JP2002248433A - 基板の清掃装置及びそれを用いたパネル製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 平板ディスプレイ等の基板を的確かつ効率良
く清掃（クリーニング）を行う。 【解決手段】 端子１１ａが形成された基板１の端子面
１１に、清掃用のシート５を海綿状の緩衝部材８を介し
て押圧する。その結果、シート５は端子面１１表面の凹
凸形状に沿って変形し、溝部１１ｂ内にも押し込まれつ
つ相対移動するので、端子１１ａの表面はもとより、溝
部１１ｂをも清掃できるので、端子１１ａとその端子１
１ａに接続搭載される電子部品との間に良好な電気的導
通が得られ、信頼性の高い基板１を製造することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板の端子面を清
掃（クリーニング）するのに好適な基板の清掃装置及び
それを用いたパネル製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルは、ガラス製の基板の端
子に、ＴＣＰ（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａ
ｇｅ）やフリップチップ等の電子部品を接続搭載して製
造される。

【０００３】単純マトリクス方式の液晶表示パネルで
は、液晶層を２枚のガラス製の基板で挟み込むように構
成されていて、基板にはＸ−Ｙ行列に配列の各画素に対
応して走査電極及びデータ電極が形成される。そして各
基板の端子面には端子が配列形成され、その上に異方性
導電体等の接続部材を介して駆動用電子部品等が接続搭
載される。

【０００４】基板の端子面では、電極に接続された端子
が、予め設定された所定間隔（ピッチ）を有して、基板
の縁方向に沿い配列形成されるが、端子面が汚れていた
り埃や塵等が付着していると、貼付される異方性導電体
等との間の電気的導通が損なわれるので、清掃装置によ
る拭き取り清掃（クリーニング）が行われる。

【０００５】清掃装置による端子面の清掃では、端子上
面の汚れの拭き取りはもとよりであるが、隣接する端子
間に付着した埃や塵をも同時に除去することが望まれ
る。

【０００６】基板の端子面では、隣接する端子間で凹状
の溝部が形成されるが、その溝部に埃や塵が残っている
と、その残留した埃や塵が接続部材の貼付前に舞い上が
って端子上を覆い、接続部材を介した駆動用電子部品と
の間の電気的導通を阻害させたり、溝部に残留した埃や
塵が隣接する端子間の絶縁度を低下させるからである。
図７は、従来の基板の清掃装置を示した一部切り欠け要
部拡大正面図で、基板１は、搬送テーブル２に載置され
て矢印Ｘ方向に移動する。基板１の端子面１１には、搬
送移動（矢印Ｘ）方向と直交する方向に向け、複数本の
端子１１ａが等間隔（ピッチｄ）に配列形成されてい
る。

【０００７】従来の基板の清掃装置は、各端子１１ａの
長手方向に回転軸３ａを有するローラ３が、押圧手段で
あるシリンダ４の作動ロッド４ａ先端部に回転自在に取
り付けられている。そして、端子面１１を清掃するシー
ト（布）５がローラ３に巻き掛けられつつ基板１の端子
面１１を押圧接触するように構成されている。

【０００８】なお、シリンダ４は支持板６に固定されて
いて、その支持板６にはシート５を予め巻回した送出し
ローラ５ａと、その送出しローラ５ａによって送出され
たシート５をローラ３の外周面を巻き掛けつつ巻き取り
収納する巻取りローラ５ｂとが設けられている。また、
巻取りローラ５ｂには不図示のモータが同軸的に連結さ
れていて、シート５の汚れ程度に応じて順次移動し、シ
ート５は間欠的に巻取りローラ５ｂに巻き取られる。

【０００９】図７に示すように、各端子１１ａの断面形
状は高さｈの台形状をなして配列されているので端子面
１１には凹凸が形成されている。

【００１０】基板１の端子面１１には、ローラ３の外周
面に巻き掛けられたシート５がシリンダ４に押圧されて
接触しており、搬送テーブル２上の基板１はシリンダ４
による押圧力に抗して矢印Ｘ方向へ移動するので、基板
１はその凹凸に沿いローラ３を上下動させつつ移動す
る。

