JP2015042495A - インクジェットヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】ハーモニカタイプのヘッドチップを有するインクジェットヘッドにおいて、各チャネル内の駆動電極と電気的に接続される配線をヘッドチップの後面からそのまま後方に向けて引き出すことができるようにし、多数のチャネル列を並設したヘッドチップであっても薄型化を図ることができ生産性も良好なインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】ヘッドチップ2の後面におけるチャネル22が形成されていない領域に、チャネル22の配列方向に沿うように溝24が設けられ、駆動電極23と電気的に接続された引き出し電極25が、ヘッドチップ2の後面から溝24の内部まで形成されており、絶縁材料上に引き出し電極25と対応する接続配線42を設けてなる配線部材4の一端が溝24内に挿入され、溝24内で接続配線42が引き出し電極25と電気的に接続されることで、駆動電極23が引き出し電極25を経て接続配線42と電気的に接続されている。
【選択図】図2
【解決手段】ヘッドチップ2の後面におけるチャネル22が形成されていない領域に、チャネル22の配列方向に沿うように溝24が設けられ、駆動電極23と電気的に接続された引き出し電極25が、ヘッドチップ2の後面から溝24の内部まで形成されており、絶縁材料上に引き出し電極25と対応する接続配線42を設けてなる配線部材4の一端が溝24内に挿入され、溝24内で接続配線42が引き出し電極25と電気的に接続されることで、駆動電極23が引き出し電極25を経て接続配線42と電気的に接続されている。
【選択図】図2
Description
本発明はインクジェットヘッドに関し、詳しくは、いわゆるハーモニカタイプのヘッドチップからの電極の引き出し構造が改良されたインクジェットヘッドに関する。
従来、圧電素子基板に多数のチャネルを平行に研削すると共に該チャネルを区画する駆動壁に駆動電極を形成し、この駆動電極に電圧を印加することにより駆動壁をせん断変形させ、チャネル内のインクを前面に設けられたノズルから吐出させるせん断モード型のヘッドチップを、チャネルの開口部が前面と後面に配置されたいわゆるハーモニカタイプのヘッドチップとしたインクジェットヘッドが知られている(特許文献1、2)。
このようなハーモニカタイプのヘッドチップは、各チャネル内の駆動電極に対して駆動信号を印加するために、各駆動電極と駆動回路との間を電気的に接続することが難しく、従来から様々な工夫がなされている。
例えば、特許文献1では、2列のチャネル列を有するヘッドチップにおいて、各チャネル内の駆動電極に対し、ヘッドチップの前面を通ってヘッドチップの上面及び下面まで引き出し電極をそれぞれ引き出している。このヘッドチップの後面には、2列の各チャネルに共通にインクを供給する共通インク室を形成するためのインクマニホールドが接合され、そのインクマニホールドの上面及び下面にそれぞれ駆動用ICが設けられており、ヘッドチップの上面及び下面の各引き出し電極と駆動用ICとの間をワイヤーボンディングによって電気的に接続している。この駆動用ICは、インクマニホールドにFPCを接合することによって外部からの信号線と電気的に接続されている。
また、特許文献2では、ヘッドチップの後面にチャネル毎に引き出し電極を配列させ、この引き出し電極に対応する配線が形成された配線基板を、ヘッドチップにおけるチャネル列の並設方向に張り出すようにヘッドチップの後面に接合することにより、各駆動電極を引き出し電極を介して配線基板の配線と電気的に接続するようにしている。配線基板には、各チャネルに対応する位置に開口が形成され、この配線基板の背面側に接合されたインクマニホールドから各チャネル内へのインク供給が可能となるようにしている。
この特許文献2記載のインクジェットヘッド構造では、配線基板をヘッドチップのチャネル列の並設方向側にそれぞれ張り出すように形成することで、最大で4列のチャネル列を有するヘッドチップでも、その両側方に2列ずつのチャネルからの引き出し電極に対応する配線をそれぞれ引き出すことができる。
近年のノズルの高密度化の要求により、このようなハーモニカタイプのヘッドチップを有するインクジェットヘッドでは、チャネル列数をさらに増加させることが必要になってきている。このため、4列のチャネル列のみならず、さらに5列以上のチャネル列を有するインクジェットヘッドが要求されている。
