並びにそれらのフッ素、酸素及び窒素置換類似物からなる群より選ばれ、当該混合物が、周囲条件において液体である第一の金属−配位子錯体前駆物質と、周囲条件において液体である第二の金属−配位子錯体前駆物質とを含む、混合金属又は金属化合物層の成長のための組成物。
- 前記少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物の当該金属が、亜鉛、カドミウム、水銀、アルミニウム、ガリウム、インジウム、タリウム、スズ、鉛、アンチモン、ビスマス、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、スカンジウム、イットリウム、ランタン、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、タングステン、マンガン、テクネチウム、レニウム、鉄、ルテニウム、オスミウム、コバルト、ロジウム、イリジウム、ニッケル、パラジウム、白金、銅、銀、金、ケイ素及びセリウムからなる群より個々に選ばれる、請求項10記載の組成物。
- 前記少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物の当該配位子が、ジメチルアミド、ジエチルアミド、エチルメチルアミド、ブチルアミド、ジプロピルアミド、メチルプロピルアミド、エチルプロピルアミド、メトキシ、エトキシ、プロポキシ及びブトキシからなる群より選ばれる、請求項10又は11記載の組成物。
- 前記少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物が、Zr(N(CH2 CH3 )2 )4 、Sn(N(CH2 CH3 )2 )4及びTi(N(CH2 CH3 )2 )4 を含む、請求項10記載の組成物。
- 前記少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物が、Zr(N(CH3 )2 )4 、Sn(N(CH3 )2 )4 及びTi(N(CH3 )2 )4 を含む、請求項10記載の組成物。
- 前記少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物が、Zr(O(C4 H9 ))4 、Sn(O(C4 H9 ))4 及びTi(O(C4 H9 ))4 を含む、請求項10記載の組成物。
- 前記少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物が、Ta(N(CH3 )2 )5 及びTi(N(CH3 )2 )4 を含む、請求項10記載の組成物。
- 前記少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物が、Al(OCH2 CH3 )3 及びTa(OCH2 CH3 )5 を含む、請求項10記載の組成物。
- 前記少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物が、CH3 CH2 N=Ta(N(CH2 CH3 )2 )3 及びTi(N(CH2 CH3 )2 )4 を含む、請求項10記載の組成物。
- 前記少なくとも2種の金属−配位子錯体前駆物質の無溶媒混合物が、Si(N(CH2 CH3 )2 )4 を含み、且つ、Ti(N(CH2 CH3 )2 )4 、Zr(N(CH2 CH3 )2 )4 、Hf(N(CH2 CH3 )2)4 、V(N(CH2 CH3 )2 )5 、V(N(CH2 CH3 )2 )4 、Nb(N(CH2 CH3 )2 )5 、Nb(N(CH2 CH3 )2 )4 、CH3 CH2 N=Nb(N(CH2 CH3 )2 )3 、CH3 CH2 N=V(N(CH2 CH3 )2 )3 、(CH3 CH2 N=)2 Mo(N(CH2 CH3 )2 )2 、(CH3 CH2 N=)2 W(N(CH2 CH3 )2 )2 、及びCH3 CH2 N=Ta(N(CH2 CH3 )2 )3 からなる群より選ばれる金属−配位子錯体前駆物質を含む、請求項10記載の組成物。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/350,074 US6238734B1 (en) | 1999-07-08 | 1999-07-08 | Liquid precursor mixtures for deposition of multicomponent metal containing materials |
US09/350074 | 1999-07-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001081560A JP2001081560A (ja) | 2001-03-27 |
JP3576934B2 true JP3576934B2 (ja) | 2004-10-13 |
Family
ID=23375125
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000212008A Expired - Lifetime JP3576934B2 (ja) | 1999-07-08 | 2000-07-07 | 多元金属化合物層の成長のための方法及び混合金属又は金属化合物層の成長のための組成物 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6238734B1 (ja) |
EP (1) | EP1067595A3 (ja) |
JP (1) | JP3576934B2 (ja) |
KR (1) | KR100333933B1 (ja) |
TW (1) | TW467963B (ja) |
Families Citing this family (374)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6338809B1 (en) | 1997-02-24 | 2002-01-15 | Superior Micropowders Llc | Aerosol method and apparatus, particulate products, and electronic devices made therefrom |
US20030148024A1 (en) * | 2001-10-05 | 2003-08-07 | Kodas Toivo T. | Low viscosity precursor compositons and methods for the depositon of conductive electronic features |
US6503561B1 (en) * | 1999-07-08 | 2003-01-07 | Air Products And Chemicals, Inc. | Liquid precursor mixtures for deposition of multicomponent metal containing materials |
US6943392B2 (en) * | 1999-08-30 | 2005-09-13 | Micron Technology, Inc. | Capacitors having a capacitor dielectric layer comprising a metal oxide having multiple different metals bonded with oxygen |
US6743473B1 (en) * | 2000-02-16 | 2004-06-01 | Applied Materials, Inc. | Chemical vapor deposition of barriers from novel precursors |
FI117979B (fi) * | 2000-04-14 | 2007-05-15 | Asm Int | Menetelmä oksidiohutkalvojen valmistamiseksi |
US6558517B2 (en) * | 2000-05-26 | 2003-05-06 | Micron Technology, Inc. | Physical vapor deposition methods |
US6620723B1 (en) * | 2000-06-27 | 2003-09-16 | Applied Materials, Inc. | Formation of boride barrier layers using chemisorption techniques |
US6491978B1 (en) * | 2000-07-10 | 2002-12-10 | Applied Materials, Inc. | Deposition of CVD layers for copper metallization using novel metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) precursors |
US6642567B1 (en) * | 2000-08-31 | 2003-11-04 | Micron Technology, Inc. | Devices containing zirconium-platinum-containing materials and methods for preparing such materials and devices |
EP1327010B1 (en) | 2000-09-28 | 2013-12-04 | President and Fellows of Harvard College | Vapor deposition of silicates |
US6566147B2 (en) * | 2001-02-02 | 2003-05-20 | Micron Technology, Inc. | Method for controlling deposition of dielectric films |
US6838122B2 (en) * | 2001-07-13 | 2005-01-04 | Micron Technology, Inc. | Chemical vapor deposition methods of forming barium strontium titanate comprising dielectric layers |
US20030017266A1 (en) * | 2001-07-13 | 2003-01-23 | Cem Basceri | Chemical vapor deposition methods of forming barium strontium titanate comprising dielectric layers, including such layers having a varied concentration of barium and strontium within the layer |
US7011978B2 (en) * | 2001-08-17 | 2006-03-14 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming capacitor constructions comprising perovskite-type dielectric materials with different amount of crystallinity regions |
DE10140956A1 (de) * | 2001-08-27 | 2003-03-27 | Univ Braunschweig Tech Carolo Wilhelmina | Verfahren zur Beschichtung von oxidierbaren Materialien mit Oxide aufweisenden Schichten |
US6951666B2 (en) * | 2001-10-05 | 2005-10-04 | Cabot Corporation | Precursor compositions for the deposition of electrically conductive features |
US20030108664A1 (en) * | 2001-10-05 | 2003-06-12 | Kodas Toivo T. | Methods and compositions for the formation of recessed electrical features on a substrate |
US7524528B2 (en) * | 2001-10-05 | 2009-04-28 | Cabot Corporation | Precursor compositions and methods for the deposition of passive electrical components on a substrate |
US20060001726A1 (en) * | 2001-10-05 | 2006-01-05 | Cabot Corporation | Printable conductive features and processes for making same |
US7629017B2 (en) * | 2001-10-05 | 2009-12-08 | Cabot Corporation | Methods for the deposition of conductive electronic features |
JP2003124460A (ja) * | 2001-10-15 | 2003-04-25 | Atsushi Ogura | ゲート酸化膜、素子、ゲート酸化膜形成方法、ゲート酸化膜形成材料 |
KR20040077655A (ko) * | 2001-10-19 | 2004-09-06 | 슈페리어 마이크로파우더스 엘엘씨 | 전자 형상 증착용 테잎 조성물 |
US7553512B2 (en) * | 2001-11-02 | 2009-06-30 | Cabot Corporation | Method for fabricating an inorganic resistor |
EP1490529A1 (en) | 2002-03-28 | 2004-12-29 | President And Fellows Of Harvard College | Vapor deposition of silicon dioxide nanolaminates |
