JP6009082B2 - ガラス基板テープ - Google Patents

Description

本発明は、接着フィルムの上の複数の薄ガラス片からなるガラス基板テープに関する。

例えば半導体モジュール、又は、有機ＬＥＤ光源、又は、薄膜もしくは曲面ディスプレイデバイスのためのカバーガラスとして、例えば民生用電子機器の分野で使用するため、あるいは、例えば太陽電池などの再生可能エネルギー又はエネルギー技術の分野において使用するため等、種々異なる適用分野において薄ガラスを利用することが増えている。このための例としては、タッチパネル、コンデンサ、薄膜電池、フレキシブル回路基板、フレキシブルＯＬＥＤ、フレキシブル太陽電池モジュール、電子ペーパー、又は、マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）、又は、マイクロオプトエレクトロメカニカルシステム（ＭＯＥＭＳ）が挙げられる。

薄ガラス装置は、以下に挙げるようなその傑出した特性に基づき、多くの用途のためにますます注目されている。この傑出した特性とは、すなわち、例えば耐薬品性、耐熱衝撃性、耐熱性、気密性、電気絶縁性が高いこと、熱膨張係数が適当であること、曲げ易いこと、光学的品質が高いこと、及び、光透過率が高いことであり、又はさらに、表面品質が高いことでもある。表面品質の高さは、薄ガラスの両面がファイヤーポリッシュされているので、表面粗さが非常に小さいことによる。本明細書における薄ガラスとは、厚さが約１．２ｍｍ未満から１５μｍ以下に至るまでの薄ガラスを意味する。

薄ガラスは曲げ易いので、製造後に次々と巻き上げられ、ガラスロールとして保管されるか、又は、処理もしくは後続加工のために搬送される。ロールツーロール方式においては、例えば表面のコーティング又は処理といった中間加工後にも、薄ガラスを巻き上げて更なる用途へと供給することが可能である。ガラスロールは、平坦に広げられた材料の保管及び搬送に比べて、保管、搬送、後続加工での取扱いがより低コストかつコンパクトになるという利点を有する。

ガラスロールにおいて薄ガラス積層体間に混入した粒子状混入物によって損傷が引き起こされるという事態も回避すべきである。粒子状混入物は、一方では表面に引っ掻き傷をつける可能性がある。このことは特に薄ガラス積層体の上下又は相互のずれ又は移動によって促進される。他方では、粒子状混入物によって点状の圧力負荷が引き起こされて亀裂又は破損が発生する可能性がある。薄ガラス表面上の汚染粒子が、後々のコーティング又は処理を質的又は方法技術的にも阻害する可能性もある。

ロールツーロール方式において、後々の処理工程においてコーティング又は処理するために、連続したガラステープをロールの上に巻き付けるための種々の解決方法が公知である。

例えばＷＯ８７／０６６２６は、ロールツーロール方式における薄ガラスのコーティング方法のために、ガラスロールの使用を提案している。連続した薄ガラステープのガラス積層体間に、ガラスを摩損しない材料の１つ又は複数の層、例えばプラスチックフィルムが設けられている。プラスチックフィルムは、ポリエステル又はポリエチレンのようなポリマーとすることができ、ガラス上の金属又は金属酸化物コーティングを保護するためにエンボスパターンを含むこともできる。ガラステープをコーティングするために、ガラステープとプラスチックフィルムとは互いに分離される。コーティング後、このガラステープは、中間層である新しいプラスチックフィルムと一緒に巻き取られる。

その後このガラステープは、薄ガラスのコーティング後の後々の工程において適切な寸法に切断される。この場合の欠点は、加工処理済みの薄ガラスにおける相応の切断廃棄物の多さである。薄グラスの原材料に比べて、加工処理済みの薄ガラスは格段に高価である。コーティング又は処理済みの薄ガラスの切断廃棄物は、状況によっては、溶融によって容易に薄ガラス製造工程へと再利用することは不可能である。

ＵＳ３，０８９，８０１は、後続の加工工程において、連続したガラステープである薄ガラスの取扱いを保護及び支援するために、接着力の弱い接着剤層でコーティングされ分離可能にガラス上に接着された紙又はアルミニウムフィルムを使用することを開示している。こうすることによってガラスは、曲げ時及び取扱い時により大きい頑強性を獲得するので、巻き上げる場合にも破損から保護することができる。欠点は、常に残留物なく接着剤層を剥離できるとは限らず、接着剤層が薄ガラスの後々の使用を阻害又は阻止することである。

ＵＳ２０１１／０１７１４１７は、ガラス基板テープを破断又は破損から保護するために、巻き上げて１つのガラスロールにする前に、薄ガラスを２つのプラスチック層の間に挟んでラミネートすることを提案している。薄ガラスの一方の面に支持体層を接着することが提案され、この支持体層は、薄ガラスの縁部を超えて張り出している。薄ガラスの他方の面にはカバー層が、全面的に又は縁部領域のみにおいて、当該縁部を超えて張り出すように剥離可能に接着され、これによって当該縁部は、２つのプラスチック層の間に挟まれてラミネートされた状態になり、次いで、薄ガラスを巻き上げることができる。後々にカバー層を剥離する際に支持体層が著しく変形してしまうことを回避するために、支持体層の、５０ＭＰａの引張強度における歪みは、１０％未満とすべきである。種々の材料が提案されているが、ポリエチレン及び軟質塩化ビニルは特に不適切であるとして除外されている。この解決策の場合においても、接着剤の付着残留物、又は、接着剤によるガラス表面への影響は著しい欠点である。この解決策はまた、パッケージング材料の増加、及び、パッケージングコストの増加と結びついている。さらに、相互に付着し合う２つのプラスチック層を剥離する際に、薄ガラスを損傷してしまう危険性が高い。