しかしながら、特許文献1記載の技術では、2列のチャネル列の各チャネルから引き出された引き出し電極を、ヘッドチップの上面及び下面にそれぞれ分けて形成しているため、3列以上のチャネル列を有するヘッドチップを構成することは困難である。
一方、特許文献2記載の技術も、4列のチャネル列を有するヘッドチップを構成することは可能であるが、3列以上のチャネル列に対応する配線をヘッドチップの同一方向に引き出させることは困難であり、5列以上のチャネル列を有するヘッドチップに適用することは困難である。
5列以上のチャネル列を有するインクジェットヘッドは、特許文献1、2記載のヘッドチップを複数並設することによって構成することも考えられる。しかし、この場合、各チャネルからヘッドチップの外部まで引き出された配線が邪魔をしてしまい、各ヘッドチップ間の間隔を密にして並設させることができない。インクジェットヘッドは、走査方向に薄いことが求められるが、ヘッドチップを密に並設させることができないために、多数のチャネル列を有するヘッドチップの薄型化を図ることが困難であるという問題があった。
しかも、ハーモニカタイプのヘッドチップは、チャネル列が並設された一枚の大判のチャネル基板からフルカットすることによって、同一形状のヘッドチップ製品を多数個製造することができるというメリットを有しているが、特許文献1、2記載のヘッドチップを複数並設する場合、2〜4列のチャネル列からなるヘッドチップ毎に配線を接続させた後、その配線付きのヘッドチップ同士を複数並設しなくてはならず、5列以上のチャネル列を有するヘッドチップを大判のチャネル基板から一度にフルカットして得ることができず、生産性が悪くなるという問題もある。
そこで、本発明は、ハーモニカタイプのヘッドチップを有するインクジェットヘッドにおいて、各チャネル内の駆動電極と電気的に接続される配線を、ヘッドチップの後面からそのまま後方に向けて引き出すことができるようにし、多数のチャネル列を並設したヘッドチップであっても薄型化を図ることができ、生産性も良好なインクジェットヘッドを提供することを課題とする。
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
1.圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共に前面及び後面にそれぞれチャネルの出口と入口とが配置され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁の壁面に駆動電極が形成されてなるヘッドチップを有し、前記駆動電極に電圧を印加することにより前記駆動壁を変形させ、前記チャネル内のインクを前記ヘッドチップの前面に配置されたノズルから吐出させるようにしたインクジェットヘッドにおいて、
前記ヘッドチップの後面における前記チャネルが形成されていない領域に、前記チャネルの配列方向に沿うように溝が設けられ、前記駆動電極と電気的に接続された引き出し電極が、前記ヘッドチップの後面から前記溝の内部まで形成されており、
絶縁材料上に前記引き出し電極と対応する接続配線を設けてなる配線部材の一端が前記溝内に挿入され、該溝内で前記接続配線が前記引き出し電極と電気的に接続されることで、前記駆動電極が前記引き出し電極を経て前記接続配線と電気的に接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
前記ヘッドチップの後面における前記チャネルが形成されていない領域に、前記チャネルの配列方向に沿うように溝が設けられ、前記駆動電極と電気的に接続された引き出し電極が、前記ヘッドチップの後面から前記溝の内部まで形成されており、
絶縁材料上に前記引き出し電極と対応する接続配線を設けてなる配線部材の一端が前記溝内に挿入され、該溝内で前記接続配線が前記引き出し電極と電気的に接続されることで、前記駆動電極が前記引き出し電極を経て前記接続配線と電気的に接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
2.前記配線部材は、前記溝内に配置された前記接続配線上に半田電極を有し、該半田電極が溶融されることによって該接続配線と前記引き出し電極とが電気的に接続されていることを特徴とする前記1記載のインクジェットヘッド。
3.前記ヘッドチップは、5列以上のチャネル列を有することを特徴とする前記1又は2記載のインクジェットヘッド。
