JP2016181537A5 - - Google Patents
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- 半導体装置は、
第1のインバータと、
前記第1のインバータと直列接続される第2のインバータと、
を備え、
前記第1のインバータは、
第1のpチャネル型トランジスタと、
第1のnチャネル型トランジスタと、
を備え、
前記第2のインバータは、
第2のpチャネル型トランジスタと、
第2のnチャネル型トランジスタと、
を備え、
前記第1のpチャネル型トランジスタは、
突起半導体層で構成され、第1の方向に沿って伸びる第1の活性領域と、
第2の方向に沿って伸びる第1のゲート電極と、
前記第2の方向に沿って伸び、前記第1の活性領域のソース側と接続される第1の局所接続配線と、
前記第2の方向に沿って伸び、前記第1の活性領域のドレイン側と接続される第2の局所接続配線と、
を備え、
前記第1のnチャネル型トランジスタは、
突起半導体層で構成され、第1の方向に沿って伸びる第2の活性領域と、
第2の方向に沿って伸びる前記第1のゲート電極と、
前記第2の方向に沿って伸び、前記第2の活性領域のソース側と接続される第3の局所接続配線と、
前記第2の方向に沿って伸び、前記第2の活性領域のドレイン側と接続される第4の局所接続配線と、
を備え、
前記第2のpチャネル型トランジスタは、
突起半導体層で構成され、第1の方向に沿って伸びる第3の活性領域と、
第2の方向に沿って伸びる第2のゲート電極と、
前記第2の方向に沿って伸び、前記第3の活性領域のソース側と接続される第5の局所接続配線と、
前記第2の方向に沿って伸び、前記第3の活性領域のドレイン側と接続される第6の局所接続配線と、
を備え、
前記第2のnチャネル型トランジスタは、
突起半導体層で構成され、第1の方向に沿って伸びる第4の活性領域と、
第2の方向に沿って伸びる前記第2のゲート電極と、
前記第2の方向に沿って伸び、前記第4の活性領域のソース側と接続される第7の局所接続配線と、
前記第2の方向に沿って伸び、前記第4の活性領域のドレイン側と接続される第8の局所接続配線と、
を備え、
前記第3の活性領域の数は前記第1の活性領域の数よりも少なく、
前記第4の活性領域の数は前記第2の活性領域の数よりも少ない。 - 請求項1の半導体装置において、
平面視で、互いに隣接する前記第2のpチャネル型トランジスタの第3の活性領域と前記第2のnチャネル型トランジスタの第4の活性領域との間に位置する第5の局所接続配線の部分の長さ(d8)は、互いに隣接する前記第1のpチャネル型トランジスタの第1の活性領域と前記第1のnチャネル型トランジスタの第2の活性領域との間に位置する第1の局所接続配線の部分の長さ(d3)よりも長い。 - 請求項2の半導体装置において、
平面視で、互いに隣接する前記第2のpチャネル型トランジスタの第3の活性領域と前記第2のnチャネル型トランジスタの第4の活性領域との間に位置する第7の局所接続配線の部分の長さ(d8)は、互いに隣接する前記第1のpチャネル型トランジスタの第1の活性領域と前記第1のnチャネル型トランジスタの第2の活性領域との間に位置する第3の局所接続配線の部分の長さ(d3)よりも長い。 - 請求項2の半導体装置において、
平面視で、互いに隣接する前記第2のpチャネル型トランジスタの第3の活性領域と前記第2のnチャネル型トランジスタの第4の活性領域との間に位置する第6の局所接続配線の部分の長さ(d6)は、互いに隣接する前記第1のpチャネル型トランジスタの第1の活性領域と前記第1のnチャネル型トランジスタの第2の活性領域との間に位置する第2の局所接続配線の部分の長さ(d3)よりも長い。 - 請求項4の半導体装置において、
平面視で、互いに隣接する前記第2のpチャネル型トランジスタの第3の活性領域と前記第2のnチャネル型トランジスタの第4の活性領域との間に位置する第8の局所接続配線の部分の長さ(d6)は、互いに隣接する前記第1のpチャネル型トランジスタの第1の活性領域と前記第1のnチャネル型トランジスタの第2の活性領域との間に位置する第4の局所接続配線の部分の長さ(d3)よりも長い。 - 請求項2の半導体装置において、
さらに、前記第1の方向に沿って伸びる第1および第2の電源配線を備え、
前記第1の電源配線は前記第1の局所接続配線と前記第5の局所接続配線とに接続され、
前記第2の電源配線は前記第3の局所接続配線と前記第7の局所接続配線とに接続される。 - 請求項6の半導体装置において、さらに、
前記第1の電源配線から前記第2のnチャネル型トランジスタ側に前記第2の方向に沿って延びる第1の金属配線と、
前記第2の電源配線から前記第2のpチャネル型トランジスタ側に前記第2の方向に沿って延びる第2の金属配線と、
を備え、
前記第1の金属配線は前記第5の局所接続配線の上に平面視で重なるように配置され、ビアを介して前記第5の局所接続配線に接続され、
前記第2の金属配線は前記第7の局所接続配線の上に平面視で重なるように配置され、ビアを介して前記第7の局所接続配線に接続される。 - 請求項7の半導体装置において、さらに、
