JP2023081007A - デバイスチップの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来の方法に比べて樹脂層の硬化を抑制できるデバイスチップの製造方法を提供する。【解決手段】分割予定ラインによって区画された表面側の領域にデバイスが設けられている板状の被加工物を分割予定ラインで分割することによりデバイスを含むデバイスチップを製造するデバイスチップの製造方法であって、被加工物の表面側に未硬化又は半硬化の状態の樹脂を含む樹脂層を形成する樹脂層形成ステップと、樹脂層形成ステップの後に、樹脂層が表面側に設けられている被加工物の裏面側から被加工物を分割予定ラインに沿って切断することによりデバイスチップを製造する被加工物切断ステップと、を含む。【選択図】図5
Description
本発明は、表面側にデバイスが設けられている板状の被加工物を分割してデバイスチップを製造するデバイスチップの製造方法に関する。
携帯電話機やパーソナルコンピュータに代表される電子機器では、電子回路等を含むデバイスを備えたデバイスチップが必須の構成要素になっている。デバイスチップは、例えば、シリコン(Si)等の半導体でなるウェーハの表面側をストリートと呼ばれる分割予定ラインで複数の領域に区画し、各領域にデバイスを形成した後、この分割予定ラインに沿ってウェーハを分割することで得られる。
ウェーハをデバイスチップへと分割する際には、代表的には、切削ブレードと呼ばれる環状の工具をスピンドルに装着した切削装置が使用される。切削ブレードを高速に回転させて、純水等の液体を供給しながら分割予定ラインに沿って表面側からウェーハに切り込ませることで、ウェーハが切削加工され、複数のデバイスチップへと分割される。
ウェーハに吸収される波長のレーザービームを生成できるレーザー発振器を備えたレーザー加工装置によって、ウェーハがデバイスチップへと分割されることもある。その場合には、レーザー発振器で生成されたレーザービームをウェーハの表面側から分割予定ラインに照射することで、ウェーハがアブレーション加工され、複数のデバイスチップへと分割される。
ところで、上述のような方法で得られるデバイスチップを別のデバイスチップや基板に固定するために、ノンコンダクティブフィルム(NCF:Non Conductive Film)やダイアタッチフィルム(DAF:Die Attach Film)等と呼ばれる接着用の樹脂層が、各デバイスチップの表面側に設けられることがある(例えば、特許文献1参照)。
この場合には、例えば、ウェーハを複数のデバイスチップへと分割する前に、ウェーハの表面の全体を覆うことができる大きさの樹脂層がウェーハの表面側に設けられる。その後、ウェーハとともに樹脂層を分割することで、表面側に接着用の樹脂層を備えた複数のデバイスチップが得られる。
上述した接着用の樹脂層は、デバイスチップを対象へと固定する際に加えられる圧力によって適切に変形するように、完全には硬化していない状態(未硬化又は半硬化の状態)でウェーハに設けられる。しかしながら、これまでの方法でウェーハを加工してデバイスチップへと分割すると、この加工の際に発生する熱で樹脂層が硬化し、対象に対してデバイスチップを適切に固定できなくなることがあった。
よって、本発明の目的は、従来の方法に比べて樹脂層の硬化を抑制できるデバイスチップの製造方法を提供することである。
本発明の一側面によれば、分割予定ラインによって区画された表面側の領域にデバイスが設けられている板状の被加工物を該分割予定ラインで分割することにより該デバイスを含むデバイスチップを製造するデバイスチップの製造方法であって、該被加工物の該表面側に未硬化又は半硬化の状態の樹脂を含む樹脂層を形成する樹脂層形成ステップと、該樹脂層形成ステップの後に、該樹脂層が該表面側に設けられている該被加工物の裏面側から該被加工物を該分割予定ラインに沿って切断することにより該デバイスチップを製造する被加工物切断ステップと、を含むデバイスチップの製造方法が提供される。
好ましくは、該被加工物切断ステップの後に、該樹脂層に外力を付与することにより該樹脂層を該デバイスチップに合わせて分割する樹脂層分割ステップを更に含む。例えば、該樹脂層形成ステップの後、該樹脂層分割ステップの前に、該被加工物の該表面側にエキスパンド性を有するテープを貼り付けるテープ貼り付けステップを更に含み、該樹脂層分割ステップでは、該テープを拡張することにより該樹脂層に外力を付与して該樹脂層を分割する。又は、該被加工物切断ステップの後、該樹脂層分割ステップの前に、該被加工物の該裏面側にエキスパンド性を有するテープを貼り付けるテープ貼り付けステップを更に含み、該樹脂層分割ステップでは、該テープを拡張することにより該樹脂層に外力を付与して該樹脂層を分割する。
また、好ましくは、該被加工物切断ステップの前に、該被加工物の該裏面側に保護膜を形成する保護膜形成ステップを更に含む。
また、好ましくは、該被加工物切断ステップでは、該被加工物に吸収される波長のレーザービームを該分割予定ラインに沿って該被加工物に照射することにより該被加工物を切断する。また、好ましくは、該被加工物切断ステップの後に、該被加工物の該裏面側からプラズマ状態のエッチングガスを供給することにより該デバイスチップに残存する加工歪又はデブリを除去するプラズマエッチングステップを更に含む。
また、好ましくは、該被加工物切断ステップは、該被加工物に吸収される波長のレーザービームを該分割予定ラインに沿って該被加工物に照射することにより該被加工物の該裏面に開口した溝を形成する溝形成ステップと、該溝形成ステップの後に、該被加工物の該裏面側からプラズマ状態のエッチングガスを供給することにより該被加工物の該表面と該溝の底との間の部分を除去して該被加工物を切断するプラズマエッチングステップと、を含む。
また、好ましくは、該被加工物切断ステップの前に、該被加工物の該裏面側の該デバイスに対応する領域を覆うマスク層を該被加工物に形成するマスク層形成ステップを更に含み、該被加工物切断ステップでは、該マスク層が形成されている該被加工物の該裏面側からプラズマ状態のエッチングガスを供給することにより該被加工物の該マスク層から露出している部分を除去して該被加工物を切断する。
本発明の一側面にかかるデバイスチップの製造方法では、被加工物の表面側に未硬化又は半硬化の状態の樹脂を含む樹脂層を形成した後に、被加工物の裏面側から被加工物を分割予定ラインに沿って切断するので、被加工物を表面側から切断する場合に比べて、表面側に設けられている樹脂層に熱が伝わり難い。よって、本発明の一側面にかかるデバイスチップの製造方法によれば、従来の方法に比べて樹脂層の硬化を抑制できる。
以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。
(第1実施形態)
図1は、本実施形態にかかるデバイスチップの製造方法で使用される被加工物11を示す斜視図である。被加工物11は、例えば、シリコン等の半導体材料で構成される円盤状のウェーハである。この被加工物11は、円形状の表面11aと、表面11aとは反対側の円形状の裏面11bと、を有している。被加工物11の表面11a側は、互いに交差する複数のストリート(分割予定ライン)13で複数の小領域に区画されており、各小領域には、集積回路(IC:Integrated Circuit)等を含むデバイス15が形成されている。
