JP2021514827A - フレキシブル電子回路ウェブロールを自動的に清浄化するための新規材料及びハードウエア - Google Patents

Abstract

新規材料とデバイスは、フレキシブル電子回路材料の長いロールからそれらが連続運動している間に小さい欠陥を除去することができる。清浄化材料は、欠陥を転写する又はフレキシブル電子回路を損傷させることなく小さい粒子を除去するように設計される。デバイスは、一般的に、可動ブラケット上に装着された可変速度のモータ駆動式シリンダから構成される。シリンダは、清浄化されるウェブロールに清浄化材料が常に接触するように清浄化材料の速度を適合させることができる。ブラケットは、回転することができ、従って、同じ材料を１回よりも多く使用することができる。別の材料が、清浄化材料からデブリを除去するのに使用される。モータ駆動式シリンダから構成されて移動可動な類似のデバイスが、デブリ除去フィルムを清浄化フィルムに付加するのに使用され、清浄化フィルムが複数回使用されることを可能にする。【選択図】図１

Description

〔優先権主張／関連出願〕
この出願は、２０１８年２月２３日出願で「フレキシブル電子回路ウェブロールを自動的に清浄化するための新規材料及びハードウエア（Ｎｏｖｅｌ Ｍａｔｅｒａｉｌ Ａｎｄ Ｈａｒｄｗａｒｅ Ｔｏ Ａｕｔｏｍａｔｉｃａｌｌｙ Ｃｌｅａｎ Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｗｅｂ Ｒｏｌｌｓ）」という名称の米国仮特許出願第６２／６３４，５４５号に対する「３５ ＵＳＣ １２０及び１１９（ｅ）」の下での優先権を主張するものであり、その全体は、引用によって本明細書に組み込まれている。

本発明の開示は、ロール・ツー・ロール製造システムに統合され、かつ有機ＬＥＤ（ＯＬＥＤ）、ディスプレイパネル、及び光起電デバイスを含む例えばフレキシブル電子回路及び他の類似用途を含む様々な品目及び製品を製造するのに使用されるウェブフィルムのロールの作動面を清浄化するのに使用することができる新規材料及びハードウエアに関する。

フレックス回路としても公知のフレキシブル電子回路は、ポリイミド、ＰＥＥＫ、又は透明導電性ポリエステルフィルムのようなフレキシブルウェブ基板上に電子デバイスを装着することによって電子回路を組み立てるための技術である。これに加えて、フレックス回路は、ポリエステルシート又は他の類似のフレキシブルシート上にスクリーン印刷された銀回路とすることができる。従来のシリコンベースのデバイスよりも低い製造コスト及び撓む機能により、この技術は、多くのコンピュータ及びディスプレイ用途を可能にする。例えば、この技術は、太陽電池及びＬＥＤ照明パネルを生成するのに使用することもできる。この処理方法は、ロール・ツー・ロール処理、ウェブ処理、リール・ツー・リール処理、又はＲ２Ｒ処理として公知である。

フレキシブル電子回路を大量かつ低コストで大量生産するために、製造業者は、幅１ｍ及び長さ２０００ｍまでの広くて長いロールのインライン処理を提供するロール・ツー・ロール技術を開発中である。これらの材料ロールを生産することができる製造業者は存在するが、製造工程は、材料の面上に０．５ミクロンから２５０ミクロンの範囲の小さい欠陥を残す。

デバイス製造工程内の様々な段階も、ウェブ材料の作動面上に欠陥を生成する。これらのロール製造工程及びデバイス製造工程からの欠陥は、デバイス処理の妨げになり、フレキシブル電子回路のロールからの作動デバイスの低い全体収量に至る可能性がある。

これらの非常に小さい欠陥をフレキシブル電子回路ウェブロールの面から除去することは困難である。それらは、静電力、特に、濯ぎのような通常の清浄化技術によって打ち勝つには強すぎるファンデルワールス力によって緊密に結合されている。溶剤ベースの洗浄液は、デバイスを損傷する可能性があり、有効に使用することができない。

接着性ロールを使用してフレキシブル電子回路ウェブの面を清浄化することは可能であるが、接着性ロール上への欠陥の急速な蓄積は、非常に迅速にそれを効果のないものにすることになる。更に、ほとんどの接着剤は、過度に粘着性であり、面を損傷するか又はフレキシブル電子回路ウェブロールに何らかの材料を転写することになる。そのような転写は、収量損失も引き起こすことになり、フレキシブル電子回路ロールの面上に生成される作動デバイスの数を低減する。

ｐｄｆｓ．ｓｅｍａｎｔｉｃｓｃｈｏｌａｒ．ｏｒｇ／１ｅｂ５／ｄ０ｂｅ００６ａｅ５７ｄｆｅｂ０ｃｂａａ８ａｃ４ｅｃ１ａ５６ｃ５９ａ１９．ｐｄｆ ｉｎｐｒｅｓｓｃｏ．ｃｏｍ／ｗｐ−ｃｏｎｔｅｎｔ／ｕｐｌｏａｄｓ／２０１５／１０／Ｐａｐｅｒ６５３４５７−３４６２．ｐｄｆ

単一又は二重ローラを使用するフレキシブル電子回路ウェブのための清浄化システムは、今日確かに存在する。図５は、ローラを使用する市販の清浄化システムの例を示している。ローラ（１６）は、接着性材料、典型的にはシリコーンで作られる。この材料は、定期的に廃棄することができる接着性テープのロール（１５）によって清浄化される。しかし、シリコーンローラ（１６）は、清浄化されるロール１５と繰返し接触しなければならない。これに加えて、小さい清浄化表面積が、長い材料ロールと繰返し接触する。接着性清浄化ロールを交換するために清浄化を停止しなければならず、従って、清浄度とライン停止の間に有意なトレードオフが存在する。接着性テープ上により大きい粒子の蓄積がある状態で、それは、もはや有効にローラを清浄化しないことになる。同じく、この技術は、上記で議論した小さい粒子の静電結合に起因して小さい粒子を十分に取り除かない。

従って、フレキシブル電子回路ロールの面から粘着又は材料転写なしに欠陥を除去することができる新規清浄化材料に対する必要性がこの分野に存在する。長いフレキシブル電子回路ロールが製造工程を通して延びている時に、この材料が連続的に延びることを可能にするデバイスに対する必要性も存在する。清浄化材料から欠陥／デブリを除去することができ、従って、それを非常に長い材料ロール上で複数回使用することができる別の材料に対する必要性も存在し、かつ欠陥除去シートを清浄化シートに付加するデバイスに対する必要性が存在する。

一部の実施形態は、一例として例示されており、かつ同じ参照符号が同じ要素を示す場合がある添付図面の図によって制限されない。

様々な実施形態による清浄化材料及び位置決めデバイスの一例の断面図である。 本明細書に説明する様々な実施形態による清浄化デバイスの一例の斜視図である。 本明細書に説明する様々な実施形態によりフレキシブルロールを清浄化するのに使用される清浄化材料の断面図である。 本明細書に説明する様々な実施形態により清浄化材料から欠陥を除去するのに使用される清浄化材料の断面図である。 ローラを清浄化するのに使用される第２の材料ロールを有する清浄化ローラから構成される既存の清浄化システムの図である。