前記第6の局所接続配線と前記第8の局所接続配線とを接続し、前記第1のゲート電極に接続される第3の金属配線を備える。 - 請求項8の半導体装置において、
前記第3の金属配線は前記第6および第8の局所接続配線の上に平面視で重なるように配置され、ビアを介して前記第6および第8の局所接続配線に接続される。 - 請求項2に半導体装置において、
前記第1のpチャネル型トランジスタは、前記第1の活性領域をN個有し、
前記第2のpチャネル型トランジスタは、前記第3の活性領域を1個有し、
前記第1の活性領域の平面視の幅をd1、隣接する第1の活性領域間の距離をd2、とすると、
d8≦(N−1)(d1+d2)+d3
の関係にある。 - 請求項4に半導体装置において、
前記第1のpチャネル型トランジスタは、前記第1の活性領域をN個有し、
前記第2のpチャネル型トランジスタは、前記第3の活性領域を1個有し、
前記第1の活性領域の平面視の幅をd1、隣接する第1の活性領域間の距離をd2、とすると、
d6≦(N−1)(d1+d2)+d3
の関係にある。 - 請求項1に半導体装置において、
平面視で、前記第1の方向に沿って伸びる第1の電源配線と第2の電源配線との間に、前記第1のpチャネル型トランジスタの第1の活性領域と前記第1のnチャネル型トランジスタの第2の活性領域と前記第2のpチャネル型トランジスタの第3の活性領域と前記第2のnチャネル型トランジスタの第4の活性領域とが配置され、
平面視で、前記第1の電源配線と隣接する前記第2のpチャネル型トランジスタの第3の活性領域の端部から前記第1の電源配線の方向に延伸する前記第5の局所接続配線の長さ(d9)は、前記第1の電源配線と隣接する前記第1のpチャネル型トランジスタの第1の活性領域の端部から前記第1の電源配線の方向に延伸する前記第1の局所接続配線の長さ(d5)よりも長い。 - 請求項12の半導体装置において、
平面視で、前記第1の電源配線と隣接する前記第2のpチャネル型トランジスタの第3の活性領域の端部から前記第1の電源配線の方向に延伸する前記第6の局所接続配線の長さ(d7)は、前記第1の電源配線と隣接する前記第1のpチャネル型トランジスタの第1の活性領域の端部から前記第1の電源配線の方向に延伸する前記第2の局所接続配線の長さ(d4)よりも長い。 - 請求項12に半導体装置において、
前記第1のpチャネル型トランジスタは、前記第1の活性領域をN個有し、
前記第2のpチャネル型トランジスタは、前記第3の活性領域を1個有し、
前記第1の活性領域の平面視の幅をd1、隣接する第1の活性領域間の距離をd2、とすると、
d9=(N−1)(d1+d2)+d5
の関係にある。 - 請求項13に半導体装置において、
前記第1のpチャネル型トランジスタは、前記第1の活性領域をN個有し、
前記第2のpチャネル型トランジスタは、前記第3の活性領域を1個有し、
前記第1の活性領域の平面視の幅をd1、隣接する第1の活性領域間の距離をd2、とすると、
d7=(N−1)(d1+d2)+d4
の関係にある。 - 請求項1に半導体装置において、
前記第3の活性領域は前記第1の活性領域に接続され、
前記第4の活性領域は前記第2の活性領域に接続され、
前記第1の局所接続配線は前記第3の活性領域のソース側と接続され、
前記第3の局所接続配線は前記第4の活性領域のソース側と接続され、
前記第2のゲート電極は、平面視で前記第1の局所接続配線と前記第6の局所接続配線との間および前記第3の局所接続配線と前記第8の局所接続配線との間に配置され、
平面視で、互いに隣接する前記第2のpチャネル型トランジスタの第3の活性領域と前記第2のnチャネル型トランジスタの第4の活性領域との間に位置する第6の局所接続配線の部分の長さ(d6)は、互いに隣接する前記第1のpチャネル型トランジスタの第1の活性領域と前記第1のnチャネル型トランジスタの第2の活性領域との間に位置する第2の局所接続配線の部分の長さ(d3)よりも長い。 - 請求項16の半導体装置において、
平面視で、互いに隣接する前記第2のpチャネル型トランジスタの第3の活性領域と前記第2のnチャネル型トランジスタの第4の活性領域との間に位置する第8の局所接続配線の部分の長さ(d6)は、互いに隣接する前記第1のpチャネル型トランジスタの第1の活性領域と前記第1のnチャネル型トランジスタの第2の活性領域との間に位置する第4の局所接続配線の部分の長さ(d3)よりも長い。 - 請求項16の半導体装置において、
さらに、前記第1の方向に沿って伸びる第1および第2の電源配線を備え、
前記第1の電源配線は前記第1の局所接続配線に接続され、
前記第2の電源配線は前記第3の局所接続配線に接続される。 - 請求項16に半導体装置において、
前記第1のpチャネル型トランジスタは、前記第1の活性領域をN個有し、
前記第2のpチャネル型トランジスタは、前記第1の活性領域を1個有し、
前記第1の活性領域の平面視の幅をd1、隣接する第1の活性領域間の距離をd2、とすると、
d6≦(N−1)(d1+d2)+d3
の関係にある。
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