図1は、本実施形態にかかるデバイスチップの製造方法で使用される被加工物11を示す斜視図である。被加工物11は、例えば、シリコン等の半導体材料で構成される円盤状のウェーハである。この被加工物11は、円形状の表面11aと、表面11aとは反対側の円形状の裏面11bと、を有している。被加工物11の表面11a側は、互いに交差する複数のストリート(分割予定ライン)13で複数の小領域に区画されており、各小領域には、集積回路(IC:Integrated Circuit)等を含むデバイス15が形成されている。
なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料で構成される円盤状のウェーハを被加工物11としているが、被加工物11の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料で構成される基板等を被加工物11として用いることもできる。同様に、デバイス15の種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。
本実施形態にかかるデバイスチップの製造方法では、まず、被加工物11の表面11a側に樹脂層21を形成する(樹脂層形成ステップ)。樹脂層21は、代表的には、ノンコンダクティブフィルム(NCF:Non Conductive Film)やダイアタッチフィルム(DAF:Die Attach Film)等であり、未硬化又は半硬化の状態の樹脂を含んでいる。この樹脂層21は、所定の接着力を有し、被加工物11を分割して得られるデバイスチップを別の基板等へと実装する際のアンダーフィル材として使用される。
図1に示されるように、樹脂層21は、被加工物11と概ね同じ直径を持つ円盤状のフィルムであり、表面11aの概ね全体を覆うように被加工物11に貼付される。ただし、樹脂層21の種類等に制限はない。例えば、ノンコンダクティブペースト(NCP:Non Conductive Paste)等を被加工物11の表面11a側に塗布することにより、樹脂層21を形成してもよい。
更に、樹脂層21を構成する材料等にも制限はない。樹脂層21には、例えば、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリイミド系樹脂等を主成分とする樹脂が用いられる。更に、樹脂層21には、酸化剤、フィラー等が添加されていてもよい。
未硬化又は半硬化の状態の樹脂を含む樹脂層21が被加工物11の表面11a側に形成された後には、この被加工物11の表面11a側に、エキスパンド性を有するテープを貼り付ける(テープ貼り付けステップ)。図2は、エキスパンド性を有するテープ23が貼り付けられた被加工物11を示す斜視図である。
テープ23は、例えば、被加工物11よりも直径が大きな円形状のベースフィルム(基材)と、ベースフィルムに設けられた粘着層(糊層)と、を含んでいる。ベースフィルムは、代表的には、ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル等の樹脂で構成され、エキスパンド性を有する。
粘着層は、代表的には、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリイミド系樹脂、ゴム系樹脂等を主成分とする樹脂で構成され、被加工物11に対する粘着性を有する。なお、粘着層は、紫外線の照射によって硬化する紫外線硬化型の樹脂等で構成されてもよい。
図2に示されるように、テープ23は、例えば、被加工物11と、被加工物11を囲むように配置される環状のフレーム25と、の双方に貼付される。フレーム25は、ステンレス鋼やアルミニウム等の金属で環状に構成され、被加工物11よりも直径が大きな円形状の開口部25aを中央に有している。
このフレーム25の開口部25aの内側に被加工物11が配置された状態で、被加工物11の表面11a側(樹脂層21)と、フレーム25と、にテープ23が貼付される。これにより、被加工物11の表面11a側が、樹脂層21と、テープ23と、を介してフレーム25に支持され、被加工物11の取り扱い易さが高まる。
テープ23が被加工物11の表面11a側に貼付された後には、被加工物11の裏面11b側に保護膜を形成する(保護膜形成ステップ)。図3は、被加工物11の裏面11b側に保護膜の原料27が塗布される様子を示す断面図である。本実施形態では、例えば、図3に示されるスピンコーター2を使用して被加工物11に保護膜の原料27が塗布される。
スピンコーター2は、被加工物11を保持できるように構成されたスピンナテーブル4を備えている。スピンナテーブル4の上面(保持面)4aは、概ね平坦に構成され、例えば、樹脂層21に貼付されているテープ23が接触する。この上面4aは、スピンナテーブル4の内部に設けられている流路4bや、バルブ(不図示)等を介して、エジェクタ等の吸引源(不図示)に接続されている。
スピンナテーブル4の下部には、上面4aの中央を通り鉛直方向(上下方向)に対して概ね平行な回転軸の周りにスピンナテーブル4を回転させるモータ等の回転駆動源(不図示)が連結されている。また、スピンナテーブル4の周囲には、フレーム25を把持して固定できる複数のクランプ6が設けられている。上面4aの中央の上方には、保護膜の原料27を滴下できるノズル8が配置されている。
被加工物11の裏面11b側に保護膜を形成する際には、まず、樹脂層21に貼付されているテープ23を上面4aに接触させるように、つまり、裏面11b側を上方に向けるように、被加工物11がスピンナテーブル4に載せられる。この状態で、吸引源により発生させた負圧(吸引力)を上面4aに作用させると、テープ23が上面4aに吸着され、被加工物11は、テープ23を介してスピンナテーブル4に保持される。なお、フレーム25は、複数のクランプ6により固定される。
次に、ノズル8から被加工物11の裏面11bの中央に向けて保護膜の原料27を滴下して、スピンナテーブル4を回転させる。これにより、保護膜の原料27が裏面11bの中央から外側に向かって広がり、被加工物11の裏面11bの全体に塗布される。保護膜の原料27としては、例えば、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリエチレングリコール(PEG)、酸化ポリエチレン(PEO)、ポリビニルピロリドン(PVP)等に代表される水溶性の樹脂が用いられる。
その後、被加工物11に塗布された保護膜の原料27を乾燥等させることにより、被加工物11の裏面11bの全体を覆う水溶性の保護膜が形成される。図4は、裏面11b側に保護膜29が形成された被加工物11を示す断面図である。なお、この保護膜29を形成する方法に具体的な制限はない。例えば、樹脂等で構成されたテープを被加工物11の裏面11b側に貼付し、これを保護膜29として用いることもできる。