本発明の開示は、図面に開示して特定の清浄化構造と共に以下に説明するようなフレキシブル電子回路のためのロール・ツー・ロール製造システムのための清浄化システム及び方法に特に適用可能であり、本発明の開示は、この関連で説明することになる。しかし、清浄化システム及び方法は、システムを効果的に清浄化することができることが望ましい他の製造用途に使用することができることは認められるであろう。例えば、清浄化システム及び方法は、例えば、ナノインプリントフォトリソグラフィを実行するのに又はフレキシブルポリマー太陽電池、ペロブスカイト太陽電池、有機太陽電池などのような太陽電池を製造するのに使用することができるロール・ツー・ロール処理システム及び方法と共に使用することができる。清浄化システム及び方法はまた、ロール・ツー・ロール技術を使用して異なるタイプの積層可能なバッテリ構成が構築されるための様々な要件を含むと考えられる自動車用途に対するフレキシブルウェブロールを清浄化するのに使用することができる。清浄化システム及び方法はまた、電子及び機械デバイスが、皮膚上に着用することができる布地及びフレキシブルな様々な基板、並びに着用可能な医薬品に一体化され、印刷され、又はエンボス加工される様々なウェアラブル技術のロール・ツー・ロール製作に対して清浄度及び欠陥制御が非常に重要であるバイオメカニクス用途のためのフレキシブルウェブロールを清浄化するのに使用することができる。更に、清浄化システム及び方法はまた、例えば、次世代フレックスディスプレイ電話に使用することができるフレキシブルＡＭＯＬＥＤ（Ａｃｔｉｖｅ Ｍａｔｒｉｘ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅｓ（アクティブマトリックス発光ダイオード）ディスプレイのようなディスプレイ製品を製造するのに使用されるロール・ツー・ロールシステムを清浄化することができる。更に、清浄化システム及び方法は、フレックス回路のためのロール・ツー・ロール製作方法に使用することができ、その例は、引用により本明細書に組み込まれているｐｄｆｓ．ｓｅｍａｎｔｉｃｓｃｈｏｌａｒ．ｏｒｇ／１ｅｂ５／ｄ０ｂｅ００６ａｅ５７ｄｆｅｂ０ｃｂａａ８ａｃ４ｅｃ１ａ５６ｃ５９ａ１９．ｐｄｆ、及びｉｎｐｒｅｓｓｃｏ．ｃｏｍ／ｗｐ−ｃｏｎｔｅｎｔ／ｕｐｌｏａｄｓ／２０１５／１０／Ｐａｐｅｒ６５３４５７−３４６２．ｐｄｆに説明されている。

本明細書に使用する用語は、特定の実施形態を説明することのみを目的としており、限定することを意図していない。本明細書に使用する時に、用語「及び／又は」は、関連する列挙項目の１又は２以上のいずれか及び全ての組合せを含む。本明細書に使用する時に、単数形「ａ」、「ａｎ」、及び「ｔｈｅ」は、関連上明らかに他を意味しない限り、単数形だけでなく複数形も含むものとする。用語「ｃｏｍｐｒｉｓｅ」及び／又は「ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ」は、本明細書に使用する時に、説明した特徴、段階、作動、要素、及び／又は構成要素の存在を明示するが、１又は２以上の他の特徴、段階、作動、要素、構成要素、及び／又はそれらの群の存在又は追加を排除するものではないことは更に理解されるであろう。

別段の定めがない限り、本明細書に使用する全ての用語（技術及び科学用語を含む）は、当業者が一般的に理解するのと同じ意味を有する。一般的に使用される辞書で定義されるような用語は、関連する技術及び本発明の開示の関連での意味と一致した意味を有するものとして解釈しなければならず、本明細書で明示的にそのように定義されない限り、理想化された又は過度に形式的な意味に解釈されないことは更に理解されるであろう。

実施形態を説明するのに、いくつかの技術及び段階が開示されることは理解されるであろう。これらの段階及び技術の各々は個々の利益を有し、それぞれは、開示する他の技術の１又は２以上又は場合によりその全てと併せて使用することも可能である。従って、明確にするために、本明細書では個々の段階の可能な組合せを全て不要に繰り返すことをしない。それにも関わらず、本明細書及び特許請求の範囲は、そのような組合せが完全に本発明の開示及び特許請求の範囲内であるとの理解に基づいて読むべきである。

新規の清浄化材料、デバイス、装置、及びロール・ツー・ロールウェブシート製造に対して清浄化材料を位置決めする方法を本明細書に議論する。以下の説明では、説明の目的で、完全な理解を提供するために多くの具体的な詳細を列挙する。しかし、これらの特定の詳細なしに実施することができることは当業者には明らかであろう。本発明の開示は、本発明の開示の例示と見なすものとし、以下の図面又は説明に示す特定の実施形態に本発明の開示を限定することを意図していない。

ウェブ材料清浄化システム、デバイス、及び方法を１又は２以上の実施形態を示す添付図面を参照してここで以下に説明する。図１は、様々な実施形態による清浄化材料及び位置決めデバイスの一例の断面図を描いている。様々な実施形態では、フレキシブルウェブロール１を清浄化するデバイス１００は、清浄化材料２を付加シリンダ４の上を通過させてそれを清浄化される材料１と接触させる少なくとも２つの巻き付けシリンダ３１、３２を用いて構成されたデバイス１０１を有する。図１の例では、シリンダ３１は、清浄化材料がそこから巻き出されるソースシリンダとすることができ、シリンダ３２は、清浄化材料が、その一部分がフレキシブルウェブロール１を清浄化するのに使用された後でその上に巻かれる巻き取りシリンダとすることができる。デバイス１００は、移動式清浄化デバイスとして公知である場合がある。一実施形態では、清浄化材料２の移動方向は、図１の矢印に示すように清浄化される材料１の移動方向と同じである。材料１は、図１に示すように、別のシリンダ６によって支持される場合がある。図１に示さない別の実施形態では、清浄化される材料１は、清浄化材料２に対して延伸させることができ、清浄化材料２は、支持シリンダなしでローラ４の上を通過する。シリンダ３１，３２は、清浄化材料２の速度及び方向が材料１の移動速度と実質的に類似であるように同期することができる可変速度モータによって駆動することができる。この実施形態では、シリンダ３１、３２モータは、いずれの方向にも回転することができる。直線矢印は、清浄化工程中のウェブ１進行及び清浄化材料２進行の方向の例を示している。