ＵＳ２０１１／００２３５４８も、後続工程における保護及び取扱いのために、薄ガラスを両面で縁取ることが提案される。この場合には、耐熱性フィルムからなる両面又は片面のカバーは特に縁部領域に限定されているが、薄ガラスの面全体を覆うように延在させることも可能である。薄ガラスは、巻き上げられた連続したガラステープ、又は、個々のガラスシートとすることができる。耐熱性フィルムとして、３００℃までの温度に耐えうる金属、シリコン、又は、ポリイミドが提案されている。この縁取り部は、薄ガラスの上に直接形成されるか、又は、アクリル接着剤によって接着される。この場合の欠点は、接合の剥離が困難なことである。保護のための縁取り部を除去する際に、薄ガラスの望ましくない損傷が引き起こされる危険性が高い。薄ガラスからなる個々のシートを保護する及び縁取る場合には、縁取り部を用いてシートを積層することができ、この場合には、この縁取り部は縁部領域においてスペーサとして使用され、これによって薄ガラス積層体間に空隙が形成される。この場合の欠点は、薄ガラス積層体が振動又は弛緩し得るので、破壊の危険にさらされていることである。他方では、長期保存した場合に、薄ガラスの表面の、保護フィルムに接触する領域において、保護フィルムに接触していない領域とは異なる経年劣化が生じる。このことは、ガラスを後々にコーティング又は使用する際に、目に見える望ましくない影響を及ぼす可能性がある。

従って本発明の課題は、上述した欠点を回避し、後続工程における搬送及び取扱いの際における、薄ガラスのための低コストでかつ取扱いが容易な保護を提供することである。

この課題は、本発明の請求項１、１８、１９に記載の特徴によって解決される。本発明のさらなる有利な実施形態は、従属請求項２から１７に記載されている。

本発明によれば、ガラス基板テープが供給され、当該ガラス基板テープの上において少なくとも２つの、有利には３つ以上の個々の薄ガラスプレート、すなわち薄ガラス片が、接着フィルムからなるテープの上に固定されている。個々の薄ガラスプレートは、このように固定されたまま後続の処理工程が施され、この際に、個々の薄ガラスプレートは確実に保持及び保護されている。この場合には、接着フィルムが支持体テープとして使用される。

処理工程は、例えば研削、又は、研磨、又は、洗浄、又は、印刷、又は、フォトリソグラフィ処理、又は、反射防止コーティングや、易洗浄（easy to clean）コーティングや、導電性コーティングのような１つ以上のコーティングの塗布、又は、ラミネート工程、又は、例えば電子部品の実装でもある。本発明のガラス基板テープの利点は、薄ガラス片の一方の面の表面全体又は他方の面の表面全体に自由にアクセス可能であること、及び、ロールの形態又は蛇腹折りで折り畳んだ積層体の形態でまとめて確実にパッケージングできるので、薄ガラスからなる多数の個々の切片を簡単かつ低コストに取扱うことが可能であることである。他方では、この薄ガラスは、破損や破断が発生した場合にも、形成された断片又は破片が後続の処理工程における障害要因になることなく確実に接着性の支持体テープの上に留まるよう保証されている。

さらには、この薄ガラス片は、ガラス表面の上に残滓を残すことなく接着性の支持体フィルムから容易かつ簡単に再び剥離することが可能である。ロール又は積層体としてパッケージングされた状態においては、薄ガラス片の両方の表面が同じようにフィルムに接触するので、ガラスの両面における望ましくない経年劣化及び変化の違いは生じない。パッケージングされた状態においては、接着フィルムは、薄ガラス片の搬送及び保管に対する保護として使用される。

本発明のさらなる利点は、個々の薄ガラスプレートを、まだ加工処理されていないガラステープから所定の寸法で切断できることである。従って、切断廃棄物は依然として低価値のままであり、原材料として薄ガラスの溶融工程及び製造工程へと問題なく再利用することができる。高コストの後続処理は、加工処理済みの小さい薄ガラス片においてのみ実施される。しかしながらこの後続処理を、連続したガラステープでのように低コストのロールツーロール方式で実施することも可能である。この場合には、薄ガラス片は確実に固定されており、処理中に再配置する必要はない。処理中の再配置は、常に破損及び亀裂の発生に対する高い危険性を意味している。

薄ガラスは、ダウンドロー法又はオーバーフローダウンドロー法において公知のように製造される（例えばダウンドロー法についてはＷＯ０２／０５１７５７Ａ２、オーバーフローダウンドロー法についてはＷＯ０３／０５１７８３Ａ１を参照のこと）。成形され引き伸ばされたエンドレステープは、巻き取られ、切断されて１つのガラスロールとなる。薄ガラス片は、ガラスロールから分離されるか、又は、直接、ガラステープを巻き広げた後に分離される。

ここでは薄ガラスは、任意の適当な種類のガラスから形成することができ、特にホウケイ酸ガラス、アルミノボロシリケートガラス、ソーダ石灰ガラス、アルミノシリケートガラス、又は、リチウムアルミニウムシリケートガラスから形成することができる。巻き上げ時における破損の危険性や亀裂の発生を低減するため、及び、接着性の支持体フィルムに対する良好な接着性を保証するために、表面はファイヤーポリッシュされており、非常に滑らかとなっている。特に１００μｍ未満の厚さ範囲においては、低アルカリガラスを薄く引き伸ばすことによって特に滑らかな表面が得られることが判明している。

本発明に基づきガラス基板テープの上に位置決め及び固定されている薄ガラス片の厚さは、通常３５０μｍ以下であり、有利には１００μｍ以下であり、好ましくは７０μｍ以下であり、特に好ましくは５０μｍ以下であり、とりわけ好ましくは２５μｍ以下であり、かつ、５μｍ以上であり、有利には１０μｍ以上であり、特に好ましくは１５μｍ以上である。薄ガラスの最も好ましい厚さは、１５，２０，２５，３０，３５，５０，５５，７０，８０，１００，１３０，１４５，１６０，１９０，２１０，２８０μｍである。

