JP2017139036A - メモリデバイス - Google Patents
メモリデバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017139036A JP2017139036A JP2016017377A JP2016017377A JP2017139036A JP 2017139036 A JP2017139036 A JP 2017139036A JP 2016017377 A JP2016017377 A JP 2016017377A JP 2016017377 A JP2016017377 A JP 2016017377A JP 2017139036 A JP2017139036 A JP 2017139036A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- word line
- memory
- semiconductor pillar
- read
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/10—Programming or data input circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/04—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
- G11C16/0483—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells having several storage transistors connected in series
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/08—Address circuits; Decoders; Word-line control circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/10—Programming or data input circuits
- G11C16/14—Circuits for erasing electrically, e.g. erase voltage switching circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/26—Sensing or reading circuits; Data output circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/34—Determination of programming status, e.g. threshold voltage, overprogramming or underprogramming, retention
- G11C16/3418—Disturbance prevention or evaluation; Refreshing of disturbed memory data
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/34—Determination of programming status, e.g. threshold voltage, overprogramming or underprogramming, retention
- G11C16/3418—Disturbance prevention or evaluation; Refreshing of disturbed memory data
- G11C16/3427—Circuits or methods to prevent or reduce disturbance of the state of a memory cell when neighbouring cells are read or written
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C8/00—Arrangements for selecting an address in a digital store
- G11C8/12—Group selection circuits, e.g. for memory block selection, chip selection, array selection
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/30—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region
- H10B41/35—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region with a cell select transistor, e.g. NAND
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
- H10B43/20—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels
- H10B43/23—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels with source and drain on different levels, e.g. with sloping channels
- H10B43/27—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels with source and drain on different levels, e.g. with sloping channels the channels comprising vertical portions, e.g. U-shaped channels
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
- H10B43/30—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the memory core region
- H10B43/35—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the memory core region with cell select transistors, e.g. NAND
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
- H10B43/40—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the peripheral circuit region
Abstract
Description
また、以下の各実施形態において、末尾に区別化のための数字/英字を伴った参照符号(例えば、ワード線WLやビット線BL、各種の電圧及び信号など)が相互に区別されない場合、末尾の数字/英字が省略された記載(参照符号)が用いられる。
図1乃至図14を参照して、実施形態に係るメモリデバイスを、説明する。
(a) 構成
図1乃至図7を用いて、実施形態のメモリデバイスの構成例を説明する。
