JP6556046B2 - プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
図1は、プラズマ処理装置1全体の概略構成の一例を模式的に示す断面図である。本実施形態におけるプラズマ処理装置1は、例えば容量結合型平行平板プラズマエッチング装置である。プラズマ処理装置1は、例えば表面が陽極酸化処理されたアルミニウムによって形成された略円筒状のチャンバ10を有する。チャンバ10は保安接地されている。
ここで、プラズマ処理時間と半導体ウエハWの被処理面に形成されるホールの傾斜角度との関係について説明する。図4は、フォーカスリング24aの消耗に伴うイオンの入射方向の傾きの変化を示す説明図である。フォーカスリング24aが消耗していない場合には、例えば図4(a)に示すように、フォーカスリング24aの上方のプラズマシースは、半導体ウエハWの上方のプラズマシースよりも例えば高い位置に形成される。この場合、半導体ウエハWの周縁部(エッヂ)付近では、プラズマ中のイオンが半導体ウエハWの被処理面の周縁部の方向に斜めに傾いて入射する。エッチングでは、イオンの入射方向に沿ってホールが形成される。そのため、半導体ウエハWの被処理面の周縁部付近に形成されるホールの深さ方向の形状は、鉛直方向に対して半導体ウエハWの被処理面の周縁部の方に斜めに傾いた形状となる。
次に、エッヂDCとホールの傾斜角度θとの関係について説明する。図6は、センターDCおよびエッヂDCの組合せ毎のホールの傾斜角度θの測定結果の一例を示す図である。図6の測定結果を参照すると、第2の電極板35に印加される負の直流電圧であるエッヂDCの絶対値が増加するほど、ホールの傾斜角度θが正の方向に増加していることが分かる。第2の電極板35に印加される負の直流電圧の絶対値を増加させると、例えば図7に示すように、フォーカスリング24aの上方のプラズマシースが第2の電極板35の方向、即ち、上方に移動する。図7は、第2の電極板35に印加される負の直流電圧の絶対値を増加させた場合のプラズマシースの位置の変化の一例を示す図である。そのため、イオンの入射方向が半導体ウエハWの被処理面の周縁部の方向に傾き、イオンの入射により形成されたホールの傾斜角度θが正の方向に傾いたと考えられる。
次に、エッヂDCの値を決定するために用いられる第1のテーブルの作成方法について説明する。まず、プラズマ処理時間に対するホールの傾斜角度θが測定される。例えば、実際に複数の半導体ウエハWに対してエッチング処理が行われ、プラズマ処理の累積時間毎の半導体ウエハWについて、半導体ウエハWに形成されたホールの傾斜角度θが測定される。なお、他の例として、プラズマ処理の累積時間に応じた消耗量分、高さが低くなるように加工されたフォーカスリング24aを用いて、半導体ウエハWに対してエッチング処理が行われ、半導体ウエハWに形成されたホールの傾斜角度θが測定されてもよい。
次に、エッヂDCの値を決定するために用いられる第2のテーブルの作成方法について説明する。まず、例えば図6に示したように、センターDCとエッヂDCの組合せ毎に、ホールの傾斜角度θが測定される。そして、センターDCの値毎に、エッヂDCに対するホールの傾斜角度θの測定結果から、エッヂDCの電圧変化に対する傾斜角度θの変化量が算出される。エッヂDCに対するホールの傾斜角度θの測定値を図示すると、例えば図11のようになる。図11は、エッヂDCの電圧変化に対するホールの傾斜角度の変化の一例を示す図である。図11の測定結果において、センターDCは−150Vである。図11の例では、エッヂDCの電圧変化に対する傾斜角度θの変化量は、10V当たり0.007degであった。
図13は、プラズマ処理装置1によって実行されるエッヂDCの制御処理の一例を示すフローチャートである。なお、図13に示すフローチャートの開始前に、半導体ウエハWがチャンバ10内に搬入され、チャンバ10内に処理ガスが供給され、チャンバ10内の圧力が所定の圧力に制御される。また、電極支持体38には、処理レシピに規定された負の直流電圧がセンターDCとして印加される。
1 プラズマ処理装置
10 チャンバ
16 載置台
18 静電チャック
18a 上面
24a フォーカスリング
24c 内周面
34 上部電極
35 第2の電極板
35a 内周面
36 第1の電極板
38 電極支持体