薄ガラス片は、平坦に広げた状態において任意の形状を有することができ、好ましくは正方形、矩形、又は円形の切片である。

薄ガラス片は、好ましくは２つの表面のうち少なくとも一方の表面がファイヤーポリッシュされた表面であり、有利には両面ともファイヤーポリッシュされている。

薄ガラス片が接着フィルムの上に確実に固定及び接着されるよう保証するために、及び、接着フィルムを薄ガラス表面から問題なく再び剥離するために、薄ガラス片の２つの表面のうち少なくとも一方の表面における二乗平均粗さ値（ＲＭＳ）Ｒｑは、好ましくは１ｎｍ以下であり、好ましくは０．８ｎｍ以下であり、特に好ましくは０．５ｎｍ以下である。薄ガラス片の２つの表面のうち少なくとも一方の表面における平均表面粗さＲａは、それぞれ６７０μｍの測定長において、２ｎｍ以下であり、好ましくは１．５ｎｍ以下であり、特に好ましくは１ｎｍである。好ましい実施形態においては、上記の粗さ値は、薄ガラス片の両方の表面の特徴を表している。しかしながら上記の粗さ値は、特に薄ガラス片の、接着フィルムの上に接着されている方の表面の特徴を表している。

好ましい１つの実施形態においては、ガラス表面に対するフィルムの接着作用は、フィルム及び／又は薄ガラスの一方の面においては他方の面よりも大きい、乃至、ガラス表面上における接着フィルムの静止摩擦力は、接着フィルム又は薄ガラスの一方の面においては他方の面よりも大きい。このことは、ガラス基板テープを巻き上げた場合又は折り畳んだ場合に、薄ガラスの、接着フィルムには接触していない反対側の表面であって、接着フィルムの次の層と接触することとなる表面が、より小さい接着力で当該次の層と接触するという利点ある。こうすることにより、積層体からガラス基板テープを再び巻き上げること、又は、繰り出すことが容易になる。こうすることにより、積層体からガラス基板テープを再び巻き上げる際、及び、繰り出す際における、保護されたガラス表面と接着フィルムとの接合を、阻害されず安定したまま維持することができる。

接着フィルムのうち、ファイヤーポリッシュされた薄ガラス表面と協働して比較的大きい接着作用を有する方の面であって、それゆえガラス基板テープが巻き上げられた状態において薄ガラス表面に接触する面の静止摩擦力Ｆ_Ｓは、２０Ｎより大きい範囲にあり、好ましくは５０Ｎより大きい範囲にある。静止摩擦力は、接着フィルムが薄ガラス表面に対して相対的に移動するために克服しなければならない力のピークであると理解される。

接着フィルムのうち、ファイヤーポリッシュされた薄ガラス表面と協働して比較的小さい接着作用を有する反対側の面であって、ガラス基板テープが巻き上げられた状態又は折り畳まれた状態においてのみ薄ガラス表面に接触する面の静止摩擦力Ｆ_Ｓは、０．１０〜１０Ｎの範囲にあり、好ましくは０．１０〜２Ｎの範囲にある。さらには、ファイヤーポリッシュされた薄ガラス表面と協働して比較的小さい接着作用を有する当該反対側の面の摩擦力Ｆ_Ｄは、０．１０〜５Ｎの範囲にあり、好ましくは０．１０〜１．５Ｎの範囲にある。摩擦力は、中間材料とガラス表面との間の相対移動のために必要な静止摩擦力を克服した後の耐久距離に亘って平均された力を意味すると理解される。

静止摩擦力Ｆ_Ｓの値及び摩擦力Ｆ_Ｄの値は、Ｓｃｈｅｎｋ−Ｔｒｅｂｅｌ社の電気機械式の万能試験機において、ＤＩＮ５０ ０１４に準拠した温度２３℃及び湿度５０％の標準気候の場合に、１．９６Ｎの垂直力によって、ＤＩＮ ＥＮ ＩＳＯ８２９５に準拠して実施された測定に相当する。

接着フィルムのための材料は、少なくとも一方の表面が接着フィルムとして適している任意の材料である。好ましいのは、共押出ポリエチレン接着フィルムのようなポリエチレン（ＰＥ）、又は、軟質ＰＶＣ接着フィルムのようなポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）である。複合体フィルムとすることも可能であり、複合体フィルムは、好ましくはＰＥ又はＰＶＣであり、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）と軟質ポリ塩化ビニル（軟質ＰＶＣ）とからなる複合体フィルムである。

接着フィルムの厚さは、６ｍｍ未満の範囲にあり、好ましくは２ｍｍ以下の範囲にあり、特に好ましくは１ｍｍ以下の範囲にあり、非常に特に好ましくは０．５ｍｍ以下の範囲にあり、とりわけ３０〜３５０μｍの範囲にあり、好ましくは６０〜２００μｍの範囲にある。

接着フィルムは、接着剤を用いずに薄ガラス表面上に接着する非常に滑らかな裏面を有する軟質プラスチックフィルムであると理解される。軟質プラスチックフィルムは、接着剤フィルムとは異なり、比較的長期間が経過した後にも補助手段を使用せず、また残滓を残すことなく迅速に基層から剥離することができる。接着作用又は付着力は主に、いわゆるファンデルワールス力に基づいている。ファンデルワールス力はつまり、薄ガラスの表面と接着フィルムの表面とにおける分子間に存在する弱い引力であって、この引力は、表面が滑らかになればなるほど強くなる。

１つの実施形態においては、接着フィルムは、静電気を帯びた接着フィルムである。

１つの実施形態においては、接着フィルムは、該接着フィルムの接着性の表面において、薄ガラス表面の接着力を支援する極小の吸引カップの形態の微細構造を有する。

接着フィルムのための材料は、１つの実施例においては、薄ガラスとの接触面上に接着性コーティングが設けられたポリエステル布のような接着布とすることができる。このコーティングは接着剤とすることもでき、この接着剤が、接着布の平面的な剥離性、さらには反復可能な剥離性を保証する。この場合の利点は、例えばロールツーロール方式において薄ガラス片を加工又は処理する場合に、支持体フィルムを歪ませることなくガラス基板テープを一定の張力下に維持できることである。従って、薄ガラス片を正確に位置決めすることが可能となる。