ホストデバイス600は、データの書き込み/消去、データの読み出しを、ストレージデバイス601に要求する。ストレージデバイス601は、ホストデバイス600からの要求に応じて動作する。
図3乃至図6を参照して、本実施形態のフラッシュメモリにおけるメモリセルアレイの内部構成の一例について、説明する。
アドレスデコーダ210は、メモリコントローラ5からのアドレスADRをデコードする。アドレスデコーダ210は、デコード結果を、スイッチ回路220に供給する。
電圧生成回路40に、フラッシュメモリの電源端子(パッド又はピン)を介して、電源電圧が供給される。正電圧回路410は、電源電圧から、メモリセルアレイ10の動作に用いられる各種の正の電圧を、生成する。負電圧回路420は、電源電圧から、メモリセルアレイ10の動作に用いられる各種の負の電圧(0Vより低い電圧)を、生成する。
メモリセルアレイ10内のブロックBLKの数、1つのブロックBLK内のストリングユニットSUの数、NANDストリングNS内のメモリセルMCの数は、任意である。
複数のソース側セレクトゲート線SGS(SGS0〜SGS3)は、対応するストリングユニットSUの複数のソース側セレクトトランジスタSTSのゲートに、それぞれ接続されている。
複数のソース側セレクトトランジスタSTSの他端は、ソース線SLに共通に接続されている。
さらに、ワード線に対する複数回の電圧の印加によって、ゲート絶縁膜791内にトラップされた電子900は、ゲート絶縁膜791内の欠陥(トラップ準位)999を介して徐々に移動し、電荷蓄積層792内に注入される可能性がある。
それゆえ、この電界E2(電圧V1b,V2b)の印加によって、ゲート絶縁膜791内にトラップされた電子900が、メモリ膜79に対して高電位側の半導体ピラー75に向かって移動する。
したがって、本実施形態のメモリデバイスは、メモリの信頼性を向上できる。
図8を参照して、第1の実施形態のメモリデバイスの動作例(制御方法)を、説明する。ここでは、図8に加えて、図1乃至図7も適宜用いて、本実施形態のメモリデバイスの動作について、説明する。
例えば、メモリコントローラ5は、時刻T0において、ホストデバイス600からの要求に応じて、読み出しコマンドCMD1(00h,xxh)、データを読み出すべきアドレス(選択アドレス)ADRを、フラッシュメモリ1に送信する。
本実施形態において、リカバリ動作は、図7の(b)のように、メモリセルMCのメモリ膜79に、半導体ピラー75から制御ゲート電極70に向かう方向の電界E2が印加されるように、ワード線WLの電位及び半導体ピラー75の電位を制御する動作である。
また、以下では、動作の説明の区別化のために、選択ワード線に対する読み出し電圧の印加によってメモリセルのしきい値電圧を判定する動作を、センス動作とよぶ。
シーケンサ19は、以下のように、センス動作及びリカバリ動作を含む読み出し動作を実行するように、フラッシュメモリ1内の各回路を制御する。
時刻T1において、シーケンサ19は、レディ/ビジー信号R/Bの信号レベルを、H(high)レベルからL(low)レベルに遷移させる。これによって、フラッシュメモリ1における読み出し動作の開始が、メモリコントローラ5に通知される。
時刻T2から時刻T3までの期間において、センス動作が実行される。
ロウ制御回路20は、選択ワード線WLkに、読み出し電圧VCGRを、印加する。
このように、時刻T2から時刻T3までの期間において、選択セル内のデータが、センス動作によって、読み出される。
時刻T4から時刻T5までの期間において、リカバリ動作が実行される。
本実施形態のメモリデバイスとしてのフラッシュメモリにおいて、フラッシュメモリの読み出し動作時に、読み出し電圧が、選択ワード線に印加され、読み出し電圧より高い非選択電圧(読み出しパス電圧)が、非選択ワード線に印加される。
非選択電圧の印加によって、非選択ワード線に接続されたメモリセルのゲート絶縁膜内に、電子がトラップされる可能性がある。
図9を参照して、第2の実施形態のメモリデバイス及びその制御方法について、説明する。
図10を参照して、第3の実施形態のメモリデバイス及びその制御方法について、説明する。
リカバリ電圧VrcvC,VrcvDは、正の電圧値Vp1,Vp2をそれぞれ有する。リカバリ電圧VrcvCの電圧値Vp1は、リカバリ電圧VrcvDの電圧値Vp2と実質的に同じ大きさである。但し、電圧値Vp1は、電圧値Vp2と異なる大きさを有していてもよい。
それゆえ、ゲート絶縁膜791に、半導体ピラー75から制御ゲート電極70へ向かう方向の電界E2が、印加される。
図11を参照して、第4の実施形態のメモリデバイス及びその制御方法について、説明する。
例えば、図4のワード線WL0及びワード線WLn−1が、ダミーワード線DWL(DWLD,DWLS)として用いられる。ソース側のダミーワード線DWLS(ワード線WL0)は、ソース側セレクトゲート線SGSに隣り合うように、NANDストリングNS内に設けられている。ドレイン側のダミーワード線DWLD(ワード線WLn−1)は、ドレイン側セレクトゲート線SGDに隣り合うように、NANDストリングNS内に設けられている。
本実施形態において、ロウ制御回路20は、読み出しパス電圧VREADを、ダミーワード線DWL及び非選択ワード線otherWLsに印加する。
ロウ制御回路20は、ダミーワード線DWLの電位を、グランド電位Vssに設定する。
図12及び図13を参照して、実施形態のメモリデバイスの適用例について説明する。
例えば、CPU500は、各アドレス(ページアドレス)に対する読み出し回数をカウントしている。CPU500は、アドレス(ワード線)と読み出し回数との関係を、管理テーブルTBLとして、DRAM501内に格納する。
シーケンサ19は、コマンドを解釈する(ステップST11)。シーケンサ19は、レディ/ビジー信号R/Bの信号レベルをLレベルに設定する。
例えば、シーケンサ19は、アドレスADRの受信の後に受信した信号が、第2の信号xxhであるか、第3の信号30hであるか、判定する。
第3の信号30hが受信された場合、シーケンサ19は、リカバリ動作の実行無しに、センス動作のみを実行するように、各回路の動作を制御する(ステップST13B)。
以下では、実施形態のメモリデバイスの変形例について、説明する。
図14のタイミングチャートに示されるように、時刻T4において、非選択ワード線otherWLsに、負の電圧値Vnのリカバリ電圧VrcvAが印加される。
図14のフラッシュメモリのように、負の電圧値のリカバリ電圧を用いたリカバリ動作中に、正の電圧値を有する電圧VZが、セレクトトランジスタSTD,STSのゲート電極(セレクトゲート線SGD,SGS)に、印加されてもよい。
尚、リカバリ動作中に、2つのセレクトトランジスタSTD,STSのうちいずれか一方のみが、オンされてもよい。
この場合、NANDストリングは、2つの半導体ピラーと、2つの半導体ピラーを接続する半導体部とを含む。
一方の半導体ピラーの上端は、ビット線に接続される。他方の半導体ピラーの上端は、ソース線に接続される。ドレイン側セレクトトランジスタは、一方の半導体ピラーの上部側に、設けられている。ソース側セレクトトランジスタは、他方の半導体ピラーの上部側に設けられている。ソース側セレクトトランジスタは、基板上方において、ドレイン側セレクトトランジスタと同じ高さに、位置している。
Claims (5)
- 基板の表面に対して垂直方向に延在する半導体ピラーと、
第1のワード線と前記半導体ピラーの側面との間に設けられた第1のメモリ膜を含む第1のメモリセルと、