【００１１】その結果、個々の端子１１ａの表面はもと
より、隣接する端子１１ａ，１１ａ間の基板１面、すな
わち溝部１１ｂの底面もシート５に拭き取り清掃され
る。

【００１２】なお、図では省略しているが、シート５が
ローラ３に巻き掛けられる以前に、シート５の裏面（す
なわちローラ３側の面）に対し、洗浄液等の溶液の滴下
が行われ、拭き取り清掃がより効果的に行われるように
構成されている。

【００１３】上記のように、従来の基板の清掃装置によ
れば、端子１１ａの横断面が台形状をなしているので、
ローラ３に巻き掛けられたシート５は、上下動しつつも
基板１面の凹凸に沿ってスライドして、シート５は端子
１１ａの上面はもとより、隣接する端子１１ａとの間の
溝部１１ｂをも清掃することができる。

【００１４】ところで、最近の平板ディスプレイ装置で
は、表示画面の一層の大型化や高精細化が図られてい
る。表示画面の大型化では、液晶駆動電力の大容量化が
要求されるので、基板１における端子１１ａの一層の低
抵抗化が要求され、また表示画面の高精細化では、端子
１１ａ間のピッチの微細化が要求されるようになってき
た。

【００１５】基板１の端子１１ａの一層の低抵抗化は、
表示画面の大型化に対応するために必要とされるが、図
８に示すように、端子１１ａの断面積の拡大でこれに対
応し、そのために断面形状を矩形状とし、かつ必要に応
じて高さＨがより高く（Ｈ＞ｈ）なるように構成されて
いる。

【００１６】このように端子１１ａの横断面が台形状か
ら矩形状へと変化した基板では、図８に示したように、
端子１１ａ，１１ａ間の溝部（凹部）１１ｂの深さが深
くなるので、ローラ３に巻き掛けられたシート５は、溝
部１１ｂ底部の基板１本体面に到達することができず、
清掃は単に端子１１ａの上面のみ行なわれた。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
基板の清掃装置では、端子１１ａの形状によっては、シ
ート５が電極端子１１ａ，１１ａ間の溝部１１ｂの底部
面（基板１本体面）に届かず、その部分の清掃が適切に
行われないという問題が生じた。

【００１８】加えて、最近の平板ディスプレイ装置等の
ように、表示画面の高精細化により、端子１１ａ，１１
ａ間の間隔（ピッチ）ｄがさらに短くなったときには、
溝部１１ｂの深さはさらに大きくなり、清掃がより困難
となるので改善が要望されていた。

【００１９】そこで本発明は、端子間の溝部の清掃が容
易な基板の清掃装置及びそれを用いたパネル製造装置を
提供することを目的とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】第１の発明は、基板の端
子面に押圧接触させたシートと前記基板とが相対移動す
ることにより前記端子面を清掃する基板の清掃装置にお
いて、前記シートの前記端子面とは反対側の面に接触
し、かつ前記端子面に配列形成された端子の高さを越え
る厚さを有する海綿状の緩衝部材と、この緩衝部材を支
持し、その緩衝部材を押圧変形させて前記シートを前記
端子面に向けて押圧する押圧手段とを具備することを特
徴とする。

【００２１】このように第１の発明の基板の清掃装置に
よれば、端子の高さを越える海綿状の緩衝部材を設けた
ので、緩衝部材の押圧変形により、シートは端子間の基
板面に到達し、その基板面を清掃することができる。

【００２２】第２の発明は、端子面に複数の端子が配列
形成された基板の清掃装置において、先端部が隣接する
前記端子間に挿入され、前記端子の長手方向への摺動移
動を行う棒状の掃き出し部材を備えたことを特徴とす
る。

【００２３】このように第２の発明の基板の清掃装置に
よれば、掃き出し部材は、先端部が隣接する端子間に挿
入されて、端子の長手方向への摺動移動を行うので、た
とえ溝部の深さが深くても、溝部内の清掃は的確に行わ
れ、埃や塵を的確に除去することができる。