１つの実施形態においては、比較的高い温度、例えば１５０〜５００℃の温度で実施される後続の処理工程において使用するために、接着フィルムを、薄ガラスとの接触面上に接着性コーティングが設けられたアルミニウムフィルムのような金属フィルムとすることもできる。このコーティングは接着剤とすることもでき、この接着剤が、接着布の平面的な剥離性、さらには反復可能な剥離性を保証する。

このような接着性コーティングは、特にブチルゴム又はシリコーンゴムであるが、しかしながら例えば、シリコーンゲル、ウレタンゴム、天然ゴム、ブタジエンゴム、エチレンプロピレンゴム、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、ニトリルイソプレンゴム、アクリルゴム、フッ素ゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、又は、エピクロロヒドリンゴムとすることもできる。

接着フィルムの片面を、例えばカバーフィルム、厚紙、非接着性プラスチック、布、又は、金属フィルムでコーティングすることも可能である。とりわけ布によるコーティングは、後続の処理工程中の搬送を安定化させ、かつ、処理工程中の搬送時における接着性支持体フィルムの望まない引っ張り、伸び、又は歪みを阻止し、さらには、接着フィルムの薄ガラスプレートの後々の剥離も容易にする。コーティングは、圧縮可能な厚紙のような圧縮性材料、あるいは、例えばポリオレフィン発泡体、特に架橋ポリオレフィン発泡体、又は、ポリエチレン若しくはポリウレタン製の発泡フィルムのような圧縮性材料とすることも可能である。ロールは本質的に横方向のずれに対して安定的であり、かつ、ロール状の薄ガラス基板は有利に保護及び保管されているので、こうすることによって、ロール材料であるガラス基板テープに対する特別な利点が得られる。コーティングはそれぞれ、接着力によってフィルムと自身とを接合させる剥離可能なカバーとすることができるか、又は、固定的に被着された剥離不可能なコーティングとすることができる。

このようにコーティングされた接着フィルムの厚さは、６ｍｍ未満の範囲にあり、好ましくは２ｍｍ以下の範囲にあり、特に好ましくは１ｍｍ以下の範囲にあり、非常に特に好ましくは０．５ｍｍ以下の範囲にある。

非常に好ましい１つの実施形態においては、接着フィルムの厚さは、薄ガラス基板と、相接するフィルムとが巻き上げられた状態における引張応力と圧縮応力との間の中立相が、２つの層を接合している接着層の中に位置付けられるように適合されている。こうすることにより２つの表面には力がなくなり、ガラス基板テープを巻き広げたときに薄ガラス片に湾曲が残存することが防止される。このために、接着フィルムの厚さ（Ｄ_ｐ）は、薄ガラス基板の厚さ（Ｄ_ｇ）と、接着フィルムのポアソン比（ｖ_ｐ）と、薄ガラス基板のポアソン比（ｖ_ｇ）と、接着フィルムの弾性係数（Ｅ_ｐ）と、薄ガラス基板の弾性係数（Ｅ_ｇ）とを考慮して、以下のようにして決定される：

接着フィルムは、薄ガラス片の第１表面全体又は第２表面全体を覆うことができる。これにより、処理工程において、薄ガラス片の第１表面全体又は第２表面全体を加工することができるという利点が得られる。しかしながら別の１つの実施形態においては、接着フィルムは、薄ガラス片の第１表面及び／又は第２表面の縁部領域全体のみを覆うことも、又は、薄ガラス片の相対する２つの辺の縁部領域のように、縁部領域の一部のみを覆うこともできる。これにより、処理工程において、薄ガラス片の第１表面と第２表面とを同時に加工することができるという利点が得られる。

各実施形態において接着フィルムは、薄ガラス片の第１表面及び第２表面の縁部領域をそれぞれ超えて、ガラス基板テープの長手方向に対して垂直に張り出すことができ、１つの張出部を形成することができる。張出部は、駆動装置を用いてガラス基板テープを移動及び／又は案内するための搬送帯として使用することもできる。例えば、力結合によって張出部に駆動力又は案内力を印加する１つ又は２つの協働する加圧ローラを用いて、ガラス基板テープを駆動及び移動させることができる。張出部は、切欠部、特に打抜部を有することができ、この切欠部の中に形状結合によって歯車の歯又は歯付きベルトの歯が係合して駆動力が作用し、この駆動力によってガラス基板テープが駆動及び移動される。

張出部は符号化部を有することもでき、この符号化部を介して、ガラス基板テープ乃至個々の薄ガラス片の位置及び特徴を読み出すことができる。しかしながらこの符号化部を、接着フィルムの上に固定された薄ガラス片同士の間において、テープの走行方向に対して垂直に、つまり薄ガラス基板に対して横方向に取り付けることも可能である。符号化部は、接着フィルムの上に直接取り付けることができるか、又は、接着フィルムの上に特別な符号化フィールドを取り付けて、この符号化フィールドの上に符号化部を載置すること、例えば印刷することができる。符号化フィールドは、印刷又は接着されたラベルフィールドとすることができ、ラベルフィールドは、容易に書込可能又は印刷可能である。符号化フィールドには、場合によって符号化部を印刷又は接着することも可能である。接着のために、接着フィルムの接着力を利用することができる。

ガラス基板テープは、保管又は搬送のために、全体として蛇腹折りで積層するか、又は、巻き上げて１つのコンパクトなロールにすることができる。蛇腹折りで積層する場合は、薄ガラス片の保管を保護することができる。なぜなら薄ガラス片が、曲げ力、すなわち引張力を受けないからである。ロールの利点は、薄ガラス片の後続の加工又は処理をロールツーロール方式で快適に実施できることであり、さらにこの場合に、薄ガラス片を精確に配向するために薄ガラス基板を所定の張力下に維持できることである。

