JP2017130687A - 静電チャック装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の静電チャック装置10では、載置台11が載置面24aの周囲にフォーカスリング12の周方向に沿って設けられ、フォーカスリング12を静電吸着する保持部15を有し、保持部15が周方向に沿って設けられ、フォーカスリング12が載置される一対の堤部16と、これらの間に形成された環状の溝部17とを有し、一対の堤部16のうち少なくともフォーカスリング12の外周側に位置する堤部16Aにおいて、フォーカスリング12と対向する面には、複数の微小突起を含む微小突起部が形成されるか、溝部17の底面17aには凸部18が設けられている。凸部18はフォーカスリングと接することなく、一対の堤部16又は複数の微小突起はフォーカスリング12と接し、凸部18と協働してフォーカスリング12を静電吸着する。
【選択図】図1
Description
加工対象となる固体材料の上に、レジストでマスクパターンを形成する。次いで、この固体材料を真空中に支持した状態で、この真空中に反応性ガスを導入し、この反応性ガスに高周波の電界を印加する。そうすると、加速された電子がガス分子と衝突してプラズマ状態となり、このプラズマから発生するラジカル(フリーラジカル)とイオンが、固体材料と反応して、反応生成物となる。そして、この反応生成物を取り除くことにより、固体材料に微細パターンを形成する。
ところで、従来のプラズマエッチング装置では、静電チャック装置に固定されたウエハにプラズマを照射すると、そのウエハの表面温度が上昇する。そこで、ウエハの表面温度の上昇を抑えるために、静電チャック装置の温度調整用ベース部に水等の冷却媒体を循環させて、ウエハを下側から冷却している。
また、特許文献2に記載されている技術では、静電チャック部に形成された突起部とフォーカスリングとの接触面積が小さいため、静電チャック部に対してフォーカスリングを吸着する力が不足し、フォーカスリングを十分に冷却できないという問題があった。また、静電チャック部の接触面の表面粗さを、静電チャック部の周方向に沿って粗くすると、フォーカスリングの厚さ方向に冷却ガスの流れを十分に得ることができないため、ウエハ(フォーカスリング)を均一に冷却することができないという問題があった。さらに、静電チャック部に溝部を形成した場合、溝部と、それ以外の部分との間に温度差が生じるため、ウエハ(フォーカスリング)を均一に冷却することができないという問題があった。
本発明の静電チャック装置はまた、板状試料を載置する載置面が設けられた載置台と、前記載置台の上に配置され、前記載置面の周囲を囲む環状のフォーカスリングと、前記載置台および前記フォーカスリングを冷却する冷却手段と、を備え、前記載置台は、前記載置面の周囲に前記フォーカスリングの周方向に沿って設けられ、前記フォーカスリングを静電吸着する保持部を有し、前記保持部は、前記周方向に沿って設けられ、前記フォーカスリングが載置される一対の堤部と、前記一対の堤部の間に形成された環状の溝部と、を有し、前記一対の堤部のうち少なくとも前記フォーカスリングの外周側に位置する堤部において、前記フォーカスリングと対向する面には、複数の微小突起を含む微小突起部が形成されており、前記冷却手段は、前記溝部に伝熱ガスを供給し、前記複数の微小突起は、前記フォーカスリングと接し、前記フォーカスリングを静電吸着することを特徴とする。
なお、本実施の形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
図1は、本発明の静電チャック装置の一実施形態を示す概略断面図である。図2は、本発明の静電チャック装置の一実施形態を示す概略断面図であり、図1においてαで示す領域を拡大した部分拡大図である。
本実施形態の静電チャック装置10は、板状試料Wを載置する載置面(後述する誘電層24の載置面(上面)24a)が設けられた載置台11と、載置台11の上に配置され、載置面(載置面24a)の周囲を囲む環状のフォーカスリング12と、載置台11およびフォーカスリング12を冷却する冷却手段13とから概略構成されている。