この実施形態では、シリンダ３１、３２は、モータに電力を伝達する可動ブラケット５によって支持される。ブラケット５は、清浄化ロール運動及び清浄化材料２の方向を逆転するためにウェブ１の面から外に移動して１８０度を通して回転することができ、すなわち、いずれの方向にも回転するモータを必要とする。清浄化材料２の方向を逆転する時に、清浄化材料は、巻き取りシリンダ３２の周りに巻き付けられ、次に、清浄化材料２の各部分がウェブ１を清浄化した後でソースシリンダ３１に巻き取られる。その後に、ブラケット５は、ロール１に対して清浄化材料２を位置決めするために後退することができる。これは、材料２の同じロールを清浄化のために複数回使用することを可能にすることができる。この実施形態では、ブラケット５はまた、清浄化材料２のロールを容易な交換を可能にするように設計することができる。ブラケット５は、アルミニウム、金属合金、硬質ウェブ、又は他の適切な材料から作ることができる。好ましい実施形態では、ブラケット５及びシリンダ３１、３２は、システムシーケンスコントローラの制御下にある。シーケンスコントローラは、ウェブ製造ツールのためのメインシステムコントローラ上で又はデータコネクタ−ＲＳ２３２又は類似のものを通してメインシステムコントローラに統合された独立型ユニット上でのそのいずれかであるコンピュータ上で実行されるソフトウエアプログラムである。シーケンスコントローラは、シリンダモータ３１、３２を制御することになる。それは、清浄化フィルムと処理されているウェブ材料との間で速度を連続的に整合させることになり、ウェブが停止している時の清浄化ロールの停止を含む。このシーケンサは、ブラケット５又は９の移動及び回転も制御することになる。シーケンスコントローラは、後述のセンサ１５からデータを収集することになる。ロールが終わりに近いことをセンサが示す時に、ブラケットは、シリンダを引き出し、シリンダを停止させ、１８０度回転させ、次に、シリンダを再始動させ、ウェブ材料に速度を整合させることになる。シーケンサは、シリンダ３１、３２がウェブ材料に接触するようにブラケットを移動することになる。ユーザが定めた回数だけこれらが回転した後で、シーケンサは、ブラケット５又は９をウェブ材料から離れるように引き、材料を交換する時期であることを通知する信号をシステムに提供することになる。

図１に示すような第２のデバイス１０２を使用して清浄化材料２からデブリを除去することができる。一部の実施形態では、フレキシブルウェブロール１を清浄化するデバイス１００は、第２の清浄化材料７を付加シリンダ１０の上を通過させてそれを清浄化される清浄化材料２と接触させる少なくとも２つの巻き付けシリンダ８１、８２を用いて構成された第２のデバイス１０２を有する。図１に示す例では、シリンダ８１は、第２の清浄化材料７がその上に巻かれたソースシリンダとすることができ、シリンダ８２は、清浄化材料７が、その各部分が清浄化材料２を清浄化した後でその上に巻かれる巻き取りシリンダとすることができる。この実施形態では、この接触は、材料２がシリンダ３で支持されている場合に行われる。第２のデバイス１０２の位置は、清浄化材料２の上方とすることもできる。デバイスの別の実施形態では、デバイス１０２は、清浄化材料２がシリンダ３１から巻き出される側である場合がある。別の実施形態では、第２の清浄化材料７は、追加のシリンダ１０によって支持することができる。別の実施形態では、第２の清浄化材料７は、支持なしでシリンダ１０に対して延伸される場合がある。シリンダ８１、８２は、清浄化材料２の移動速度と同期することができる可変速度モータによって駆動される。好ましい実施形態では、シリンダモータは、いずれの方向にも回転することができる。

この実施形態では、シリンダ８１、８２は、モータに電力を伝達する可動ブラケット９によって支持される。ブラケット９は、第２の清浄化材料７の方向を逆転するために清浄化材料２の面から外に移動して１８０度を通して回転することができる。その後に、ブラケット９は、清浄化材料２に対して第２の清浄化材料７を位置決めするために後退することができる。第２の清浄化材料の方向を逆転する時に、シリンダ８２をソースシリンダとし、一方でシリンダ８１を巻き取りシリンダとすることができる。これは、材料の同じロールを清浄化のために複数回使用することを可能にすることができる。好ましい実施形態では、ブラケット９は、清浄化材料のロールの容易な交換を可能にするように設計することもできる。ブラケット９は、アルミニウム、金属合金、硬質ウェブ、又は他の適切な材料から作ることができる。好ましい実施形態では、ブラケット９及びシリンダ８１、８２は、システムシーケンスコントローラの制御下にある。清浄化材料２と第２の清浄化材料７とのための材料は、図３から４を参照して以下で説明する。

作動において、デバイス１００は、フレキシブル電子回路ロール１をそれが連続的に移動する時に清浄化するために、フレキシブル電子回路ロール１と同じ速度で移動する清浄化材料ウェブ２を連続的に移動する。フレキシブル電子回路ロール１と清浄化材料２の両方は、清浄化材料２の異なる部分がフレキシブル電子回路ロール１の各異なる部分を清浄化するように移動している。これに加えて、デバイス１０２は、図１に示すように、移動して清浄化材料２の各部分と接触して巻き取りシリンダで清浄化材料２を連続的に清浄化する第２の清浄化材料７を担持する。上述のように、清浄化２と清浄化材料７の両方の運動方向は、清浄化材料２と清浄化材料７の両方を再利用することができるように逆転することができる。その結果、清浄化材料２及び清浄化材料７は、それらを交換しなければならなくなるまでより長い期間にわたって使用することができる。図１に示すように、ウェブ１と清浄化材料は、第１の清浄化点で互いに接触／隣接することができ、清浄化材料２と第２の清浄化材料は、第２の清浄化点で互いに接触／隣接することができる。作動において、清浄化材料２は複数の部分を有し、各部分は、ウェブ１及び清浄化材料２が同じ方向及び速度で移動する時にウェブ１の特定の部分を清浄化する。同様に、第２の清浄化材料７は複数の部分を有し、各部分は、清浄化材料２及び第２の清浄化材料７が同じ方向及び速度で移動する時に清浄化材料２の特定の部分を清浄化する。

図２は、本明細書に説明する様々な実施形態による清浄化デバイス２００の一例の斜視図を示している。この実施形態では、シリンダ３１、３２（図１のシリンダ３１、３２に対応する）又はシリンダ８１、８２の各々は、清浄化材料ロール上に材料２又は７がどの程度残っているかを決定することができるセンサ１５を有することができる。例えば、このために最も一般的に使用されるセンサ１５は、固定点からロール面までの距離を測定する市販の距離センサであり、これらは、典型的にレーザ又は赤外線反射センサである。別のタイプのセンサは、ロールが空になった状態で貫通ビームが遮断されずにロールを交換する必要があることを示すようにシリンダ上方の固定点での貫通ビームレーザセンサであると考えられる。このセンサからの信号は、上述のようにブラケット５又は９を回転させるべき時期を決定するためにシステムシーケンスコントローラと統合することができる。

図３は、フレキシブル電子回路ウェブ１を清浄化するのに使用される清浄化材料２の断面図を示している。選択される清浄化材料２は、フレキシブルで小さい粒子の除去に有効であるべきであり、かつフレキシブル電子回路ロール１の面を汚染すべきではない。この材料の一例は、デュロメータショアＡが４０から１００、表面エネルギが１５から４０ｄｙｎｅｓ／ｃｍ２を有するシリコーン及びシリコーン含有ポリマーである。この材料の一例は、ポリエステルキャリアフィルム上の硬化した二成分シリコーン市販材料である。表面エネルギは、水とプローブ液としてジヨードメタンとを使用するＦｏｗｋｅｓ二成分方法を使用して測定することができる。別の実施形態では、清浄化材料２としてポリイミドを使用することができる。ポリイミドは、良好な清浄化特性を有するが、シリコーンよりも粘着性が少ない。これは、ウェブ材料がより低い張力の下にあり、かつシリコーンに接着してウェブツールに影響を与えることができる区域に対して利点とすることができる。清浄化材料２は、ポリマー厚みが２０から３００ミクロンの清浄化表面層１１を含むことができ、かつ２０から３００ミクロンの範囲にあるウェブフィルム１２上に支持することができる。ウェブフィルム１２は、ポリエステル、ポリエチレン、ポリイミド、又は他の適切にフレキシブルで耐久性のあるウェブフィルムから構成することができる。材料２の一部の実施形態では、清浄化材料を反復使用するためにかつ清浄化層１１の接着特性に応じて、清浄化表面層１１は、層１１の上の巻き上げ側に剥離剤又は剥離ライナを有することができる。剥離剤又は剥離ライナは、巻き取り及び巻き出し処理中に機械的支持を与えることによって清浄化フィルムの寿命を延ばすために材料タイプのいずれに対しても使用することができると考えられる。