本発明はさらに、ガラス基板テープの製造方法も含み、当該製造方法は、ダウンドロー法又はオーバーフローダウンドロー法で薄ガラステープを製造するステップと、薄ガラステープから薄ガラス片を分離するステップと、薄ガラス片を接着フィルムの上に位置決め及び接触させるステップとを含む。

薄ガラステープは、公知のようにダウンドロー法又はオーバーフローダウンドロー法によってエンドレスに製造される。薄ガラステープから薄ガラス片を分離する前に、例えば側方の縁部部分の分離、又は、熱応力を緩和するための処理等によって、当該薄ガラスに前処理を施しておくことができる。ロールの上に巻き付けることも可能である。その後、薄ガラステープから薄ガラス片を分離するステップを、引き伸ばし工程の後のエンドレステープから、又は、ガラスロールから、直接実施することができる。分離は、公知の技術によって、例えばレーザ分離法、又は、切断工具を用いた引っ掻き及び破断によって実施することができる。その後、分離された各薄ガラス片は、ロボットアームのような把持装置及び位置決め装置を用いて、用意された接着フィルムの上の精確な位置に載置される。このために、接着フィルムはロールからロールへと巻き取られ、若干のバイアス張力によって、薄ガラス片を収容するための平坦な滑らかな面を形成する。場合によっては引き続き加圧ローラによって、接着フィルムと薄ガラス片の表面とを固定的に接合させることができる。次いで、薄ガラス片が載置された接着フィルムは、巻き上げられるか又は蛇腹折りで折り畳まれる。

薄ガラス片が接着フィルムと接触する前には、汚れ、埃、油は存在しない。これは特に、薄ガラスを引き出した直後の状態である。折り目を形成することなく薄ガラス片を全面的に載置できるように、接着フィルムは、接着前に平坦かつ清潔に広げられる。フィルムの折り目は、例えば後々に巻き上げられた状態において、望ましくない圧力領域を形成し得る。接着フィルムに支持体紙が接合されている場合には、この支持体紙は、載置すべきそれぞれの薄ガラス片の載置領域において除去され、例えばロールによって取り上げられる。

薄ガラス片と接着フィルムとの接触は、好ましくは乾式に実施される。しかしながら、接着フィルムの上で薄ガラス片を配向し、修正し、場合によっては何回も持ち上げたい場合には、この接触は湿式にも実施される。湿式の場合には、薄ガラス片の接触させるべき表面と接着フィルムとが、所定の取り付け液、又は、水と洗剤からなる溶液によって湿らされる。接着フィルムは、薄ガラス片と接触された後、基本的には１つ又は複数の加圧ローラによって少しずつ加圧され、フィルムの下にある空気、場合によっては液体と、折り目とが延ばされて平らになる。接着フィルムの最善の接着力を保証し、かつ、特に接着剤を用いた場合における泡の形成を回避するために、接触温度は５℃〜４５℃の間であり、好ましくは１０℃〜２５℃の間である。

特に、ガラス基板テープが巻き上げられて１つのロールにされる場合には、巻き上げられた状態における引張応力と圧縮応力との間の中立相が接着層に位置付けられる。こうすることにより、ガラス基板テープを巻き広げたときに薄ガラス片の湾曲が残存することが防止される。中立相を、薄ガラス基板と接着フィルムとの間の界面に位置付けるために、接着フィルム及び薄ガラス片の各弾性係数と、各ポアソン比と、各厚さとが互いに適合される。接着フィルムの厚さを決定するために、以下の数学的な関係式が適用される：

ここでは、Ｄ_ｐは接着フィルムの厚さであり、Ｄ_ｇは薄ガラス基板の厚さであり、ｖ_ｐは接着フィルムのポアソン比であり、ｖ_ｇは薄ガラス基板のポアソン比であり、Ｅ_ｐは接着フィルムの弾性係数であり、Ｅ_ｇは薄ガラス基板の弾性係数である。

本発明はさらに、薄ガラス片の第１表面及び／第２表面を連続方式で処理又は加工するための、ガラス基板テープの使用方法も含む。この場合の利点は、ガラステープ全体を相応にして加工乃至処理する必要がなくなることである。後続の切断時におけるガラス廃棄物は高価であり、場合によっては溶融することも不可能である。またさらに、一連の処理工程における当該段階において、１０００ｍ以上の長さのガラステープの手間の掛かる切断工程も省略され、切断済みの薄ガラス片をユーザに直接供給することができる。このような、薄ガラス片の一方又は両方の表面の処理又は加工は、例えば研削、又は、ラッピング、又は、研磨、又は、洗浄、又は、印刷、又は、フォトリソグラフィ処理、又は、反射防止コーティングや、易洗浄（easy to clean）コーティングや、耐指紋コーティングや、アンチグレアコーティングや、導電性コーティングのような１つ以上のコーティングの塗布、又は、積層工程、又は、さらには例えば電子部品の実装でもある。

本発明を、以下の詳細な実施形態及び実施例を用いてより詳細に説明する。

接着フィルムの上の円形（図１ａ）の薄ガラス片と、正方形（図１ｂ）の薄ガラス片の実施形態を示す図であり、当該接着フィルムは、第１薄ガラス表面又は第２薄ガラス表面と全面的に接触している。 接着フィルムの上の円形（図２ａ）の薄ガラス片と、長方形（図２ｂ）の薄ガラス片の実施形態を示す図であり、当該接着フィルムは、第１薄ガラス表面又は第２薄ガラス表面のそれぞれの縁部領域全体に接触している。 接着フィルムの上の円形（図３ａ）の薄ガラス片と、長方形（図３ｂ）の薄ガラス片の実施形態を示す図であり、当該接着フィルムは、第１薄ガラス表面及び第２薄ガラス表面の２つの相対する縁部領域に接触している。図３ｃ及び３ｄは、それぞれ図３ａ及び３ｂに相応する装置の断面を示す図である。 各接着フィルムの弾性係数が各々異なる場合における、薄ガラス片の厚さに基づいて決まる接着フィルムの厚さであり、この際、引張応力と圧縮応力との間の中立相が、接着フィルムと薄ガラス片との間の接着層に存在する。