本発明によれば、ハーモニカタイプのヘッドチップを有するインクジェットヘッドにおいて、各チャネル内の駆動電極と電気的に接続される配線を、ヘッドチップの後面からそのまま後方に向けて引き出すことができ、多数のチャネル列を並設したヘッドチップであっても薄型化を図ることができ、生産性も良好なインクジェットヘッドを提供することができる。
本発明に係るインクジェットヘッドは、圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共に前面及び後面にそれぞれチャネルの出口と入口とが配置され、チャネル内に臨む駆動壁の壁面に駆動電極が形成されてなるヘッドチップを有する。このようなヘッドチップは、六面体からなるいわゆるハーモニカタイプのヘッドチップであり、駆動電極に電圧を印加することにより駆動壁をくの字状に変形させ、チャネル内に供給されたインクに吐出のための圧力変化を与え、ヘッドチップの前面に配置されたノズルからインク滴として吐出させる。
本発明では、このようなハーモニカタイプのヘッドチップにおいて、ノズルが配置されてインクが吐出される側の面を「前面」、その反対側の面を「後面」と定義する。また、ヘッドチップにおいてチャネル列を挟んで対向する外側面をそれぞれ「上面」、「下面」と定義する。
本発明は、このようなヘッドチップの後面におけるチャネルが形成されていない領域に、チャネルの配列方向に沿うように溝が設けられる。ヘッドチップの後面におけるチャネルが形成されていない領域とは、チャネルの入口が配列されている領域以外の領域である。溝は、チャネルの入口が配列されている領域に隣り合う領域に、該チャネルの配列方向と平行に設けられることが好ましい。
溝の長さは、チャネルの配列方向に沿うヘッドチップの幅と同一とすることが好ましい。溝の幅は、ヘッドチップの後面における溝の形成領域の幅及び後述する配線部材の厚みに応じて適宜決められる。また、溝の深さは、200〜800μmとすることができる。
引き出し電極は、チャネル毎に独立して形成されており、その一端が、チャネル内に臨む駆動壁に設けられた駆動電極と電気的に接続されている。引き出し電極は、各チャネルから該チャネルの入口に隣接するヘッドチップの後面を通り、他端が溝の内部に至るまで形成されている。各引き出し電極は、溝の内部においても短絡しないようにチャネル毎に独立している。
この溝内には配線部材の一端が挿入される。配線部材は、絶縁材料上に、各引き出し電極と対応する接続配線が、各引き出し電極と同ピッチで設けられている。この配線部材が溝内に挿入されることで、配線部材上の接続配線が引き出し電極と電気的に接続される。これにより、各チャネル内の駆動電極は、ヘッドチップの後面の引き出し電極を経て、配線部材上の接続配線と電気的に接続される。配線部材は、ヘッドチップの後面に設けられた溝内に一端が挿入されることで、該ヘッドチップの後面に対して垂直方向に延びるため、その他端を、そのままヘッドチップの後方に延ばした状態とすることができる。
このため、本発明によれば、各チャネル内の駆動電極と電気的に接続される接続配線を、ヘッドチップの後面からそのまま後方に向けて引き出すことができ、ヘッドチップの上面や下面に張り出すことはない。また、ヘッドチップの上面や下面には何ら電極は形成されないため、チャネル列を多数並設しても、薄型のヘッドチップとすることができる。
特に注目すべきは、本発明は、たとえチャネル列が5列以上であっても、5列以上のチャネル列を備えた大判のチャネル基板からフルカットすることによって、一度に5列以上のチャネル列を有するヘッドチップを作製することができるため、生産性も良好なインクジェットヘッドとすることができる。
従って、本発明の効果は、ヘッドチップが5列以上のチャネル列を有するものである場合、特に顕著となる。
本発明において、溝は、チャネル列と一対一に対応させて設けることもできるが、複数列のチャネル列を有するヘッドチップの場合は、複数のチャネル列の各チャネルからの引き出し電極の他端を、それぞれ1本の溝の内部まで引き出し形成することもできる。この溝は複数のチャネル列の間に配置され、各引き出し電極は、溝の両側からそれぞれ該溝の内部に至るように形成される。従って、この溝内に挿入される配線部材は、絶縁材料の両面に接続配線が形成される。
本発明において、配線部材を形成する絶縁材料は特に問わないが、フレキシブルな材料であることが好ましく、例えばポリイミド、アラミド、ポリエチレンテレフタレート等の樹脂フィルムが挙げられる。特に、強度が高くて薄くても強度を保つことができるアラミドフィルムが好適である。絶縁材料の厚さは、3〜100μmが適当である。