拾い上げるべき汚染物質は、有機汚染物質、金属汚染物質、製造工程の副産物、及び施設内で作業する個人が持ち込む生体汚染物質を含む。粒子サイズは、０．１ミクロンから１０センチメートルに及ぶと考えられる。粒子は静電引力によって清浄化フィルムに接着し、粒子の大半はファンデルワールス力で保持される。清浄化材料タイプは、清浄化されているウェブフィルムとウェブを保持する固定具とを整合させるように選択されると考えられる。この材料は、清浄化されている材料を有意に変形させずに清浄化を最適化するように選択されると考えられる。

清浄化材料は、ウェブ材料と同じ幅とすることができ、それは、その材料よりも狭いか又は僅かに広くすることができると考えられる。これは、ユーザが定義することができると考えられる。清浄化材料の幅は、１０ｃｍと１０００ｃｍの間であると考えられる。より幅広の清浄化材料を有する実施形態がある場合もある。

図４は、清浄化材料からデブリを除去するのに使用される材料７の断面を示している。選択される材料は、フレキシブルで小さい粒子の除去に有効であるべきであり、かつ清浄化材料３の面を汚染すべきではない。この材料は、感圧接着剤及び他の非硬化性接着剤を含むことができる。この実施形態では、清浄化材料７は、２０から３００ミクロンのポリマー厚みを有することができて２０から３００ミクロンの範囲にある場合があるウェブフィルム１４上に支持することができる清浄化表面層１３を含むことができる。ウェブフィルムは、ポリエステル、ポリエチレン、ポリイミド、又は他の適切にフレキシブルで耐久性のあるウェブフィルムから構成することができる。一部の実施形態では、清浄化材料１３を反復使用するためにかつ清浄化表面層１１の接着特性に応じて、清浄化表面層１３は、層１３の上の巻き上げ側に剥離剤又は剥離ライナを有することができる。別の実施形態では、図３及び図４に示す清浄化材料の各々は、支持ウェブの両側に清浄化材料面を有することができる。

このデバイスの別の実施形態では、異なるタイプの粒子の清浄化を最適化するために異なる清浄化フィルムを用いて構成された複数のデバイスをウェブ面に沿って配置することができる。清浄化フィルムは、異なる粒子タイプをより効率的に拾い上げるために面粗度、粘度、又は表面エネルギのような異なる面特性を有することができる。一実施形態では、より粗くてより粘性の面を有する材料を有するデバイスが、最初にウェブと接触してより大きい粒子を除去した後で、より滑らかで粘性の少ないフィルムを有するデバイスが、より小さい粒子を除去することができる。別の実施形態では、金属粒子を捕集するのに最適な面特性に関して１つの材料を選択することができ、有機粒子を捕集するのに最適な面特性に関して別の材料を選択することができる。

別の実施形態では、イオナイザのような帯電防止デバイスを清浄化デバイスの入力側（図１に示す例示的デバイスの左側）にウェブ材料の上に配置し、清浄化前の面に存在する可能な帯電を除去することができる。類似の帯電防止デバイスは、清浄化デバイスの出口側（図１に示す例示的デバイスの右側）に配置することができる。

要素に対して好ましい材料を説明したが、デバイスはこれらの材料によって限定されるものではない。類似の特性を有する他の材料を使用することができる。

本明細書でシステム、デバイス、及び方法を好ましい実施形態及びその特定の実施例を参照して図示して説明したが、他の実施形態及び実施例が同様に作用する及び／又は類似の結果を達成することができることは当業者には容易に明らかであろう。そのような同等な実施形態及び実施例は、全てが本発明の開示の精神及び範囲内であり、それによって想定され、以下の特許請求の範囲によって網羅されるものとする。

上記は、説明を目的に特定の実施形態を参照して説明した。しかし、上述の例示的説明は、包括的であること又は開示する通りの形態に本発明の開示を限定することを意図したものではない。上述の教示に鑑みて、修正及び変形が考えられる。実施形態は、本発明の開示の原理及びその実際的な用途を最も良く説明し、それによって当業者が想定される特定の用途に適するような様々な修正を使用して本発明の開示及び様々な実施形態を最も良く利用することができるように選択かつ説明したものである。

本明細書に開示するシステム及び方法は、１又は２以上の構成要素、システム、サーバ、電気機器、他の副構成要素によって実施される又はそのような要素間に分散させることができる。システムとして実施する時に、そのようなシステムは、特に、汎用コンピュータに見られるソフトウエアモジュール、汎用ＣＰＵ、ＲＡＭのような構成要素を含む及び／又は伴うことができる。本発明がサーバ上に存在する実施形態では、そのようなサーバは、汎用コンピュータに見られるようなＣＰＵ、ＲＡＭなどのような構成要素を含む又は伴うことができる。

これに加えて、本明細書のシステム及び方法は、上述したものを超えて異種の又は完全に異なるソフトウエア、ハードウエア、及び／又はファームウエア構成要素を有する実施によって達成することができる。そのような他の構成要素（例えば、ソフトウエア、処理構成要素など）及び／又は本発明に関連付けられた又はそれを具現化するコンピュータ可読媒体に関して、例えば、本明細書の技術革新の態様は、多くの汎用又は専用コンピュータシステム又は構成と矛盾することなく実施することができる。本明細書の技術革新と共に使用するのに適する様々な例示的コンピュータシステム、環境、及び／又は構成は、以下に限定されるものではないが、パーソナルコンピュータ内の又はその上に具現化されたソフトウエア又は他の構成要素、サーバ、又は経路指定／接続構成要素のようなサーバコンピュータデバイス、手持ち式又はラップトップデバイス、マルチプロセッサシステム、マイクロプロセッサベースのシステム、セットトップボックス、消費者向け電子デバイス、ネットワークＰＣ、他の既存のコンピュータプラットフォーム、上述のシステム又はデバイスを１又は２以上含む分散型コンピュータ環境などを含むことができる。

一部の事例では、本発明のシステム及び方法の態様は、例えば、そのような構成要素又は回路と関連して実行されるプログラムモジュールを含む論理部及び／又は論理命令を通して達成される又はそれらによって実行することができる。一般的に、プログラムモジュールは、特定のタスクを実行する又は本明細書の特定命令をそこで実施するルーチン、プログラム、オブジェクト、構成要素、データ構造などを含むことができる。本発明はまた、分散型ソフトウエア、コンピュータ、又は回路が通信バス、回路、又はリンクを通して接続される回路設定に関連して実施することができる。分散型設定では、メモリストレージデバイスを含むローカル及びリモート両方のコンピュータストレージ媒体から制御／命令が行われるものとすることができる。