図１ａは、ウェハを製造するために位置決め及び固定された複数の円形の薄ガラス片１２を有するガラス基板テープ１ａの実施形態を例示的に示している。各薄ガラス片１２は接着フィルム１４の上に固定されており、この接着フィルム１４は、第１薄ガラス表面１２ｂに全面的に接触している。第２薄ガラス表面１２ａは上方に露出しており、ガラス基板テープ１ａを巻き上げた場合に初めて接着フィルム１４に、すなわち接着フィルムの表面１４ｂに接触する。薄ガラス片は、０．０６ｍｍの厚さを有する。接着フィルム１４は、例えばSchwerteに所在のMolco Deutschland GmbH社によってPE-CLING Protectという名称で提供されているような、共押出ポリエチレン接着フィルムである。接着フィルムの厚さは１１０μｍであり、これにより、巻き上げた状態における引張応力と圧縮応力との間の中立相は、接着フィルムの表面１４ａと薄ガラス片の表面１２ｂとの間の接着層に位置付けられた。接着フィルム１４は、２０Ｎより大きい静止摩擦力を有する接着側１４ａと、０．５〜０．７Ｎの静止摩擦力を有する反対側の面１４ｂとを有している。接着側１４ａは、薄ガラス片１２の第１表面１２ｂに接触し、反対側の面１４ｂは、ガラス基板テープ１を巻き上げた場合又は蛇腹折りで折り畳んだ場合に、薄ガラス片１２の第２表面１２ａに接触する。

接着フィルムのポアソン比は０．４５であり、薄ガラス片のポアソン比は０．２３であり、接着フィルムの弾性係数は０．２ＧＰａであり、薄ガラス基板の弾性係数は７３ＧＰａであった。図１ａの実施例のさらなるバリエーションにおいて、接着フィルムの厚さは、上述の関係式に基づいて以下の薄ガラス片の厚さを考慮して以下のように決定された。ここでは、巻き上げられた状態における引張応力と圧縮応力との間の中立相は、それぞれ接着フィルムの表面１４ａと、薄ガラス片の表面１２ｂとの間の接着層に位置付けられた。

図４は、各接着フィルムの材料の弾性係数が各々異なる場合における、接着フィルムの厚さと薄ガラス基板の厚さとの間の関係性を示している。これら全てのバリエーションにおいて、接着フィルムのポアソン比は０．４５であり、薄ガラス片のポアソン比は０．２３であり、薄ガラス基板の弾性係数は７３ＧＰａである。曲線４１は、上述した実施例に基づき、０．２ＧＰａの弾性係数を有する接着フィルムに関する厚さ関数を示す。曲線４２は、０．３ＧＰａの弾性係数を有する接着フィルムに関する厚さ関数を例示しており、曲線４３は、０．５ＧＰａの弾性係数を有する接着フィルムに関する厚さ関数を例示しており、曲線４４は、０．７ＧＰａの弾性係数を有する接着フィルムに関する厚さ関数を例示しており、曲線４５は、２．５ＧＰａの弾性係数を有する接着フィルムに関する厚さ関数を例示している。

図１ｂは、相応にして、ディスプレイパネルを製造するために位置決め及び固定された複数の正方形の薄ガラス片１３を有するガラス基板テープ１ｂを図示している。０．１ｍｍの厚さを有する薄ガラス片１３は、接着紙１５の上に固定されており、この接着紙１５は、第１薄ガラス表面１３ｂに全面的に接触している。第２薄ガラス表面１３ａは上方に露出しており、ガラス基板テープ１ｂを巻き上げた場合に初めて接着フィルム１５、すなわち接着フィルムの表面１５ｂに接触する。接着フィルム１５は、例えばSchwerteに所在のMolco Deutschland GmbH社によってPE-CLING Paperという名称で提供されているような、ポリエチレン接着層でコーティングされた紙からなる接着紙である。接着紙１５のコーティング側１５ａが、薄ガラス片１３の第１表面１３ｂに接触している。反対側の面にある非接着側１５ｂは、ガラス基板テープ１ｂを巻き上げた場合又は蛇腹折りで折り畳んだ場合に、薄ガラス片１３の第２表面１３ａに接触する。

図２ａは、図１に相応して、ウェハを製造するために位置決め及び固定された複数の円形の薄ガラス片２２を有するガラス基板テープ２ａの実施形態を例示的に示している。０．７ｍｍの厚さを有する薄ガラス片２２は、接着フィルム２４の上に固定されており、この接着フィルム２４は、第１薄ガラス表面２２ｂのそれぞれ縁部領域全体に接触している。第２薄ガラス表面２２ａは上方に露出しており、ガラス基板テープ２ａを巻き上げた場合に初めて接着フィルム２４に接触する。接着フィルム２４は複合接着フィルムであり、例えばSchwerteに所在のMolco Deutschland GmbH社によってPenstick（登録商標）Flexという名称で提供されているような、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）と軟質ポリ塩化ビニル（軟質ＰＶＣ）とからなる、２９０μｍの厚さを有するポリエチレン接着フィルムである。接着フィルム２４は、薄ガラス片２２の第１表面２２ｂに接触している接着側２４ａと、ガラス基板テープ２ａを巻き上げた場合又は蛇腹折りで折り畳んだ場合に、薄ガラス片２２の第２表面２２ａに接触する反対側の面２４ｂとを有している

薄ガラス片２２から張り出している、接着フィルムの両側縁部には、それぞれ１本の搬送帯２６が設けられている。搬送帯２６は、場合によっては支持体フィルムによって補強することができる。搬送帯２６は、ガラス基板テープ２ａをガイドするために使用される。図示したように搬送帯には、ガイドを支援するために駆動機構及び操舵機構に応じて歯車又は歯付きベルトに係合するための打抜部２７のような切欠部を設けることもできる。各薄ガラス片２２の間には符号化フィールド２８が設けられており、この符号化フィールド２８には、製造工程中における個々の薄ガラス片２２の位置決め及び／又は識別のための符号化部が取り付けられる。符号化部を直接印刷することができるか、又は、符号化部のために、例えばラベル形態の書込可能乃至印刷可能なフィールドを接着フィルムの上に取り付けることができる。