【００２４】第３の発明は、パネル製造装置において、
上記第１の発明または第２の発明の基板の清掃装置を用
いたことを特徴とする。

【００２５】このように、パネル製造装置において、上
記第１の発明または第２の発明の基板の清掃装置を用い
たので、たとえ基板の端子間の間隔が狭まったりあるい
は端子の高さが高くなっても、端子間の清掃が適切に行
われ、高精細かつ大型の平板ディスプレイパネルの製造
上の歩留まりを向上させることができる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下本発明による基板の清掃装置
及びそれを用いたパネル製造装置の一実施の形態を図１
ないし図６を参照して詳細に説明する。なお、図７及び
図８に示した従来の基板の清掃装置と同一構成には同一
符号を付して詳細な説明は省略する。

【００２７】図１は、本発明による基板の清掃装置を適
用したパネル製造装置の構成を示す正面図である。

【００２８】図１に示すように、パネル製造装置２０
は、基板供給装置２１、基板の清掃装置２２、異方性導
電体貼付装置２３、電子部品実装装置２４、基板収納装
置２５を有して構成される。

【００２９】基板供給装置２１は、マガジン等に収納さ
れた複数の基板１を一枚ずつ不図示の基板搬送ステージ
に供給するものである。

【００３０】基板の清掃装置２２は、基板搬送ステージ
にて搬送された基板１の端子面１１を清掃するもので、
その詳細な構成については後述する。

【００３１】異方性導電体貼付装置２３は、基板の清掃
装置２２にて清掃された端子面１１にテープ状の異方性
導電体を貼付するものである。

【００３２】電子部品実装装置２４は、トレイやキャリ
アテープからの打ち抜きによって供給された電子部品を
異方性導電体貼付装置２３にて貼付された異方性導電体
を介して基板１の端子面１１に熱圧着するものである。

【００３３】基板収納装置２５は、電子部品実装装置２
４により電子部品が実装されて基板をマガジン等に収納
するものである。

【００３４】次に、本発明による基板の清掃装置の一実
施の形態について詳述する。

【００３５】図２（ａ）は、本発明による基板の清掃装
置の第１の実施の形態を示した一部切り欠け要部正面図
で、図２（ｂ）は、その動作状態を示した同じく一部切
り欠け要部正面図である。

【００３６】図２に示すように、搬送テーブル等により
搬送されて、矢印Ｘ方向に移動する基板１の端子面１１
には、搬送移動（矢印Ｘ）方向と直交する方向に複数本
の端子１１ａが等間隔（ピッチｄ）に配列形成されてい
る。

【００３７】清掃装置２２は、下方向への押圧力を付与
するシリンダの作動ロッド４ａに、ベース部材７が固定
連結されていて、そのベース部材７の下端面には海綿
（スポンジ）状の緩衝部材８が固着されている。

【００３８】緩衝部材８の厚さ（高さ）Ｋは少なくとも
端子１１ａの高さＨより大（Ｋ＞Ｈ）で、外側面には端
子面１１に接触して清掃するシート（布）５が巻きかけ
られている。

【００３９】なお、上記構成で、図示しないが、従来の
清掃装置の構成と同様に、作動ロッド４ａを作動させる
シリンダは支持板に固定されていて、その支持板にはシ
ート５を巻回して送出す送出しローラ、及びその送出し
ローラによって送出されたシート５を巻き取り収納する
巻取りローラが設けられている。

【００４０】このような基板の清掃装置２２によれば、
基板１の今回清掃予定の端子面１１を有する辺における
一方の端部が清掃装置２２の真下に位置付けられると、
シリンダの操作により作動ロッド４ａが下降し、緩衝部
材８及びシート５基板１面に向け押圧される。