本明細書のソフトウエア、回路、及び構成要素はまた、１又は２以上のタイプのコンピュータ可読媒体を含む及び／又は利用することができる。コンピュータ可読媒体は、そのような回路及び／又はコンピュータ構成要素上に常駐する、それらに関連付けられる、又はそれらによってアクセスすることができるあらゆる利用可能な媒体とすることができる。例示的にかつ限定ではなく、コンピュータ可読媒体は、コンピュータストレージ媒体及び通信媒体を有することができる。コンピュータストレージ媒体は、コンピュータ可読命令、データ構造、プログラムモジュール、又は他のデータのような情報を保存するためにあらゆる方法又は技術で実施される揮発性及び不揮発性、取り外し可能及び取り外し不能な媒体を含む。コンピュータのストレージ媒体は、以下に限定されるものではないが、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュメモリ又は他のメモリ技術、ＣＤ−ＲＯＭ、デジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）又は他の光学ストレージ、磁気テープ、磁気ディスクストレージ又は他の磁気ストレージデバイス、又は望ましい情報を保存するのに使用することができてコンピュータ構成要素からアクセス可能なあらゆる他の媒体を含む。通信媒体は、コンピュータ可読命令、データ構造、プログラムモジュール、及び／又は他の構成要素を有することができる。更に、通信媒体は、有線ネットワーク又は直接有線接続のような有線媒体を含むことができるが、本明細書のいずれのそのようなタイプの媒体も一時的な媒体を含まない。上述のあらゆる組合せも、コンピュータ可読媒体の範囲に含まれる。

本発明の説明では、構成要素、モジュール、デバイスなどのような用語は、様々な方法で実施することができるあらゆるタイプの論理的又は機能的ソフトウエア要素、回路、ブロック、及び／又は処理を指すことができる。例えば、様々な回路及び／又はブロックの機能を互いに組み合わせて他のあらゆる数のモジュールにすることができる。各モジュールは、本明細書の技術革新の機能を実施するために中央演算処理装置によって読み出される有形メモリ（例えば、ランダムアクセスメモリ、読取専用メモリ、ＣＤ−ＲＯＭメモリ、ハードディスクドライブなど）に保存されたソフトウエアプログラムとして更に実施することができる。或いは、モジュールは、伝送搬送波を通して汎用コンピュータに又は処理／グラフィックハードウエアに送信されるプログラミング命令を有することができる。同じく、モジュールは、本明細書の技術革新に含まれる機能を実施するハードウエア論理回路として実施することができる。最後に、モジュールは、専用命令（ＳＩＭＤ命令）、フィールドプログラマブル論理アレイ、又はそれらのあらゆる組合せを使用して実施することができ、望ましいレベルの性能及びコストを提供する。

本明細書に開示するように、本発明の開示と合致する特徴は、コンピュータハードウエア、ソフトウエア、及び／又はファームウエアを通じて実施することができる。例えば、本明細書に開示するシステム及び方法は、例えば、データベース、デジタル電子回路、ファームウエア、ソフトウエア、又はその組合せも含むコンピュータのようなデータプロセッサを含む様々な形態に具現化することができる。更に、開示する態様の一部は特定のハードウエア構成要素を説明するが、本明細書の技術革新と合致するシステム及び方法は、ハードウエア、ソフトウエア、及び／又はファームウエアのあらゆる組合せに実施することができる。更に、本明細書の技術革新の上記特徴及び他の態様及び原理を様々な環境で実施することができる。そのような環境及び関連の用途は、本発明による様々なルーチン、処理、及び／又は作動を実行するために特別に構築することができ、又は必要な機能を提供するためにコードによって選択的に起動又は再構成される汎用コンピュータ又はコンピュータプラットフォームを含むことができる。本明細書に開示する処理は、特定のコンピュータ、ネットワーク、アーキテクチャ、環境、又は他の装置に本質的に関連付けられるものではなく、ハードウエア、ソフトウエア、及び／又はファームウエアの適切な組合せによって実施することができる。例えば、本発明の教示に従って書かれたプログラムで様々な汎用マシンを使用することができ、又は必要な方法及び技術を実行するために専用装置又はシステムを構築することがより好都合である場合がある。

本明細書に開示する様々な論理部及び／又は機能は、それらの挙動、レジスタ転送、論理構成要素、及び／又は他の特性に関してハードウエア、ファームウエアのあらゆる数の組合せを使用して、及び／又は様々な機械可読媒体又はコンピュータ可読媒体に具現化されたデータ及び／又は命令として有効にすることができることにも注意しなければならない。そのようなフォーマット設定されたデータ及び／又は命令を具現化することができるコンピュータ可読媒体は、様々な形態の不揮発性ストレージ媒体（例えば、光学式、磁気式、又は半導体ストレージ媒体）を非限定的に含むが、一時的な媒体は含まない。関連上明らかに他を意味しない限り、明細書全体を通して「ｃｏｍｐｒｉｓｅ」及び「ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ」などのような単語は、限定的又は包括的な意味ではなく例示的な意味に、すなわち、「含むが、これに限定されない」という意味に解釈しなければならない。単数又は複数を使用する単語は、それぞれ複数又は単数も包含する。これに加えて、単語「ここに」、「この下に」、「上方に」、「下方に」、及び類似の趣旨の単語は、この適用例全体を指し、この適用例のいずれの特定部分を指すものでもない。２又は３以上の品目のリストに関して単語「又は」を使用する時に、この単語は以下の解釈：リスト内の品目のいずれか、リスト内の品目の全て、及びリスト内の品目のいずれかの組合せを全て包含する：。

本発明のある一定の現在好ましい実施を本明細書に具体的に説明したが、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、本明細書に図示して説明した様々な実施の変形及び修正を行うことができることは、本発明が関連する当業者に明らかであろう。従って、本発明は、適用可能な法律の規定によって要求される範囲にのみ限定されるように意図している。

以上は本発明の開示の特定の実施形態を参照するものであったが、この実施形態における変更は、その範囲が添付の特許請求の範囲によって定められる本発明の開示の原理及び精神から逸脱することなく行うことができることは当業者によって認められるであろう。

１ フレキシブル電子回路ウェブロール
２ 清浄化材料
５ 可動ブラケット
７ 第２の清浄化材料
１００ フレキシブルウェブロールを清浄化するデバイス

Claims (90)