配線部材上の接続配線と引き出し電極とは、溝内において確実に電気的に接続させる必要がある。溝内における接続配線と引き出し電極との電気的接続を得るには、一般に導電性接着剤を用いて行うことができるが、配線部材は、溝内において、接続配線の形成面と反対面側に充填材料を設け、この充填材料によって配線部材を引き出し電極側に圧接し、接続配線と引き出し電極とが電気的に接続されるようにすることもできる。
このような充填材料は、加熱によって発泡して膨張する発泡樹脂材料であることが好ましい。この発泡樹脂材料は、加熱されることによって発泡する発泡剤(発泡カプセル)等を添加してなる樹脂材料であり、溝内に挿入された配線部材における接続配線の形成面と反対面側に充填された後、加熱により発泡剤を発泡させて膨張させることで、配線部材に対して引き出し電極側に圧接する圧接力を効果的に作用させることができ、接続配線と引き出し電極とを密に接触させて確実な電気的接続を図る。
発泡樹脂材料の一例として、松本油脂製薬株式会社の熱膨張性マイクロカプセルを用いることができる。マイクロカプセルの平均粒子径及び充填材料のベースポリマーは特に制限されないが、溝の幅と配線部材の厚さから適宜選択することができる。例えば平均粒子径は5〜50μmの範囲から選択できる。発泡倍率は2〜10倍の範囲から選択できる。ベースポリマーとしてはエポキシ樹脂を選択できる。
この他の方法として、配線部材には、溝内に配置された接続配線上に半田電極を設けておくこともできる。このような配線部材の一端を溝内に挿入し、加熱して半田電極を溶融することによって、接続配線と引き出し電極との確実な電気的接続を図ることができる。
ヘッドチップの後面には、各チャネルに対して共通にインクを供給する共通インク室を形成するインクマニホールドが設けられる。このとき、ヘッドチップの後面の溝は、このインクマニホールドを避けて設けることもできるが、ヘッドチップ後面の共通インク室内に臨む領域に設けることにより、配線部材が、溝から共通インク室の内部を経由して該インクマニホールドを貫通するように延びて設けられるようにすることもできる。
次に、本発明に係るインクジェットヘッドの具体例について図面を用いて説明する。
図1はインクジェットヘッドの一実施形態を示す斜視図、図2はその部分断面図、図3はヘッドチップの後面のみを部分的に示す図である。
本実施形態に示すインクジェットヘッド1は、ヘッドチップ2、ノズルプレート3、配線部材4及びインクマニホールド5を有している。
ヘッドチップ2は、六面体からなるハーモニカタイプのヘッドチップであり、圧電素子からなる駆動壁21とチャネル22とが交互に並設されており、前面2aには各チャネル22の出口が開口し、後面2bには各チャネル22の入口が開口している。本実施形態に示すヘッドチップ2は、多数の駆動壁21と多数のチャネル22とが並設されてなるチャネル列が6列となるように図示上下方向に平行に配列されている。本実施形態では、ヘッドチップ2の図示上下方向となるチャネル列の並設方向の寸法は10.860mm、チャネル22の図示上下方向の高さは310μm、チャネル22の幅は70μm、駆動壁21の幅は70μmとした。
なお、図2では、図示上下方向に平行に配列されたチャネル列のうちの下半分の3列分のみを示している。インクジェットヘッド1は、図2中のx−x線を中心にして上下対称である。
チャネル22内の臨む駆動壁21には、それぞれ駆動電極23が形成されている。また、ヘッドチップ2の後面2bには、チャネル列の各チャネル22の配列方向と平行に、ヘッドチップ1の幅に亘る溝24が形成されている。本実施形態では、6列のチャネル列のうちの、端部から数えてそれぞれ2列ずつのチャネル列を1組とし、各組毎の2列のチャネル列の間にそれぞれ溝24が形成されることにより、合計3本の溝24を有している。ここでは、溝24の幅は82μm、深さは300μmとした。
引き出し電極25は、各チャネル22と一対一に対応し、該チャネル22内からそのチャネル22に隣り合っている溝24に亘って形成されている。すなわち、引き出し電極25は、その一端が各チャネル22内の駆動電極23と電気的に接続されており、各チャネル22内からヘッドチップ2の後面2bを通って、他端が溝24内の対向する側壁面24aに配置されている。
本実施形態では、1本の溝24内には、その両側にそれぞれ配置される各チャネル22からの引き出し電極25の他端が配置されるため、溝24の両側壁面24aに、それぞれ引き出し電極25の他端が、各チャネル22の配列ピッチと同ピッチで配列されている。