第2のワード線と前記半導体ピラーの側面との間に設けられた第2のメモリ膜を含む第2のメモリセルと、
前記第1及び第2のメモリセルに対する動作を制御するコントローラと、
を具備し、
前記第1のメモリセルに対する読み出し動作において、
前記第1のワード線に読み出し電圧が印加され、前記第2のワード線に非選択電圧が印加される第1の動作の後、
前記第2のワード線の電位が前記半導体ピラーの電位より低くなるように、前記第2のワード線に、第1の電圧が印加される第2の動作が実行される、
メモリデバイス。 - 前記読み出し電圧及び前記非選択電圧は、正の電圧値を有し、
前記第1の電圧は、負の電圧値を有する、
請求項1に記載のメモリデバイス。 - 前記半導体ピラーに接続された配線を、さらに具備し、
前記第1の電圧としてのグランド電圧が、前記第2のワード線が印加され、
前記配線を介して、前記半導体ピラーに、正の電圧値を有する第2の電圧が印加される、
請求項1に記載のメモリデバイス。 - 第3のワード線と前記半導体ピラーの側面との間に設けられた第3のメモリ膜を含む第3のメモリセルを、さらに具備し、
前記基板の表面に対して垂直方向において、前記第1のワード線は、前記第2のワード線と前記第3のワード線との間に位置し、
前記第2のワード線は、前記第1のワード線よりも前記基板側に位置し、
前記第3のワード線は、前記第1のワード線よりも前記基板側とは反対側に位置し、
前記読み出し電圧が前記第1のワード線に印加されている期間において、前記非選択電圧が、前記第3のワード線に印加され、
前記第1の電圧が、前記第2のワード線に印加されている期間において、第3の電圧が、前記第3のワード線に印加され、
前記第1の電圧の電圧値の絶対値は、前記第3の電圧の電圧値の絶対値より大きい、
請求項1乃至3のいずれか1項に記載のメモリデバイス。 - 前記コントローラが第1のコマンドを受信した場合に、前記第1及び第2の動作を含む第1の読み出し動作が実行され、
前記コントローラが第2のコマンドを受信した場合に、前記第1の動作を含み且つ前記第2の動作を含まない第2の読み出し動作が実行され、
前記第1の読み出し動作時の第1の期間において、レディ/ビジー信号は第1のレベルに設定され、
前記第2の読み出し動作時の第2の期間において、前記レディ/ビジー信号が、前記第1のレベルに設定され、
前記第2の期間は、前記第1の期間より短い、
請求項1乃至4のいずれか1項に記載のメモリデバイス。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016017377A JP6595357B2 (ja) | 2016-02-01 | 2016-02-01 | メモリデバイス |
TW105121119A TWI639161B (zh) | 2016-02-01 | 2016-07-04 | Memory device, memory system, and method of issuing instructions to a semiconductor memory device |
CN201610575925.8A CN107025938B (zh) | 2016-02-01 | 2016-07-20 | 存储器装置 |
US15/233,442 US9679662B1 (en) | 2016-02-01 | 2016-08-10 | Memory device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016017377A JP6595357B2 (ja) | 2016-02-01 | 2016-02-01 | メモリデバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017139036A true JP2017139036A (ja) | 2017-08-10 |
JP6595357B2 JP6595357B2 (ja) | 2019-10-23 |
Family
ID=59009234
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016017377A Active JP6595357B2 (ja) | 2016-02-01 | 2016-02-01 | メモリデバイス |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9679662B1 (ja) |
JP (1) | JP6595357B2 (ja) |
CN (1) | CN107025938B (ja) |
TW (1) | TWI639161B (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10741383B2 (en) | 2017-11-29 | 2020-08-11 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
JP2020530659A (ja) * | 2017-08-11 | 2020-10-22 | マイクロン テクノロジー,インク. | ブロック領域に対するバリアを伴う電荷トラップ構造 |
US11329127B2 (en) | 2017-08-11 | 2022-05-10 | Micron Technology, Inc. | Memory device including voids between control gates |
JP2022531048A (ja) * | 2019-04-30 | 2022-07-06 | 長江存儲科技有限責任公司 | 接合された統合半導体チップならびにその製造および操作方法 |
US11569255B2 (en) | 2017-08-11 | 2023-01-31 | Micron Technology, Inc. | Void formation in charge trap structures |
US11943924B2 (en) | 2017-08-11 | 2024-03-26 | Micron Technology, Inc. | Void formation for charge trap structures |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10217518B1 (en) | 2017-08-16 | 2019-02-26 | Sandisk Technologies Llc | Reducing hot electron injection type of read disturb in 3D memory device having connected source-end select gates |
JP2020013889A (ja) * | 2018-07-18 | 2020-01-23 | キオクシア株式会社 | 半導体記憶装置 |
JP2020038746A (ja) * | 2018-09-06 | 2020-03-12 | キオクシア株式会社 | 半導体記憶装置 |
US11069695B2 (en) * | 2019-05-31 | 2021-07-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Floating gate test structure for embedded memory device |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07320487A (ja) * | 1994-05-20 | 1995-12-08 | Sony Corp | 半導体不揮発性記憶装置 |