保持部15は、フォーカスリング12の周方向に沿って設けられ、フォーカスリング12が載置される一対の堤部16(16A,16B)と、一対の堤部16の間に形成された環状の溝部17と、を有する。溝部17の底面17aには、堤部16におけるフォーカスリング12が載置される面側に(保持部15の厚さ方向に)突出する凸部18が設けられている。
フォーカスリング12を保持部15に載置した際、図1に示すように、一対の堤部16(16A,16B)、または一対の堤部(16A,16B)におけるフォーカスリング12と対向する面16aに形成された微小突起16b,16b・・・は、フォーカスリング12と接し、凸部18はフォーカスリング12と接しない。すなわち、フォーカスリング12の下面12aと、凸部18の頂点(上面)18a、又は堤部16におけるフォーカスリング12と対向する面16aとの間には、空間(間隙)がある。また、フォーカスリング12の下面12aと、凸部18の頂点(上面)18aとの間にも、空間(間隙)があり、その大きさ、すなわちフォーカスリング12の下面12aと、凸部18の頂点(上面)18aとの間の距離は、特に限定されないが、フォーカスリング12と凸部18との間に、静電吸着力が働く程度とする。堤部16(16A,16B)の、フォーカスリングと対抗する面16aが微小突起16b,16b・・・を有する場合、フォーカスリング12の下面12aと、堤部16におけるフォーカスリング12と対向する面16aとが接することなく、堤部16の微小突起16b,16b・・・のみがフォーカスリング12の下面12aと接することにより、堤部16がフォーカスリング12を静電吸着する。
また、フォーカスリング12の下面12aと、凸部18の頂点(上面)18aとの間の空間(間隙)の大きさ、すなわち、フォーカスリング12の下面12aと、凸部18の頂点(上面)18aとの間の距離は、特に限定されないが、フォーカスリング12と凸部18との間に、静電吸着力が働く程度とする。
このように一対の堤部16からの伝熱ガスの流出量に差を設けるための具体的な構成としては、例えば、以下のような2つの構成が挙げられる。
フォーカスリング12の外周側の堤部16Aに設けられた複数の微小突起16b,16b・・・同士の離間距離は、フォーカスリング12の内周側の堤部16Bに設けられた複数の微小突起16b,16b・・・同士の離間距離よりも広くなっている。このような構成とすることにより、冷却手段13によって溝部17内に供給された伝熱ガスは、微小突起16b,16b・・・同士の離間距離が広い堤部16A側から、より多く外部に流出する。これにより、フォーカスリング12を均一に冷却することができる。
なお、堤部16Aにおいて、微小突起16b,16b・・・同士の離間距離は、特に限定されないが、伝熱ガスが、堤部16B側よりも堤部16A側から、より多く外部に流出することができる程度とする。
なお、堤部16Aにおいて、微小突起16b,16b・・・の高さは、特に限定されないが、伝熱ガスが、堤部16B側よりも堤部16A側から、より多く外部に流出することができる程度とする。
また、凸部18は、例えば、複数の凸条部18A,18B,・・・から構成されていてもよい。凸条部18A,18B,・・・は、互いに離隔して設けられている。凸条部18A,18B,・・・は、静電チャック装置10(保持部15)を平面視した場合、環状の溝部17に沿って、連続する環状をなしていてもよく、あるいは、間隔を置いて設けられた不連続な弧状をなしていてもよい。凸条部18A,18B,・・・が、環状の溝部17に沿って、連続する環状をなす場合、凸条部18A,18B,・・・は、溝部17と同心円状に設けられる。凸条部18A,18B,・・・同士の間隔は、特に限定されない。
凸部18の面積が、溝部17の面積の10%未満では、突起18A,18B,・・・とフォーカスリング12の間に作用する静電吸着力、すなわち、突起18A,18B,・・・にフォーカスリング12を引き付ける力が弱過ぎるため、保持部15にフォーカスリング12を固定することができない。一方、凸部18の面積が、溝部17の面積の80%を超えると、フォーカスリング12の下面12aと、凸部18の頂点(上面)18aとの間の空間が小さくなり過ぎるため、その空間を流れる伝熱ガスの量が少なくなる。その結果、伝熱ガスによりフォーカスリング12を冷却する効果が小さくなり、フォーカスリング12の表面温度と板状試料Wの表面温度との間に差が生じて、その結果、板状試料Wの面内温度も安定しなくなる。
凸部18の面積が、溝部17の面積の10%未満では、凸条部18A,18B,・・・とフォーカスリング12の間に作用する静電吸着力、すなわち、突起18A,18B,・・・にフォーカスリング12を引き付ける力が弱過ぎるため、保持部15にフォーカスリング12を固定することができない。一方、凸部18の面積が、溝部17の面積の80%を超えると、フォーカスリング12の下面12aと、凸部18の頂点(上面)18aとの間の空間が小さくなり過ぎるため、その空間を流れる伝熱ガスの量が少なくなる。その結果、伝熱ガスによりフォーカスリング12を冷却する効果が小さくなり、フォーカスリング12の表面温度と板状試料Wの表面温度との間に差が生じて、その結果、板状試料Wの面内温度も安定しなくなる。
フォーカスリング12の下面12aと、凸部18の頂点(上面)18aとの離隔距離が1μm未満では、フォーカスリング12の下面12aと、凸部18の頂点(上面)18aとの間の空間が小さくなり過ぎるため、その空間を流れる伝熱ガスの量が少なくなる。その結果、伝熱ガスによりフォーカスリング12を冷却する効果が小さくなり、フォーカスリング12の表面温度と板状試料Wの表面温度との間に差が生じて、その結果、板状試料Wの面内温度も安定しなくなる。一方、フォーカスリング12の下面12aと、凸部18の頂点(上面)18aとの離隔距離が10μmを超えると、凸条部18A,18B,・・・とフォーカスリング12の間に作用する静電吸着力、すなわち、突起18A,18B,・・・にフォーカスリング12を引き付ける力が弱過ぎるため、保持部15にフォーカスリング12を固定することができない。
載置台11の保持部15は、堤部16、溝部17および凸部18とされた環状の誘電層24と、この誘電層24の下面側に対向配置され、誘電層24と同一径の環状の絶縁層25と、これら誘電層24と絶縁層25との間に挟持され、誘電層24および絶縁層25より径の小さい環状の静電吸着用内部電極26とから概略構成されている。
静電チャック部14を構成する各層と、保持部15を構成する各層とは連接している。すなわち、保持部15を構成する静電吸着用内部電極26も給電用端子27と電気的に接続されている。
また、静電チャック部14を構成する誘電層24を、所定の大きさの堤部16、溝部17および凸部18に形成するためには、誘電層24の形成材料は、平均結晶粒径が10μm以下であることが好ましく、2μm以下であることがより好ましい。誘電層24の形成材料の平均結晶粒径が10μm以下であれば、堤部16、溝部17および凸部18を、所定の大きさに形成することができる。
この静電吸着用内部電極26を構成する導電性セラミックスとしては、炭化ケイ素(SiC)−酸化アルミニウム(Al2O3)複合焼結体、窒化タンタル(TaN)−酸化アルミニウム(Al2O3)複合焼結体、炭化タンタル(TaC)−酸化アルミニウム(Al2O3)複合焼結体、炭化モリブデン(Mo2C)−酸化アルミニウム(Al2O3)複合焼結体等が挙げられる。
フォーカスリング12は、プラズマエッチング等の処理工程にて板状試料Wと同一の温度になるように制御されるもので、その材質は、例えば、酸化膜エッチングに用いられる場合、多結晶シリコン、炭化ケイ素等が好適に用いられる。
Claims (15)
- 板状試料を載置する載置面が設けられた載置台と、
前記載置台の上に配置され、前記載置面の周囲を囲む環状のフォーカスリングと、
前記載置台および前記フォーカスリングを冷却する冷却手段と、を備え、
前記載置台は、前記載置面の周囲に前記フォーカスリングの周方向に沿って設けられ、前記フォーカスリングを静電吸着する保持部を有し、
前記保持部は、前記周方向に沿って設けられ、前記フォーカスリングが載置される一対の堤部と、前記一対の堤部の間に形成された環状の溝部と、を有し、
前記冷却手段は、前記溝部に伝熱ガスを供給し、
前記溝部の底面には、凸部が設けられ、
前記一対の堤部は前記フォーカスリングと接し、
前記凸部は前記フォーカスリングと接することなく、
前記一対の堤部と前記凸部とが協働して前記フォーカスリングを静電吸着することを特徴とする静電チャック装置。 - 前記凸部は、複数の突起を含むことを特徴とする請求項1に記載の静電チャック装置。
- 前記凸部は、凸条部を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の静電チャック装置。
- 前記凸部の面積は、前記溝部の面積の10%以上かつ80%以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の静電チャック装置。
- 前記フォーカスリングの下面と、前記凸部の頂点との離隔距離は、1μm以上かつ10μm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の静電チャック装置。
- 板状試料を載置する載置面が設けられた載置台と、
前記載置台の上に配置され、前記載置面の周囲を囲む環状のフォーカスリングと、
前記載置台および前記フォーカスリングを冷却する冷却手段と、を備え、
前記載置台は、前記載置面の周囲に前記フォーカスリングの周方向に沿って設けられ、前記フォーカスリングを静電吸着する保持部を有し、
前記保持部は、前記周方向に沿って設けられ、前記フォーカスリングが載置される一対の堤部と、前記一対の堤部の間に形成された環状の溝部と、を有し、
前記一対の堤部のうち少なくとも前記フォーカスリングの外周側に位置する堤部において、前記フォーカスリングと対向する面には、複数の微小突起を含む微小突起部が形成されており、
前記冷却手段は、前記溝部に伝熱ガスを供給し、
前記複数の微小突起は、前記フォーカスリングと接し、前記フォーカスリングを静電吸着することを特徴とする静電チャック装置。 - 前記一対の堤部の両方において、前記フォーカスリングと対向する面には、前記微小突起部が形成されており、
前記複数の微小突起は、前記フォーカスリングと接し、前記フォーカスリングを静電吸着することを特徴とする請求項6に記載の静電チャック装置。 - 前記一対の堤部において、前記フォーカスリングの外周側に位置する前記堤部からの伝熱ガスの流出量が、もう一方の堤部からの伝熱ガスの流出量より多いことを特徴とする請求項6または7に記載の静電チャック装置。
- 前記フォーカスリングの外周側の前記堤部に設けられた前記複数の微小突起同士の離間距離は、前記フォーカスリングの内周側の前記堤部に設けられた前記複数の微小突起同士の離間距離よりも広いことを特徴とする請求項7または8に記載の静電チャック装置。
- 前記フォーカスリングの外周側の前記堤部に設けられた前記複数の微小突起の高さが、前記フォーカスリングの内周側の前記堤部に設けられた前記複数の微小突起より高いことを特徴とする請求項7〜9のいずれか1項に記載の静電チャック装置。
- 前記溝部の底面には、凸部が設けられ、
前記凸部は前記フォーカスリングと接することなく、前記フォーカスリングを静電吸着することを特徴とする請求項6〜10のいずれか1項に記載の静電チャック装置。 - 前記凸部は、複数の突起を含むことを特徴とする請求項11に記載の静電チャック装置。
- 前記凸部は、凸条部を含むことを特徴とする請求項11または12に記載の静電チャック装置。
- 前記載置台は誘電層からなる載置面を有し、当該誘電層の形成材料が、窒化アルミニウム(AlN)、酸化アルミニウム(アルミナ、Al2O3)、窒化ケイ素(Si3N4)、酸化イットリウム(Y2O3)、および炭化ケイ素(SiC)から選択される1種からなるセラミックス、あるいは、2種以上を含む複合セラミックスであることを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の静電チャック装置。
- 前記誘電層の形成材料は、平均結晶粒径が10μm以下のセラミックス材料であることを特徴とする請求項14に記載の静電チャック装置。
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