各配線部材4は、この溝24内に一端が挿入されることで、他端側がそれぞれヘッドチップ2の後面2bに対して垂直方向となるヘッドチップ2の後方に向けて延びている。このため、ヘッドチップ2の後面2b以外のいずれの面にも配線が張り出すことはない。
配線部材4は、絶縁材料からなる基板41の表面に、溝24内に配列された引き出し電極25と同ピッチで接続配線42が配列されている。ここでは、溝24の両側壁面24aに配列された各引き出し電極25に対応するべく、1枚の基板41が2つ折りにされ、その外側のそれぞれの表面に接続配線42が配列された配線部材4とされ、その2つ折り部側の端部が、溝24内に挿入されている。この挿入時、各引き出し電極25と、これに対応する各接続配線42とが一致するように位置合わせされる。
溝24内において、2つ折りにされた配線部材4の基板41の間に発泡樹脂材料43が充填されている。これにより、配線部材4は、発泡樹脂材料43が加熱されて発泡した際の膨張による押圧力が利用されることによって、各基板41が互いに離反する方向に押しやられ、その表面の各接続配線42を対応する引き出し電極25に圧接している。これにより各引き出し電極25と各接続配線42との確実な電気的接続が図られている。発泡樹脂材料43は、発泡による膨張力を利用して接続配線42と引き出し電極25とを圧接させるため、適度な圧接力を生み出し、ヘッドチップ2に破損を生じさせるおそれはない。この電気的接続をさらに確実にする目的で、各引き出し電極25と各接続配線42との間に異方導電性接着剤を介在させてもよい。
半田電極を用いて電気的接続を得る場合は、図4に示すように、溝24内に配置される接続配線42の端部上に半田電極44を形成しておき、この配線部材4を位置合わせして溝24内に挿入した後、加熱して半田電極44を溶融させることにより、引き出し電極25と電気的に接続させればよい。この半田電極44を用いる態様においても、接続電極42の形成面と反対側の面に発泡樹脂材料を充填しておき、加熱時に発泡させて半田電極44を引き出し電極25に圧接させることで、溶融した半田電極44が引き出し電極25に対してより確実に接続されるようにしてもよい。
インクマニホールド5は、本実施形態では、ヘッドチップ2の両端部に位置する1列ずつのチャネル列に対してそれぞれ1つずつ設けられ、また、その内側の4列のチャネル列には、隣接する2列ずつのチャネル列に対してそれぞれ1つずつ設けられており、合計4つのインクマニホールド5がヘッドチップ2の後面2bに接合されている。
各インクマニホールド5には、内部に、対応するチャネル22に共通にインクを供給するための共通インク室51が形成されており、不図示のインク供給口からインクが供給されることで、インクが貯留される。各インクマニホールド5には、それぞれ同一色のインクが供給されるようにしてもよいし、各インクマニホールド5でインク色を分けるようにしてもよい。
本実施形態では、4つのインクマニホールド5の間に位置するヘッドチップ2の後面2bにそれぞれ溝24が設けられ、各溝24から配線部材4が後方に延びているため、各配線部材4は、これらインクマニホールド5の間に配置される。これにより、引き出し電極25と接続配線42との接続部位はインクに触れることがなく、使用するインクの種類を選ばない。
インクマニホールド5のヘッドチップ2との接合部側は、ここでは500μm厚の複数枚の基板52〜55が積層されることによって形成されている。このうちの1枚の基板53は、各配線部材4を、両側から挟着するように設けられている。これにより、各配線部材4は、溝24内に挿入されている一端近傍が基板53によって支持され、溝24との接続状態が保持されている。
次に、このヘッドチップ2を製造する方法の一例について、図5〜図8を用いて説明する。
駆動壁21とチャネル22とが研削されると共に各チャネル22内に駆動電極23が形成された2枚の圧電素子基板201を、1枚のカバー基板202に、各チャネル22が対向するように積層し、2列のチャネル列を有するチャネル基板203を作製する(図5(a))。
圧電素子基板201において、各駆動電極23は、各チャネル22内の両側面及び底面に形成されている。
次いで、この2列のチャネル基板203を2つ接合して4列のチャネル列のチャネル基板203、203とし(図5(b))、このチャネル基板203、203の両側に、図5(c)のように1枚のカバー基板202に1枚の圧電素子基板201を積層してなる1列のチャネル列を有するチャネル基板204を、それぞれ圧電素子基板201側がチャネル基板203の圧電素子基板201と接するようにして接合することで、6列のチャネル列となる大判のチャネル基板205を作製する(図6)。