39 絶縁性部材
95 制御部
96 ユーザインターフェイス
97 記憶部
970 第1のテーブル
975 第2のテーブル
Claims (7)
- チャンバと、
前記チャンバの内部に設けられ、被処理基板が載置される載置面を有する載置台と、
前記載置面を囲むように前記載置台の周囲に設けられたフォーカスリングと、
前記載置面に対向するように前記載置台の上方に設けられた第1の上部電極と、
前記第1の上部電極を囲むように前記第1の上部電極の周囲に設けられ、第1の上部電極と絶縁された第2の上部電極と
を備えるプラズマ処理装置が、
前記チャンバ内に生成されたプラズマにより、前記載置面に載置された前記被処理基板に所定の処理を施す第1の工程と、
前記第1の工程の経過時間に応じて、前記第2の上部電極に印加される負の直流電圧の絶対値を増加させる第2の工程と
を実行することを特徴とするプラズマ処理方法。 - 前記プラズマ処理装置は、前記第2の工程において、
前記第1の工程の経過時間に対する、前記被処理基板のエッヂ付近のホールの傾斜角度を示す第1のデータと、前記第2の上部電極に印加される負の直流電圧の絶対値に対する、前記被処理基板のエッヂ付近のホールの傾斜角度を示す第2のデータとに基づいて、前記第2の上部電極に印加される負の直流電圧の絶対値を決定することを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理方法。 - 前記第2のデータは、前記第1の上部電極に印加される直流電圧の値毎に作成され、
前記プラズマ処理装置は、前記第2の工程において、
前記第1の上部電極に印加されている直流電圧の値に対応する前記第2のデータを特定し、特定された前記第2のデータと前記第1のデータとに基づいて、前記第2の上部電極に印加される負の直流電圧の絶対値を決定することを特徴とする請求項2に記載のプラズマ処理方法。 - チャンバと、
前記チャンバの内部に設けられ、被処理基板が載置される載置面を有する載置台と、
前記載置面を囲むように前記載置台の周囲に設けられたフォーカスリングと、
前記載置面に対向するように前記載置台の上方に設けられた第1の上部電極と、
前記第1の上部電極を囲むように前記第1の上部電極の周囲に設けられ、第1の上部電極と絶縁された第2の上部電極と、
前記チャンバ内に生成されたプラズマにより前記被処理基板に所定の処理が施される処理時間の経過に応じて、前記第2の上部電極に印加される負の直流電圧の絶対値を増加させる制御を行う制御部と
を備えることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記処理時間に対する、前記被処理基板のエッヂ付近のホールの傾斜角度を示す第1のデータと、前記第2の上部電極に印加される負の直流電圧の絶対値に対する、前記被処理基板のエッヂ付近のホールの傾斜角度を示す第2のデータとを記憶する記憶部をさらに備え、
前記制御部は、
前記第1のデータおよび前記第2のデータを前記記憶部から読み出し、読み出された前記第1のデータおよび前記第2のデータに基づいて、前記第2の上部電極に印加される負の直流電圧の絶対値を決定することを特徴とする請求項4に記載のプラズマ処理装置。 - 前記記憶部は、
前記第1の上部電極に印加される直流電圧の値毎に前記第2のデータを記憶し、
前記制御部は、
前記第1の上部電極に印加されている直流電圧の値に対応する前記第2のデータを前記記憶部が記憶する前記第2のデータの中で特定し、特定された前記第2のデータと前記第1のデータとに基づいて、前記第2の上部電極に印加される負の直流電圧の絶対値を決定することを特徴とする請求項5に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第2の上部電極は、円環状であり、
前記第2の上部電極の内周面は、
前記フォーカスリングの軸線を基準として、前記フォーカスリングの内周面よりも、前記軸線から離れた位置となるように、前記第1の上部電極の周囲に配置されていることを特徴とする請求項4から6のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
Priority Applications (5)
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