1. 清浄化材料を付加するための装置であって、
   連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の一部分に対して清浄化材料の一部分を置き、該清浄化材料の該部分を使用して該移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の該部分からデブリを取り除く移動する清浄化デバイスに取り付けられた該清浄化材料のロール、
   を含み、
   前記連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面は、複数の部分を有し、各部分が、時間と共に清浄化点の上を移動し、前記清浄化材料ロールは、複数の部分を有し、該清浄化材料の各部分が、時間と共に該清浄化点に隣接し、該清浄化材料は、該連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面が清浄化されるように該移動するフレキシブル電子回路ウェブ面と同じ速度で移動する、
   ことを特徴とする装置。
2. 前記移動する清浄化デバイスは、ソースシリンダと巻き取りシリンダを更に含み、
   前記清浄化材料は、前記ソースシリンダから巻き出され、かつ該清浄化材料が前記移動するフレキシブル電子回路ウェブ面を清浄化した後で前記巻き取りシリンダの上に巻かれる、
   ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 前記ソースシリンダ及び前記巻き取りシリンダの各々が、前記清浄化点を超える前記清浄化材料の運動を駆動するモータを有することを特徴とする請求項２に記載の装置。
4. 前記清浄化材料は、前記移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の幅に等しい幅を有することを特徴とする請求項３に記載の装置。
5. 前記ソースシリンダは、該ソースシリンダ上に残っている清浄化材料の量を決定するセンサを更に含むことを特徴とする請求項２に記載の装置。
6. 前記移動する清浄化デバイスは、前記清浄化点で前記清浄化材料と前記移動するフレキシブル電子回路ウェブ面との間に接触パッチを発生させるローラを更に含むことを特徴とする請求項２に記載の装置。
7. 前記清浄化点で前記連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の前記部分を前記清浄化材料の前記部分に対して押圧する第２のローラを該連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の真下に更に含むことを特徴とする請求項６に記載の装置。
8. 前記移動する清浄化デバイスは、前記ローラと、前記ソースシリンダと、前記巻き取りシリンダとに接続されて前記清浄化材料の方向を逆転するブラケットを更に含み、
   前記清浄化材料は、前記巻き取りシリンダから巻き出され、かつ該清浄化材料が再利用されるように前記ソースシリンダによって巻き取られる、
   ことを特徴とする請求項６に記載の装置。
9. 前記ブラケットは、前記清浄化材料の前記方向を逆転するために１８０度回転することを特徴とする請求項８に記載の装置。
10. 前記移動する清浄化デバイスは、前記２つのシリンダ、前記センサ、及び前記ブラケットの作動を制御する統合制御システムを更に含むことを特徴とする請求項９に記載の装置。
11. 前記清浄化材料は、前記連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の移動の方向と同じである方向に前記清浄化点を超えて移動することを特徴とする請求項１に記載の装置。
12. 前記清浄化材料は、ポリイミド層及びポリマー層のうちの一方である清浄化層を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
13. 前記ポリマー層は、約４０と約１００の間のデュロメータショアと、１５から４０ｄｙｎｅｓ／ｃｍ２の表面エネルギとを有することを特徴とする請求項１２に記載の装置。
14. 前記ポリマー層は、シリコン含有ポリマー層であることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
15. 前記清浄化材料は、２０と３００ミクロンの間の厚みを有することを特徴とする請求項１２に記載の装置。
16. 前記清浄化材料は、前記清浄化層の直下にウェブ層を更に含むことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
17. 前記ウェブ層は、２０と３００ミクロンの間の厚みを有することを特徴とする請求項１６に記載の装置。
18. 連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面を清浄化する方法であって、
    前記連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面と同じ速度で清浄化材料層を移動する段階と、
    前記移動する清浄化材料の一部分を前記連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の一部分と清浄化点で接触させる段階と、
    前記移動する清浄化材料の前記部分が前記連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の前記部分と接触する時に、該連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の該部分からデブリを除去する段階と、
    を含むことを特徴とする方法。
19. 前記清浄化材料を移動する段階は、該清浄化材料をソースシリンダから巻き出す段階と、該清浄化材料が前記連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面と接触した後で該清浄化材料を巻き取りシリンダの上に巻く段階とを更に含むことを特徴とする請求項１８に記載の方法。
20. 前記清浄化材料を移動する段階は、前記ソースシリンダ及び前記巻き取りシリンダを駆動する段階を更に含むことを特徴とする請求項１９に記載の方法。
21. 前記ソースシリンダでのセンサにより、前記ソースシリンダ上に残っている清浄化材料の量を決定する段階を更に含むことを特徴とする請求項１９に記載の方法。
22. 前記清浄化点で前記連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面に前記清浄化材料を接触させる段階は、ローラにより、該清浄化点で該清浄化材料と該連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面との間の接触を発生させる段階を更に含むことを特徴とする請求項１９に記載の方法。
23. 前記清浄化点で前記連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面に前記清浄化材料を接触させる段階は、該連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の直下のローラにより、該清浄化点で該連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の前記部分を該清浄化材料の前記部分に対して押圧する段階を更に含むことを特徴とする請求項２２に記載の方法。
24. 前記清浄化材料を移動する段階は、該清浄化材料の運動の方向を逆転するために前記ローラ、前記ソースシリンダ、及び前記巻き取りシリンダを移動する段階を更に含み、
    前記清浄化材料は、前記巻き取りシリンダから巻き出され、かつ該清浄化材料が再利用されるように前記ソースシリンダによって巻き取られる、
    ことを特徴とする請求項２２に記載の方法。
25. 前記ローラ、前記ソースシリンダ、及び前記巻き取りシリンダを移動する段階は、前記清浄化材料の前記方向を逆転するために該ローラ、該ソースシリンダ、及び該巻き取りシリンダを１８０度回転させる段階を更に含むことを特徴とする請求項２４に記載の方法。
26. フレキシブル電子回路ロールからデブリを取り除くのに使用されている連続的に移動する清浄化材料を清浄化するための装置であって、
    移動するデバイスに取り付けられた清浄化材料のロールであって、該清浄化材料の一部分を連続的に移動する清浄化材料の一部分に対して置き、該清浄化材料の該部分を使用して該連続的に移動する清浄化材料の該部分からデブリを取り除く前記清浄化材料のロール、
    を含み、
    前記清浄化材料は、複数の部分を有し、各部分が、時間と共に清浄化点の上を移動し、前記連続的に移動する清浄化材料は、複数の部分を有し、各部分が、時間と共に該清浄化点に隣接し、該清浄化材料は、該連続的に移動する清浄化材料が清浄化されるように該連続的に移動する清浄化材料と同じ速度で移動する、