図２ｂは、相応にして、ディスプレイパネルを製造するために位置決め及び固定された複数の正方形の薄ガラス片２３を有するガラス基板テープ２ｂを図示している。薄ガラス片２３は、接着フィルム２５の上に固定されており、この接着フィルム２５は、第１薄ガラス表面２３ｂのそれぞれ縁部領域全体に接触している。第２薄ガラス表面２３ａは上方に露出しており、ガラス基板テープ２ｂを巻き上げた場合に初めて接着フィルム２５に接触する。接着フィルム２５は、例えばSchwerteに所在のMolco Deutschland GmbH社によってPenstick（登録商標）Protectという名称で提供されているような、１５０μｍの厚さを有する軟質ポリ塩化ビニルの接着フィルムである。接着フィルム２５は、５０Ｎより大きい静止摩擦力を有する。接着フィルム２５の一方の面２５ａは、薄ガラス片２３の第１表面２３ｂに接触しており、接着フィルム２５の反対側の面２５ｂは、ガラス基板テープ２ｂを巻き上げた場合又は蛇腹折りで折り畳んだ場合に、薄ガラス片２３の第２表面２３ａに接触する。

各薄ガラス片２２から張り出している、接着フィルムの両側縁部には、それぞれ符号化フィールド２９が設けられており、この符号化フィールド２９には、製造工程中における個々の薄ガラス片２３の位置決め及び／又は識別のための符号化部が取り付けられる。符号化部を直接印刷することができるか、又は、符号化部のために、例えばラベル形態の書込可能乃至印刷可能なフィールドを接着フィルムの上に取り付けることができる。

図３ａは、図２ａに相応して、ウェハを製造するために位置決め及び固定された複数の円形の薄ガラス片３２を有するガラス基板テープ３ａの実施形態を例示的に示している。この場合には、薄ガラス片３２は、接着フィルム３４の上に固定されており、この接着フィルム３４は、第１薄ガラス表面３２ｂのそれぞれ２つの相対する縁部領域に接触している。第２薄ガラス表面３２ａは上方に露出しており、ガラス基板テープ３ａを巻き上げた場合に初めて接着フィルム３４に、すなわち接着フィルム３４の下側部分を形成するカバーフィルム３６に接触する。接着フィルム３４は、例えばSchwerteに所在のMolco Deutschland GmbH社によってPenstick（登録商標）Protectという名称で提供されているような、５０Ｎより大きい静止摩擦力と１５０μｍの厚さとを有する軟質ポリ塩化ビニル（軟質ＰＶＣ）の接着フィルムである。接着性の軟質ＰＶＣ材料の下側表面には、非接着性のカバーフィルム３６が取り付けられており、ガラス基板テープ３ａを巻き上げた場合又は蛇腹折りで折り畳んだ場合には、接着フィルム３４のカバーフィルム３６が、薄ガラス片の第２表面３２ａに接触する。図３ｃは、図３ａに相応する装置の断面図である。

図３ｂは、図２ｂに相応して、ディスプレイパネルを製造するために位置決め及び固定された複数の正方形の薄ガラス片３３を有するガラス基板テープ３ｂの実施形態を例示的に示している。この場合には、薄ガラス片３３は、接着フィルム３５の上に固定されており、この接着フィルム３５は、第１薄ガラス表面３３ｂ及び第２薄ガラス表面３３ａのそれぞれ２つの相対する縁部領域に接触している。この場合には、第２接着フィルム（図示せず）を第１接着フィルムの上に載置して、これら２つの接着フィルムの間に薄ガラス片の固定すべき縁部領域が配置されるようにするか、もしくは図のように、接着フィルム３５を縁部から上に向かって折り曲げ、そして薄ガラス表面３３ａの縁部領域の上に内側へと折り返して、接着フィルム３５の表面３５ａが、薄ガラス片の第１表面３３ｂと第２表面３３ａとを固定するようにする。接着フィルム３５は、例えばSchwerteに所在のMolco Deutschland GmbH社によってPenstick（登録商標）Protectという名称で提供されているような、１５０μｍの厚さを有する軟質ポリ塩化ビニル（軟質ＰＶＣ）の接着フィルムである。接着フィルム３５は両面とも同じ接着力を有しており、５０Ｎより大きい静止摩擦力を有する。図３ｄは、図３ｂに相応する装置の断面図である。

本発明は上述した特徴の組み合わせに限定されるわけではなく、当業者は、本発明の範囲を逸脱することなく本発明の全ての特徴を任意に組み合わせることも、単独で使用することも、それが有用である限りにおいて可能である。

１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ ガラス基板テープ
１２，１３，２２，２３，３２，３３ 薄ガラス片
１２ａ，１３ａ，２２ａ，２３ａ，３２ａ，３３ａ 薄ガラス片の第１表面
１２ｂ，１３ｂ，２２ｂ，２３ｂ，３２ｂ，３３ｂ 薄ガラス片の第２表面
１４，１５，２４，２５，３４，３５ 接着フィルム
１４ａ，１５ａ，２４ａ，２５ａ，３４ａ，３５ａ 接着フィルムの第１表面
１４ｂ，１５ｂ，２４ｂ，２５ｂ，３４ｂ，３５ｂ 接着フィルムの第２表面
２６ 搬送帯
２７ 打抜部
２８，２９ 符号化フィールド
３６ カバーフィルム
４１，４２，４３，４４，４５ 各接着フィルムの弾性係数が各々異なる場合における、薄ガラス片の厚さに基づいて決まる接着フィルムの厚さであり、この際、引張応力と圧縮応力との間の中立相が、接着フィルムと薄ガラス片との間の接着層に存在する。

Claims (18)

