JP2018156973A - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims abstract description 54
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 49
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 87
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 66
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 53
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 27
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 12
- 239000007888 film coating Substances 0.000 claims description 8
- 238000009501 film coating Methods 0.000 claims description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 89
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 19
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 10
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 8
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 4
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 4
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 2
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 244000309466 calf Species 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/362—Laser etching
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
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- H01L21/02041—Cleaning
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02299—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer pre-treatment
- H01L21/02312—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer pre-treatment treatment by exposure to a gas or vapour
- H01L21/02315—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer pre-treatment treatment by exposure to a gas or vapour treatment by exposure to a plasma
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- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02318—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment
- H01L21/02337—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment treatment by exposure to a gas or vapour
- H01L21/0234—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment treatment by exposure to a gas or vapour treatment by exposure to a plasma
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/22—Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into or out of a semiconductor body, or between semiconductor regions; Interactions between two or more impurities; Redistribution of impurities
- H01L21/223—Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into or out of a semiconductor body, or between semiconductor regions; Interactions between two or more impurities; Redistribution of impurities using diffusion into or out of a solid from or into a gaseous phase
- H01L21/2236—Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into or out of a semiconductor body, or between semiconductor regions; Interactions between two or more impurities; Redistribution of impurities using diffusion into or out of a solid from or into a gaseous phase from or into a plasma phase
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- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
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Abstract
Description
本実施形態では、ウェーハの表面に保護膜を被覆してから溝(加工溝)を形成するウェーハの加工方法について説明する。図1は、本実施形態で加工されるウェーハ11等の構成例を模式的に示す斜視図である。
本実施形態では、ウェーハの裏面に切削溝を形成した後に、この切削溝の底にレーザービームを照射してウェーハを分割するウェーハの加工方法について説明する。図7は、本実施形態で加工されるウェーハ11等の構成例を模式的に示す斜視図である。本実施形態でも、実施形態1のウェーハ11と同じウェーハ11が使用される。
本実施形態では、分割予定ラインに沿って改質層及びクラックを形成することでウェーハを分割するウェーハの加工方法について説明する。なお、本実施形態では、実施形態2と同じ状態のウェーハ11が使用される。すなわち、ウェーハ11の表面11a側には、ダイシングテープ37が貼付されている。
本実施形態では、分割予定ラインに沿って切削ブレードを切り込ませることでウェーハを分割するウェーハの加工方法について説明する。なお、本実施形態では、実施形態2と同じ状態のウェーハ11が使用される。すなわち、ウェーハ11の表面11a側には、ダイシングテープ37が貼付されている。
11a 表面
11b 裏面
13 分割予定ライン(ストリート)
15 デバイス
17 ダイシングテープ
19 フレーム
21 液状樹脂
23 保護膜
25 レーザービーム
27 加工溝
29 デブリ(加工屑)
31 混合ガス(エッチングガス)
33 加工溝
35 デブリ(加工屑)
37 ダイシングテープ
39 フレーム
41 切削溝
43 デブリ(加工屑)
45 レーザービーム
47 混合ガス(エッチングガス)
49 レーザービーム
51 改質層
53 クラック
55 混合ガス(エッチングガス)
57 カーフ(切り口)
59 デブリ(加工屑)
61 混合ガス(エッチングガス)
2 スピンコーター
4 スピンナテーブル(保持テーブル)
6 ノズル
12 レーザー加工装置
14 チャックテーブル(保持テーブル)
16 レーザー照射ユニット
22 プラズマエッチング装置
24 真空チャンバー
24a 側壁
24b 開口
24c 底壁
24d 上壁
26 ゲート
28 開閉ユニット
30 配管
32 排気ポンプ
34 テーブルベース
34a 吸引路
34b 冷却流路
36 円盤部
38 柱部
40 静電チャックテーブル
42 テーブル本体
42a 吸引路
44 電極
46 DC電源
48 吸引ポンプ
50 循環ユニット
52 供給ノズル
52a 供給口
54a、54b、54c バルブ
56a、56b、56c 流量コントローラー
58a、58b、58c バルブ