US6846516B2 (en) * | 2002-04-08 | 2005-01-25 | Applied Materials, Inc. | Multiple precursor cyclical deposition system |
US6720027B2 (en) * | 2002-04-08 | 2004-04-13 | Applied Materials, Inc. | Cyclical deposition of a variable content titanium silicon nitride layer |
US20030235961A1 (en) * | 2002-04-17 | 2003-12-25 | Applied Materials, Inc. | Cyclical sequential deposition of multicomponent films |
US6858547B2 (en) * | 2002-06-14 | 2005-02-22 | Applied Materials, Inc. | System and method for forming a gate dielectric |
US7067439B2 (en) * | 2002-06-14 | 2006-06-27 | Applied Materials, Inc. | ALD metal oxide deposition process using direct oxidation |
US20030232501A1 (en) * | 2002-06-14 | 2003-12-18 | Kher Shreyas S. | Surface pre-treatment for enhancement of nucleation of high dielectric constant materials |
US7560581B2 (en) * | 2002-07-12 | 2009-07-14 | President And Fellows Of Harvard College | Vapor deposition of tungsten nitride |
US6915592B2 (en) * | 2002-07-29 | 2005-07-12 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for generating gas to a processing chamber |
US7033560B2 (en) * | 2002-08-30 | 2006-04-25 | Air Products And Chemicals, Inc. | Single source mixtures of metal siloxides |
US6905737B2 (en) * | 2002-10-11 | 2005-06-14 | Applied Materials, Inc. | Method of delivering activated species for rapid cyclical deposition |
KR100459609B1 (ko) * | 2002-10-14 | 2004-12-03 | 주식회사 메카로닉스 | 코발트 및 코발트실리사이드 박막 증착을 위한유기코발트화합물과 그 제조방법 및 박막 제조방법 |
US6887523B2 (en) * | 2002-12-20 | 2005-05-03 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Method for metal oxide thin film deposition via MOCVD |
JP3909320B2 (ja) * | 2003-01-27 | 2007-04-25 | 三菱マテリアル株式会社 | 有機金属化学気相成長法用原料の合成方法 |
KR100505674B1 (ko) * | 2003-02-26 | 2005-08-03 | 삼성전자주식회사 | 루테늄 박막을 제조하는 방법 및 이를 이용한 mim캐패시터의 제조방법 |
US20040198069A1 (en) * | 2003-04-04 | 2004-10-07 | Applied Materials, Inc. | Method for hafnium nitride deposition |
JP4954448B2 (ja) * | 2003-04-05 | 2012-06-13 | ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. | 有機金属化合物 |
JP4689969B2 (ja) * | 2003-04-05 | 2011-06-01 | ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. | Iva族およびvia族化合物の調製 |
JP4714422B2 (ja) | 2003-04-05 | 2011-06-29 | ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. | ゲルマニウムを含有するフィルムを堆積させる方法、及び蒸気送達装置 |
US20050070126A1 (en) * | 2003-04-21 | 2005-03-31 | Yoshihide Senzaki | System and method for forming multi-component dielectric films |
JP4133589B2 (ja) * | 2003-04-21 | 2008-08-13 | 株式会社高純度化学研究所 | テトラキス(エチルメチルアミノ)バナジウムとその製造方法およびそれを用いた窒化バナジウム膜の形成方法 |
TW200506093A (en) * | 2003-04-21 | 2005-02-16 | Aviza Tech Inc | System and method for forming multi-component films |
US6844271B2 (en) * | 2003-05-23 | 2005-01-18 | Air Products And Chemicals, Inc. | Process of CVD of Hf and Zr containing oxynitride films |
JP4688458B2 (ja) * | 2003-10-30 | 2011-05-25 | 日本パイオニクス株式会社 | 絶縁膜成膜用原料及びそれを用いた成膜方法 |
KR20050091488A (ko) * | 2004-03-12 | 2005-09-15 | 주식회사 유피케미칼 | 세라믹 또는 금속박막 증착용 전구체 화합물 및 그제조방법 |
US20050252449A1 (en) | 2004-05-12 | 2005-11-17 | Nguyen Son T | Control of gas flow and delivery to suppress the formation of particles in an MOCVD/ALD system |
US20060062917A1 (en) * | 2004-05-21 | 2006-03-23 | Shankar Muthukrishnan | Vapor deposition of hafnium silicate materials with tris(dimethylamino)silane |
US8119210B2 (en) | 2004-05-21 | 2012-02-21 | Applied Materials, Inc. | Formation of a silicon oxynitride layer on a high-k dielectric material |
US8323754B2 (en) | 2004-05-21 | 2012-12-04 | Applied Materials, Inc. | Stabilization of high-k dielectric materials |
JP4959122B2 (ja) * | 2004-09-27 | 2012-06-20 | 株式会社アルバック | バナジウム含有膜の形成方法 |
CN101870218A (zh) * | 2005-01-14 | 2010-10-27 | 卡伯特公司 | 防伪特征件、其使用及其制造方法 |
US8383014B2 (en) | 2010-06-15 | 2013-02-26 | Cabot Corporation | Metal nanoparticle compositions |
US20060158497A1 (en) * | 2005-01-14 | 2006-07-20 | Karel Vanheusden | Ink-jet printing of compositionally non-uniform features |
WO2006076609A2 (en) | 2005-01-14 | 2006-07-20 | Cabot Corporation | Printable electronic features on non-uniform substrate and processes for making same |
US7575621B2 (en) | 2005-01-14 | 2009-08-18 | Cabot Corporation | Separation of metal nanoparticles |
WO2006076606A2 (en) | 2005-01-14 | 2006-07-20 | Cabot Corporation | Optimized multi-layer printing of electronics and displays |
US7824466B2 (en) | 2005-01-14 | 2010-11-02 | Cabot Corporation | Production of metal nanoparticles |
WO2006076603A2 (en) * | 2005-01-14 | 2006-07-20 | Cabot Corporation | Printable electrical conductors |
KR100657792B1 (ko) | 2005-01-24 | 2006-12-14 | 삼성전자주식회사 | 원자층 적층 방법과 이를 이용한 커패시터의 제조 방법 및게이트 구조물의 제조 방법 |
KR100688532B1 (ko) | 2005-02-14 | 2007-03-02 | 삼성전자주식회사 | 텔루르 전구체, 이를 이용하여 제조된 Te-함유 칼코게나이드(chalcogenide) 박막, 상기 박막의 제조방법 및 상변화 메모리 소자 |
FR2883287A1 (fr) * | 2005-03-16 | 2006-09-22 | Air Liquide | Precurseurs organo-metalliques et leur procede de fabrication |
KR20080003387A (ko) * | 2005-04-07 | 2008-01-07 | 에비자 테크놀로지, 인크. | 다중층, 다중성분 높은-k 막들 및 이들의 증착 방법 |
US7402534B2 (en) | 2005-08-26 | 2008-07-22 | Applied Materials, Inc. | Pretreatment processes within a batch ALD reactor |
US20070054048A1 (en) * | 2005-09-07 | 2007-03-08 | Suvi Haukka | Extended deposition range by hot spots |
US7550222B2 (en) * | 2005-10-21 | 2009-06-23 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Fuel cell component having a durable conductive and hydrophilic coating |
KR100724084B1 (ko) | 2005-11-16 | 2007-06-04 | 주식회사 유피케미칼 | 디알킬아미도디하이드로알루미늄 화합물을 이용한 박막증착방법 |
US20070194470A1 (en) * | 2006-02-17 | 2007-08-23 | Aviza Technology, Inc. | Direct liquid injector device |
US7798096B2 (en) | 2006-05-05 | 2010-09-21 | Applied Materials, Inc. | Plasma, UV and ion/neutral assisted ALD or CVD in a batch tool |
US7625637B2 (en) * | 2006-05-31 | 2009-12-01 | Cabot Corporation | Production of metal nanoparticles from precursors having low reduction potentials |
US8399056B2 (en) * | 2006-06-02 | 2013-03-19 | L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Method of forming high-k dielectric films based on novel titanium, zirconium, and hafnium precursors and their use for semiconductor manufacturing |
FR2904007B1 (fr) * | 2006-07-21 | 2008-11-21 | Toulouse Inst Nat Polytech | Procede de depot de revetements ceramiques non oxydes. |
JP2008182183A (ja) * | 2006-12-26 | 2008-08-07 | Doshisha | 原子層成長法を用いた成膜方法及びその成膜装置 |
CN101959897A (zh) | 2008-02-27 | 2011-01-26 | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 | 使用原子层沉积(ald)法在基底上形成含钛层的方法 |