被加工物11の裏面11b側に保護膜29を形成した後には、この裏面11b側からストリート13に沿って被加工物11を切断することにより、それぞれがデバイス15を有する複数のデバイスチップを製造する(被加工物切断ステップ)。本実施形態では、被加工物11に吸収される波長のレーザービームをストリート13に沿って被加工物11に照射することにより、被加工物11を切断する。
図5は、被加工物11にレーザービーム31が照射される様子を示す断面図である。本実施形態では、例えば、図5に示されるレーザー加工装置12を使用して被加工物11にレーザービーム31が照射される。なお、以下の説明で用いられるX軸方向(加工送り方向)、Y軸方向(割り出し送り方向)、及びZ軸方向(鉛直方向)は、互いに垂直な方向である。
図5に示されるように、レーザー加工装置12は、被加工物11を保持できるように構成されたチャックテーブル14を備えている。チャックテーブル14の上面(保持面)14aは、X軸方向及びY軸方向に対して概ね平行かつ概ね平坦に構成され、例えば、樹脂層21に貼付されているテープ23が接触する。この上面14aは、チャックテーブル14の内部に設けられている流路14bや、バルブ(不図示)等を介して、エジェクタ等の吸引源(不図示)に接続されている。
チャックテーブル14の下部には、上面14aの中央を通りZ軸方向に対して概ね平行な回転軸の周りにチャックテーブル14を回転させるモータ等の回転駆動源(不図示)が連結されている。また、チャックテーブル14の周囲には、フレーム25を把持して固定できる複数のクランプ16が設けられている。チャックテーブル14、回転駆動源、及びクランプ16は、ボールねじ式の移動機構(不図示)に支持されており、この移動機構により、X軸方向及びY軸方向に沿って移動する。
チャックテーブル14の上方には、レーザー発振器(不図示)で生成されたレーザービーム31を、チャックテーブル14により保持された被加工物11へと導くレーザー加工ヘッド18が配置されている。レーザー発振器は、例えば、レーザー発振に適したNd:YAG等のレーザー媒質を備えており、被加工物11に吸収される波長を持つパルス状のレーザービーム31を所定の繰り返し周波数で生成する。
レーザー加工ヘッド18は、レーザー発振器から放射されたパルス状のレーザービーム31を被加工物11へと導くミラーやレンズ等の光学系を備えており、例えば、チャックテーブル14の上方の所定の位置にレーザービーム31を集光させる。レーザー加工ヘッド18から被加工物11に照射されるレーザービーム31によって、被加工物11は、レーザーアブレーション加工される。
被加工物11をレーザービーム31で切断する際には、樹脂層21に貼付されているテープ23を上面14aに接触させるように、つまり、裏面11b側を上方に向けるように、被加工物11がチャックテーブル14に載せられる。この状態で、吸引源により発生させた負圧(吸引力)を上面14aに作用させると、テープ23が上面14aに吸引され、被加工物11は、テープ23を介してチャックテーブル14に保持される。なお、フレーム25は、複数のクランプ16により固定される。
次に、加工の対象となるストリート13の長さ方向をX軸方向に合わせるように、チャックテーブル14の回転軸の周りの向きが調整される。そして、ストリート13の延長線の上方(ストリート13の幅方向の中央を通る直線の上方)にレーザー加工ヘッド18を位置付けるように、チャックテーブル14のY軸方向の位置が調整される。また、被加工物11の加工に適したZ軸方向の位置にレーザービーム31を集光させるように、レーザー加工ヘッド18の光学系等が調整される。
その後、レーザー加工ヘッド18からレーザービーム31を照射させながら、X軸方向に沿って所定の速さ(加工送り速度)でチャックテーブル14を移動させる。つまり、チャックテーブル14に保持された被加工物11と、レーザービーム31の集光点と、をX軸方向に沿って相対的に移動させる。その結果、レーザービーム31が裏面11b側からストリート13に沿って被加工物11に照射される。
なお、レーザービーム31を照射する際の条件は、被加工物11を加工(レーザーアブレーション加工)できる範囲で調整される。例えば、レーザービーム31の波長は、266nm~1064nm、代表的には、355nmに設定され、繰り返し周波数は、10kHz~1000kHz、代表的には、200kHzに設定され、平均出力は、1W~20W、代表的には、2Wに設定され、加工送り速度は、10mm/s~1000mm/s、代表的には、400mm/sに設定される。ただし、レーザービーム31を照射する際の具体的な条件に制限はない。
ストリート13に沿って被加工物11にレーザービーム31が照射されると、被加工物11のレーザービーム31が照射された部分がレーザーアブレーションにより除去され、ストリート13に沿った溝11cが被加工物11の裏面11b側に形成される。対象のストリート13に溝11cが形成された後には、同様の手順で、全てのストリート13に対して溝11cが形成される。
全てのストリート13に対して溝11cが形成された後には、各溝11cを深くするように、レーザービーム31の照射が繰り返される。そして、最終的に被加工物11が切断され、複数のデバイスチップが得られる。なお、各ストリート13に対してレーザービーム31を照射する回数(パス数)は、例えば、被加工物11の厚みが20μm~100μm程度の場合に、5回~20回(5パス~20パス)程度となる。
ただし、各ストリート13に対してレーザービーム31を照射する回数(パス数)に制限はない。被加工物11が十分に薄い場合や、レーザービーム31の平均出力が十分に高い場合等には、1回の照射で被加工物11が切断されることもある。図6は、デバイスチップ33へと分割された後の被加工物11を示す断面図である。
上述のようなレーザーアブレーションにより被加工物11が加工されると、被加工物11の溶融物等が周囲に飛散して、デブリとして裏面11bに固着する可能性がある。しかしながら、本実施形態では、被加工物11の裏面11b側に保護膜29が形成されているので、被加工物11の裏面11b等にデブリが固着し難く、被加工物11及びデバイスチップ33の汚染が防止される。
被加工物11を切断して複数のデバイスチップ33を製造した後には、被加工物11の裏面11b側からプラズマ状態のエッチングガスを供給して、各デバイスチップ33に残存する加工歪又はデブリを除去する(プラズマエッチングステップ)。図7は、被加工物11にプラズマ状態のエッチングガスが供給される様子を模式的に示す断面図である。本実施形態では、例えば、図7に示されるプラズマ処理装置22を使用して被加工物11に裏面11b側からプラズマ状態のエッチングガスが供給される。
プラズマ処理装置22は、チャンバー24を備えている。チャンバー24の内部には、被加工物11に対するプラズマ処理が行われる処理空間が設けられている。チャンバー24の側壁24aには、被加工物11の搬入及び搬出の際に被加工物11やフレーム25が通過する開口部24bが形成されている。
側壁24aの外側には、開口部24bを閉じるカバー26が配置されている。また、カバー26には、エアシリンダ等の開閉機構28が連結されている。開閉機構28でカバー26を下方に移動させて開口部24bを露出させることにより、被加工物11の処理空間への搬入、及び、被加工物11の処理空間からの搬出が可能となる。また、開閉機構28でカバー26を上方に移動させて開口部24bを閉じることにより、処理空間が密閉される。