    ことを特徴とする装置。
27. 前記移動するデバイスは、ソースシリンダと巻き取りシリンダを更に含み、
    前記清浄化材料は、前記ソースシリンダから巻き出され、かつ該清浄化材料が前記連続的に移動する清浄化材料を清浄化した後で前記巻き取りシリンダの上に巻かれる、
    ことを特徴とする請求項２６に記載の装置。
28. 前記ソースシリンダ及び前記巻き取りシリンダの各々が、前記清浄化点を超える前記清浄化材料の運動を駆動するモータを有することを特徴とする請求項２７に記載の装置。
29. 前記清浄化材料は、前記連続的に移動する清浄化材料の幅に等しい幅を有することを特徴とする請求項２８に記載の装置。
30. 前記ソースシリンダは、該ソースシリンダ上に残っている清浄化材料の量を決定するセンサを更に含むことを特徴とする請求項２７に記載の装置。
31. 前記移動するデバイスは、前記清浄化点で前記清浄化材料と前記連続的に移動する清浄化材料との間に接触パッチを発生させるローラを更に含むことを特徴とする請求項２７に記載の装置。
32. 前記移動するデバイスは、前記ローラと、前記ソースシリンダと、前記巻き取りシリンダとに接続されて前記清浄化材料の方向を逆転するブラケットを更に含み、
    前記清浄化材料は、前記巻き取りシリンダから巻き出され、かつ該清浄化材料が再利用されるように前記ソースシリンダによって巻き取られる、
    ことを特徴とする請求項３１に記載の装置。
33. 前記ブラケットは、前記清浄化材料の前記方向を逆転するために１８０度回転することを特徴とする請求項３２に記載の装置。
34. 前記移動する清浄化デバイスは、前記２つのシリンダ、センサ、及び前記ブラケットの作動を制御する統合制御システムを更に含むことを特徴とする請求項３３に記載の装置。
35. 前記清浄化材料は、前記連続的に移動する清浄化材料の方向と同じである方向に移動することを特徴とする請求項２６に記載の装置。
36. 前記清浄化材料は、ポリイミド層及びポリマー層のうちの一方である清浄化層を更に含むことを特徴とする請求項２６に記載の装置。
37. 前記ポリマー層は、約４０と約１００の間のデュロメータショアと、１５から４０ｄｙｎｅｓ／ｃｍ２の表面エネルギとを有することを特徴とする請求項３６に記載の装置。
38. 前記ポリマー層は、シリコン含有ポリマー層であることを特徴とする請求項３６に記載の装置。
39. 前記清浄化材料は、２０と３００ミクロンの間の厚みを有することを特徴とする請求項３６に記載の装置。
40. 前記清浄化材料は、前記清浄化層の直下にウェブ層を更に含むことを特徴とする請求項３９に記載の装置。
41. 前記ウェブ層は、２０と３００ミクロンの間の厚みを有することを特徴とする請求項４０に記載の装置。
42. 連続的に移動する清浄化材料を清浄化する方法であって、
    前記連続的に移動する清浄化材料と同じ速度で清浄化材料層を移動する段階と、
    前記移動する清浄化材料の一部分を前記連続的に移動する清浄化材料の一部分と清浄化点で接触させる段階と、
    前記移動する清浄化材料の前記部分が前記連続的に移動する清浄化材料の前記部分と接触する時に該連続的に移動する清浄化材料の該部分からデブリを除去する段階と、
    を含むことを特徴とする方法。
43. 前記清浄化材料を移動する段階は、該清浄化材料をソースシリンダから巻き出す段階と、該清浄化材料を該清浄化材料が前記連続的に移動する清浄化材料と接触した後で巻き取りシリンダの上に巻く段階とを更に含むことを特徴とする請求項４２に記載の方法。
44. 前記清浄化材料を移動する段階は、前記ソースシリンダ及び前記巻き取りシリンダを駆動する段階を更に含むことを特徴とする請求項４３に記載の方法。
45. 前記ソースシリンダでのセンサにより、該ソースシリンダ上に残っている清浄化材料の量を決定する段階を更に含むことを特徴とする請求項４４に記載の方法。
46. 前記清浄化点で前記清浄化材料を前記連続的に移動する清浄化材料に接触させる段階は、ローラにより、該清浄化点で該清浄化材料と該連続的に移動する清浄化材料との間の接触を発生させる段階を更に含むことを特徴とする請求項４３に記載の方法。
47. 前記清浄化材料を移動する段階は、該清浄化材料の運動の方向を逆転するために前記ローラ、前記ソースシリンダ、及び前記巻き取りシリンダを移動する段階を更に含み、
    前記清浄化材料は、前記巻き取りシリンダから巻き出され、かつ該清浄化材料が再利用されるように前記ソースシリンダによって巻き取られる、
    ことを特徴とする請求項４６に記載の方法。
48. 前記ローラ、前記ソースシリンダ、及び前記巻き取りシリンダを移動する段階は、前記清浄化材料の前記方向を逆転するために前記ローラ、前記ソースシリンダ、及び前記巻き取りシリンダを１８０度回転させる段階を更に含むことを特徴とする請求項４７に記載の方法。
49. 清浄化材料を付加するための装置であって、
    移動するフレキシブル電子回路ロールの一部分に対して清浄化材料の一部分を置き、該清浄化材料の該部分を使用して該移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の該部分からデブリを取り除く移動する清浄化デバイスに取り付けられたある長さの該清浄化材料と、
    前記連続的に移動する清浄化材料の一部分に対して第２の清浄化材料の一部分を置き、該第２の清浄化材料の該部分を使用して該連続的に移動する清浄化材料の該部分からデブリを取り除く移動するデバイスに取り付けられたある長さの該第２の清浄化材料と、
    を含み、
    前記移動するフレキシブル電子回路ウェブ面は、複数の部分を有し、各部分が、時間と共に清浄化点の上を移動し、前記清浄化材料長さは、複数の部分を有し、各部分が、時間と共に該清浄化点に隣接し、該清浄化材料は、該連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面が清浄化されるように該移動するフレキシブル電子回路ウェブ面と同じ速度で移動し、
    前記第２の清浄化材料長さは、複数の部分を有し、各部分が、時間と共に第２の清浄化点を通過し、該第２の清浄化材料長さは、該複数の部分を有し、各部分が、時間と共に該第２の清浄化点に隣接し、該第２の清浄化材料は、該清浄化材料が該第２の清浄化点で清浄化されるように前記連続的に移動する材料と同じ速度で移動する、
    ことを特徴とする装置。
50. 前記移動する清浄化デバイスは、ソースシリンダと巻き取りシリンダを更に含み、
    前記清浄化材料は、前記ソースシリンダから巻き出され、かつ該清浄化材料が前記移動するフレキシブル電子回路ウェブ面を清浄化した後で前記巻き取りシリンダの上に巻かれる、
    ことを特徴とする請求項４９に記載の装置。
51. 前記ソースシリンダ及び前記巻き取りシリンダの各々が、前記清浄化点を超える前記清浄化材料の運動を駆動するモータを有することを特徴とする請求項５０に記載の装置。
52. 前記清浄化材料は、前記移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の幅に等しい幅を有することを特徴とする請求項５１に記載の装置。
53. 前記ソースシリンダは、該ソースシリンダ上に残っている清浄化材料の量を決定するセンサを更に含むことを特徴とする請求項５０に記載の装置。
54. 前記移動する清浄化デバイスは、前記清浄化点で前記清浄化材料と前記移動するフレキシブル電子回路ウェブ面との間に接触パッチを発生させるローラを更に含むことを特徴とする請求項５０に記載の装置。
55. 前記移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の前記部分を前記清浄化点で前記清浄化材料の前記部分に対して押圧するローラを該移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の直下に更に含むことを特徴とする請求項５４に記載の装置。
56. 前記移動する清浄化デバイスは、前記ローラと、前記ソースシリンダと、前記巻き取りシリンダとに接続されて前記清浄化材料の方向を逆転するブラケットを更に含み、
    前記清浄化材料は、前記巻き取りシリンダから巻き出され、かつ該清浄化材料が再利用されるように前記ソースシリンダによって巻き取られる、
    ことを特徴とする請求項５４に記載の装置。
57. 前記ブラケットは、前記清浄化材料の前記方向を逆転するために１８０度回転することを特徴とする請求項５６に記載の装置。
58. 前記移動する清浄化デバイスは、前記２つのシリンダ、センサ、及び前記ブラケットの作動を制御する統合制御システムを更に含むことを特徴とする請求項５７に記載の装置。