そして、この大判のチャネル基板205を、チャネル22の長さ方向と直交する方向に沿う複数のカットラインc、c・・・に沿って切断(フルカット)することにより、6列のチャネル列を有するヘッドチップ2、2・・・を一度に作製する。カットラインc、c・・・の間隔は、ヘッドチップ2のチャネル22の駆動長さを決定する。
このようにして作製された6列のチャネル列を有するヘッドチップ2の後面2bに対し、チャネル基板204とこれに隣接するチャネル基板203との間及びチャネル基板203同士の間に、それぞれダイシングブレード100を用いて、チャネル列に沿う溝24を研削する(図7)。
次いで、この溝24付きのヘッドチップ2の後面2bに、図8に示すように引き出し電極25を形成する。図8(a)〜(d)において、左図は、ヘッドチップ2の一つの溝24分の拡大断面図、右図は、それを後面側から見た図である。
まず、溝24が形成されたヘッドチップ2の後面2bの全面にドライフィルム300を貼着し、公知の露光・現像処理によって、各チャネル22(図8においては図示せず)から溝24に至る引き出し電極25の形成領域301を開口させる(図8(a))。
このヘッドチップ2の後面2bに対し、電極形成材料を蒸着することで、金属膜400を形成する(図8(b))。
蒸着は、各チャネル22内の駆動電極23との電気的接続を確実にすると共に、溝24内の両側壁面24aにも確実に金属膜400が形成されるように、ヘッドチップ2の後面2bに対して方向を変えて2度行うことが好ましい。具体的には、後面2bに垂直な方向から、チャネル列の並設方向に沿う上下に各30度の方向から行う。蒸着の角度と溝深さと幅は、図8(c)に示されるように、溝24の底部で両側壁面24a上の金属膜400がつながらないように選択される。
また、蒸着法に代えてスパッタリング法によって行ってもよい。スパッタリング法は、飛来する金属粒子の方向がランダムなため、特に方向を変えなくてもチャネル22の内部及び溝24の内部まで金属膜400を形成できるので好適である。スパッタリング法の場合も、溝深さと幅及びスパッタ成膜条件は、図8(c)に示されるように、溝24の底部で両側壁面24a上の金属膜400がつながらないように選択される。
金属膜400の形成後、溶剤でドライフィルム300を溶解剥離することで、ドライフィルム300上に形成されていた金属膜400は除去される。これにより、ヘッドチップ2の後面2bには、各チャネル22内から溝24内に亘る引き出し電極25のみが、チャネル22毎に独立して配列形成される(図8(c))。
次いで、この溝24内に、それぞれ接続配線42が基板41上に形成された配線部材4の一端を位置合わせして挿入する。2つ折りにされた基板41、41間には発泡樹脂材料43が充填され、これを加熱発泡させて膨張させることで、各接続配線42を引き出し電極25に圧接し、電気的接続を図る(図8(d))。
この後、ヘッドチップ2の前面2aには、チャネル22に対応する位置にノズル31が形成されたノズルプレート3を接合し、後面2bには、インクマニホールド5を接合することにより、インクジェットヘッド1が完成する(図1参照)。
以上説明した実施形態は、6列のチャネル列に対して3本の溝24が設けられたヘッドチップ2の例であるが、ヘッドチップ2には、図9に示すように、チャネル列に一対一に対応するように溝24を設けるようにしてもよい。このようなヘッドチップ2は、1列のチャネル列のみを有するものであってもよいし、2列以上のチャネル列を有するものであってもよいことはもちろんである。2列以上のチャネル列を有するヘッドチップ2であっても、配線部材4は、ヘッドチップ2の後面2bからそのまま後方に延びるように設けることができるため、ヘッドチップ2の薄型化を図ることができると共にヘッドチップ2を大判のチャネル基板から一度にフルカットして作製することができる効果は何ら変わりなく得ることができる。
また、以上説明した実施形態は、2列のチャネル列の間に1本の溝24が配置されるようにした。すなわち、1本の溝24の内部には、その片側に配置される1列のチャネル列の各チャネル22内から引き出される引き出し電極25の他端が配置される。しかし、本発明において、1本の溝24の内部には、その片側に配置される2列以上のチャネル列の各チャネル22内から引き出される引き出し電極25の他端が配置されるようにしてもよい。