US7659158B2 (en) | 2008-03-31 | 2010-02-09 | Applied Materials, Inc. | Atomic layer deposition processes for non-volatile memory devices |
KR101576033B1 (ko) | 2008-08-19 | 2015-12-11 | 삼성전자주식회사 | 전구체 조성물, 박막 형성 방법, 이를 이용한 게이트 구조물의 제조 방법 및 커패시터의 제조 방법 |
US8491967B2 (en) | 2008-09-08 | 2013-07-23 | Applied Materials, Inc. | In-situ chamber treatment and deposition process |
US20100062149A1 (en) * | 2008-09-08 | 2010-03-11 | Applied Materials, Inc. | Method for tuning a deposition rate during an atomic layer deposition process |
US9394608B2 (en) | 2009-04-06 | 2016-07-19 | Asm America, Inc. | Semiconductor processing reactor and components thereof |
US8802201B2 (en) * | 2009-08-14 | 2014-08-12 | Asm America, Inc. | Systems and methods for thin-film deposition of metal oxides using excited nitrogen-oxygen species |
US20110045183A1 (en) * | 2009-08-18 | 2011-02-24 | Youn-Joung Cho | Methods of forming a layer, methods of forming a gate structure and methods of forming a capacitor |
US8563085B2 (en) * | 2009-08-18 | 2013-10-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Precursor composition, methods of forming a layer, methods of forming a gate structure and methods of forming a capacitor |
JP5899615B2 (ja) * | 2010-03-18 | 2016-04-06 | 株式会社リコー | 絶縁膜の製造方法及び半導体装置の製造方法 |
US9176377B2 (en) | 2010-06-01 | 2015-11-03 | Inpria Corporation | Patterned inorganic layers, radiation based patterning compositions and corresponding methods |
MY153033A (en) * | 2011-01-04 | 2014-12-31 | Univ Sains Malaysia | Lanthanum cerium oxide thin film and its preparation thereof |
JP5730670B2 (ja) * | 2011-05-27 | 2015-06-10 | 株式会社Adeka | 酸化モリブデンを含有する薄膜の製造方法、及び酸化モリブデンを含有する薄膜の形成用原料 |
US9312155B2 (en) | 2011-06-06 | 2016-04-12 | Asm Japan K.K. | High-throughput semiconductor-processing apparatus equipped with multiple dual-chamber modules |
US10854498B2 (en) | 2011-07-15 | 2020-12-01 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer-supporting device and method for producing same |
US20130023129A1 (en) | 2011-07-20 | 2013-01-24 | Asm America, Inc. | Pressure transmitter for a semiconductor processing environment |
EP2573098A1 (en) * | 2011-09-22 | 2013-03-27 | L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Vanadium-organic compounds and their use for thin films deposition |
US9017481B1 (en) | 2011-10-28 | 2015-04-28 | Asm America, Inc. | Process feed management for semiconductor substrate processing |
US10714315B2 (en) | 2012-10-12 | 2020-07-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Semiconductor reaction chamber showerhead |
WO2014077073A1 (ja) * | 2012-11-19 | 2014-05-22 | 株式会社Adeka | モリブデンを含有する薄膜の製造方法、薄膜形成用原料及びモリブデンイミド化合物 |
US20160376700A1 (en) | 2013-02-01 | 2016-12-29 | Asm Ip Holding B.V. | System for treatment of deposition reactor |
US9310684B2 (en) | 2013-08-22 | 2016-04-12 | Inpria Corporation | Organometallic solution based high resolution patterning compositions |
WO2015056944A1 (ko) * | 2013-10-14 | 2015-04-23 | 한국화학연구원 | 몰리브데넘 화합물 또는 텅스텐 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
US10683571B2 (en) | 2014-02-25 | 2020-06-16 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply manifold and method of supplying gases to chamber using same |
US10167557B2 (en) | 2014-03-18 | 2019-01-01 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system, reactor including the system, and methods of using the same |
US11015245B2 (en) | 2014-03-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase reactor and system having exhaust plenum and components thereof |
US10858737B2 (en) | 2014-07-28 | 2020-12-08 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead assembly and components thereof |
US9890456B2 (en) | 2014-08-21 | 2018-02-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method and system for in situ formation of gas-phase compounds |
US9657845B2 (en) | 2014-10-07 | 2017-05-23 | Asm Ip Holding B.V. | Variable conductance gas distribution apparatus and method |
US10941490B2 (en) | 2014-10-07 | 2021-03-09 | Asm Ip Holding B.V. | Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same |
KR102450113B1 (ko) | 2014-10-23 | 2022-09-30 | 인프리아 코포레이션 | 유기 금속 용액 기반의 고해상도 패터닝 조성물 및 상응하는 방법 |
US9663547B2 (en) | 2014-12-23 | 2017-05-30 | L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Silicon- and Zirconium-containing compositions for vapor deposition of Zirconium-containing films |
US9499571B2 (en) | 2014-12-23 | 2016-11-22 | L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Germanium- and zirconium-containing compositions for vapor deposition of zirconium-containing films |
US10276355B2 (en) | 2015-03-12 | 2019-04-30 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same |
US10458018B2 (en) | 2015-06-26 | 2019-10-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same |
US10600673B2 (en) | 2015-07-07 | 2020-03-24 | Asm Ip Holding B.V. | Magnetic susceptor to baseplate seal |
KR20230035713A (ko) | 2015-10-13 | 2023-03-14 | 인프리아 코포레이션 | 유기주석 옥사이드 하이드록사이드 패터닝 조성물,전구체 및 패터닝 |
US10211308B2 (en) | 2015-10-21 | 2019-02-19 | Asm Ip Holding B.V. | NbMC layers |
US11139308B2 (en) | 2015-12-29 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices |
US10529554B2 (en) | 2016-02-19 | 2020-01-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches |
US10865475B2 (en) | 2016-04-21 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides and silicides |
US10190213B2 (en) | 2016-04-21 | 2019-01-29 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides |
US10032628B2 (en) | 2016-05-02 | 2018-07-24 | Asm Ip Holding B.V. | Source/drain performance through conformal solid state doping |
US10367080B2 (en) | 2016-05-02 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a germanium oxynitride film |
US11453943B2 (en) | 2016-05-25 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor |
US9859151B1 (en) | 2016-07-08 | 2018-01-02 | Asm Ip Holding B.V. | Selective film deposition method to form air gaps |
US10612137B2 (en) | 2016-07-08 | 2020-04-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Organic reactants for atomic layer deposition |
US10714385B2 (en) | 2016-07-19 | 2020-07-14 | Asm Ip Holding B.V. | Selective deposition of tungsten |
KR102532607B1 (ko) | 2016-07-28 | 2023-05-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 가공 장치 및 그 동작 방법 |
US9812320B1 (en) | 2016-07-28 | 2017-11-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
US9887082B1 (en) | 2016-07-28 | 2018-02-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