60a 第1ガス供給源
60b 第2ガス供給源
60c 第3ガス供給源
62 電極(高周波電圧印加ユニット)
64 高周波電源(高周波電圧印加ユニット)
66 分散部材
68 配管
72 切削装置
74 チャックテーブル(保持テーブル)
76 切削ユニット
78 スピンドル
80 切削ブレード
Claims (6)
- 格子状に設定された複数の分割予定ラインによって区画される表面側の複数の領域にデバイスが形成されたウェーハを加工するウェーハの加工方法であって、
該ウェーハの表面に保護膜を被覆する保護膜被覆工程と、
該ウェーハの該分割予定ラインに沿って該ウェーハの表面側から加工溝を形成する加工溝形成工程と、
該ウェーハの表面側からプラズマ状態のエッチングガスを供給し、該加工溝に残存する加工歪又はデブリを除去するプラズマエッチング工程と、
該ウェーハから保護膜を除去する保護膜除去工程と、を備え、
該プラズマエッチング工程では、該ウェーハが収容される真空チャンバーの外部でプラズマ状態に変化させたエッチングガスを、該真空チャンバーに接続された供給ノズルを通じて該真空チャンバーの内部に供給することを特徴とするウェーハの加工方法。 - 前記加工溝形成工程では、前記ウェーハに対して吸収性を有する波長のレーザービームを照射して前記加工溝を形成することを特徴とする請求項1に記載のウェーハの加工方法。
- 前記加工溝形成工程では、前記ウェーハに対して切削ブレードを切り込ませることによって前記加工溝を形成することを特徴とする請求項1に記載のウェーハの加工方法。
- 格子状に設定された複数の分割予定ラインによって区画される表面側の複数の領域にデバイスが形成されたウェーハを加工するウェーハの加工方法であって、
該ウェーハの裏面側から該分割予定ラインに沿って切削ブレードを切り込ませ、表面に達しない深さの切削溝を形成する切削溝形成工程と、
該ウェーハの裏面側から該切削溝の底にレーザービームを照射して、該ウェーハを個々のデバイスに対応するデバイスチップへと分割する分割工程と、
該ウェーハの裏面側からプラズマ状態のエッチングガスを供給し、該デバイスチップに残存する加工歪又はデブリを除去するプラズマエッチング工程と、を備え、
該プラズマエッチング工程では、該ウェーハが収容される真空チャンバーの外部でプラズマ状態に変化させたエッチングガスを、該真空チャンバーに接続された供給ノズルを通じて該真空チャンバーの内部に供給することを特徴とするウェーハの加工方法。 - 格子状に設定された複数の分割予定ラインによって区画される表面側の複数の領域にデバイスが形成されたウェーハを加工するウェーハの加工方法であって、
該ウェーハの該分割予定ラインに沿って該ウェーハの裏面側から該ウェーハに対して透過性を有する波長のレーザービームを該ウェーハの内部に集光点を位置付けながら照射し、該ウェーハの内部に改質層を形成するとともに該改質層から該ウェーハの表面又は裏面に向けてクラックを発生させて該ウェーハを個々のデバイスに対応するデバイスチップへと分割する分割工程と、
該ウェーハの裏面側からプラズマ状態のエッチングガスを供給し、該デバイスチップに残存する改質層を除去するプラズマエッチング工程と、を備え、
該プラズマエッチング工程では、該ウェーハが収容される真空チャンバーの外部でプラズマ状態に変化させたエッチングガスを、該真空チャンバーに接続された供給ノズルを通じて該真空チャンバーの内部に供給することを特徴とするウェーハの加工方法。 - 格子状に設定された複数の分割予定ラインによって区画される表面側の複数の領域にデバイスが形成されたウェーハを加工するウェーハの加工方法であって、
該ウェーハの裏面側から該分割予定ラインに沿って切削ブレードを切り込ませ、該ウェーハを個々のデバイスに対応するデバイスチップへと分割する分割工程と、
該ウェーハの裏面側からプラズマ状態のエッチングガスを供給し、該デバイスチップに残存する加工歪又はデブリを除去するプラズマエッチング工程と、を備え、
該プラズマエッチング工程では、該ウェーハが収容される真空チャンバーの外部でプラズマ状態に変化させたエッチングガスを、該真空チャンバーに接続された供給ノズルを通じて該真空チャンバーの内部に供給することを特徴とするウェーハの加工方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017050064A JP2018156973A (ja) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | ウェーハの加工方法 |
TW107105919A TWI732999B (zh) | 2017-03-15 | 2018-02-22 | 晶圓的加工方法 |
KR1020180026799A KR20180105571A (ko) | 2017-03-15 | 2018-03-07 | 웨이퍼의 가공 방법 |
CN201810208636.3A CN108630602A (zh) | 2017-03-15 | 2018-03-14 | 晶片的加工方法 |
DE102018203879.1A DE102018203879A1 (de) | 2017-03-15 | 2018-03-14 | Verfahren zum Bearbeiten eines Wafers |
US15/922,086 US10177004B2 (en) | 2017-03-15 | 2018-03-15 | Method of processing wafer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017050064A JP2018156973A (ja) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | ウェーハの加工方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018156973A true JP2018156973A (ja) | 2018-10-04 |
Family
ID=63372516
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017050064A Pending JP2018156973A (ja) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | ウェーハの加工方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10177004B2 (ja) |
JP (1) | JP2018156973A (ja) |
KR (1) | KR20180105571A (ja) |
CN (1) | CN108630602A (ja) |
DE (1) | DE102018203879A1 (ja) |
TW (1) | TWI732999B (ja) |
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2018
- 2018-02-22 TW TW107105919A patent/TWI732999B/zh active
- 2018-03-07 KR KR1020180026799A patent/KR20180105571A/ko not_active IP Right Cessation
- 2018-03-14 DE DE102018203879.1A patent/DE102018203879A1/de active Pending
- 2018-03-14 CN CN201810208636.3A patent/CN108630602A/zh active Pending
- 2018-03-15 US US15/922,086 patent/US10177004B2/en active Active
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DE102023206669A1 (de) | 2022-07-21 | 2024-02-01 | Disco Corporation | Werkstückbearbeitungsverfahren |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102018203879A1 (de) | 2018-09-20 |
CN108630602A (zh) | 2018-10-09 |
US10177004B2 (en) | 2019-01-08 |
TW201838010A (zh) | 2018-10-16 |
TWI732999B (zh) | 2021-07-11 |
US20180269068A1 (en) | 2018-09-20 |
KR20180105571A (ko) | 2018-09-28 |
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TW202111793A (zh) | 晶圓加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200109 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201117 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210622 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210817 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20220118 |