図10は、1本の溝24の両側に2列ずつのチャネル列が配置され、合計4列のチャネル列の各チャネル22内から引き出される引き出し電極25の他端が配置されるように形成したヘッドチップ2の例を示している。溝24の片側の2列ずつのチャネル列の各チャネル22は、それぞれ1/2ピッチずれて配列されており、外側のチャネル列の各チャネル22内からの引き出し電極25は、内側のチャネル列の各チャネル22の間を通過し、更に、その内側のチャネル列の各チャネル22内からの引き出し電極25のピッチ間を通過して、溝24の内部に至るように形成されている。
これによれば、チャネル列数に対する溝の本数を削減できるため、それだけ溝加工作業の工数及び配線部材の接続作業を削減できるようになる。
1本の溝の内部に引き出し電極を配列させることができるチャネル列の数は、溝の内部及び配線部材に、短絡が生じるおそれなく引き出し電極及び接続配線を配列可能であれば、4列に限らず、5列以上とすることもできる。
図11は、インクマニホールド5の他の配設態様を有する実施形態を示している。
この実施形態では、ヘッドチップ2の後面2bに形成された溝24が内部の共通インク室51内に臨むようにインクマニホールド5を設けている。すなわち、溝24内に挿入された配線部材4は、ヘッドチップ2の後面2bからそのまま共通インク室51の内部を経由し、インクマニホールド5の後部壁面5aを貫通するように延びている。インクマニホールド5の後部壁面5aには、配線部材4を通過可能とするスリット状の貫通部5bが形成されており、シール材によって配線部材4を液密状に固定している。
これにより、配線部材4をインクマニホールド5の後部壁面5aによって支持することができる。また、複数列のチャネル列を有するヘッドチップ2であっても、溝24の配設位置及び数にかかわらずにインクマニホールド5を設けることができる。
1:インクジェットヘッド
2:ヘッドチップ
2a:前面
2b:後面
21:駆動壁
22:チャネル
23:駆動電極
24:溝
24a:溝の側壁面
25:引き出し電極
3:ノズルプレート
31:ノズル
4:配線部材
41:基板
42:接続配線
43:発泡樹脂材料
44:半田電極
5:インクマニホールド
5a:後部壁面
5b:貫通部
51:共通インク室
52〜55:基板
2:ヘッドチップ
2a:前面
2b:後面
21:駆動壁
22:チャネル
23:駆動電極
24:溝
24a:溝の側壁面
25:引き出し電極
3:ノズルプレート
31:ノズル
4:配線部材
41:基板
42:接続配線
43:発泡樹脂材料
44:半田電極
5:インクマニホールド
5a:後部壁面
5b:貫通部
51:共通インク室
52〜55:基板
Claims (3)
- 圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共に前面及び後面にそれぞれチャネルの出口と入口とが配置され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁の壁面に駆動電極が形成されてなるヘッドチップを有し、前記駆動電極に電圧を印加することにより前記駆動壁を変形させ、前記チャネル内のインクを前記ヘッドチップの前面に配置されたノズルから吐出させるようにしたインクジェットヘッドにおいて、
前記ヘッドチップの後面における前記チャネルが形成されていない領域に、前記チャネルの配列方向に沿うように溝が設けられ、前記駆動電極と電気的に接続された引き出し電極が、前記ヘッドチップの後面から前記溝の内部まで形成されており、
絶縁材料上に前記引き出し電極と対応する接続配線を設けてなる配線部材の一端が前記溝内に挿入され、該溝内で前記接続配線が前記引き出し電極と電気的に接続されることで、前記駆動電極が前記引き出し電極を経て前記接続配線と電気的に接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記配線部材は、前記溝内に配置された前記接続配線上に半田電極を有し、該半田電極が溶融されることによって該接続配線と前記引き出し電極とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。
- 前記ヘッドチップは、5列以上のチャネル列を有することを特徴とする請求項1又は2記載のインクジェットヘッド。
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