US10643826B2 (en) | 2016-10-26 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for thermally calibrating reaction chambers |
US11532757B2 (en) | 2016-10-27 | 2022-12-20 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of charge trapping layers |
US10106568B2 (en) | 2016-10-28 | 2018-10-23 | L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Hafnium-containing film forming compositions for vapor deposition of hafnium-containing films |
US10714350B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-07-14 | ASM IP Holdings, B.V. | Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
US10229833B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-03-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
US10643904B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a semiconductor device and related semiconductor device structures |
US10134757B2 (en) | 2016-11-07 | 2018-11-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method of processing a substrate and a device manufactured by using the method |
KR102546317B1 (ko) | 2016-11-15 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US10619242B2 (en) | 2016-12-02 | 2020-04-14 | Asm Ip Holding B.V. | Atomic layer deposition of rhenium containing thin films |
KR20180068582A (ko) | 2016-12-14 | 2018-06-22 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11447861B2 (en) | 2016-12-15 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure |
US11581186B2 (en) | 2016-12-15 | 2023-02-14 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus |
KR20180070971A (ko) | 2016-12-19 | 2018-06-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US10269558B2 (en) | 2016-12-22 | 2019-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
US10867788B2 (en) | 2016-12-28 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
WO2018125169A1 (en) * | 2016-12-29 | 2018-07-05 | Intel Corporation | Device, system and method to provide high aspect ratio oligomer structures |
US10364259B2 (en) * | 2016-12-30 | 2019-07-30 | L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Zirconium, hafnium, titanium precursors and deposition of group 4 containing films using the same |
US11390950B2 (en) | 2017-01-10 | 2022-07-19 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor system and method to reduce residue buildup during a film deposition process |
US10655221B2 (en) | 2017-02-09 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing oxide film by thermal ALD and PEALD |
US10468261B2 (en) | 2017-02-15 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
US10529563B2 (en) | 2017-03-29 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming doped metal oxide films on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
USD876504S1 (en) | 2017-04-03 | 2020-02-25 | Asm Ip Holding B.V. | Exhaust flow control ring for semiconductor deposition apparatus |
KR102457289B1 (ko) | 2017-04-25 | 2022-10-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10892156B2 (en) | 2017-05-08 | 2021-01-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
US10770286B2 (en) | 2017-05-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
US12040200B2 (en) | 2017-06-20 | 2024-07-16 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus and methods for calibrating a semiconductor processing apparatus |
US11306395B2 (en) | 2017-06-28 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus |
US10685834B2 (en) | 2017-07-05 | 2020-06-16 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a silicon germanium tin layer and related semiconductor device structures |
KR20190009245A (ko) | 2017-07-18 | 2019-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물 |
US10541333B2 (en) | 2017-07-19 | 2020-01-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US11374112B2 (en) | 2017-07-19 | 2022-06-28 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US11018002B2 (en) | 2017-07-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a Group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US10590535B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-17 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same |
US10692741B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-06-23 | Asm Ip Holdings B.V. | Radiation shield |
US10770336B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate lift mechanism and reactor including same |
US11139191B2 (en) | 2017-08-09 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
US10249524B2 (en) | 2017-08-09 | 2019-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette holder assembly for a substrate cassette and holding member for use in such assembly |
US11769682B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-09-26 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
USD900036S1 (en) | 2017-08-24 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Heater electrical connector and adapter |
US11830730B2 (en) | 2017-08-29 | 2023-11-28 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method and apparatus |
KR102491945B1 (ko) | 2017-08-30 | 2023-01-26 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11056344B2 (en) | 2017-08-30 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method |
US11295980B2 (en) | 2017-08-30 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
KR102401446B1 (ko) | 2017-08-31 | 2022-05-24 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
KR102630301B1 (ko) | 2017-09-21 | 2024-01-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 침투성 재료의 순차 침투 합성 방법 처리 및 이를 이용하여 형성된 구조물 및 장치 |
US10844484B2 (en) | 2017-09-22 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
US10658205B2 (en) | 2017-09-28 | 2020-05-19 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber |
US10403504B2 (en) | 2017-10-05 | 2019-09-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a metallic film on a substrate |
US10319588B2 (en) | 2017-10-10 | 2019-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a metal chalcogenide on a substrate by cyclical deposition |
US10923344B2 (en) | 2017-10-30 | 2021-02-16 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures |
US10910262B2 (en) | 2017-11-16 | 2021-02-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of selectively depositing a capping layer structure on a semiconductor device structure |
KR102443047B1 (ko) | 2017-11-16 | 2022-09-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
US11022879B2 (en) | 2017-11-24 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming an enhanced unexposed photoresist layer |