チャンバー24の底壁24cには、配管30を介して真空ポンプ等の減圧ユニット32が接続されている。そのため、例えば、カバー26で開口部24bを閉じ、処理空間が密閉された状態で減圧ユニット32を作動させると、チャンバー24の処理空間が排気されて、この処理空間が減圧される。
チャンバー24の内部には、テーブルベース34が設けられている。テーブルベース34は、円盤状の保持部36と、保持部36を下方から支持する円柱状の支持部38と、を備える。支持部38の幅(直径)は、例えば、保持部36の幅(直径)よりも小さく、支持部38の上端は、保持部36の下端に連結されている。
保持部36の上面には、被加工物11を保持できるチャックテーブル40が配置されている。チャックテーブル40は、絶縁体でなる円盤状の絶縁部42と、絶縁部42の内部に埋め込まれた複数の電極44と、を備える。複数の電極44は、それぞれ、電極44に所定の直流電圧(例えば、5kV程度の高い直流電圧)を印加できるDC電源46に接続されている。
また、チャックテーブル40の絶縁部42には、この絶縁部42の上面(つまり、チャックテーブル40の上面)に開口する複数の吸引路42aが設けられている。吸引路42aは、テーブルベース34の内部に形成された吸引路34a等を介して吸引ポンプ48に接続されている。
例えば、チャックテーブル40の上に被加工物11等を載せて、吸引ポンプ48を作動させると、被加工物11等は、吸引ポンプ48の吸引力によってチャックテーブル40の上面に吸引される。更に、DC電源46によって電極44に直流電圧を印加して電極44間に電位差を生じさせると、被加工物11等は、電極44と被加工物11との間に作用する電気的な力によってチャックテーブル40に吸着される。よって、チャンバー24の内部が減圧されても、被加工物11をチャックテーブル40によって保持できる。
テーブルベース34の内部には、流路34bが形成されている。流路34bの両端は、水等の冷媒を循環させる循環ユニット50に接続されている。循環ユニット50を作動させると、冷媒が流路34bの一端から他端に向かって流れ、テーブルベース34が冷却される。
チャンバー24の上部には、エッチングガスを供給するガス供給ユニット52が接続されている。ガス供給ユニット52は、チャンバー24の外部でエッチングガスをプラズマ化させ、プラズマ状態のエッチングガスをチャンバー24の処理空間に供給できるように構成される。具体的には、ガス供給ユニット52は、チャンバー24に供給されるエッチングガスが流れる供給管54を備えている。
供給管54の一端側(下流側)は、チャンバー24の上壁24dを介して内部の処理空間に接続されている。また、供給管54の他端側(上流側)は、バルブ56a、流量コントローラー58a、バルブ60aを介してガス供給源62aに接続され、バルブ56b、流量コントローラー58b、バルブ60bを介してガス供給源62bに接続され、バルブ56c、流量コントローラー58c、バルブ60cを介してガス供給源62cに接続されている。
ガス供給源62a、62b、62cから、それぞれ、所定のガスが所定の流量で供給されると、これらのガスが供給管54で混合されて、エッチングに用いられるエッチングガスとなる。例えば、ガス供給源62aはSF6等のフッ素系ガスを供給し、ガス供給源62bは酸素ガス(O2ガス)を供給し、ガス供給源62cはHe等の不活性ガスを供給する。ただし、ガス供給源62a、62b、62cから供給されるガスの成分や、流量比等は、加工対象の材質や、要求される加工の品質等に応じて任意に変更され得る。
ガス供給ユニット52は、供給管54内のエッチングガスに高周波電圧を印加する電極64を備える。電極64は、供給管54の中流部を囲むように設けられ、高周波電源66に接続されている。高周波電源66は、例えば、Vpp(Voltage peak to peak)が0.5kV以上5kV以下、周波数が450kHz以上2.45GHz以下の高周波電圧を電極64に印加する。
電極64及び高周波電源66を用いて供給管54を流れるエッチングガスに高周波電圧を印加すると、エッチングガスの一部の分子がイオン及びラジカルに変化する。そして、このイオン及びラジカルを含むプラズマ状態のエッチングガスが、供給管54の下流端で開口する供給口54aからチャンバー24の内部の処理空間に供給される。このようにして、チャンバー24の外部でプラズマ化したエッチングガスがチャンバー24の内部の処理空間に供給される。
チャンバー24の上壁24dの内側の表面には、プラズマ状態のエッチングガスを分散(拡散)させる分散部材68が供給口54aを覆うように取り付けられている。供給管54からチャンバー24の内部に流入したプラズマ状態のエッチングガスは、この分散部材68によって、チャックテーブル40の上方で分散される。
チャンバー24の側壁24aには、配管70が接続されており、配管70には、不活性ガスを供給するガス供給源(不図示)が接続されている。このガス供給源から配管70を通じてチャンバー24に不活性ガスが供給されると、チャンバー24の処理空間が不活性ガス(インナーガス)で満たされる。なお、配管70は、バルブ(不図示)、流量コントローラー(不図示)等を介してガス供給源62cに接続されてもよい。この場合には、ガス供給源62cから配管70を通じてチャンバー24に不活性ガスが供給される。
ガス供給ユニット52から供給され、供給管54内でプラズマ化されたエッチングガスは、供給口54aの下方に設けられた分散部材68で分散(拡散)され、チャックテーブル40によって保持された被加工物11の全体に上方から供給される。その結果、プラズマ状態のエッチングガスが被加工物11に作用し、被加工物11は、このエッチングガスにより加工される(プラズマエッチング)。
被加工物11(デバイスチップ33)に残存する加工歪又はデブリを除去する際には、まず、開口部24bを通じて被加工物11をチャンバー24の処理空間に搬入し、チャックテーブル40に載せる。ここでは、樹脂層21に貼付されているテープ23をチャックテーブル40の上面に接触させるように、つまり、裏面11b側を上方に向けるように、被加工物11がチャックテーブル40に載せられる。
次に、吸引ポンプ48を作動させる。これにより、被加工物11等は、吸引ポンプ48の吸引力によってチャックテーブル40の上面に吸引される。更に、DC電源46によって、電極44に直流電圧を印加する。これにより、被加工物11等は、電極44と被加工物11との間に作用する電気的な力によってチャックテーブル40に吸着される。
被加工物11がチャックテーブル40に保持された後には、被加工物11の裏面11b側からプラズマ状態のエッチングガスを被加工物11に供給する。具体的には、まず、開閉機構28でカバー26を上方に移動させて開口部24bを閉じる。これにより、チャンバー24の処理空間が密閉される。
また、減圧ユニット32を作動させて、チャンバー24の処理空間を減圧する。なお、配管70を通じて適量の不活性ガスをチャンバー24の処理空間に供給してもよい。この状態で、供給管54にエッチングガスを流すとともに、電極64及び高周波電源66を用いてエッチングガスに高周波電圧を印加する。
