JP5413249B2 - 液体噴出装置 - Google Patents

Description

本発明は液体噴出装置に関し、詳しくは、いわゆるハーモニカタイプのヘッドチップからの電極の引き出し構造が改良され、高密度化及び小型化を図ることのできる液体噴出装置に関する。

従来、せん断モード型のいわゆるハーモニカタイプのヘッドチップを有する液体噴出装置が知られている。このようなヘッドチップは、圧電素子基板に多数のチャネルを平行に研削すると共に該チャネルを区画する駆動壁に駆動電極を形成し、この駆動壁の両側の駆動電極に駆動回路からの所定の電圧を印加することにより該駆動壁をせん断変形させ、チャネル内の液体を前面に設けられたノズルから吐出させる。ヘッドチップは六面体からなり、チャネルの開口部が前面と後面とに配置されているためにハーモニカタイプと呼ばれている。このような液体噴出装置は、インクジェット画像を記録するインクジェットプリンタ、半導体の回路パターンを印刷する半導体製造装置、液晶パネルのカラーフィルタの製造装置等に広く利用されている。

ところで、ハーモニカタイプのヘッドチップは、駆動電極がチャネル内にあるため、駆動電極と駆動回路とを電気的に接続することが難しい。このため従来から様々な工夫がなされている。

例えば、特許文献１には、ヘッドチップに形成された２列のチャネル列の各チャネル内の駆動電極と電気的に接続された引き出し電極をヘッドチップの後面に形成し、この引き出し電極に対応する配線を配列形成したプリント基板を、ヘッドチップの後面に、各電極と各配線とが電気的に接続するように位置決めして接合する技術が提案されている。プリント基板は剛性を有する材料で形成され、ヘッドチップの後面よりも大きな面積を有しており、ヘッドチップの周囲から側方に大きく張り出すように設けられている。プリント基板には、ヘッドチップの各チャネルに対して後面側から液体を供給可能とするための開口が形成されており、この開口の周囲に配線の端部が配列され、ヘッドチップの後面に形成された引き出し電極と電気的に接続されるようになっている。

また、特許文献２には、内側のチャネル列の各チャネルから引き出された電極を、外側のチャネル列の空気チャネルを跨いでヘッドチップの端部に引き出す技術が提案されている。ヘッドチップの端部に引き出された電極は、ヘッドチップの後面に接合される配線基板によってヘッドチップの側方に張り出すように引き出され、その張り出した配線基板の端部においてＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）によって駆動回路と電気的に接続している。この技術によれば、４列のチャネル列を有するヘッドチップでも、両端部に２列ずつのチャネル列からの各電極を引き出すことができる。

特開平１１−３０９８６２号公報 特開２００８−１４３１６７号公報

近年の高密度化、小型化の要求により、液体噴出装置のチャネル列数をさらに増加させることが必要になってきている。このため、４列のチャネル列のみならず、さらに５列以上のチャネル列を有する液体噴出装置も要望されている。

しかしながら、特許文献１記載の技術では、３列以上のチャネル列を有するヘッドチップを構成することは困難である。３列以上のチャネル列を有するヘッドチップの場合、外側のチャネル列に挟まれた内側のチャネル列の各引き出し電極とプリント基板上の配線とを電気的に接続することが構造上難しいためである。

一方、特許文献２記載の技術では、４列までのチャネル列を有するヘッドチップに適用することは可能であるが、５列以上のチャネル列を有するヘッドチップには適用できない。

また、特許文献１、２に記載の２列又は４列のチャネル列を有する液体噴出装置を複数並設することによって、５列以上のチャネル列を有する液体噴出装置を構成することでチャネル列の多列化を図ることが考えられるが、ヘッドチップの側方に張り出すように設けられたプリント基板や配線基板が邪魔をしてしまい、ヘッドチップの間隔を密にして並設させることができず、小型化の要請を満足させるには十分でない。

しかも、ハーモニカタイプのヘッドチップは、チャネル列が並設された一枚の大判のチャネル基板からフルカットすることによって、同一形状のヘッドチップ製品を多数個製造することができるというメリットを有しているが、特許文献１、２記載の液体噴出装置を複数並設して５列以上の多列のチャネル列とする場合では、５列以上のチャネル列を有するヘッドチップを大判の１つのチャネル基板から一度にフルカットして作製することができず、生産性の観点からも問題がある。

以上のような問題は、各チャネル内の駆動電極に一端が電気的に接続されてヘッドチップの後面に引き出された引き出し電極に対し、電気的に接続される外部配線（ＦＰＣ等）を全てヘッドチップの側方に張り出すように設けていることに原因があると考えられる。

そこで、本発明は、ハーモニカタイプのヘッドチップを有する液体噴出装置において、多列のチャネル列のうちの内側のチャネル列の駆動電極に対して駆動回路からの駆動信号を印加するためのＦＰＣを、ヘッドチップの側方に張り出すことなく、ヘッドチップの後方に向けて延びるように接続できるようにすることにより、高密度化と小型化とを同時に図ることができると共に、生産性も良好な液体噴出装置を提供することを課題とする。

本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。

上記課題は、以下の各発明によって解決される。

請求項１記載の発明は、圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されたチャネル列が複数並設されていると共に前面及び後面にそれぞれチャネルの出口と入口とが配置され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁の壁面に駆動電極が形成されてなるヘッドチップを有し、前記駆動電極に電圧を印加することにより前記駆動壁を変形させ、前記チャネル内の液体を前記ヘッドチップの前面に配置されたノズルから吐出させるようにした液体噴出装置において、
前記ヘッドチップの後面に、前記チャネル内の前記駆動電極と電気的に接続された第１の引き出し電極が形成されていると共に、前記第１の引き出し電極に対して直接的に又は間接的にＦＰＣの一端が電気的に接続されており、
前記ＦＰＣは、前記ヘッドチップの後面における隣接する２列のチャネル列の間から後方に向けて突設された電極引き出し部材の表面に沿って該ヘッドチップの後方に向けて延びていることを特徴とする液体噴出装置である。

請求項２記載の発明は、前記電極引き出し部材は絶縁材料からなり、その表面には、チャネル列に対応する前記第１の引き出し電極と電気的に接続された第２の引き出し電極が設けられることにより、前記チャネル内の前記駆動電極が、前記第１の引き出し電極及び前記第２の引き出し電極によって前記ヘッドチップの後方に向けて引き出されており、
前記第２の引き出し電極の端部に、前記ＦＰＣの一端が電気的に接続されており、
前記第１の引き出し電極と前記ＦＰＣの一端とが、前記第２の引き出し電極を介して間接的に電気的に接続されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴出装置である。

