JP6281221B2 - インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明はインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法に関し、詳しくは、ヘッドチップの後面に形成された引き出し電極とＦＰＣとの位置合わせが容易で、電気的接続の信頼性も高いインクジェットヘッド及びそのインクジェットヘッドの製造方法に関する。

せん断モード型のインクジェットヘッドとして、前面と後面とに亘るストレート状のチャネルを有する六面体形状のヘッドチップを有するものが知られている。このようなインクジェットヘッドは、隣り合うチャネル間の隔壁が圧電素子を含む駆動壁となっており、この駆動壁の両面に形成された駆動電極に所定の電圧を印加することによって駆動壁をせん断変形させ、チャネル内のインクに吐出のための圧力を付与するものである。

このようなインクジェットヘッドは駆動電極がチャネル内に臨んでいるため、この駆動電極と電気的に接続された引き出し電極をヘッドチップの後面に形成し、この引き出し電極を利用してＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）によって駆動回路と電気的に接続することが提案されている。しかし、チャネル列数が増加するにつれて、特に内側に位置するチャネル列の各引き出し電極をＦＰＣによってヘッドチップの外部に電気的に引き出すことが難しいという問題がある。

このため、特許文献１は、板状の引き出し部材の表面にＦＰＣを貼り付け、ヘッドチップの後面に形成された引き出し電極とＦＰＣとが直接的に電気的接続されるように、ＦＰＣ付きの引き出し部材をヘッドチップの後面に接着し、この引き出し部材によってＦＰＣをヘッドチップの後方に引き出すことを提案している。

また、特許文献２は、ヘッドチップの後面にチャネル列に沿って溝を形成すると共に、その溝内の側面に引き出し電極の端部を配置させ、溝にＦＰＣの一端を挿入することで、溝の内部でＦＰＣと引き出し電極とを直接的に電気的に接続し、ＦＰＣの他端をヘッドチップの後方に引き出すことを提案している。溝内のＦＰＣの背面側には発泡樹脂材料が充填され、これを発泡させることによってＦＰＣに引き出し電極と接続する方向への押圧力を付与し、電気的接続の確実性を図るようにしている。

これらの技術によれば、ヘッドチップのチャネル列数が増加しても、内側に位置するチャネル列の引き出し電極にもＦＰＣを直接的に電気的接続することができる。また、ＦＰＣをヘッドチップの後方に引き出すので、側方への張り出しが抑えられ、インクジェットヘッドの小型化を図る上でも有利である。

特開２０１１−１８３５７４号公報 国際公開第２０１１／０７４４１２号パンフレット

しかし、ヘッドチップの後面の引き出し電極にＦＰＣを電気的接続する際に、別途の部品として引き出し部材を使用したり、ヘッドチップの後面に溝を形成したりする必要がある。このため、部品点数の増加や溝加工することによる作業工程の増加によってコスト高となる。しかも、いずれも引き出し電極とＦＰＣ（ＦＰＣに設けられている配線）との接続部位を直接観察しながら位置合わせすることができないため、引き出し電極とＦＰＣとの電気的接続の信頼性を向上させる上で課題を残している。

また、引き出し電極とＦＰＣの配線とが電気的に接続されている電気的接続部位の後方には、引き出し部材や発泡樹脂材料が存在する構成となっている。ＦＰＣはこれら引き出し部材や発泡樹脂材料と固着されているため、両者の熱膨張率の相違によって固着面に負荷が掛かり易く、場合によってはＦＰＣの剥離に繋がるおそれもある。

そこで、本発明の課題は、ヘッドチップの後面に形成された引き出し電極にＦＰＣを電気的に接続するインクジェットヘッドの利点を生かしつつ、引き出し電極とＦＰＣとの位置合わせが容易で、電気的接続の信頼性も高く、ＦＰＣに負荷を与えることもないインクジェットヘッドを提供することにある。

また、本発明の他の課題は、ヘッドチップの後面に形成された引き出し電極にＦＰＣを電気的に接続するインクジェットヘッドの利点を生かしつつ、引き出し電極とＦＰＣとの位置合わせが容易であり、電気的接続の信頼性も高く、ＦＰＣに負荷を与えることもないインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。

本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。

上記課題は、以下の各発明によって解決される。

１．圧電素子を含む駆動壁とチャネルとが交互に並設されたチャネル列を有すると共に前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの出口と入口とが配置され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁の壁面に駆動電極が形成されてなるヘッドチップを有するインクジェットヘッドにおいて、
前記ヘッドチップの後面に、前記チャネル内の前記駆動電極と電気的に接続された引き出し電極が前記チャネル毎に形成されていると共に、前記引き出し電極にＦＰＣの配線が電気的に接続されており、
前記ＦＰＣは、溝が形成されていない前記引き出し電極と前記配線との電気的接続部位の近傍から折り曲げられて前記ヘッドチップの後方に延びていると共に、前記電気的接続部位の後方に空間を有していることを特徴とするインクジェットヘッド。

２．前記ヘッドチップの後面の前記電気的接続部位から外れた部位に、前記チャネル列の前記チャネルに共通のインク流路を形成する共通流路部材が接合されていることを特徴とする前記１記載のインクジェットヘッド。

３．前記ＦＰＣは、前記共通流路部材に固着されていないことを特徴とする前記２記載のインクジェットヘッド。

４．前記チャネル列は複数並設されており、
前記ＦＰＣは、隣り合う２列の前記チャネル列の間から前記ヘッドチップの後方に延びていることを特徴とする前記１、２又は３記載のインクジェットヘッド。