これにより、イオン及びラジカルを含むプラズマ状態のエッチングガスが、供給口54aから下方の被加工物11に供給される。なお、被加工物11の裏面11b側には、保護膜29が設けられているので、この保護膜29がマスク層となり、プラズマ状態のエッチングガスは、被加工物11の裏面11bに殆ど作用せず、主に、デバイスチップ33の側面(溝11cであった部分)に作用する。
デバイスチップ33の側面にプラズマ状態のエッチングガスが作用すると、例えば、レーザービーム31の照射等によりデバイスチップ33の側面及びその周辺に発生した加工歪が除去される。また、例えば、レーザービーム31の照射等によりデバイスチップ33の側面及びその周辺に付着したデブリ(異物)が除去される。これにより、デバイスチップ33の抗折強度の低下や品質の低下が抑制される。
本実施形態では、エッチングガスがチャンバー24の外部でプラズマ化されるので、エッチングガスがチャンバー24の内部でプラズマ化される場合に比べて、被加工物11に届くエッチングガス中のイオンの比率が低くなる。そのため、イオンに起因して進行し易い裏面11b側のエッチングに伴うデバイスチップ33の変形を抑制しながら、デバイスチップ33の側面の全体で加工歪又はデブリを除去できる。
なお、加工歪やデブリが発生し難い条件で被加工物11が切断された場合や、後の洗浄の処理でデブリが確実に除去される場合、加工歪やデブリが残存してもデバイス15の動作やデバイスチップ33の品質に支障がない場合等には、上述したプラズマ状態のエッチングガスの供給が省略されてもよい。
プラズマ状態のエッチングガスにより各デバイスチップ33に残存する加工歪又はデブリが除去された後には、樹脂層21に外力を付与して、この樹脂層21をデバイスチップ33に合わせて分割する(樹脂層分割ステップ)。本実施形態では、テープ23を拡張することにより樹脂層21に外力を付与して、樹脂層21を分割する。なお、被加工物11に残留している保護膜29は、樹脂層21に外力を付与する前に、洗浄等の方法で除去しておくとよい。
図8は、テープ23が拡張される様子を示す断面図であり、図9は、樹脂層21が分割された状態を示す断面図である。本実施形態では、例えば、図8及び図9に示される拡張装置72を使用してテープ23が拡張される。図8及び図9に示されるように、拡張装置72は、被加工物11の直径よりも大きい円形状の開口部を上端に有する円筒状のドラム74を有している。
ドラム74の上端部には、複数のローラー76がドラム74の周方向に沿って配列されている。また、ドラム74の外側には、複数の柱状の支持部材78が配置されている。支持部材78の下端部には、それぞれ、支持部材78を鉛直方向に沿って移動(昇降)させるエアシリンダ(不図示)が連結されている。
各支持部材78の上端部は、中央に円形状の開口部を有する環状のテーブル80の下面に固定されている。テーブル80の開口部の直径は、ドラム74の直径(外径)よりも大きく、テーブル80の開口部には、ドラム74の上部が挿入される。テーブル80の上方には、例えば、テーブル80の上面との間でフレーム25を挟み込んで固定する環状の固定部材82が配置される。
テープ23を拡張して樹脂層21を分割する際には、まず、エアシリンダ(不図示)で支持部材78を移動させ、ローラー76の上端とテーブル80の上面とを概ね同じ高さに配置する。そして、テーブル80の上面にフレーム25を配置して、環状の固定部材82でフレーム25をテーブル80に固定する(図8)。このとき、被加工物11は、ドラム74の上端の開口部と重なるように配置される。
次に、エアシリンダ(不図示)によって支持部材78を下降させ、テーブル80を引き下げる。テープ23の一部は、ドラム74及びローラー76によって支持されており、その高さが維持される。よって、テーブル80とともにフレーム25が引き下げられると、テープ23は、フレーム25によって半径方向の外側に向かって引っ張られ、放射状に拡張される。
テープ23が拡張されると、このテープ23が貼付されている樹脂層21にも、半径方向の外側に向かう外力が付与されることになる。その結果、樹脂層21は、隣接するデバイスチップ33の隙間において破断される。つまり、デバイスチップ33に合わせて樹脂層21が小片21aに分割され、この樹脂層21の小片21aがデバイスチップ33の表面11a側に設けられた状態となる(図9)。その後、デバイスチップ33は、小片21aとともにテープ23からピックアップされ、任意の基板等に実装される。
以上のように、本実施形態にかかるデバイスチップの製造方法では、被加工物11の表面11a側に未硬化又は半硬化の状態の樹脂を含む樹脂層21を形成した後に、被加工物11の裏面11b側から被加工物11をストリート(分割予定ライン)13に沿って切断するので、被加工物11を表面11a側から切断する場合に比べて、表面11a側に設けられている樹脂層21に熱が伝わり難い。よって、従来の方法に比べて樹脂層21の硬化を抑制できる。
なお、本実施形態では、同じテープ23が貼り替えられることなく使用されているが、テープ23は、必要に応じて貼り替えられてもよい。例えば、テープ23にプラズマ状態のエッチングガスが触れると、このテープ23が劣化する可能性がある。そこで、プラズマ状態のエッチングガスを供給した後には、テープ23が貼り替えられてもよい。
なお、テープが貼り替えられる場合には、貼り替えられた後のテープがエキスパンド性を有していればよい。つまり、被加工物11の表面11a側へのエキスパンド性を有するテープ23の貼り付けは、被加工物11に樹脂層21を形成した後、樹脂層21を分割する前の任意のタイミングで行われる。
また、テープが貼り替えられる場合には、必ずしも被加工物11の表面11a側にエキスパンド性を有するテープ23が貼り付けられなくてよい。例えば、被加工物11を複数のデバイスチップ33へと切断した後、樹脂層21を分割する前の任意のタイミングで、被加工物11の裏面11b側にエキスパンド性を有するテープ23を貼り付けることもできる。この場合にも、同様の方法でテープ23を拡張し、樹脂層21を分割すればよい。
更に、本実施形態では、複数のストリート13に対して順にレーザービーム31を照射して溝11cを形成し(1パス目)、その後、各溝11cを深くするようにレーザービーム31を照射することで被加工物11を切断しているが(2パス目以降)、あるストリート13に沿って被加工物11を切断してから、別のストリート13に沿って被加工物11を切断することもできる。
なお、被加工物11に照射されるレーザービーム31は、その被照射領域の形状(ビームプロファイル)が線状又は矩形状となるように整形されてもよい。この場合には、例えば、被照射領域の長手方向をストリート13の幅方向に合わせることで、幅広の溝11cが形成される。また、各ストリート13に対して、互いに平行な複数の溝11cを形成してもよい。
更に、本実施形態では、プラズマ状態のエッチングガスを被加工物11に作用させる際のマスク層として保護膜29が使用されているが、この保護膜29の代わりに、フォトリソグラフィ等により形成される感光性の樹脂でなるマスク層等を使用することもできる。プラズマ状態のエッチングガスを被加工物11に作用させる時間が十分に短い場合のように、被加工物11へのエッチングガスの影響が小さい場合には、マスク層を用いずにプラズマ状態のエッチングガスを被加工物11に作用させてもよい。