59. 前記清浄化材料は、前記移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の方向と同じである方向に移動することを特徴とする請求項４９に記載の装置。
60. 前記移動するデバイスは、ソースシリンダと巻き取りシリンダを更に含み、
    前記第２の清浄化材料は、前記ソースシリンダから巻き出され、かつ該第２の清浄化材料が前記連続的に移動する清浄化材料を清浄化した後で前記巻き取りシリンダの上に巻かれる、
    ことを特徴とする請求項４９に記載の装置。
61. 前記ソースシリンダ及び前記巻き取りシリンダの各々が、前記第２の清浄化材料の運動を駆動するモータを有することを特徴とする請求項６０に記載の装置。
62. 前記材２の清浄化材料は、前記清浄化材料の幅に等しい幅を有することを特徴とする請求項６１に記載の装置。
63. 前記ソースシリンダは、該ソースシリンダ上に残っている第２の清浄化材料の量を決定するセンサを更に含むことを特徴とする請求項６０に記載の装置。
64. 前記移動するデバイスは、前記第２の清浄化点で前記第２の清浄化材料と前記連続的に移動する清浄化材料との間に接触パッチを発生させるローラを更に含むことを特徴とする請求項６０に記載の装置。
65. 前記移動するデバイスは、前記ローラと、前記ソースシリンダと、前記巻き取りシリンダとに接続されて前記第２の清浄化材料の方向を逆転するブラケットを更に含み、
    前記第２の清浄化材料は、前記巻き取りシリンダから巻き出され、かつ該第２の清浄化材料が再利用されるように前記ソースシリンダによって巻き取られる、
    ことを特徴とする請求項６４に記載の装置。
66. 前記ブラケットは、前記第２の清浄化材料の前記方向を逆転して該第２の清浄化材料を再利用するために１８０度回転することを特徴とする請求項６５に記載の装置。
67. 前記移動する清浄化デバイスは、前記２つのシリンダ、センサ、及び前記ブラケットの作動を制御する統合制御システムを更に含むことを特徴とする請求項６６に記載の装置。
68. 前記第２の清浄化材料は、前記連続的に移動する清浄化材料の方向と同じである方向に移動することを特徴とする請求項４９に記載の装置。
69. 連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面を清浄化する方法であって、
    前記連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面と同じ速度で清浄化材料層を移動する段階と、
    前記移動する清浄化材料の一部分を前記連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の一部分と清浄化点で接触させる段階と、
    前記移動する清浄化材料の前記部分が前記連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の前記部分と接触する時に該連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の該部分からデブリを除去する段階と、
    前記清浄化材料と同じ速度で第２の清浄化材料のロールを移動し、かつ該第２の清浄化材料の一部分を該連続的に移動する清浄化材料層の一部分に対して第２の清浄化点で接触させ、該材料の該部分を使用して該連続的に移動する清浄化材料の該部分からデブリを取り除く段階と、
    を含むことを特徴とする方法。
70. 前記清浄化材料を移動する段階は、該清浄化材料をソースシリンダから巻き出す段階と、該清浄化材料が前記連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面と接触した後で該清浄化材料を巻き取りシリンダの上に巻く段階とを更に含むことを特徴とする請求項６９に記載の方法。
71. 前記清浄化材料を移動する段階は、前記ソースシリンダ及び前記巻き取りシリンダを駆動する段階を更に含むことを特徴とする請求項７０に記載の方法。
72. 前記ソースシリンダでのセンサにより、該ソースシリンダ上に残っている清浄化材料の量を決定する段階を更に含むことを特徴とする請求項７０に記載の方法。
73. 前記清浄化材料を前記連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面に前記清浄化点で接触させる段階は、ローラにより、該清浄化点で該清浄化材料と該連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面との間の接触を発生させる段階を更に含むことを特徴とする請求項７０に記載の方法。
74. 前記清浄化材料を前記連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面に前記清浄化点で接触させる段階は、該連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の直下のローラにより、該清浄化点で該連続的に移動するフレキシブル電子回路ウェブ面の前記部分を該清浄化材料の前記部分に対して押圧する段階を更に含むことを特徴とする請求項７３に記載の方法。
75. 前記清浄化材料を移動する段階は、該清浄化材料の運動の方向を逆転するために前記ローラ、前記ソースシリンダ、及び前記巻き取りシリンダを移動する段階を更に含み、
    前記清浄化材料は、前記巻き取りシリンダから巻き出され、かつ該清浄化材料が再利用されるように前記ソースシリンダによって巻き取られる、
    ことを特徴とする請求項７３に記載の方法。
76. 前記ローラ、前記ソースシリンダ、及び前記巻き取りシリンダを移動する段階は、前記清浄化材料の前記方向を逆転するために該ローラ、該ソースシリンダ、及び該巻き取りシリンダを１８０度回転させる段階を更に含むことを特徴とする請求項７５に記載の方法。
77. 前記第２の清浄化材料を移動する段階は、該第２の清浄化材料をソースシリンダから巻き出す段階と、該第２の清浄化材料が前記清浄化材料と接触した後で該第２の清浄化材料を巻き取りシリンダの上に巻く段階とを更に含むことを特徴とする請求項６９に記載の方法。
78. 前記第２の清浄化材料を移動する段階は、前記ソースシリンダ及び前記巻き取りシリンダを駆動する段階を更に含むことを特徴とする請求項７７に記載の方法。
79. 前記ソースシリンダでのセンサにより、該ソースシリンダ上に残っている第２の清浄化材料の量を決定する段階を更に含むことを特徴とする請求項７８に記載の方法。
80. 前記第２の清浄化材料を前記清浄化材料に前記第２の清浄化点で接触させる段階は、ローラにより、該第２の清浄化点で該第２の清浄化材料と該清浄化材料の間の接触を発生させる段階を更に含むことを特徴とする請求項７７に記載の方法。
81. 前記第２の清浄化材料を移動する段階は、該第２の清浄化材料の運動の方向を逆転するために前記ローラ、前記ソースシリンダ、及び前記巻き取りシリンダを移動する段階を更に含み、
    前記第２の清浄化材料は、前記巻き取りシリンダから巻き出され、かつ該第２の清浄化材料が再利用されるように前記ソースシリンダによって巻き取られる、
    ことを特徴とする請求項８０に記載の方法。
82. ローラ、前記ソースシリンダ、及び前記巻き取りシリンダを移動する段階が、前記第２の清浄化材料の方向を逆転するために該ローラ、該ソースシリンダ、及び該巻き取りシリンダを１８０度回転させる段階を更に含むことを特徴とする請求項７１に記載の方法。
83. 残留物を残さずにフレキシブル電子回路ロールから小さい粒子を除去するための清浄化材料であって、
    清浄化層と、
    前記清浄化層の直下に形成されて該清浄化層を支持するウェブフィルムと、
    を含み、
    前記清浄化層及びウェブフィルムは、清浄化材料ロールを形成するために巻き上げられる、
    ことを特徴とする清浄化材料。
84. 前記清浄化層は、ポリイミド層及びポリマー層のうちの一方を更に含むことを特徴とする請求項８３に記載の清浄化材料。
85. 前記ポリマー層は、約４０と約１００の間のデュロメータショアと、１５から４０ｄｙｎｅｓ／ｃｍ２の表面エネルギとを有することを特徴とする請求項８４に記載の清浄化材料。
86. 前記ポリマー層は、シリコン含有ポリマー層であることを特徴とする請求項８４に記載の清浄化材料。
87. 前記清浄化層は、２０と３００ミクロンの間の厚みを有することを特徴とする請求項８３に記載の清浄化材料。
88. 前記清浄化層の上に形成された剥離層を更に含むことを特徴とする請求項８３に記載の清浄化材料。
89. 前記ウェブフィルムは、２０と３００ミクロンの間の厚みを有することを特徴とする請求項８７に記載の清浄化材料。
90. 前記ウェブフィルムは、ポリエステル、ポリエチレン、及びポリイミドのうちの１つであることを特徴とする請求項８９に記載の清浄化材料。

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