JP2001325793A (ja) * | 2000-05-15 | 2001-11-22 | Fujitsu Ltd | 不揮発性半導体記憶装置および不揮発性半導体記憶装置のデータ保持方法 |
JP2002150789A (ja) * | 2000-11-09 | 2002-05-24 | Hitachi Ltd | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2007035214A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Renesas Technology Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2009266356A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-12 | Toshiba Corp | Nand型フラッシュメモリ |
JP2011014817A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2011096340A (ja) * | 2009-11-02 | 2011-05-12 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその駆動方法 |
US20120320678A1 (en) * | 2011-06-14 | 2012-12-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Non-volatile semiconductor memory device |
JP2013254537A (ja) * | 2012-06-06 | 2013-12-19 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びコントローラ |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100373623C (zh) * | 2004-10-28 | 2008-03-05 | 茂德科技股份有限公司 | 动态随机存取存储单元和其阵列、及该阵列的制造方法 |
JP5016832B2 (ja) | 2006-03-27 | 2012-09-05 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP5112201B2 (ja) * | 2008-07-11 | 2013-01-09 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP5086933B2 (ja) * | 2008-08-06 | 2012-11-28 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置の駆動方法 |
KR101660432B1 (ko) * | 2010-06-07 | 2016-09-27 | 삼성전자 주식회사 | 수직 구조의 반도체 메모리 소자 |
KR101760658B1 (ko) * | 2010-11-16 | 2017-07-24 | 삼성전자 주식회사 | 비휘발성 메모리 장치 |
KR101965709B1 (ko) * | 2011-10-18 | 2019-08-14 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 메모리 장치 |
JP2014235757A (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-15 | 株式会社東芝 | コントローラ |
US9299438B2 (en) * | 2013-06-12 | 2016-03-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor memory device |
JP2015216179A (ja) | 2014-05-08 | 2015-12-03 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
JP6230512B2 (ja) | 2014-09-10 | 2017-11-15 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体メモリ |
JP6290124B2 (ja) | 2015-03-12 | 2018-03-07 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体記憶装置 |
-
2016
- 2016-02-01 JP JP2016017377A patent/JP6595357B2/ja active Active
- 2016-07-04 TW TW105121119A patent/TWI639161B/zh active
- 2016-07-20 CN CN201610575925.8A patent/CN107025938B/zh active Active
- 2016-08-10 US US15/233,442 patent/US9679662B1/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07320487A (ja) * | 1994-05-20 | 1995-12-08 | Sony Corp | 半導体不揮発性記憶装置 |
JP2001325793A (ja) * | 2000-05-15 | 2001-11-22 | Fujitsu Ltd | 不揮発性半導体記憶装置および不揮発性半導体記憶装置のデータ保持方法 |
JP2002150789A (ja) * | 2000-11-09 | 2002-05-24 | Hitachi Ltd | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2007035214A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Renesas Technology Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2009266356A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-12 | Toshiba Corp | Nand型フラッシュメモリ |
JP2011014817A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2011096340A (ja) * | 2009-11-02 | 2011-05-12 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその駆動方法 |
US20120320678A1 (en) * | 2011-06-14 | 2012-12-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Non-volatile semiconductor memory device |