(第2実施形態)
本実施形態にかかるデバイスチップの製造方法では、レーザービーム31の照射と、プラズマ状態のエッチングガスの供給と、を組み合わせて被加工物11を切断する。なお、被加工物11を切断する前には、上述した第1実施形態と同様に、被加工物11の表面11a側に樹脂層21を形成する(樹脂層形成ステップ)。また、この被加工物11の表面11a側(樹脂層21)にテープ23を貼付し(テープ貼り付けステップ)、更に、被加工物11の裏面11b側に保護膜29を形成する(保護膜形成ステップ)。
本実施形態にかかるデバイスチップの製造方法では、レーザービーム31の照射と、プラズマ状態のエッチングガスの供給と、を組み合わせて被加工物11を切断する。なお、被加工物11を切断する前には、上述した第1実施形態と同様に、被加工物11の表面11a側に樹脂層21を形成する(樹脂層形成ステップ)。また、この被加工物11の表面11a側(樹脂層21)にテープ23を貼付し(テープ貼り付けステップ)、更に、被加工物11の裏面11b側に保護膜29を形成する(保護膜形成ステップ)。
例えば、被加工物11の裏面11b側に保護膜29を形成した後には、この裏面11b側からストリート13に沿って被加工物11を切断することにより、それぞれがデバイス15を有する複数のデバイスチップ33を製造する(被加工物切断ステップ)。より具体的には、まず、被加工物11に吸収される波長のレーザービーム31をストリート13に沿って被加工物11に照射することにより、被加工物11の裏面11bに開口した溝11cを形成する(溝形成ステップ)。
本実施形態でも、上述したレーザー加工装置12を使用して被加工物11にレーザービーム31が照射される(図5)。具体的な手順等は、上述した第1実施形態で被加工物11にレーザービーム31を照射する場合と同様である。ただし、レーザービーム31の平均出力や、各ストリート13にレーザービーム31を照射する回数(パス数)等は、被加工物11が切断されない範囲で調整される。図10は、溝11cが形成された後の被加工物11を示す断面図である。
被加工物11の裏面11bに開口する溝11cを形成した後には、この裏面11b側からプラズマ状態のエッチングガスを供給することにより、被加工物11の表面11aと溝11cの底との間の部分を除去して被加工物11を切断する(プラズマエッチングステップ)。
図11は、上述した第1実施形態のプラズマ処理装置22とは異なるプラズマ処理装置92を模式的に示す断面図である。本実施形態では、例えば、図11に示されるプラズマ処理装置92を使用して被加工物11に裏面11b側からプラズマ状態のエッチングガスが供給される。ただし、第1実施形態のプラズマ処理装置22が使用されてもよい。
図11に示されるように、プラズマ処理装置92は、内部に処理空間が設けられたチャンバー94を備えている。チャンバー94の側壁には、被加工物11やフレーム25が通る大きさの開口部94aが形成されている。開口部94aの外部には、この開口部94aを覆うことができる大きさのカバー96が設けられている。
カバー96には、開閉機構(不図示)が連結されており、この開閉機構によってカバー96が移動する。例えば、カバー96を下方に移動させて開口部94aを露出させることで、この開口部94aを通じて被加工物11をチャンバー94の内部の処理空間に搬入し、又は、被加工物11をチャンバー94の内部の処理空間から搬出できる。
チャンバー94の底壁には、排気口94bが形成されている。この排気口94bは、真空ポンプ等の排気ユニット98に接続されている。チャンバー94の空間内には、下部電極100が配置されている。下部電極100は、導電性の材料を用いて円盤状に形成されており、チャンバー94の外部で高周波電源102に接続されている。
下部電極100の上面には、チャックテーブル104が配置されている。チャックテーブル104は、例えば、板状の絶縁部に電極106a及び電極106bが埋め込まれた構造を有し、電極106a及び電極106bと被加工物11との間に作用する電気的な力によって被加工物11を吸着する。
例えば、電極106aには、DC電源108aの正極を接続できるように構成され、電極106bには、DC電源108bの負極を接続できるように構成される。なお、DC電源108aとDC電源108bとは、同じ1つのDC電源でもよい。また、チャックテーブル104の上面には、吸引ポンプ等の吸引力を伝える吸引路の端部が開口していてもよい。
チャンバー94の上壁には、導電性の材料を用いて円盤状に形成された上部電極110が絶縁部材112を介して取り付けられている。上部電極110の下面側には、複数のガス噴出孔110aが形成されている。ガス噴出孔110aは、上部電極110の上面側に設けられたガス供給孔110b等を介してガス供給源114に接続されている。これにより、ガス供給源114からエッチングガスをチャンバー94の処理空間に供給できる。この上部電極110も、チャンバー94の外部で高周波電源116に接続されている。
被加工物11の裏面11b側にプラズマ状態のエッチングガスを供給する際には、開口部94aを通じて被加工物11をチャンバー94の処理空間に搬入し、チャックテーブル104に載せる。ここでは、樹脂層21に貼付されているテープ23をチャックテーブル104の上面に接触させるように、つまり、裏面11b側を上方に向けるように、被加工物11がチャックテーブル104に載せられる。
次に、DC電源108aとDC電源108bとによって、電極106a及び電極106bに直流電圧を印加する。これにより、被加工物11等は、電極106a及び電極106bと被加工物11との間に作用する電気的な力によってチャックテーブル104に吸着される。
被加工物11がチャックテーブル104に吸着された後には、被加工物11の裏面11b側からプラズマ状態のエッチングガスを被加工物11に供給する。具体的には、まず、開閉機構でカバー96を移動させて開口部94aを閉じる。これにより、チャンバー94の処理空間が密閉される。また、排気ユニット98を作動させて、チャンバー94の処理空間を減圧する。なお、適量の不活性ガスを処理空間に供給してもよい。
この状態で、ガス供給源114からエッチングガスを所定の流量で供給しながら、高周波電源102及び高周波電源116で下部電極100及び上部電極110に適切な高周波電力を供給すると、下部電極100と上部電極110との間に存在するエッチングガスの一部の分子がイオン及びラジカルに変化する。
その結果、チャックテーブル104で保持されている被加工物11の裏面11b側に、イオン及びラジカルを含むプラズマ状態のエッチングガスが供給される。なお、被加工物11の裏面11b側には、保護膜29が設けられているので、この保護膜29がマスク層となり、プラズマ状態のエッチングガスは、被加工物11の裏面11bに殆ど作用せず、主に、溝11cに作用する。
被加工物11の表面11aと溝11cの底との間の部分がある程度に厚い場合には、この部分を適切に除去するために、膜形成、部分的膜除去、溝加工、の3つのステップを繰り返すとよい。例えば、シリコンを用いて形成されたウェーハを被加工物11とする場合には、次のようになる。
膜形成のステップでは、例えば、チャンバー94の内部空間の圧力を保ちながら、ガス供給源114からC4F8を所定の流量で供給し、下部電極100及び上部電極110に所定の高周波電力を供給する。これにより、上述した溝11cの内側にフッ素系の材料を堆積させて、溝11cの内面を覆う薄い膜を形成できる。このフッ素系の材料でなる膜は、SF6を原料として生成されるイオン及びラジカルに対して所定の耐性を有している。
部分的膜除去のステップでは、例えば、チャンバー94の内部空間の圧力を一定に保ちながら、ガス供給源114からSF6を所定の流量で供給し、下部電極100及び上部電極110に所定の高周波電力を供給する。これにより、SF6を原料とするイオン及びラジカルを発生させることができる。なお、この部分的膜除去のステップでは、下部電極100に供給される電力を、次の溝加工のステップに比べて大きくする。
下部電極100に供給される電力を大きくすると、エッチングの異方性が高まる。具体的には、溝11cを覆う膜の下部電極100側(すなわち、溝11cの底側)の部分が優先的に加工される。つまり、SF6を原料として生成されるイオン及びラジカルにより、溝11cを覆う膜の溝11cの底を覆う部分だけを除去できる。
溝加工のステップでは、例えば、チャンバー94の処理空間の圧力を保ちながら、ガス供給源114からSF6を所定の流量で供給し、下部電極100及び上部電極110に所定の高周波電力を供給する。これにより、SF6を原料とするイオン及びラジカルを発生させて、膜で覆われていない溝11cの底を加工できる。
上述のような膜形成、部分的膜除去、溝加工の3つのステップを繰り返し行うことで、溝11cを徐々に深くして、最終的には、被加工物11をストリート13に沿って切断できる。被加工物11を切断して複数のデバイスチップ33を得た後には、上述した第1実施形態と同様に樹脂層21に外力を付与し、この樹脂層21をデバイスチップ33に合わせて分割すればよい(樹脂層分割ステップ)。
本実施形態では、裏面11b側からレーザービーム31を照射して溝11cを形成し、その後、プラズマ状態のエッチングガスを裏面11b側から供給して被加工物11を切断するので、レーザービーム31だけで被加工物11を切断する場合に比べて、表面11a側の樹脂層21に熱が伝わり難い。よって、樹脂層21の硬化をより適切に抑制できる。なお、上述した第1実施形態及びその変形例にかかる方法等は、本実施形態の方法等に対して任意に組み合わせられる。
(第3実施形態)
本実施形態にかかるデバイスチップの製造方法では、被加工物11の裏面11b側からプラズマ状態のエッチングガスを供給することにより、被加工物11を切断する。なお、被加工物11を切断する前には、上述した第1実施形態と同様に、被加工物11の表面11a側に樹脂層21を形成する(樹脂層形成ステップ)。また、この被加工物11の表面11a側(樹脂層21)にテープ23を貼付し(テープ貼り付けステップ)、更に、被加工物11の裏面11b側に保護膜29を形成する(保護膜形成ステップ)。
本実施形態にかかるデバイスチップの製造方法では、被加工物11の裏面11b側からプラズマ状態のエッチングガスを供給することにより、被加工物11を切断する。なお、被加工物11を切断する前には、上述した第1実施形態と同様に、被加工物11の表面11a側に樹脂層21を形成する(樹脂層形成ステップ)。また、この被加工物11の表面11a側(樹脂層21)にテープ23を貼付し(テープ貼り付けステップ)、更に、被加工物11の裏面11b側に保護膜29を形成する(保護膜形成ステップ)。
被加工物11の裏面11b側に保護膜29を形成した後には、この保護膜29を加工して、被加工物11の裏面11b側のデバイス15に対応する領域を覆うマスク層を形成する(マスク層形成ステップ)。図12は、マスク層35が形成された後の被加工物11を示す断面図である。
本実施形態のマスク層35は、例えば、上述したレーザー加工装置12を使用し、第1実施形態や第2実施形態で溝11cを形成する際の手順と同様の手順により形成される。つまり、マスク層35は、保護膜29をレーザービーム31で加工することにより形成される。
具体的な手順等は、上述した第1実施形態で被加工物11にレーザービーム31を照射する場合と同様である。ただし、レーザービーム31の平均出力や、レーザービーム31を照射する回数(パス数)等は、被加工物11が殆ど加工されない範囲で調整される。なお、被加工物11の裏面11b側は、僅かに加工されてもよい。
これにより、ストリート13に沿って保護膜29を切断し、被加工物11の裏面11b側のデバイス15に対応する領域を覆うマスク層35を形成できる。なお、本実施形態では、保護膜29をマスク層35に加工しているが、感光性の樹脂をフォトリソグラフィ等で加工することによりマスク層35を形成してもよい。
被加工物11の裏面11bにマスク層35を形成した後には、この裏面11b側からプラズマ状態のエッチングガスを供給することにより、被加工物11のマスク層35から露出している部分を除去して被加工物11を切断する(被加工物切断ステップ)。使用される装置や手順等は、上述した第2実施形態で被加工物11にプラズマ状態のエッチングガスを供給する場合と同様である。
被加工物11を切断して複数のデバイスチップ33を得た後には、上述した第1実施形態と同様に樹脂層21に外力を付与し、この樹脂層21をデバイスチップ33に合わせて分割すればよい(樹脂層分割ステップ)。
本実施形態では、被加工物11の裏面11b側のデバイス15に対応する領域を覆うマスク層35を形成し、その後、マスク層35が形成されている被加工物11の裏面11b側からプラズマ状態のエッチングガスを供給して被加工物11を切断するので、レーザービーム31を用いて被加工物11を切断する場合に比べて、表面11a側の樹脂層21に熱が伝わり難い。よって、樹脂層21の硬化をより適切に抑制できる。なお、上述した第1実施形態、第2実施形態、及びこれらの変形例にかかる方法等は、本実施形態の方法等に対して任意に組み合わせられる。
なお、本発明は、上述した各実施形態及び各変形例の記載に制限されず種々に変更して実施され得る。例えば、上述した各実施形態では、レーザービーム又はプラズマ状態のエッチングガスを使用して被加工物11を裏面11b側から切断しているが、被加工物11は、他の方法で裏面11b側から切断されてもよい。具体的には、樹脂等でなる結合材に砥粒が分散された環状の切削ブレードを使用して、被加工物11を裏面11b側から切断することもできる。
その他、上述した各実施形態及び各変形例にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて変更して実施され得る。
11 :被加工物
11a :表面
11b :裏面
11c :溝
13 :ストリート(分割予定ライン)
15 :デバイス
21 :樹脂層
21a :小片
23 :テープ
25 :フレーム
25a :開口部
27 :原料
29 :保護膜
31 :レーザービーム
33 :デバイスチップ
35 :マスク層
2 :スピンコーター