請求項３記載の発明は、前記電極引き出し部材は、前記ヘッドチップの複数のチャネル列のうちの隣接する２列のチャネル列に対応する前記第１の引き出し電極と電気的に接続される前記第２の引き出し電極が、前記ヘッドチップの後面との接合面と該接合面に隣接する相反する２つの側面にそれぞれ形成されており、前記ヘッドチップの後面における前記隣接する２列のチャネル列の間から後方に向けて延びるように突設されていることを特徴とする請求項２記載の液体噴出装置である。

請求項４記載の発明は、前記ヘッドチップの後面に、複数のチャネル列の各チャネルに共通に液体を供給するための共通流路を形成する共通流路部材が設けられ、
前記電極引き出し部材は、前記共通流路部材の後壁を貫通して該共通流路部材の後方に突出し、前記第２の引き出し電極の端部を前記共通流路部材の外部に露出させており、該露出した前記第２の引き出し電極の端部に前記ＦＰＣの一端が電気的に接続されていることを特徴とする請求項２又は３記載の液体噴出装置である。

請求項５記載の発明は、前記ヘッドチップの後面に形成された前記第１の引き出し電極に、前記ＦＰＣの一端が直接的に電気的に接続されており、
前記電極引き出し部材は、前記ヘッドチップの後面に対向する第１の側面及び該第１の側面に隣接して前記ヘッドチップの後方に向けて延びる第２の側面を有し、前記ＦＰＣの一端における前記第１の引き出し電極との接合面の反対面に接合されており、
前記ＦＰＣは、前記電極引き出し部材の前記第１の側面から前記第２の側面に沿って屈曲するように設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴出装置である。

請求項６記載の発明は、前記ＦＰＣは、隣接する２列のチャネル列に対応する前記第１の引き出し電極とそれぞれ電気的に接続された配線を有し、前記ヘッドチップの後面における隣接する２列のチャネル列の間から、前記電極引き出し部材によって後方に向けて延びるように設けられていることを特徴とする請求項５記載の液体噴出装置である。

請求項７記載の発明は、前記ヘッドチップの後面に、複数の前記チャネルに共通に液体を供給するための共通流路を形成する共通流路部材が設けられ、
前記ＦＰＣ及び前記電極引き出し部材は、前記共通流路部材の後壁を貫通して該共通流路部材の後方に突出していることを特徴とする請求項５又は６記載の液体噴出装置である。

本発明によれば、ハーモニカタイプのヘッドチップを有する液体噴出装置において、多列のチャネル列のうちの内側のチャネル列の駆動電極に対して駆動回路からの駆動信号を印加するためのＦＰＣを、ヘッドチップの側方に張り出すことなく、ヘッドチップの後方に向けて延びるように接続でき、高密度化と小型化とを同時に図ることができると共に、生産性も良好な液体噴出装置を提供することができる。

本発明に係る液体噴出装置の一例を示す断面図 ヘッドチップのみを示す部分背面図 配線基板の平面図 電極引き出し部材の部分斜視図 ヘッドチップの製造方法の一例を示す図 ヘッドチップの製造方法の一例を示す図 電極引き出し部材の他の態様を示す図 電極引き出し部材の更に他の態様を示す図 本発明に係る液体噴出装置の他の実施形態を示す部分断面図 本発明に係る液体噴出装置の更に他の実施形態を示すヘッドチップの一部を後面から見た図 本発明に係る液体噴出装置の更に他の実施形態を示す部分断面図 図１１に示す液体噴出装置におけるＦＰＣ及び電極引き出し部材を示す斜視図 図１１に示す液体噴出装置におけるＦＰＣ及び電極引き出し部材の他の態様を示す側面図

本発明に係る液体噴出装置は、圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共に前面及び後面にそれぞれチャネルの出口と入口とが配置され、チャネル内に臨む駆動壁の壁面に駆動電極が形成されてなるヘッドチップを有する。このようなヘッドチップは、前面、後面、上面、下面及び両側面を有する六面体からなるいわゆるハーモニカタイプのヘッドチップであり、駆動壁の両側の駆動電極にそれぞれ電圧を印加することにより該駆動壁をくの字状に変形させ、チャネル内に供給された液体に吐出のための圧力変化を与え、ヘッドチップの前面に配置されたノズルから微小液滴として吐出させる。

本発明では、このようなハーモニカタイプのヘッドチップにおいて、ノズルが配置されて液体が吐出される側の面を「前面」、該面が向いている方向を「前方」、その反対側の面を「後面」、該面が向いている方向を「後方」と定義する。また、ヘッドチップにおいてチャネル列を挟んで対向する外側面をそれぞれ「上面」、「下面」、該面が向いている方向を「側方」と定義する。

本発明におけるヘッドチップには、多数のチャネルが一直線状に配列されることによって構成されるチャネル列が、複数列平行に並設される。

ヘッドチップの後面には、チャネル内に臨む駆動壁の壁面に形成されている駆動電極と電気的に接続された第１の引き出し電極が形成される。各第１の引き出し電極は、一端が各チャネル内の駆動電極と電気的に接続され、他端が隣接するチャネル列との間の非チャネル形成領域に配置される。

本発明は、かかるヘッドチップの後面に形成された第１の引き出し電極に対して、直接的に又は間接的に、ＦＰＣの一端が電気的に接続されており、このＦＰＣは、ヘッドチップの後面における隣接する２列のチャネル列の間から後方に向けて突設された電極引き出し部材の表面に沿って該ヘッドチップの後方に向けて延びている。これにより、複数並設されたチャネル列のうちの内側に位置するチャネル列であっても、各駆動電極に対して駆動信号を印加するためのＦＰＣがヘッドチップの上面又は下面よりも側方に張り出すことはない。

特に、本発明は、ヘッドチップに設けられたチャネル列が５列以上であっても適用可能である。すなわち、５列以上のチャネル列を有する液体噴出装置とするために、１つのヘッドチップに５列以上のチャネル列を設けることが可能である。従って、従来のように最大４列のチャネル列を有する液体噴出装置を複数並設して５列以上のチャネル列を構成する必要はない。このため、本発明に係る液体噴出装置は、チャネル列を多数並設することによる高密度化と同時に小型化を図ることができる。

また、本発明に係る液体噴出装置におけるヘッドチップは、所望のチャネル列数を有するハーモニカタイプのヘッドチップ構造とすることができる。このため、チャネル列が５列以上であっても、５列以上のチャネル列を形成した大判のチャネル基板からフルカットすることによって、一度に５列以上のチャネル列が並設されたハーモニカタイプのヘッドチップを作製することができる。従って、ヘッドチップ自体の生産性も良好な液体噴出装置とすることができる。