【００４１】この状態で基板１が矢印Ｘ方向に移動する
ことにより、清掃装置２２は基板１上にて基板１の辺の
一方の端部から他方の端部まで移動する。この移動中、
図２（ｂ）に示すように、緩衝部材８及びシート５の下
端部は溝部１１ｂ内に押し込まれて変形し、シート５は
端子１１ａの表面は勿論のこと、溝部１１ｂの底部すな
わち基板１本体面に到達して接触している。従って、緩
衝部材８及びシート５の下端部は、図示のように変形し
ながら、次々と個々の端子１１ａ上面及び側面、及び隣
接する端子１１ａ，１１ａ間に形成された溝部１１ｂの
底部である基板１本体の表面に接触しつつ移動する。

【００４２】このように、第１の実施の形態によれば、
シート５が緩衝部材８を介して押圧され変形するので、
シート５はたとえ端子面１１の横断面が矩形状に形成さ
れていたとしても、端子１１ａの上面はもとより、端子
１１ａ，１１ａ間の溝部１１ｂをも清掃するので、汚れ
は勿論のこと埃や塵の残存が少なく、電気的特性が良好
で信頼性の高い液晶パネルやプラズマディスプレイ等の
パネルを組み立て製造することができる。

【００４３】なお、図２に示した清掃装置２２は、ベー
ス部材７に突設させた一つのブロック状の緩衝部材８が
シート５を巻き掛けつつ端子面１１を清掃するように構
成したが、緩衝部材８を一つの端子１１ａを挟んだ両側
の溝部１１ｂ，１１ｂをそれぞれ個々にしかも同時に対
応するように複数個突設させることができる。

【００４４】緩衝部材８を電極端子１１ａを挟んだ両側
の溝部１１ｂ，１１ｂに対しそれぞれ個々に対応して同
時に清掃可能に構成された本発明による基板の清掃装置
の第２の実施の形態を図３を参照して説明する。

【００４５】図３（ａ）は、本発明による基板の清掃装
置の第２の実施の形態を示した一部切り欠け要部正面図
で、図３（ｂ）は、図３（ａ）に示した装置の右側面断
面図、図３（ｃ）はその動作状態を示す一部切り欠け正
面図である。

【００４６】すなわち、搬送テーブル等により搬送され
て、矢印Ｘ方向に移動する基板１の端子面１１には、第
１の実施の形態と同様に、搬送移動（矢印Ｘ）方向と直
交する方向に複数本の端子１１ａが等間隔（ピッチｄ）
に配列形成されている。

【００４７】下方向への押圧力を付与するシリンダの作
動ロッド４ａには、ベース部材７が固定連結されてい
て、この実施の形態のベース部材７には、図３（ｂ）に
示すように、その側部中央に支持片７１が下方に向け突
設されていて、その支持片７１には搬送移動（矢印Ｘ）
方向と直交する方向に中継ローラ７ａが水平支持されて
いる。

【００４８】そして、この中継ローラ７ａを間にして左
右両側には、一対の緩衝部材８１，８２がベース部材７
の下端面に固着されており、第１の実施の形態と同様
に、シート５が一方の緩衝部材８１の外周面を巻き掛け
られた後、中継ローラ７ａを介して、他方の緩衝部材８
１の外周面を巻き掛けられて不図示の巻取りローラに巻
き取り収納されるように構成されている。

【００４９】第２の実施の形態の基板の清掃装置２２
は、上記のように構成されたので、図３（ａ）に示すよ
うに、シリンダの操作により作動ロッド４ａが矢印Ｙ方
向に下降し、ベース部材７が緩衝部材８１，８２及びシ
ート５を基板１面に向け押圧したとき、図３（ｃ）に示
すように、シート５及び緩衝部材８１，８２は変形し、
ピッチｄで連なる端子１１ａ及び溝部１１ｂにおいて、
一つの端子１１ａを挟んで形成された両側の溝部１１
ｂ，１１ｂをそれぞれ個別に対応してかつ同時に清掃す
る。

【００５０】このように、この第２の実施の形態によれ
ば、個々の端子１１ａないしは溝部１１ｂにそれぞれ緩
衝部材８１，８２が対応して個々に変形するので、溝部
１１ｂの形状に則して容易に変形し的確な清掃が行われ
る。

【００５１】次に、本発明による基板の清掃装置の第３
の実施の形態を図４を参照して説明する。

【００５２】図４（ａ）は、本発明による基板の清掃装
置の第３の実施の形態を示した一部切り欠け要部正面
図、図４（ｂ）は、図４（ａ）に示した装置の右側面断
面図、図４（ｃ）は、図４（ａ）に示した装置のシート
を省略して示した底面図である。第１の実施の形態と同
様に、シリンダの作動ロッド４ａには、ベース部材７が
固定連結されている。そして、この実施の形態では、ベ
ース部材７は、図４（ｃ）に示すように、平面視で傾け
て配置されていて、一対の緩衝部材８３，８４が基板１
の搬送移動（矢印Ｘ）方向に対して、所定の間隔でかつ
所定の傾きをもって固着されている。また、ベース部材
７の側部中央には、支持片７１が下方に向けて突設され
ていて、この支持片７１には中継ローラ７ａが一対の緩
衝部材８３，８４に沿って水平支持されている（図４
（ｂ））。

【００５３】シート５は、不図示の供給ローラより供給
されて、一方の緩衝部材８３の外周面に巻き掛けられた
後、中継ローラ７ａを介して他方の緩衝部材８４の外周
面に巻き掛けられて不図示の巻取りローラに巻き取られ
る。

【００５４】このような基板の清掃装置２２によれば、
第１の実施の形態と同様の効果を有するほか、特に、緩
衝部材８３，８４を基板１の搬送移動（矢印Ｘ）方向に
対して所定の傾きをもって配置したことから、図５に示
すように、端子１１ａの側面とシート５との接触部Ｃに
基板１の辺方向に向かう力が作用し、溝部１１ｂ内の埃
や塵を掻き出し除去することができる。

【００５５】これにより、端子面１１の清掃効果を一層
向上させることができる。なお、図５においては、図面
を簡略化すため、緩衝部材８３，８４のみが描かれてい
る。

【００５６】なお、上記第１乃至第３の各実施の形態に
おいて、図示していないが、従来と同様に、洗浄用の溶
液をシート５の裏面側に滴下し、清掃が効率的に行われ
るように構成することができる。

【００５７】このとき、緩衝部材が吸水性を有する材質
である場合、緩衝部材の表面に撥水処理や樹脂被覆を施
して、洗浄用の溶液が緩衝部材に吸収されることを防止
するようにしても良く、反対に、洗浄用の溶液を緩衝部
材に染み込ませるようにしても良い。ここで、緩衝部材
に洗浄用の溶液を染み込ませる場合には、清掃装置２２
による清掃距離が長大化したときでも、シート５に滴下
した洗浄用の溶液が揮発することにより清掃の途中で洗
浄用の溶液が不足するのを防止できるという効果があ
る。

【００５８】次に、上記第１乃至第３の実施の形態で
は、緩衝部材８，８１，８２，８３，８４の押圧変形を
利用して、基板１上に形成された溝部１１ｂをも清掃可
能に構成されたが、緩衝部材８，８１，８２，８３，８
４に代えて、別途、掃き出し部材を設け、各溝部１１ｂ
の埃や塵をその長手方向に掃き出すようにして清掃する
こともできる。

【００５９】図６は、掃き出し部材により基板１上の溝
部１１ｂを清掃する基板の清掃装置の第４の実施の形態
を示したもので、図６（ａ）は一部切り欠け正面図、図
６（ｂ）は図６（ａ）のＡ−Ａ線から矢印方向を見た断
面図である。

【００６０】すなわち、清掃装置２２を構成する支持ア
ーム９の下端面には、下方に向け、端子面１１上の端子
１１ａのピッチｄに対応した間隔で、棒状の掃き出し部
材である一対のほうき（箒）部９ａ，９ｂが下方に向
け、かつ傾斜角度θをなして突設されている。

【００６１】ほうき部９ａ，９ｂの下方先端部は、それ
ぞれ基板１上の溝部１１ｂ，１１ｂ内に位置しており、
ほうき部９ａ，９ｂは、不図示の例えばボールねじ等の
移動機構に連結されていて、図６（ｂ）に示すように、
支持アーム９とともに一体となり、端子１１ａの長さ方
向（図示矢印Ｙ方向）に移動移動できるように構成され
ている。

【００６２】従って、図６に示す清掃装置２２によれ
ば、棒状の掃き出し部材であるほうき部９ａ，９ｂの先
端部が、溝部１１ｂ内にあって溝部１１ｂの長手方向に
スライドするので、溝部１１ｂ内の埃や塵は除去され
る。

【００６３】なお、ほうき部９ａ，９ｂの断面形状及び
大きさは、先端部が溝１１ｂ内にあって、摺動移動（ス
ライド）して溝部１１ｂ内にある埃や塵が掃き出されれ
ば良いので、溝部１１ｂの幅と同一あるいはより狭い矩
形状とし、ほうき部９ａ，９ｂの先端部が溝部１１ｂ底
部の角部を清掃するように構成することができる。

【００６４】なお、図６は、ほうき部９ａ，９ｂの先端
部が溝１１ｂ内において一方の角部（図６（ａ）及び図
６（ｂ）において、溝１１ｂの左側に位置する角部）に
のみ接する例を示しているが、ほうき部９ａ，９ｂの傾
斜角度θに対して傾斜角度−θで傾斜したほうき部を設
けることで、溝１１ｂの他方の角部も良好に清掃するこ
とが可能である。

【００６５】なお、上記構成で、ほうき部９ａ，９ｂに
よる掃き出し方向（矢印Ｙ方向）は、基板１の搬送移動
方向（矢印Ｘ方向）と交叉する。従って、掃き出し部材
の掃き出し操作の往復動作は、基板１の間欠搬送移動等
に同期して溝部１１ｂを清掃することになるので、不図
示の制御装置によって移動機構は基板１の搬送移動機構
と連動制御されるように構成される。

【００６６】なお、図６に示す構成で、掃き出し部材で
あるほうき部９ａ，９ｂは、端子１１ａのピッチｄに対
応して２本並設した場合を示したが、本数は任意に設定
することができる。また、ほうき部９ａ，９ｂは基板１
の搬送移動のタイミングに同期させ、周期的な往復動作
を行うものであるが、復路では先端部が基板１に接触し
ないように、高さを変えて戻るように構成される。

【００６７】このように、第４の実施の形態によれば、
ほうき部９ａ，９ｂは、先端部が隣接する端子１１ａ間
の溝部１１ｂに挿入され、端子１１ａの長手方向への摺
動移動を行うので、深い溝部１１ｂにおいても的確な清
掃が行われ、この実施の形態の清掃装置単独で、あるい
は上記第１乃至第３の実施の形態の清掃装置と組み合わ
せて採用することができる。

【００６８】いずれにしても、本発明による基板の清掃
装置によれば、端子面の清掃において、端子の高さが高
くとも、その端子電極間の溝部の清掃が的確に行うこと
ができ、液晶パネル等の平板ディスプレイ装置の製造に
おいて、電気的特性が良好で高品質な基板組み立てが可
能となものであり、実用に際し顕著な効果を発揮するこ
とができる。

【００６９】なお、上述した実施の形態において、基板
１の上面を上方から清掃する例を用いて説明したが、こ
れに限られるものではなく、例えば、基板１の下面に端
子が形成されている場合には、上述した実施の形態にお
いて説明した基板の清掃装置を天地逆向きに配置し、基
板１の下面を下方から清掃するようにしても良い。

【００７０】また、上述した実施の形態において説明し
た基板の清掃装置と、この基板の清掃装置を天地逆向き
に配置した基板の清掃装置を設け、両清掃装置を選択
的、あるいは同時に使用するようにしても良い。