4 :スピンナテーブル
4a :上面(保持面)
4b :流路
6 :クランプ
8 :ノズル
12 :レーザー加工装置
14 :チャックテーブル
14a :上面(保持面)
14b :流路
16 :クランプ
18 :レーザー加工ヘッド
22 :プラズマ処理装置
24 :チャンバー
24a :側壁
24b :開口部
24c :底壁
24d :上壁
26 :カバー
28 :開閉機構
30 :配管
32 :減圧ユニット
34 :テーブルベース
34a :吸引路
34b :流路
36 :保持部
38 :支持部
40 :チャックテーブル
42 :絶縁部
42a :吸引路
44 :電極
46 :DC電源
48 :吸引ポンプ
50 :循環ユニット
52 :ガス供給ユニット
54 :供給管
54a :供給口
56a :バルブ
56b :バルブ
56c :バルブ
58a :流量コントローラー
58b :流量コントローラー
58c :流量コントローラー
60a :バルブ
60b :バルブ
60c :バルブ
62a :ガス供給源
62b :ガス供給源
62c :ガス供給源
64 :電極
66 :高周波電源
68 :分散部材
70 :配管
72 :拡張装置
74 :ドラム
76 :ローラー
78 :支持部材
80 :テーブル
82 :固定部材
92 :プラズマ処理装置
94 :チャンバー
94a :開口部
94b :排気口
96 :カバー
98 :排気ユニット
100 :下部電極
102 :高周波電源
104 :チャックテーブル
106a :電極
106b :電極
108a :DC電源
108b :DC電源
110 :上部電極
110a :ガス噴出孔
110b :ガス供給孔
112 :絶縁部材
114 :ガス供給源
116 :高周波電源
11a :表面
11b :裏面
11c :溝
13 :ストリート(分割予定ライン)
15 :デバイス
21 :樹脂層
21a :小片
23 :テープ
25 :フレーム
25a :開口部
27 :原料
29 :保護膜
31 :レーザービーム
33 :デバイスチップ
35 :マスク層
2 :スピンコーター
4 :スピンナテーブル
4a :上面(保持面)
4b :流路
6 :クランプ
8 :ノズル
12 :レーザー加工装置
14 :チャックテーブル
14a :上面(保持面)
14b :流路
16 :クランプ
18 :レーザー加工ヘッド
22 :プラズマ処理装置
24 :チャンバー
24a :側壁
24b :開口部
24c :底壁
24d :上壁
26 :カバー
28 :開閉機構
30 :配管
32 :減圧ユニット
34 :テーブルベース
34a :吸引路
34b :流路
36 :保持部
38 :支持部
40 :チャックテーブル
42 :絶縁部
42a :吸引路
44 :電極
46 :DC電源
48 :吸引ポンプ
50 :循環ユニット
52 :ガス供給ユニット
54 :供給管
54a :供給口
56a :バルブ
56b :バルブ
56c :バルブ
58a :流量コントローラー
58b :流量コントローラー
58c :流量コントローラー
60a :バルブ
60b :バルブ
60c :バルブ
62a :ガス供給源
62b :ガス供給源
62c :ガス供給源
64 :電極
66 :高周波電源
68 :分散部材
70 :配管
72 :拡張装置
74 :ドラム
76 :ローラー
78 :支持部材
80 :テーブル
82 :固定部材
92 :プラズマ処理装置
94 :チャンバー
94a :開口部
94b :排気口
96 :カバー
98 :排気ユニット
100 :下部電極
102 :高周波電源
104 :チャックテーブル
106a :電極
106b :電極
108a :DC電源
108b :DC電源
110 :上部電極
110a :ガス噴出孔
110b :ガス供給孔
112 :絶縁部材
114 :ガス供給源
116 :高周波電源
Claims (9)
- 分割予定ラインによって区画された表面側の領域にデバイスが設けられている板状の被加工物を該分割予定ラインで分割することにより該デバイスを含むデバイスチップを製造するデバイスチップの製造方法であって、
該被加工物の該表面側に未硬化又は半硬化の状態の樹脂を含む樹脂層を形成する樹脂層形成ステップと、
該樹脂層形成ステップの後に、該樹脂層が該表面側に設けられている該被加工物の裏面側から該被加工物を該分割予定ラインに沿って切断することにより該デバイスチップを製造する被加工物切断ステップと、を含むデバイスチップの製造方法。 - 該被加工物切断ステップの後に、該樹脂層に外力を付与することにより該樹脂層を該デバイスチップに合わせて分割する樹脂層分割ステップを更に含む請求項1に記載のデバイスチップの製造方法。
- 該樹脂層形成ステップの後、該樹脂層分割ステップの前に、該被加工物の該表面側にエキスパンド性を有するテープを貼り付けるテープ貼り付けステップを更に含み、
該樹脂層分割ステップでは、該テープを拡張することにより該樹脂層に外力を付与して該樹脂層を分割する請求項2に記載のデバイスチップの製造方法。 - 該被加工物切断ステップの後、該樹脂層分割ステップの前に、該被加工物の該裏面側にエキスパンド性を有するテープを貼り付けるテープ貼り付けステップを更に含み、
該樹脂層分割ステップでは、該テープを拡張することにより該樹脂層に外力を付与して該樹脂層を分割する請求項2に記載のデバイスチップの製造方法。 - 該被加工物切断ステップの前に、該被加工物の該裏面側に保護膜を形成する保護膜形成ステップを更に含む請求項1から請求項4のいずれかに記載のデバイスチップの製造方法。
- 該被加工物切断ステップでは、該被加工物に吸収される波長のレーザービームを該分割予定ラインに沿って該被加工物に照射することにより該被加工物を切断する請求項1から請求項5のいずれかに記載のデバイスチップの製造方法。
- 該被加工物切断ステップの後に、該被加工物の該裏面側からプラズマ状態のエッチングガスを供給することにより該デバイスチップに残存する加工歪又はデブリを除去するプラズマエッチングステップを更に含む請求項6に記載のデバイスチップの製造方法。
- 該被加工物切断ステップは、
該被加工物に吸収される波長のレーザービームを該分割予定ラインに沿って該被加工物に照射することにより該被加工物の該裏面に開口した溝を形成する溝形成ステップと、
該溝形成ステップの後に、該被加工物の該裏面側からプラズマ状態のエッチングガスを供給することにより該被加工物の該表面と該溝の底との間の部分を除去して該被加工物を切断するプラズマエッチングステップと、を含む請求項1から請求項5のいずれかに記載のデバイスチップの製造方法。 - 該被加工物切断ステップの前に、該被加工物の該裏面側の該デバイスに対応する領域を覆うマスク層を該被加工物に形成するマスク層形成ステップを更に含み、
該被加工物切断ステップでは、該マスク層が形成されている該被加工物の該裏面側からプラズマ状態のエッチングガスを供給することにより該被加工物の該マスク層から露出している部分を除去して該被加工物を切断する請求項1から請求項5のいずれかに記載のデバイスチップの製造方法。
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