US11639811B2 (en) | 2017-11-27 | 2023-05-02 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus including a clean mini environment |
TWI779134B (zh) | 2017-11-27 | 2022-10-01 | 荷蘭商Asm智慧財產控股私人有限公司 | 用於儲存晶圓匣的儲存裝置及批爐總成 |
US10872771B2 (en) | 2018-01-16 | 2020-12-22 | Asm Ip Holding B. V. | Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures |
TW202325889A (zh) | 2018-01-19 | 2023-07-01 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 沈積方法 |
KR20200108016A (ko) | 2018-01-19 | 2020-09-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 플라즈마 보조 증착에 의해 갭 충진 층을 증착하는 방법 |
USD903477S1 (en) | 2018-01-24 | 2020-12-01 | Asm Ip Holdings B.V. | Metal clamp |
US11018047B2 (en) | 2018-01-25 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Hybrid lift pin |
USD880437S1 (en) | 2018-02-01 | 2020-04-07 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply plate for semiconductor manufacturing apparatus |
US11081345B2 (en) | 2018-02-06 | 2021-08-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method of post-deposition treatment for silicon oxide film |
CN111699278B (zh) | 2018-02-14 | 2023-05-16 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环沉积工艺在衬底上沉积含钌膜的方法 |
US10896820B2 (en) | 2018-02-14 | 2021-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process |
US10731249B2 (en) | 2018-02-15 | 2020-08-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus |
US10658181B2 (en) | 2018-02-20 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method of spacer-defined direct patterning in semiconductor fabrication |
KR102636427B1 (ko) | 2018-02-20 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 장치 |
US10975470B2 (en) | 2018-02-23 | 2021-04-13 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment |
US11473195B2 (en) | 2018-03-01 | 2022-10-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate |
US11629406B2 (en) | 2018-03-09 | 2023-04-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate |
US11114283B2 (en) | 2018-03-16 | 2021-09-07 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor, system including the reactor, and methods of manufacturing and using same |
KR102646467B1 (ko) | 2018-03-27 | 2024-03-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조 |
US11230766B2 (en) | 2018-03-29 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
US11088002B2 (en) | 2018-03-29 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate rack and a substrate processing system and method |
KR102501472B1 (ko) | 2018-03-30 | 2023-02-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
US12025484B2 (en) | 2018-05-08 | 2024-07-02 | Asm Ip Holding B.V. | Thin film forming method |
KR20190128558A (ko) | 2018-05-08 | 2019-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 산화물 막을 주기적 증착 공정에 의해 증착하기 위한 방법 및 관련 소자 구조 |
TWI816783B (zh) | 2018-05-11 | 2023-10-01 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 用於基板上形成摻雜金屬碳化物薄膜之方法及相關半導體元件結構 |
KR102596988B1 (ko) | 2018-05-28 | 2023-10-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
US11718913B2 (en) | 2018-06-04 | 2023-08-08 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system and reactor system including same |
US11270899B2 (en) | 2018-06-04 | 2022-03-08 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer handling chamber with moisture reduction |
US11286562B2 (en) | 2018-06-08 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase chemical reactor and method of using same |
US10797133B2 (en) | 2018-06-21 | 2020-10-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures |
KR102568797B1 (ko) | 2018-06-21 | 2023-08-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 시스템 |
CN112292477A (zh) | 2018-06-27 | 2021-01-29 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于形成含金属的材料的循环沉积方法及包含含金属的材料的膜和结构 |
US11492703B2 (en) | 2018-06-27 | 2022-11-08 | Asm Ip Holding B.V. | Cyclic deposition methods for forming metal-containing material and films and structures including the metal-containing material |
TWI751420B (zh) | 2018-06-29 | 2022-01-01 | 荷蘭商Asm知識產權私人控股有限公司 | 薄膜沉積方法 |
US10612136B2 (en) | 2018-06-29 | 2020-04-07 | ASM IP Holding, B.V. | Temperature-controlled flange and reactor system including same |
US10755922B2 (en) | 2018-07-03 | 2020-08-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10388513B1 (en) | 2018-07-03 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10767789B2 (en) | 2018-07-16 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Diaphragm valves, valve components, and methods for forming valve components |
US11053591B2 (en) | 2018-08-06 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-port gas injection system and reactor system including same |
US10883175B2 (en) | 2018-08-09 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical furnace for processing substrates and a liner for use therein |
US10829852B2 (en) | 2018-08-16 | 2020-11-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution device for a wafer processing apparatus |
US11430674B2 (en) | 2018-08-22 | 2022-08-30 | Asm Ip Holding B.V. | Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
US11024523B2 (en) | 2018-09-11 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
KR20200030162A (ko) | 2018-09-11 | 2020-03-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 |
US11049751B2 (en) | 2018-09-14 | 2021-06-29 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette supply system to store and handle cassettes and processing apparatus equipped therewith |
CN110970344A (zh) | 2018-10-01 | 2020-04-07 | Asm Ip控股有限公司 | 衬底保持设备、包含所述设备的系统及其使用方法 |
US11232963B2 (en) | 2018-10-03 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
KR102592699B1 (ko) | 2018-10-08 | 2023-10-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치 |
US10847365B2 (en) | 2018-10-11 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming conformal silicon carbide film by cyclic CVD |
US10811256B2 (en) | 2018-10-16 | 2020-10-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for etching a carbon-containing feature |
KR102546322B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR102605121B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
USD948463S1 (en) | 2018-10-24 | 2022-04-12 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor for semiconductor substrate supporting apparatus |
US11087997B2 (en) | 2018-10-31 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus for processing substrates |
KR20200051105A (ko) | 2018-11-02 | 2020-05-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US11572620B2 (en) | 2018-11-06 | 2023-02-07 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate |
US11031242B2 (en) | 2018-11-07 | 2021-06-08 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a boron doped silicon germanium film |
US10818758B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures |
US10847366B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process |
US10559458B1 (en) | 2018-11-26 | 2020-02-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming oxynitride film |
US12040199B2 (en) | 2018-11-28 | 2024-07-16 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus for processing substrates |
US11217444B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-01-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film |
KR102636428B1 (ko) | 2018-12-04 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치를 세정하는 방법 |
US11158513B2 (en) | 2018-12-13 | 2021-10-26 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
TW202037745A (zh) | 2018-12-14 | 2020-10-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成裝置結構之方法、其所形成之結構及施行其之系統 |
TW202405220A (zh) | 2019-01-17 | 2024-02-01 | 荷蘭商Asm Ip 私人控股有限公司 | 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法 |
KR20200091543A (ko) | 2019-01-22 | 2020-07-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
CN111524788B (zh) | 2019-02-01 | 2023-11-24 | Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法 |
KR102626263B1 (ko) | 2019-02-20 | 2024-01-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치 |
JP7509548B2 (ja) | 2019-02-20 | 2024-07-02 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材表面内に形成された凹部を充填するための周期的堆積方法および装置 |
TWI838458B (zh) | 2019-02-20 | 2024-04-11 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於3d nand應用中之插塞填充沉積之設備及方法 |
TW202044325A (zh) | 2019-02-20 | 2020-12-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 填充一基板之一表面內所形成的一凹槽的方法、根據其所形成之半導體結構、及半導體處理設備 |
JP2020133004A (ja) | 2019-02-22 | 2020-08-31 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材を処理するための基材処理装置および方法 |
KR20200108243A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | SiOC 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법 |
KR20200108242A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체 |
KR20200108248A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | SiOCN 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법 |
KR20200116033A (ko) | 2019-03-28 | 2020-10-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 도어 개방기 및 이를 구비한 기판 처리 장치 |
KR20200116855A (ko) | 2019-04-01 | 2020-10-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자를 제조하는 방법 |
US11447864B2 (en) | 2019-04-19 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method and apparatus |
KR20200125453A (ko) | 2019-04-24 | 2020-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법 |
KR20200130118A (ko) | 2019-05-07 | 2020-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 비정질 탄소 중합체 막을 개질하는 방법 |
KR20200130121A (ko) | 2019-05-07 | 2020-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기 |
KR20200130652A (ko) | 2019-05-10 | 2020-11-19 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조 |
JP2020188254A (ja) | 2019-05-16 | 2020-11-19 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 |
JP2020188255A (ja) | 2019-05-16 | 2020-11-19 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 |
USD975665S1 (en) | 2019-05-17 | 2023-01-17 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD947913S1 (en) | 2019-05-17 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD935572S1 (en) | 2019-05-24 | 2021-11-09 | Asm Ip Holding B.V. | Gas channel plate |
USD922229S1 (en) | 2019-06-05 | 2021-06-15 | Asm Ip Holding B.V. | Device for controlling a temperature of a gas supply unit |
KR20200141002A (ko) | 2019-06-06 | 2020-12-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 배기 가스 분석을 포함한 기상 반응기 시스템을 사용하는 방법 |
KR20200143254A (ko) | 2019-06-11 | 2020-12-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조 |
USD944946S1 (en) | 2019-06-14 | 2022-03-01 | Asm Ip Holding B.V. | Shower plate |
USD931978S1 (en) | 2019-06-27 | 2021-09-28 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead vacuum transport |
KR20210005515A (ko) | 2019-07-03 | 2021-01-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법 |
JP7499079B2 (ja) | 2019-07-09 | 2024-06-13 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法 |
CN112216646A (zh) | 2019-07-10 | 2021-01-12 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板支撑组件及包括其的基板处理装置 |
KR20210010307A (ko) | 2019-07-16 | 2021-01-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
KR20210010820A (ko) | 2019-07-17 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법 |
KR20210010816A (ko) | 2019-07-17 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법 |
US11643724B2 (en) | 2019-07-18 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming structures using a neutral beam |
TWI839544B (zh) | 2019-07-19 | 2024-04-21 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成形貌受控的非晶碳聚合物膜之方法 |
TW202113936A (zh) | 2019-07-29 | 2021-04-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法 |
CN112309900A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112309899A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
US11227782B2 (en) | 2019-07-31 | 2022-01-18 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11587814B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11587815B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
KR20210018759A (ko) | 2019-08-05 | 2021-02-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 화학물질 공급원 용기를 위한 액체 레벨 센서 |
USD965524S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-10-04 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor support |
USD965044S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
JP2021031769A (ja) | 2019-08-21 | 2021-03-01 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置 |
USD940837S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-01-11 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode |
USD979506S1 (en) | 2019-08-22 | 2023-02-28 | Asm Ip Holding B.V. | Insulator |
USD930782S1 (en) | 2019-08-22 | 2021-09-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor |
KR20210024423A (ko) | 2019-08-22 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법 |
USD949319S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Exhaust duct |
KR20210024420A (ko) | 2019-08-23 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법 |
US11286558B2 (en) | 2019-08-23 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film |
KR20210029090A (ko) | 2019-09-04 | 2021-03-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법 |
KR20210029663A (ko) | 2019-09-05 | 2021-03-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11562901B2 (en) | 2019-09-25 | 2023-01-24 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing method |
CN112593212B (zh) | 2019-10-02 | 2023-12-22 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法 |
CN112635282A (zh) | 2019-10-08 | 2021-04-09 | Asm Ip私人控股有限公司 | 具有连接板的基板处理装置、基板处理方法 |
KR20210042810A (ko) | 2019-10-08 | 2021-04-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법 |
KR20210043460A (ko) | 2019-10-10 | 2021-04-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 포토레지스트 하부층을 형성하기 위한 방법 및 이를 포함한 구조체 |
US12009241B2 (en) | 2019-10-14 | 2024-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette |
TWI834919B (zh) | 2019-10-16 | 2024-03-11 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化矽之拓撲選擇性膜形成之方法 |
US11637014B2 (en) | 2019-10-17 | 2023-04-25 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selective deposition of doped semiconductor material |
KR20210047808A (ko) | 2019-10-21 | 2021-04-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법 |
KR20210050453A (ko) | 2019-10-25 | 2021-05-07 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조 |
US11646205B2 (en) | 2019-10-29 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same |
KR20210054983A (ko) | 2019-11-05 | 2021-05-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템 |
US11501968B2 (en) | 2019-11-15 | 2022-11-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps |
KR20210062561A (ko) | 2019-11-20 | 2021-05-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템 |
CN112951697A (zh) | 2019-11-26 | 2021-06-11 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
KR20210065848A (ko) | 2019-11-26 | 2021-06-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 제1 유전체 표면과 제2 금속성 표면을 포함한 기판 상에 타겟 막을 선택적으로 형성하기 위한 방법 |
CN112885693A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112885692A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
JP2021090042A (ja) | 2019-12-02 | 2021-06-10 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 基板処理装置、基板処理方法 |
KR20210070898A (ko) | 2019-12-04 | 2021-06-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
TW202125596A (zh) | 2019-12-17 | 2021-07-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成氮化釩層之方法以及包括該氮化釩層之結構 |
KR20210080214A (ko) | 2019-12-19 | 2021-06-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조 |
TW202140135A (zh) | 2020-01-06 | 2021-11-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 氣體供應總成以及閥板總成 |
TW202142733A (zh) | 2020-01-06 | 2021-11-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 反應器系統、抬升銷、及處理方法 |
US11993847B2 (en) | 2020-01-08 | 2024-05-28 | Asm Ip Holding B.V. | Injector |
KR102675856B1 (ko) | 2020-01-20 | 2024-06-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 형성 방법 및 박막 표면 개질 방법 |
TW202130846A (zh) | 2020-02-03 | 2021-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成包括釩或銦層的結構之方法 |
KR20210100010A (ko) | 2020-02-04 | 2021-08-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 대형 물품의 투과율 측정을 위한 방법 및 장치 |
US11776846B2 (en) | 2020-02-07 | 2023-10-03 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices |
TW202146715A (zh) | 2020-02-17 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於生長磷摻雜矽層之方法及其系統 |
TW202203344A (zh) | 2020-02-28 | 2022-01-16 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 專用於零件清潔的系統 |
KR20210116240A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치 |
KR20210116249A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 록아웃 태그아웃 어셈블리 및 시스템 그리고 이의 사용 방법 |
CN113394086A (zh) | 2020-03-12 | 2021-09-14 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于制造具有目标拓扑轮廓的层结构的方法 |
KR20210124042A (ko) | 2020-04-02 | 2021-10-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 형성 방법 |
TW202146689A (zh) | 2020-04-03 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 阻障層形成方法及半導體裝置的製造方法 |
TW202145344A (zh) | 2020-04-08 | 2021-12-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法 |
US11821078B2 (en) | 2020-04-15 | 2023-11-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film |
US11996289B2 (en) | 2020-04-16 | 2024-05-28 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of forming structures including silicon germanium and silicon layers, devices formed using the methods, and systems for performing the methods |
KR20210132600A (ko) | 2020-04-24 | 2021-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템 |
TW202140831A (zh) | 2020-04-24 | 2021-11-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成含氮化釩層及包含該層的結構之方法 |
KR20210132605A (ko) | 2020-04-24 | 2021-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 냉각 가스 공급부를 포함한 수직형 배치 퍼니스 어셈블리 |
KR20210134226A (ko) | 2020-04-29 | 2021-11-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 고체 소스 전구체 용기 |
KR20210134869A (ko) | 2020-05-01 | 2021-11-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | Foup 핸들러를 이용한 foup의 빠른 교환 |
KR20210141379A (ko) | 2020-05-13 | 2021-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구 |
TW202147383A (zh) | 2020-05-19 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基材處理設備 |
KR20210145078A (ko) | 2020-05-21 | 2021-12-01 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법 |
TW202200837A (zh) | 2020-05-22 | 2022-01-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於在基材上形成薄膜之反應系統 |
TW202201602A (zh) | 2020-05-29 | 2022-01-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
CN111818533B (zh) * | 2020-06-04 | 2021-08-17 | 浙江大学 | 一种基于智能反射面的无线通信系统设计方法 |
KR20210154739A (ko) | 2020-06-11 | 2021-12-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 전이금속 디칼코지나이드 박막의 원자층 증착 및 식각 |
TW202218133A (zh) | 2020-06-24 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成含矽層之方法 |
TW202217953A (zh) | 2020-06-30 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
TW202202649A (zh) | 2020-07-08 | 2022-01-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
KR20220010438A (ko) | 2020-07-17 | 2022-01-25 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 포토리소그래피에 사용하기 위한 구조체 및 방법 |
TW202204662A (zh) | 2020-07-20 | 2022-02-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於沉積鉬層之方法及系統 |
US12040177B2 (en) | 2020-08-18 | 2024-07-16 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a laminate film by cyclical plasma-enhanced deposition processes |
US11725280B2 (en) | 2020-08-26 | 2023-08-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming metal silicon oxide and metal silicon oxynitride layers |
USD990534S1 (en) | 2020-09-11 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Weighted lift pin |