1. 薄ガラス基板及びポリマーテープを含むガラス基板テープ（１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ）であって、
   前記薄ガラス基板は、第１表面及び第２表面を有し、
   前記ポリマーテープは、前記薄ガラス基板の前記第１表面（１２ａ，１３ａ，２２ａ，２３ａ，３２ａ，３３ａ）及び／又は前記第２表面（１２ｂ，１３ｂ，２２ｂ，２３ｂ，３２ｂ，３３ｂ）に接触している、
   ガラス基板テープにおいて、
   前記薄ガラス基板は、少なくとも２つの薄ガラス片（１２，１３，２２，２３，３２，３３）のアレイからなり、
   前記ポリマーテープは、接着フィルム（１４，１５，２４，２５，３４，３５）であり、
   前記薄ガラス片（１２，１３，２２，２３，３２，３３）の厚さは、３５０μｍ以下であり、
   前記薄ガラス片（１２，１３，２２，２３，３２，３３）は、前記第１表面及び／又は前記第２表面において、１ｎｍ以下の二乗平均粗さ値（ＲＭＳ）Ｒｑを有し、
   前記ガラス基板テープ（１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ）は、蛇腹折りで積層されている、又は、巻き上げられており、
   薄ガラス基板と、相接する接着フィルムと、が巻き上げられた状態における、引張応力と圧縮応力との間の中立相は、これら２つの層を接合する接着層に位置付けられており、
   前記接着フィルムの厚さＤｐは、前記薄ガラス基板の厚さＤｇと、前記接着フィルムのポアソン比ｖｐと、前記薄ガラス基板のポアソン比ｖｇと、前記接着フィルムの弾性係数Ｅｐと、前記薄ガラス基板の弾性係数Ｅｇと、を考慮して、以下の式：
   

   

   に基づいて決定されている、
   ことを特徴とするガラス基板テープ。
2. 前記薄ガラス片の厚さは、１００μｍ以下である、
   請求項１記載のガラス基板テープ。
3. 前記薄ガラス片の厚さは、５μｍ以上である、
   請求項１又は２記載のガラス基板テープ。
4. 前記薄ガラス片は、前記第１表面及び／又は前記第２表面において、０．８ｎｍ以下の二乗平均粗さ値（ＲＭＳ）Ｒｑを有する、
   請求項１から３のいずれか一項記載のガラス基板テープ。
5. 前記薄ガラス片は、前記第１表面及び／前記第２表面において、２ｎｍ以下の平均表面粗さＲａを有する、
   請求項１から４のいずれか一項記載のガラス基板テープ。
6. 前記接着フィルムは、ポリエチレン又はポリ塩化ビニルからなる、
   請求項１から５のいずれか一項記載のガラス基板テープ。
7. 前記接着フィルムは、少なくとも１つの表面が接着性コーティングでコーティングされている接着布又は金属フィルムからなる、
   請求項１から６のいずれか一項記載のガラス基板テープ。
8. 前記接着フィルムの厚さは、６ｍｍ未満の範囲にある、
   請求項１から７のいずれか一項記載のガラス基板テープ。
9. 前記接着フィルムは、前記薄ガラス片の前記第１表面全体又は前記第２表面全体を覆っている、
   請求項１から８のいずれか一項記載のガラス基板テープ。
10. 前記接着フィルムは、前記薄ガラス片の前記第１表面及び／又は前記第２表面の縁部領域の一部を覆っている、
    請求項１から９のいずれか一項記載のガラス基板テープ。
11. 前記接着フィルムは、前記薄ガラス片の前記第１表面及び／又は前記第２表面の縁部領域全体をそれぞれ覆っている、
    請求項１から１０のいずれか一項記載のガラス基板テープ。
12. 前記接着フィルムは、前記薄ガラス片の前記第１表面及び前記第２表面の縁部領域をそれぞれ超えて、前記ガラス基板テープの長手方向に対して垂直方向に張り出しており、張出部（２６）を形成している、
    請求項１から１１のいずれか一項記載のガラス基板テープ。
13. 前記張出部は、切欠部を有する、
    請求項１２記載のガラス基板テープ。
14. 前記張出部は、符号化フィールド（２９）を有する、
    請求項１２又は１３記載のガラス基板テープ。
15. 前記ガラス基板テープは、個々の薄ガラス片の間に符号化フィールド（２８）を有する、
    請求項９又は１０記載のガラス基板テープ。
16. 前記接着フィルムは、前記薄ガラス片の前記第１表面又は前記第２表面に向いた表面において、前記薄ガラス片の前記第１表面又は前記第２表面とは反対側の表面よりも大きい接着特性を有する、
    請求項１から１５のいずれか一項記載のガラス基板テープ。
17. 請求項１から１６のいずれか一項記載のガラス基板テープ（１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ）の製造方法において、前記製造方法は、
    ・ダウンドロー法又はオーバーフローダウンドロー法で薄ガラステープを製造するステップと、
    ・前記薄ガラステープから薄ガラス片（１２，１３，２２，２３，３２，３３）を分離するステップと、
    ・前記薄ガラス片を接着フィルム（１４，１５，２４，２５，３４，３５）の上に位置決め及び接触させるステップと、
    ・前記ガラス基板テープ（１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ）を巻き上げて１つのロールにするステップと、
    を有し、
    前記ガラス基板テープが巻き上げられた状態における、引張応力と圧縮応力との間の中立相を、前記薄ガラス基板と前記接着フィルムとの間の界面である接着層に位置付け、
    このために、前記接着フィルムの厚さＤｐと、前記薄ガラス基板の厚さＤｇと、前記接着フィルムのポアソン比ｖｐと、前記薄ガラス基板のポアソン比ｖｇと、前記接着フィルムの弾性係数Ｅｐと、前記薄ガラス基板の弾性係数Ｅｇと、を、以下の式：
    

    

    に基づいて互いに適合させる、
    ことを特徴とする製造方法。
18. 請求項１から１６のいずれか一項記載のガラス基板テープを、薄ガラス片の第１表面及び／又は第２表面を連続方式で前処理又は加工するために使用する、
    ことを特徴とするガラス基板テープの使用方法。

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