【００７１】また、緩衝部材として海綿（スポンジ）状
の緩衝部材を用いた例で説明したが、例えば、流動体を
収納したビニール等からなる軟質容器を緩衝部材として
用いても良い。

【００７２】

【発明の効果】本発明による基板の清掃装置によれば、
埃や塵等の除去が的確に行われ、電気的特性が良好で信
頼性の高い基板製造が可能となるものであり、実用上の
効果大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明による基板の清掃装置を適用し
たパネル製造装置の構成を示す正面図である。

【図２】図２（ａ）は、本発明による基板の清掃装置の
第１の実施の形態を示す一部切り欠け要部拡大正面図、
図２（ｂ）は図２（ａ）に示した装置の動作状態を示す
一部切り欠け要部拡大正面図である。

【図３】図３（ａ）は、本発明による基板の清掃装置の
第２の実施の形態を示す一部切り欠け要部拡大正面図、
図３（ｂ）は図３（ａ）に示した装置の右側面断面図、
図３（ｃ）は図３（ａ）に示した装置の動作状態を示す
一部切り欠け要部拡大正面図である。

【図４】図４（ａ）は、本発明による基板の清掃装置の
第３の実施の形態を示す一部切り欠け要部拡大正面図、
図４（ｂ）は図４（ａ）に示した装置の右側面断面図、
図４（ｃ）は図４（ａ）に示した装置のシートを省略し
て示した底面図である。

【図５】図５は、本発明による基板の清掃装置の第３の
実施の形態における緩衝部材を用いた端子の清掃動作を
模式的に示した平面図である。

【図６】図６（ａ）は本発明による基板の清掃装置の第
４の実施の形態を示す一部切り欠け要部拡大正面図、図
６（ｂ）は図６（ａ）に示した装置の動作状態を示す一
部切り欠け要部拡大正面図である。

【図７】従来の基板の清掃装置を示す拡大断面図であ
る。

【図８】図７に示した清掃装置を他の基板に使用した状
態を示す拡大正面図である。

【符号の説明】

１ 基板 １１ 端子面 １１ａ 端子 １１ｂ 溝部 ２ 搬送装置 ３ ローラ ４ シリンダ（押圧手段） ４ａ 作動ロッド ５ シート（布） ７ ベース部材 ８、８１、８２ 緩衝部材 ９ 支持アーム ９ａ、９ｂ ほうき（箒）部（掃き出し部材） ２０ パネル製造装置 ２２ 清掃装置

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板の端子面に押圧接触させたシートと
   前記基板とが相対移動することにより前記端子面を清掃
   する基板の清掃装置において、 前記シートの前記端子面とは反対側の面に接触し、かつ
   前記端子面に形成された端子の高さを越える厚さを有す
   る緩衝部材と、 この緩衝部材を支持し、その緩衝部材を押圧変形させて
   前記シートを前記端子面に向けて押圧する押圧手段とを
   具備することを特徴とする基板の清掃装置。
2. 【請求項２】 前記緩衝部材は、前記端子面に配列形成
   された前記端子の配列ピッチに対応して、複数個設けた
   ことを特徴とする請求項１記載の基板の清掃装置。
3. 【請求項３】 前記緩衝部材は、前記端子の配列方向に
   対して所定の角度傾斜して配置されたことを特徴とする
   請求項１または請求項２に記載の基板の清掃装置。
4. 【請求項４】 前記緩衝部材は、吸水性を有することを
   特徴とする請求項１乃至請求項３のうちのいずれか１項
   に記載の基板の清掃装置。
5. 【請求項５】 端子面に複数の端子が配列形成された基
   板の清掃装置において、 先端部が隣接する前記端子間に挿入され、前記端子の長
   手方向への摺動移動を行う棒状の掃き出し部材を備えた
   ことを特徴とする基板の清掃装置。
6. 【請求項６】 請求項１乃至請求項５のうちのいずれか
   １項に記載の基板の清掃装置を用いたことを特徴とする
   パネル製造装置。