USD1012873S1 (en) | 2020-09-24 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for semiconductor processing apparatus |
US12009224B2 (en) | 2020-09-29 | 2024-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and method for etching metal nitrides |
TW202229613A (zh) | 2020-10-14 | 2022-08-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 於階梯式結構上沉積材料的方法 |
KR20220053482A (ko) | 2020-10-22 | 2022-04-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 바나듐 금속을 증착하는 방법, 구조체, 소자 및 증착 어셈블리 |
TW202223136A (zh) | 2020-10-28 | 2022-06-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統 |
TW202235649A (zh) | 2020-11-24 | 2022-09-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 填充間隙之方法與相關之系統及裝置 |
TW202235675A (zh) | 2020-11-30 | 2022-09-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 注入器、及基板處理設備 |
CN114639631A (zh) | 2020-12-16 | 2022-06-17 | Asm Ip私人控股有限公司 | 跳动和摆动测量固定装置 |
TW202231903A (zh) | 2020-12-22 | 2022-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成 |
USD981973S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor wall for substrate processing apparatus |
USD980813S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate for substrate processing apparatus |
USD980814S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor for substrate processing apparatus |
USD1023959S1 (en) | 2021-05-11 | 2024-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for substrate processing apparatus |
US12032291B2 (en) * | 2021-06-15 | 2024-07-09 | Inpria Corporation | Organotin patterning materials with ligands having silicon/germanium; precursor compositions; and synthesis methods |
USD990441S1 (en) | 2021-09-07 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3632429A (en) * | 1970-06-30 | 1972-01-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method for making metal oxide film resistors |
SE393967B (sv) | 1974-11-29 | 1977-05-31 | Sateko Oy | Forfarande och for utforande av stroleggning mellan lagren i ett virkespaket |
JPS60108338A (ja) * | 1983-11-15 | 1985-06-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光フアイバ母材の製造方法 |
US5208284A (en) * | 1989-12-05 | 1993-05-04 | Ethyl Corporation | Coating composition |
US5204314A (en) | 1990-07-06 | 1993-04-20 | Advanced Technology Materials, Inc. | Method for delivering an involatile reagent in vapor form to a CVD reactor |
US5820664A (en) | 1990-07-06 | 1998-10-13 | Advanced Technology Materials, Inc. | Precursor compositions for chemical vapor deposition, and ligand exchange resistant metal-organic precursor solutions comprising same |
US5262199A (en) * | 1992-04-17 | 1993-11-16 | Center For Innovative Technology | Coating porous materials with metal oxides and other ceramics by MOCVD |
US5417823A (en) * | 1993-12-17 | 1995-05-23 | Ford Motor Company | Metal-nitrides prepared by photolytic/pyrolytic decomposition of metal-amides |
US5464666A (en) * | 1995-02-06 | 1995-11-07 | Air Products And Chemicals, Inc. | Process for chemical vapor codeposition of copper and aluminum alloys |
US5725904A (en) * | 1995-06-02 | 1998-03-10 | Elf Atochem North America, Inc. | Liquid methyltin halide compositions |
US5952047A (en) * | 1997-03-28 | 1999-09-14 | Dowa Mining Co., Ltd. | CVD precursors and film preparation method using the same |
US5980983A (en) | 1997-04-17 | 1999-11-09 | The President And Fellows Of Harvard University | Liquid precursors for formation of metal oxides |
JPH1174478A (ja) * | 1997-09-01 | 1999-03-16 | Matsushita Electron Corp | 誘電体膜の製造方法、半導体装置の製造方法、半導体装置及び半導体装置の製造装置 |
US6045864A (en) * | 1997-12-01 | 2000-04-04 | 3M Innovative Properties Company | Vapor coating method |
US6015917A (en) * | 1998-01-23 | 2000-01-18 | Advanced Technology Materials, Inc. | Tantalum amide precursors for deposition of tantalum nitride on a substrate |
-
1999
- 1999-07-08 US US09/350,074 patent/US6238734B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-07-03 TW TW089113151A patent/TW467963B/zh not_active IP Right Cessation
- 2000-07-04 EP EP00114321A patent/EP1067595A3/en not_active Withdrawn
- 2000-07-06 KR KR1020000038438A patent/KR100333933B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-07-07 JP JP2000212008A patent/JP3576934B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20010015186A (ko) | 2001-02-26 |
EP1067595A3 (en) | 2002-01-16 |
TW467963B (en) | 2001-12-11 |
EP1067595A2 (en) | 2001-01-10 |
KR100333933B1 (ko) | 2002-04-22 |
US6238734B1 (en) | 2001-05-29 |
JP2001081560A (ja) | 2001-03-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3576934B2 (ja) | 多元金属化合物層の成長のための方法及び混合金属又は金属化合物層の成長のための組成物 | |
JP3677218B2 (ja) | 多成分金属含有物質の堆積のため液体前駆体混合物 | |
JP3588334B2 (ja) | 組成勾配を有する金属メタロイド酸化物および窒化物の堆積方法 | |
EP0920435B1 (en) | Random access memory device and platinum chemical vapour deposition process used in its preparation | |
JP4861550B2 (ja) | 液体供給cvdのためのアルカン/ポリアミン溶剤組成物 | |
TWI398543B (zh) | 使用β-二酮亞胺金屬化合物之原子層沉積系統及方法 | |
EP0990059B1 (en) | Low temperature chemical vapor deposition process for forming bismuth-containing ceramic thin films useful in ferroelectric memory devices | |
US6350686B1 (en) | Organometallic compound mixtures in chemical vapor deposition | |
TWI410514B (zh) | 不對稱配位體源,對稱性減少之含金屬的化合物類,及包括彼之系統和方法 | |
TW200424338A (en) | Method for metal oxide thin film deposition via MOCVD | |
WO2008102320A2 (en) | Methods for forming a ruthenium-based film on a substrate | |
US6218518B1 (en) | Tetrahydrofuran-adducted group II β-diketonate complexes as source reagents for chemical vapor deposition | |
EP1132494B1 (en) | Deposition and annealing of multicomponent ZrSnTi and HfSnTi oxide thin films using solventless liquid mixture of precursors | |
US6858251B2 (en) | Lanthanum complex and process for the preparation of a BLT layer using same | |
JP2005023010A (ja) | 有機バナジウム化合物及び該化合物を含む溶液原料並びにバナジウム含有薄膜の形成方法 | |
JP4100546B2 (ja) | Cvd用液体原料及びcvd装置 | |
JP2005023009A (ja) | 有機バナジウム化合物及び該化合物を含む溶液原料並びにバナジウム含有薄膜の形成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20040217 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20040220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040518 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040608 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040708 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070716 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080716 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090716 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100716 Year of fee payment: 6 |