本発明の一つの実施形態では、電極引き出し部材は絶縁材料からなり、ヘッドチップの後面に、後方に向けて延びるように突設される。すなわち、電極引き出し部材はヘッドチップの後面に対して垂直方向に突出し、そのまま後方に延びている。電極引き出し部材は好ましくは直方体であり、その幅（チャネル列方向の長さ）は、少なくともチャネル列の長さ以上であり、その厚み（チャネル列方向と直交する方向の長さ）は、該電極引き出し部材を挟んで隣接する２列のチャネル列間の長さ（隣接する２列のチャネル列間の距離）以下とされる。

電極引き出し部材を構成する材料は、絶縁材料であれば特に問わない。絶縁材料の具体例を挙げると、ガラス、セラミックス、合成樹脂がある。セラミックスとしては、アルミナ、窒化アルミ、炭化珪素等が挙げられる。合成樹脂としては、ポリイミド、アラミド、ポリエチレンテレフタレート等が挙げられる。

電極引き出し部材の表面は、ヘッドチップの後面に設けられた第１の引き出し電極と電気的に接続された第２の引き出し電極を有する。これにより、チャネル内の駆動電極は、第１の引き出し電極及び第２の引き出し電極によってヘッドチップの後方に向けて突出するように引き出される。第２の引き出し電極は、電極引き出し部材の表面に、蒸着法やスパッタリング法等の公知の方法によってパターン形成することができる。

第２の引き出し電極は、電極引き出し部材におけるヘッドチップの後面との接合面と、該接合面に隣接してヘッドチップの後方に延びる側面とに亘って形成される。駆動電極と駆動回路との間を電気的に接続するためのＦＰＣは、この電極引き出し部材の側面に設けられた第２の引き出し電極の端部に接続されることによって、第１の引き出し電極に対して間接的に電気的接続され、この電極引き出し部材の側面に沿ってヘッドチップの後方に向けて延びるように設けられる。

これによれば、ヘッドチップの後方に延びる電極引き出し部材上の第２の引き出し電極に対してＦＰＣを接合することができるため、第２の引き出し電極とＦＰＣとの接合領域を広く採ることが可能であり、両者の位置合わせ作業及び接合作業が容易となる効果がある。

チャネル列と電極引き出し部材とは一対一に対応して設けることもできるが、好ましくは、一つの電極引き出し部材に、ヘッドチップの複数のチャネル列のうちの隣接する２列のチャネル列に対応する第１の引き出し電極と電気的に接続される第２の引き出し電極を、ヘッドチップの後面との接合面と該接合面に隣接する相反する２つの側面とに亘ってそれぞれ形成し、ヘッドチップの後面における隣接する２列のチャネル列の間から後方に向けて延びるように突設することである。これにより、隣接する２列のチャネル列の各第１の引き出し電極を、その間に配置される共通の電極引き出し部材の相反する２つの側面を利用してＦＰＣと接続することができ、チャネル列数に対して電極引き出し部材数を削減することができる。

また、一つの電極引き出し部材の表面に、第２の引き出し電極を高密度に形成することにより、該電極引き出し部材を挟んで片側にそれぞれ２列ずつのチャネル列の各第１の引き出し電極との電気的接続を行うようにすることで、更にチャネル列数に対する電極引き出し部材数の削減を図るようにしてもよい。

ヘッドチップの後面に、複数のチャネルに共通に液体を供給するための共通流路を形成する共通流路部材が設けられる場合、電極引き出し部材は、共通流路部材の後壁を貫通して該共通流路部材の後方に突出することで、第２の引き出し電極の端部を共通流路部材の外部に露出させることが好ましい。ＦＰＣは、共通流路部材の後壁から突出した第２の引き出し電極の端部に電気的に接続される。共通流路部材は、電極引き出し部材を間に挟むように配置される各チャネル列の各チャネルに対して共通に液体を供給する。

この態様によれば、電極引き出し部材は、ヘッドチップの後面と共通流路部材の後壁貫通部位との２箇所で固定される。従って、電極引き出し部材は、ヘッドチップの後面に安定且つ確実に固定される。また、電極引き出し部材は、隣接する２つのチャネル列間に存在するため、チャネル列間のクロストークの影響を低減させる効果も得られる。

本発明の他の実施形態では、ヘッドチップの後面に形成された第１の引き出し電極に、他端が駆動回路と電気的に接続されるＦＰＣの一端が、直接的に、電気的接続される。電極引き出し部材は、ヘッドチップの後面に対向する第１の側面及び該第１の側面に隣接してヘッドチップの後方に向けて延びる第２の側面を有しており、ＦＰＣの一端における第１の引き出し電極との接合面の反対面に接合される。そして、このＦＰＣは、電極引き出し部材の第１の側面から第２の側面に沿って屈曲するように設けられる。

このような実施形態に係る液体噴出装置によっても、複数のチャネル列のうちの内側に位置するチャネル列に対応するＦＰＣがヘッドチップの上面又は下面よりも側方に張り出すことはなく、チャネル列を多数並設することによる高密度化と同時に小型化を図ることができ、また、所望のチャネル列数を有するヘッドチップを、大判のチャネル基板からフルカットすることにより作製することができる。

加えて、ヘッドチップの後面の第１の引き出し電極に直接ＦＰＣを接合することになるので、電気的接続部位がヘッドチップの後面において第１の引き出し電極とＦＰＣとの間の１箇所のみで済むため、それだけ電気的接続の信頼性が高くなる。

この実施形態における電極引き出し部材も、前述した実施形態における電極引き出し部材と同様の材料及び形状とすることができるが、電極引き出し部材自体には電極が形成されないため、非絶縁材料を選択することも可能である。

ＦＰＣは、チャネル列と一対一に対応して設けることもできるが、好ましくは、複数並設されたチャネル列のうちの隣接する２列のチャネル列に対応する第１の引き出し電極とそれぞれ電気的に接続された配線を有し、ヘッドチップの後面における隣接する２列のチャネル列の間から後方に向けて延びるように設けることが好ましい。これにより、隣接する２列のチャネル列の各第１の引き出し電極を、共通のＦＰＣと接続することができ、チャネル列数に対してＦＰＣ数を削減することができる。

また、一枚のＦＰＣの表面に、配線を高密度に形成することにより、該ＦＰＣを挟んで片側にそれぞれ２列ずつのチャネル列の各第１の引き出し電極との電気的接続を行うようにすることで、一枚のＦＰＣで４列のチャネル列に対応させ、更にチャネル列数に対するＦＰＣ数の削減を図るようにしてもよい。

この実施形態において、ヘッドチップの後面に、複数のチャネルに共通に液体を供給するための共通流路を形成する共通流路部材が設けられる場合、ＦＰＣ及び電極引き出し部材は、共通流路部材の後壁を貫通して該共通流路部材の後方に突出していることが好ましい。共通流路部材は、ＦＰＣ及び電極引き出し部材を間に挟むように配置される各チャネル列の各チャネルに対して共通に液体を供給する。