JP2013004123A (ja) * | 2011-06-14 | 2013-01-07 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2013254537A (ja) * | 2012-06-06 | 2013-12-19 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びコントローラ |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020530659A (ja) * | 2017-08-11 | 2020-10-22 | マイクロン テクノロジー,インク. | ブロック領域に対するバリアを伴う電荷トラップ構造 |
US11329127B2 (en) | 2017-08-11 | 2022-05-10 | Micron Technology, Inc. | Memory device including voids between control gates |
US11393843B2 (en) | 2017-08-11 | 2022-07-19 | Micron Technology, Inc. | Charge trap structure with barrier to blocking region |
US11569255B2 (en) | 2017-08-11 | 2023-01-31 | Micron Technology, Inc. | Void formation in charge trap structures |
US11765903B2 (en) | 2017-08-11 | 2023-09-19 | Micron Technology, Inc. | Charge trap structure with barrier to blocking region |
US11923407B2 (en) | 2017-08-11 | 2024-03-05 | Micron Technology, Inc. | Memory device including voids between control gates |
US11943924B2 (en) | 2017-08-11 | 2024-03-26 | Micron Technology, Inc. | Void formation for charge trap structures |
US10741383B2 (en) | 2017-11-29 | 2020-08-11 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
JP2022531048A (ja) * | 2019-04-30 | 2022-07-06 | 長江存儲科技有限責任公司 | 接合された統合半導体チップならびにその製造および操作方法 |
JP7303318B2 (ja) | 2019-04-30 | 2023-07-04 | 長江存儲科技有限責任公司 | 接合された統合半導体チップならびにその製造および操作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI639161B (zh) | 2018-10-21 |
TW201729189A (zh) | 2017-08-16 |
CN107025938A (zh) | 2017-08-08 |
JP6595357B2 (ja) | 2019-10-23 |
US9679662B1 (en) | 2017-06-13 |
CN107025938B (zh) | 2020-10-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6595357B2 (ja) | メモリデバイス | |
JP6400547B2 (ja) | メモリデバイス | |
TWI527041B (zh) | Semiconductor memory device | |
JP6230512B2 (ja) | 半導体メモリ | |
TWI760586B (zh) | 半導體記憶裝置 | |
JP2018142388A (ja) | 半導体記憶装置及びメモリシステム | |
US9941013B2 (en) | Memory device that performs sensing operation during a bit line pre-charge operation to determine adjustment to the bit line charging voltage | |
JP2020004470A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2016170837A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2016062624A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2016152052A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2017054562A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2018116755A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2017216025A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2015176623A (ja) | 半導体記憶装置及びメモリコントローラ | |
JP2019057346A (ja) | メモリシステム | |
TW201711039A (zh) | 記憶體系統 | |
JP2022052505A (ja) | メモリデバイス | |
JP6416141B2 (ja) | メモリデバイス | |
TW201535385A (zh) | 非揮發性半導體記憶裝置及記憶體系統 | |
JP2020047321A (ja) | 半導体記憶装置 | |
US9786380B2 (en) | Semiconductor memory device | |
JP2017054565A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2018156702A (ja) | 半導体記憶装置及びメモリシステム | |
JP2019040655A (ja) | メモリシステム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20170525 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180201 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20180831 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190308 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190827 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190926 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6595357 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |