JP2007258500A - 基板支持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマ処理中のフォーカスリング温度をウエハ温度よりも低くする事により、フォーカスリングをコールドデポトラップとして機能させる。
【効果】堆積性の強いCFxラジカルがフォーカスリングとウエハエッジ部の間に侵入した際、ウエハベベル部に付着する前にフォーカスリングにトラップされる。これにより、ベベル部への堆積物を抑制することができる。
【選択図】図1
Description
in−situクリーニングにより除去することができる。
10と、サセプタ6と、フォーカスリング5と、第一の熱伝達媒体7と、誘電体リング8と、第二の熱伝達媒体9と、から構成されている。冷媒流路2には第一の温調ユニット
30が接続されており、−20℃から80℃程度の所望の温度に温調された冷媒を、冷媒流路2に循環させることにより電極ブロック1の温調を行っている。また、電極ブロック1には、図示しない直流電源と高周波電源が接続されており、直流電圧を印加することにより発生するクーロン力やジョンソンラーベック力によりウエハ4を吸着し、高周波電力を印加することによりプラズマ中のイオンをウエハ4に引き込み、エッチング等の基板処理を行う構成となっている。また、基板処理中はウエハ裏面に第一の伝熱ガス供給系10よりHe等の伝熱用ガスが供給され、冷媒温調されている電極ブロック1とウエハ4との熱伝導を促進する構造となっている。
13…第二の伝熱ガス流路、14…第三の伝熱ガス流路、15…オーリング、16…絶縁板、17…支持板、18…押圧部材、19…ボルト、20…ペルチェ素子、21…絶縁被覆、22…第二の冷媒流路、23…真空断熱層、30…第一の温調ユニット、31…第2の温調ユニット、100…堆積物。
Claims (9)
- プラズマ処理装置の反応容器内の被処理基板を載置するための基板支持装置において、
被処理基板を載置する電極ブロック部と、当該電極ブロック部の外周に設置されているフォーカスリングと、前記電極ブロック部と前記フォーカスリングの間に、前記フォーカスリングの温度を前記被処理基板の温度よりも低くするフォーカスリング冷却手段を備えたことを特徴とする基板支持装置。 - 前記請求項1において、
前記フォーカスリングの上部にサセプタを配置し、サセプタの自重で前記フォーカスリング及びフォーカスリング冷却手段を押圧,固定することを特徴とした基板支持装置。 - 前記請求項1において、
前記フォーカスリング冷却手段は、前記電極ブロック部と前記フォーカスリングに接する部分に熱伝達媒体を備えた誘電体リングであることを特徴とする基板支持装置。 - 前記請求項3において、
前記熱伝達媒体は、グラファイトシート,シリコンゴムのいずれかであることを特徴とする基板支持装置。 - 前記請求項3において、
前記熱伝達媒体は伝熱用ガスであり、前記電極ブロック部と前記フォーカスリングに接する部分に前記伝熱用ガスを供給する誘電体リング用ガス供給手段を備えたことを特徴とする基板支持装置。 - 前記請求項5において、
前記電極ブロック部は、前記被処理体裏面に冷却用の伝熱ガスを供給するウエハ裏面用ガス供給手段を備えており、
前記誘電体リング用ガス供給手段が供給するガス圧力は、前記ウエハ裏面用ガス供給手段が供給するガス圧力よりも高いことを特徴とする基板支持装置。 - 前記請求項1において、
前記フォーカスリング及び前記フォーカスリング冷却手段は、絶縁材からなるボルトで前記電極ブロック部に締結されていることを特徴とした基板支持装置。 - 前記請求項1において、
前記フォーカスリング冷却手段は、前記電極ブロック部と前記フォーカスリングに接する部分に熱伝達媒体を備えた冷却リングであり、当該冷却リングは、絶縁被覆を有するペルチェ素子であることを特徴とする基板支持装置。 - 前記請求項1において、
前記電極ブロック部は、被処理基板が載置される位置に第1の冷媒流路を備え、前記フォーカスリングが設けられる位置に第2の冷媒流路を備え、前記第1の冷媒流路と前記第2の冷媒流路間に、断熱層を備えたことを特徴とした基板支持装置。
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