この態様も、ＦＰＣ及び電極引き出し部材は、ヘッドチップの後面と共通流路部材の後壁貫通部位との２箇所で固定されるため、ＦＰＣ及び電極引き出し部材は、ヘッドチップの後面に安定且つ確実に固定される。また、ＦＰＣ及び電極引き出し部材は、隣接する２つのチャネル列間に存在するため、チャネル列間のクロストークの影響を低減させる効果も得られる。

次に、本発明に係る液体噴出装置の各実施形態を図面を用いて説明する。

図１は液体噴出装置の断面図、図２はヘッドチップを示す部分背面図、図３は配線基板の正面図、図４は電極引き出し部材の斜視図である。

本実施形態に示す液体噴出装置１は、ヘッドチップ２、ノズルプレート３、配線基板４、電極引き出し部材５及び共通流路部材６を有している。ノズルプレート３にはノズル３１が形成されている。

六面体からなるいわゆるハーモニカタイプのヘッドチップ２には、圧電素子からなる駆動壁２１とチャネル２２とが交互に並設されており、該ヘッドチップ２の前面２ａには各チャネル２２の出口が開口し、後面２ｂには各チャネル２２の入口が開口している。ノズルプレート３の各ノズル３１は、各チャネル２２の出口に対応する位置に開口している。

本実施形態に示すヘッドチップ２は、多数の駆動壁２１と多数のチャネル２２とが並設されてなるチャネル列が、上から順にＡ列〜Ｆ列の６列となるように図示上下方向に平行に並設されているが、チャネル列数は複数であればよく、６列に限定されない。本実施形態では、隣接するチャネル列のチャネル２２同士は半ピッチずれているが、必ずしもこれに限定されない。チャネル２２内に臨む駆動壁２１の表面には、それぞれ駆動電極２３が形成されている。

第１の引き出し電極２４Ａ〜２４Ｆは、各チャネル２２と一対一に対応してヘッドチップ２の後面２ｂに形成されている。第１の引き出し電極２４Ａ〜２４Ｆの一端は各チャネル２２内に臨む駆動電極２３と電気的に接続され、他端は該ヘッドチップ２の後面２ｂにおける非チャネル形成領域に配置されている。第１の引き出し電極２４Ａ〜２４Ｆは、ヘッドチップ２の後面２ｂにおいて各チャネル２２と同一ピッチで、チャネル列と同様に配列されている。

なお、本実施形態では、各チャネル列のうちの最も外側に位置するＡ列及びＦ列のチャネル列の各チャネル２２に対応する第１の引き出し電極２４Ａ、２４Ｆは、非チャネル形成領域であるヘッドチップ２の端部に向けてそれぞれ延びているが、内側に位置するＢ列のチャネル列の各チャネル２２から引き出された第１の引き出し電極２４Ｂと、その隣りのＣ列のチャネル列の各チャネル２２から引き出された第１の引き出し電極２４Ｃとが、互いに対向する方向に延びており、Ｂ列のチャネル列とＣ列のチャネル列の間の非チャネル形成領域２ｂ_１に、互いに短絡しないように配置されている。更に、Ｄ列のチャネル列の各チャネル２２から引き出された第１の引き出し電極２４Ｄと、その隣りのＥ列のチャネル列の各チャネル２２から引き出された第１の引き出し電極２４Ｅとが、互いに対向する方向に延びており、Ｄ列のチャネル列とＥ列のチャネル列の間の非チャネル形成領域２ｂ_２に、互いに短絡しないように配置されている。

配線基板４は、ヘッドチップ２の後面２ｂに対し、該後面２ｂの外周縁に沿う所定幅に接合されている。配線基板４は例えばガラス、セラミックス等の絶縁材料からなり、ヘッドチップ２の後面２ｂの周囲から側方にはみ出す程度の大きさを有すると共に、ヘッドチップ２の後面２ｂに臨む全てのチャネル２２を囲む程度の大きさを有する１つの矩形状の開口４１を有している。従って、ヘッドチップ２の全てのチャネル２２の入口及びその周囲の後面２ｂは、この開口４１内に配置され、後方に向けて露出する。

配線基板４の表面（ヘッドチップ２の後面２ｂとの接合面）には、図３に示すように、ヘッドチップ２の最も外側に位置するＡ列及びＦ列のチャネル列の各チャネル２２から引き出された第１の引き出し電極２４Ａ、２４Ｆと対応するピッチで配線電極４２Ａ、４２Ｆが、開口４１の周縁から配線基板４の外周縁にかけてパターン形成されている。配線基板４は、これら配線電極４２Ａ、４２Ｆが、対応するＡ列及びＦ列のチャネル列の第１の引き出し電極２４Ａ、２４Ｆと電気的に接続されるように位置合わせされ、後面２ｂに対して例えば異方性導電フィルム等を用いて接着されている。

これにより、Ａ列及びＦ列のチャネル列の各チャネル２２内の駆動電極２３は、第１の引き出し電極２４Ａ、２４Ｆ及び配線基板４の配線電極４２Ａ、４２Ｆによってヘッドチップ２の側方にそれぞれ引き出され、ヘッドチップ２の前方に向けて露出する。この配線基板４の配線電極４２Ａ、４２Ｆには、それぞれ駆動回路（図示せず）からの駆動信号をＡ列及びＦ列の各チャネル２２内の駆動電極２３に印加するためのＦＰＣ７Ａ、７Ｆの一端が、例えば異方性導電フィルム等を用いて接合されることで電気的に接続されている。

電極引き出し部材５は、本実施形態では、ヘッドチップ２の後面２ｂにおけるＢ列のチャネル列とＣ列のチャネル列との間の非チャネル形成領域２ｂ_１、Ｄ列のチャネル列とＥ列のチャネル列との間の非チャネル形成領域２ｂ_２にそれぞれ一つずつ、後方に向けて延びるように突設されている。

これら電極引き出し部材５は直方体からなり、チャネル列方向に沿う幅Ｌ１は、チャネル列の長さ以上、且つ、配線基板４の開口４１のチャネル列方向の長さＬ４以下であり、その厚みＬ２は、該電極引き出し部材５を挟んで隣接する２列のチャネル列間の非チャネル形成領域２ｂ_１、２ｂ_２の長さＬ３以下となっている。

電極引き出し部材５は、前端面５ａがヘッドチップ２の後面２ｂとの接合面であり、前端面５ａと該前端面５ａに隣接する相反する２つの側面５ｂ、５ｃとに亘って、当該電極引き出し部材５を挟んで隣接する２つのチャネル列（Ｂ列とＣ列、Ｄ列とＥ列）の各チャネル２２から引き出されて後面２ｂ上で対向している第１の引き出し電極２４Ｂと２４Ｃ、２４Ｄと２４Ｅにそれぞれ対応するピッチで、第２の引き出し電極５１Ｂと５１Ｃ、５１Ｄと５１Ｅがパターン形成されている。

これら電極引き出し部材５は、前端面５ａがヘッドチップ２の後面２ｂの非チャネル形成領域２ｂ_１、２ｂ_２において、第１の引き出し電極２４Ｂ及び２４Ｃ、２４Ｄ及び２４Ｅと、第２の引き出し電極５１Ｂ及び５１Ｃ、５１Ｄ及び５１Ｅとが位置合わせされ、例えば異方性導電フィルム等を用いて接着されることで、第１の引き出し電極２４Ｂ〜２４Ｅと第２の引き出し電極５１Ｂ〜５１Ｅとを電気的に接続している。これにより、Ｂ列〜Ｅ列の各チャネル２２内の駆動電極２３は、第１の引き出し電極２４Ｂ〜２４Ｅ及び電極引き出し部材５の第２の引き出し電極５１Ｂ〜５１Ｅによってヘッドチップ２の後面２ｂに対して垂直方向に方向転換され、後方に向けて引き出されている。なお、電極引き出し部材５の側面５ｂに形成された第２の引き出し電極５１Ｂ、５１Ｄはヘッドチップ２の上側方、電極引き出し部材５の側面５ｂに形成された第２の引き出し電極５１Ｃ、５１Ｅはヘッドチップ２の下側方にそれぞれ向いている。

共通流路部材６は、ヘッドチップ２の後面２ｂに対向する面が開口し、配線基板４の外形形状と同等の大きさを有する箱体形状をなしており、配線基板４の後面に接着されることで、配線基板４の開口４１内に露出するヘッドチップ２の後面２ｂとの間で、全てのチャネル２２に対して共通にインクを供給するための共通流路６１となる空間を形成している。ヘッドチップ２の後面２ｂに対向する共通流路部材６の後壁６２には、電極引き出し部材５を各々独立して貫通させるための貫通孔６３が形成されている。

前端面５ａがヘッドチップ２の後面２ｂに接合された電極引き出し部材５は、その後端５ｄ側が共通流路部材６の貫通孔６３から更にヘッドチップ２の後方に向けて突出して延びており、この共通流路部材６から突出した後端５ｄ側の各側面５ｂ、５ｃにおいて、第２の引き出し電極５１Ｂ〜５１Ｅの端部が共通流路部材６の外部に露出している。この電極引き出し部材５の共通流路部材６よりも後方に突出した後端５ｄ側の側面５ｂ、５ｃは、ＦＰＣ７Ｂ〜７Ｅとの接合部５２Ｂ〜５２Ｅとされている。これら接合部５２Ｂ〜５２Ｅには、それぞれ駆動回路（図示せず）からの駆動信号をＢ列〜Ｅ列の各チャネル２２内の駆動電極２３に印加するためのＦＰＣ７Ｂ〜７Ｅの一端が、例えば異方性導電フィルム等を用いて接合されることで電気的に接続されている。すなわち、ＦＰＣ７Ｂ〜７Ｅは、電極引き出し部材５の第２の引き出し電極５１Ｂ〜５１Ｅを介して、間接的に、第１の引き出し電極２４Ｂ〜２４Ｅに対して電気的に接続されている。

電極引き出し部材５の各接合部５２Ｂ〜５２Ｅは、チャネル列の並設方向（図１の上下方向）の上又は下に向いた側面５ｂ、５ｃに配置されているため、各ＦＰＣ７Ｂ〜７Ｅは、これら接合部５２Ｂ〜５２Ｅに接合されることにより、電極引き出し部材５の側面５ｂ、５ｃにそのまま沿わせてヘッドチップ２の後方に向けて延ばされる。このため、隣接するチャネル列のＦＰＣ同士が干渉して邪魔になるようなことはない。すなわち、本発明に係る液体噴出装置１は、たとえヘッドチップ２のチャネル列数が更に増加したとしても、それに応じて電極引き出し部材５の数を増加させていきさえすれば、内側に位置するチャネル列の各チャネル２２の駆動電極２３に対しても、ＦＰＣの電気的接続を簡単に行うことができる。従って、液体噴出装置１が徒に大型化することなくチャネル列数を容易に増加でき、高密度なヘッドチップ２を有する液体噴出装置１を簡単に構成することができる。

また、各電極引き出し部材５は、ヘッドチップ２の後面２ｂと接着されることに加え、この共通流路部材６の貫通孔６３の部位においても接着剤を用いて接着される。このため、各電極引き出し部材５の固定は、ヘッドチップ２の後面２ｂと貫通孔６３の貫通部位との２箇所においてなされることになり、ヘッドチップ２の後面２ｂとの安定且つ確実な固定状態を得ることができる。

次に、この６列のチャネル列を有するヘッドチップ２を製造する方法の一例について、図５及び図６を用いて説明する。

まず、駆動壁２１とチャネル２２とが研削されると共に各チャネル２２内に駆動電極２３が形成された２枚の圧電素子基板２０１を、１枚のカバー基板２０２に、各チャネル２２が対向するように積層し、２列のチャネル列を有するチャネル基板２０３を作製する（図５（ａ））。

圧電素子基板２０１において、各駆動電極２３は、各チャネル２２内の両側面及び底面に形成されている。

次いで、この２列のチャネル基板２０３を２つ接合して４列のチャネル列のチャネル基板２０３、２０３とし（図５（ｂ））、このチャネル基板２０３、２０３の両側に、１枚のカバー基板２０２に１枚の圧電素子基板２０１を積層してなる１列のチャネル列を有するチャネル基板２０４（図５（ｃ））を、それぞれ圧電素子基板２０１側がチャネル基板２０３の圧電素子基板２０１と接するようにして接合する。これにより、６列のチャネル列となる大判のチャネル基板２０５を作製する（図６）。

そして、この大判のチャネル基板２０５を、チャネル２２の長さ方向と直交する方向に沿う複数のカットラインｃ、ｃ・・・に沿って切断（フルカット）することにより、６列のチャネル列を有するヘッドチップ２、２・・・を一度に作製する。カットラインｃ、ｃ・・・の間隔は、ヘッドチップ２のチャネル２２の駆動長さを決定する。

次いで、このようにして作製された６列のチャネル列を有するヘッドチップ２の後面２ｂに対し、図２に示したように、各チャネル２２内の駆動電極２３に一端が電気的に接続される第１の引き出し電極２４Ａ〜２４Ｆをパターン形成する。この第１の引き出し電極２４Ａ〜２４Ｆの形成は、ドライフィルムを用いた露光・現像処理、蒸着法による金属膜の形成、金属膜形成後のドライフィルムの除去を経て行う公知のパターニング方法を採用することができる。

蒸着は、各第１の引き出し電極２４Ａ〜２４Ｆと各チャネル２２内の駆動電極２３との電気的接続を確実にするため、ヘッドチップ２の後面２ｂに対して方向を変えて２度行うことが好ましい。具体的には、後面２ｂに垂直な方向から、チャネル列の並設方向に沿う上下に各３０度の方向から行う。

また、蒸着法に代えてスパッタリング法によって行ってもよい。スパッタリング法は、飛来する金属粒子の方向がランダムなため、特に方向を変えなくてもチャネル２２の内部まで金属膜を形成できるので好適である。

この後、液体噴出装置１とするには、ヘッドチップ２の前面２ａに、チャネル２２に対応する位置にノズル３１が形成されたノズルプレート３を接合し、後面２ｂには、別途作製された配線基板４、電極引き出し部材５及び共通流路部材６を接合する。また、配線基板４及び電極引き出し部材５には更にＦＰＣ７Ａ〜７Ｆをそれぞれ電気的に接続する。

図７は、電極引き出し部材５の別の態様をそれぞれ示している。

図７（ａ）は２枚の基板５０１、５０２を積層することによって一つの電極引き出し部材５を構成した例である。一方の基板５０１には第２の引き出し電極５１Ｂ（５１Ｄ）がパターン形成され、他方の基板５０２には第２の引き出し電極５１Ｃ（５１Ｅ）がパターン形成されている。これら基板５０１、５０２は、第２の引き出し電極５１Ｂ（５１Ｄ）又は５１Ｃ（５１Ｅ）の形成面が相反する側となるように積層される。

図７（ｂ）も２枚の基板５０１、５０２を積層することによって一つの電極引き出し部材５を構成した例であるが、基板５０１、５０２は、第２の引き出し電極５１Ｂ（５１Ｄ）又は５１Ｃ（５１Ｅ）の形成面同士が対向するように積層されている。対向する第２の引き出し電極５１Ｂと５１Ｃ又は５１Ｄと５１Ｅは、図４の場合のようにチャネル２２のピッチと同様に互いに半ピッチずれているため、短絡することはない。

第２の引き出し電極５１Ｂ（５１Ｄ）は、電極引き出し部材５の前端面５ａから基板５０１における基板５０２との接合面を通り、更に電極引き出し部材５の後端面５ｅを経て、後端５ｄ側の側面５ｂまで配線されている。この後端５ｄ側の側面５ｂに配線された部位が、ＦＰＣとの接合部５２Ｂ（５２Ｄ）となっている。

また、第２の引き出し電極５１Ｃ（５１Ｅ）は、電極引き出し部材５の前端面５ａから基板５０２における基板５０１との接合面を通り、更に電極引き出し部材５の後端面５ｅを経て、後端５ｄ側の側面５ｃに配線されている。この後端５ｄ側の側面５ｃに配線された部位が、ＦＰＣとの接合部５２Ｃ（５２Ｅ）となっている。

図７（ｃ）は、第２の引き出し電極５１Ｂ（５１Ｄ）又は５１Ｃ（５１Ｅ）が、電極引き出し部材５の前端面５ａと電極引き出し部材５の後端面５ｅを経て、後端５ｄ側の側面５ｂ、５ｃに配線されている点では図７（ｂ）と共通するが、この態様では、電極引き出し部材５の内部を貫通する貫通電極５１１、５１２によって、電極引き出し部材５の前端面５ａと電極引き出し部材５の後端面５ｅの各電極がつながっている。この電極引き出し部材５も、図７（ａ）（ｂ）のように２枚の基板５０１、５０２によって構成してもよい。

図７（ａ）（ｂ）のように、電極引き出し部材５を２枚の基板５０１、５０２の積層体によって構成する場合は、基板５０１、５０２の各々に第２の引き出し電極５１Ｂ（５１Ｄ）又は５１Ｃ（５１Ｅ）を形成すればよいため、２列分の第２の引き出し電極５１Ｂ（５１Ｄ）及び５１Ｃ（５１Ｅ）を有する一つの電極引き出し部材５の作製を容易に行うことができる。

また、図７（ｂ）（ｃ）の場合、第２の引き出し電極５１Ｂ（５１Ｄ）又は５１Ｃ（５１Ｅ）が、共通流路６１内で直にインクと接触することを避けることもできる。

図８は、電極引き出し部材の更に別の態様を示す斜視図であり、液体噴出装置１の後方から見た斜視図を示している。なお、同図においてＦＰＣ７Ｂ〜７Ｅは図示省略している。また、図１と同一符号の部位は同一構成の部位を示している。

この電極引き出し部材５０は、Ｂ列〜Ｅ列の４列のチャネル列に対する上述の２つの電極引き出し部材５、５が、後端部側の長さ方向両端において連結部５３、５３によって一体に連結されることにより、全体として１つの電極引き出し部材５０の形態とされている。かかる電極引き出し部材５０によれば、チャネル列数が更に増加して個別の電極引き出し部材５の数が増加しても、一体成型によって一つの部材として扱うことができ、また、ヘッドチップ２の後面２ｂに対する接合作業も一体として行うことができるため作業性に優れる。しかも、個別の電極引き出し部材５が連結部５３、５３によって一体化されるため、ヘッドチップ２の後面２ｂに対する固定状態を更に安定且つ確実化できる利点もある。

以上の実施形態では、配線基板４を用いることにより、ヘッドチップ２の最も外側に位置するＡ列及びＦ列のチャネル列の各第１の引き出し電極２４Ａ、２４Ｆを、配線電極４２Ａ、４２Ｆによってヘッドチップ２の側方に張り出すように引き出したが、本発明において配線基板４は必須ではない。すなわち、本発明は、このような配線基板４を用いることなく、図９に示すように、ヘッドチップ２に形成される全てのチャネル列に対応する第１の引き出し電極２４を、電極引き出し部材５の第２の引き出し電極５１によってヘッドチップ５の後方に引き出すようにしてもよい。

すなわち、図９に示す液体噴出装置１０は偶数のチャネル列数を有し、ヘッドチップ２の最も外側に位置するチャネル列から順に隣接する２列ずつを一組とし、その一組のチャネル列の間にそれぞれ一つの電極引き出し部材５を接合することにより、第１の引き出し電極２４と各電極引き出し部材５の側面に形成された第２の引き出し電極５１とを電気的に接続している。各電極引き出し部材５の後端側の第２の引き出し電極５１に、それぞれＦＰＣ７を接続することにより、全てのチャネル列の各チャネル２２内の駆動電極２３に対し、ヘッドチップ２の後方からＦＰＣ７を介して駆動信号を印加することができる。

この実施形態によれば、全てのＦＰＣ７はヘッドチップ２の後方に向けて延びるように接続され、配線基板４のように側方に張り出すことはないため、液体噴出装置１０は側方への張り出し量が最も抑えられ、一層の小型化が可能となる。

この場合のヘッドチップ２は、例えば図５（ｃ）に示されるチャネル基板２０４を２つ用い、その圧電素子基板２０１同士を互いに接合することによって２列のチャネル列を有する基板を構成し、その基板を所望のチャネル数となるように更に積層していくことによって形成することができる。

また、電極引き出し部材５は、以上の各実施形態のように、隣接する２列のチャネル列に対してそれぞれ１つずつ配置されるものに限らず、１つの電極引き出し部材５で、その片面にそれぞれ２列ずつの計４列のチャネル列に対応させることもできる。

図１０は、このような実施形態に係る液体噴射装置１１のヘッドチップ２の後面２ｂの一部を示している。ここではヘッドチップ２に設けられた複数列のチャネル列のうちのＯ列、Ｐ列、Ｑ列及びＲ列の４列のチャネル列のみを示している。

この場合、隣接するＯ列とＰ列の各チャネル列に対応する第１の引き出し電極２４Ｏ、２４Ｐの他端は、共にＰ列とＱ列の各チャネル列の間の非チャネル形成領域２ｂ_Ｎに配置され、隣接するＱ列とＲ列の各チャネル列に対応する第１の引き出し電極２４Ｑ、２４Ｒの他端も、共に非チャネル形成領域２ｂ_Ｎに配置されている。すなわち、Ｏ列とＰ列、Ｑ列とＲ列の各チャネル２２は、互いに半ピッチずれており、Ｏ列とＲ列の各チャネル２２から引き出された第１の引き出し電極２４Ｏ、２４Ｒは、その内側のＰ列、Ｑ列の各チャネル２２の間を通って非チャネル形成領域２ｂ_Ｎまで引き出されている。

これら４列のチャネル列に対して１つの電極引き出し部材５は、この非チャネル形成領域２ｂ_Ｎに接合されている。電極引き出し部材５は、図４と同様の構造であるが、各側面５ｂ、５ｃにそれぞれパターン形成される第２の引き出し電極が、片面で２列ずつのチャネル列の各第１の引き出し電極２４Ｏと２４Ｐ、２４Ｑと２４Ｒに対応し、より高密度に形成される。

この実施形態によれば、チャネル列数に対する電極引き出し部材５の数を削減でき、その分、ＦＰＣの数も削減できる。従って、部品コスト及び作業工程の削減を図ることができ、また、ヘッドチップ２の後方の構造も簡素化できる。

この場合のヘッドチップ２は、例えば図５（ｃ）に示されるチャネル基板２０４を２つ用い、一方のチャネル基板２０４の圧電素子基板２０１と他方のチャネル基板２０４のカバー基板２０２とを接合することによって２列のチャネル列を有する基板を構成し、その基板の圧電素子基板２０１同士を積層することによってＯ列〜Ｒ列の４列のチャネル列を形成することができる。

図１１は、更に別の実施形態に係る液体噴出装置１２の部分断面図を示している。ここでは複数のチャネル列のうちの隣接するＢ列及びＣ列のチャネル列のみを示している。

この液体噴出装置１２は、ヘッドチップ２の後面２ｂに形成された隣接する２列のチャネル列の第１の引き出し電極２４Ｂ、２４Ｃに対し、直接的に、ＦＰＣ９の一端を電気的に接続している。

すなわち、１枚のＦＰＣ９の表面には、図１２に示すように、第１の引き出し電極２４Ｂ、２４Ｃとそれぞれ対応するピッチで配線電極９１Ｂ、９１Ｃが交互となるように配列形成されており、このＦＰＣ９の一端がヘッドチップ２の後面２ｂに対して直接接合されることにより、該後面２ｂに配列されている第１の引き出し電極２４Ｂ、２４Ｃと配線電極９１Ｂ、９１Ｃとが、例えば異方性導電フィルム等を用いて接合されることで電気的に接続している。

ＦＰＣ９は、直方体からなる電極引き出し部材８におけるヘッドチップ２の後面２ｂに対向する前端面８ａ（第１の側面）と該前端面８ａに隣接する側面８ｂ（第２の側面）との２面に沿うように屈曲されて貼り付けられている。電極引き出し部材８の前端面８ａに沿って貼り付けられているＦＰＣ９の端部がヘッドチップ２の後面２ｂに対する接合面９ａであり、この接合面９ａに第１の引き出し電極２４Ｂ、２４Ｃに対応する各配線電極９１Ｂ、９１Ｃが交互に配列されている。

このようにＦＰＣ９の一端を、ヘッドチップ２の後面２ｂの第１の引き出し電極２４Ｂ、２４Ｃに対し、直接的に電気的に接続することで、電気的接続部位を第１の引き出し電極２４Ｂ、２４ＣとＦＰＣ９との間の１箇所のみとすることができるため、それだけ電気的接続の信頼性を高めることができる。

このＦＰＣ９は、電極引き出し部材８と共に共通流路部材６の貫通孔６３を貫通してヘッドチップ２の後方に向けて延びており、その貫通部位において接着剤によって接着されている。このため、ＦＰＣ９及び電極引き出し部材８は、ヘッドチップ２の後面２ｂの他に、この共通流路部材６の貫通部位においても固定されるため、安定且つ確実な固定がなされる。この実施形態では、ＦＰＣ９はヘッドチップ２の後面２ｂに直接接合されるため、電極引き出し部材８を共通流路部材６の後方に突出させる必要はなく、図１１に示すように、ＦＰＣ９の後方への突出以外は、共通流路部材６の後面を平坦面とすることもできる。

このような液体噴出装置１２も、たとえチャネル列数が５列以上であっても、内側に位置するチャネル列の各チャネル２２の駆動電極２３に対して、ＦＰＣ９を容易に接合して駆動信号を印加することができる。

ここで示したＦＰＣ９は、電極引き出し部材８の前端面８ａから該前端面８ａに隣接する一方の側面８ｂのみに沿うように貼り付けられているが、図１３に示すように、電極引き出し部材８の前端面８ａから各側面８ｂ、８ｃに沿って貼り付けるようにしてもよい。

図１３（ａ）は、電極引き出し部材８の前端面８ａから各側面８ｂ、８ｃに沿ってそれぞれ別々のＦＰＣ９Ｂ、９Ｃを貼り付けた態様を示している。この場合、ＦＰＣ９Ｂの表面には、ヘッドチップ２の後面２ｂの第１の引き出し電極２４Ｂに対応する配線電極９１Ｂが形成され、ＦＰＣ９Ｃの表面には、ヘッドチップ２の後面２ｂの第１の引き出し電極２４Ｃに対応する配線電極９１Ｃが形成されている。

図１３（ｂ）は、１枚のＦＰＣ９０を電極引き出し部材８の前端面８ａから各側面８ｂ、８ｃに沿ってそれぞれ屈曲させて貼り付けた態様を示している。この場合、１枚のＦＰＣ９０の表面には、ヘッドチップ２の後面２ｂの第１の引き出し電極２４Ｂに対応する配線電極９１Ｂと、第１の引き出し電極２４Ｃに対応する配線電極９１Ｃとが形成されているが、配線電極９１Ｂは、電極引き出し部材８の一方の側面８ｂに沿って屈曲した側の表面に配列され、配線電極９１Ｃは、電極引き出し部材８の他方の側面８ｃに沿って屈曲した側の表面に配列されている。

これら図１３（ａ）（ｂ）に示すＦＰＣ及び電極引き出し部材は、配線電極の配列ピッチを更に高密度にすることにより、図１０に示したように、４列のチャネル列の各第１の引き出し電極と電気的に接続可能にすることもできる。

また、複数の電極引き出し部材８は、図８に示したように、連結部５３によって一体に連結させることで、一体化させてもよい。

更に、これらＦＰＣ９と電極引き出し部材８も、チャネル列に対して一対一に対応させて設けてもよいことはもちろんである。

１、１０、１１、１２：液体噴射装置
２：ヘッドチップ
２ａ：前面
２ｂ：後面
２ｂ_１、２ｂ_２、２ｂ_Ｎ：非チャネル形成領域
２１：駆動壁
２２：チャネル
２３：駆動電極
２４、２４Ａ〜２４Ｆ、２４Ｏ〜２４Ｒ：第１の引き出し電極
３：ノズルプレート
３１：ノズル
４：配線基板
４１：開口
４２Ａ、４２Ｆ：配線電極
５：電極引き出し部材
５ａ：前端面
５ｂ、５ｃ：側面
５ｄ：後端
５ｅ：後端面
５１、５１Ｂ〜５１Ｅ：第２の引き出し電極
５２Ｂ〜５２Ｅ：接合部
５３：連結部
５０１、５０２：基板
５１１、５１２：貫通電極
６：共通流路部材
６１：共通流路
６２：後壁
６３：貫通孔６３
７、７Ａ〜７Ｆ：ＦＰＣ
８：電極引き出し部材
８ａ：前端面（第１の側面）
８ｂ：側面（第２の側面）
８ｃ：側面
９、９０：ＦＰＣ
９ａ：接合面
９１Ｂ、９１Ｃ：配線電極
２０１：圧電素子基板
２０２：カバー基板
２０３、２０４：チャネル基板
２０５：大判のチャネル基板
ｃ：カットライン

Claims (7)

1. 圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されたチャネル列が複数並設されていると共に前面及び後面にそれぞれチャネルの出口と入口とが配置され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁の壁面に駆動電極が形成されてなるヘッドチップを有し、前記駆動電極に電圧を印加することにより前記駆動壁を変形させ、前記チャネル内の液体を前記ヘッドチップの前面に配置されたノズルから吐出させるようにした液体噴出装置において、
   前記ヘッドチップの後面に、前記チャネル内の前記駆動電極と電気的に接続された第１の引き出し電極が形成されていると共に、前記第１の引き出し電極に対して直接的に又は間接的にＦＰＣの一端が電気的に接続されており、
   前記ＦＰＣは、前記ヘッドチップの後面における隣接する２列のチャネル列の間から後方に向けて突設された電極引き出し部材の表面に沿って該ヘッドチップの後方に向けて延びていることを特徴とする液体噴出装置。
2. 前記電極引き出し部材は絶縁材料からなり、その表面には、チャネル列に対応する前記第１の引き出し電極と電気的に接続された第２の引き出し電極が設けられることにより、前記チャネル内の前記駆動電極が、前記第１の引き出し電極及び前記第２の引き出し電極によって前記ヘッドチップの後方に向けて引き出されており、
   前記第２の引き出し電極の端部に、前記ＦＰＣの一端が電気的に接続されており、
   前記第１の引き出し電極と前記ＦＰＣの一端とが、前記第２の引き出し電極を介して間接的に電気的に接続されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴出装置。
3. 前記電極引き出し部材は、前記ヘッドチップの複数のチャネル列のうちの隣接する２列のチャネル列に対応する前記第１の引き出し電極と電気的に接続される前記第２の引き出し電極が、前記ヘッドチップの後面との接合面と該接合面に隣接する相反する２つの側面にそれぞれ形成されており、前記ヘッドチップの後面における前記隣接する２列のチャネル列の間から後方に向けて延びるように突設されていることを特徴とする請求項２記載の液体噴出装置。
4. 前記ヘッドチップの後面に、複数のチャネル列の各チャネルに共通に液体を供給するための共通流路を形成する共通流路部材が設けられ、
   前記電極引き出し部材は、前記共通流路部材の後壁を貫通して該共通流路部材の後方に突出し、前記第２の引き出し電極の端部を前記共通流路部材の外部に露出させており、該露出した前記第２の引き出し電極の端部に前記ＦＰＣの一端が電気的に接続されていることを特徴とする請求項２又は３記載の液体噴出装置。
5. 前記ヘッドチップの後面に形成された前記第１の引き出し電極に、前記ＦＰＣの一端が直接的に電気的に接続されており、
   前記電極引き出し部材は、前記ヘッドチップの後面に対向する第１の側面及び該第１の側面に隣接して前記ヘッドチップの後方に向けて延びる第２の側面を有し、前記ＦＰＣの一端における前記第１の引き出し電極との接合面の反対面に接合されており、
   前記ＦＰＣは、前記電極引き出し部材の前記第１の側面から前記第２の側面に沿って屈曲するように設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴出装置。
6. 前記ＦＰＣは、隣接する２列のチャネル列に対応する前記第１の引き出し電極とそれぞれ電気的に接続された配線を有し、前記ヘッドチップの後面における隣接する２列のチャネル列の間から、前記電極引き出し部材によって後方に向けて延びるように設けられていることを特徴とする請求項５記載の液体噴出装置。
7. 前記ヘッドチップの後面に、複数の前記チャネルに共通に液体を供給するための共通流路を形成する共通流路部材が設けられ、
   前記ＦＰＣ及び前記電極引き出し部材は、前記共通流路部材の後壁を貫通して該共通流路部材の後方に突出していることを特徴とする請求項５又は６記載の液体噴出装置。

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