５．隣り合う２列の前記チャネル列の前記引き出し電極と電気的に接続される配線が、１枚の前記ＦＰＣに形成されていることを特徴とする前記４記載のインクジェットヘッド。

６．一方の前記チャネル列の前記引き出し電極と電気的に接続される配線と、他方の前記チャネル列の前記引き出し電極と電気的に接続される配線とが、前記ＦＰＣの中程に配置された前記電気的接続部位から前記電気的接続部位の近傍の折り曲げ部を経由して互いに前記ＦＰＣの反対端部に向けて延びるように配列され、該ＦＰＣの両端部がそれぞれ前記ヘッドチップの後方に延びていることを特徴とする前記５記載インクジェットヘッド。

７．前記ＦＰＣは、前記電気的接続部位を除いてカバーレイが設けられており、前記電気的接続部位の近傍の前記カバーレイのない部位で折り曲げられ、折り曲げ部にＲが設けられていることを特徴とする前記１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。

８．前記ＦＰＣの前記配線は、前記引き出し電極と電気的に接続される端子部表面が、銅箔の表面にＮｉによる下地処理を施すことなく金めっき処理されていることを特徴とする前記１〜７のいずれかに記載のインクジェットヘッド。

９．前記銅箔は、圧延銅箔であることを特徴とする前記８記載のインクジェットヘッド。

１０．前記ＦＰＣは、ベースフィルムにスルーホールが形成され、配線が前記ベースフィルムの一方の面から前記スルーホールを介して他方の面に引き出され、該他方の面において前記引き出し電極と電気的に接続されており、前記一方の面には少なくとも前記電気的接続部位及びその近傍の折り曲げ部を覆うようにカバーレイが設けられていることを特徴とする前記１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。

１１．前記ＦＰＣは、ＡＣＦ又はＡＣＰによって前記引き出し電極と電気的に接続されていることを特徴とする前記１〜１０のいずれかに記載のインクジェットヘッド。

１２．前記ＦＰＣの折り曲げ部の外側と前記ヘッドチップの後面とに亘って、接着剤によるフィレットが形成されていることを特徴とする前記１〜１１のいずれかに記載のインクジェットヘッド。

１３．前記共通流路部材は、前記ＦＰＣを取り囲むように設けられていることを特徴とする前記２又は３に記載のインクジェットヘッド。
１４．前記溝が形成されていない前記後面は、前記前面に対向していることを特徴とする前記１〜１３のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
１５．前記ＦＰＣにおける前記ヘッドチップの後方に延びている部位には、他の部材が固着されていないことを特徴とする前記１〜１４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
１６．前記空間は、前記電気的接続部位に隣接して形成されていることを特徴とする前記１〜１５のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
１７．圧電素子を含む駆動壁とチャネルとが交互に並設されたチャネル列を有すると共に前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの出口と入口とが配置され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁の壁面に駆動電極が形成されてなるヘッドチップを用意し、該ヘッドチップの後面に、前記チャネル内の前記駆動電極と電気的に接続された該チャネル毎の引き出し電極を形成する第１の工程と、
前記ヘッドチップの後面にＦＰＣを重ね、前記ヘッドチップの後方から該ＦＰＣを観察することにより、前記引き出し電極と前記ＦＰＣに設けられている配線との位置合わせを行う第２の工程と、
位置合わせされた前記ＦＰＣの前記配線と前記引き出し電極とを圧着する第３の工程と、
前記ＦＰＣを、前記引き出し電極との電気的接続部位の近傍から前記ヘッドチップの後方に延びるように折り曲げる第４の工程とを、この順に有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

１８．前記第４の工程の後に、前記チャネル列の前記チャネルに共通のインク流路を形成する共通流路部材を、前記電気的接続部位から外れた前記ヘッドチップの後面に接合する第５の工程を有することを特徴とする前記１７記載のインクジェットヘッドの製造方法。

１９．前記第３の工程において、前記ＦＰＣの背面側から前記電気的接続部位を、圧着治具の先端面を押し当てて圧着することを特徴とする前記１７又は１８記載のインクジェットヘッドの製造方法。

２０．前記圧着治具は、前記先端面に隣接して、前記ヘッドチップの後方に向けて延びる側面を有し、
前記第４の工程において、前記圧着治具の前記側面に沿って前記ＦＰＣを前記ヘッドチップの後方に延びるように折り曲げた後、前記圧着治具を取り除くことを特徴とする前記１９記載のインクジェットヘッドの製造方法。

２１．前記第２の工程において、前記ヘッドチップの後面に前記引き出し電極を覆うようにＡＣＦ又はＡＣＰを設けた後、前記ＦＰＣを重ねることを特徴とする前記１７〜２０のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。

２２．前記第４の工程において、前記ＦＰＣを折り曲げた後、折り曲げ部の外側と前記ヘッドチップの後面とに亘って、接着剤によるフィレットを形成することを特徴とする前記１７〜２１のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。

本発明によれば、ヘッドチップの後面に形成された引き出し電極にＦＰＣを電気的に接続するインクジェットヘッドの利点を生かしつつ、引き出し電極とＦＰＣとの位置合わせが容易で、電気的接続の信頼性も高く、ＦＰＣに負荷を与えることもないインクジェットヘッドを提供することができる。

また、本発明によれば、ヘッドチップの後面に形成された引き出し電極にＦＰＣを電気的に接続するインクジェットヘッドの利点を生かしつつ、引き出し電極とＦＰＣとの位置合わせが容易であり、電気的接続の信頼性も高く、ＦＰＣに負荷を与えることもないインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。

本発明に係るインクジェットヘッドの一例を示すインクジェットヘッドを背面側から見た斜視図 図１中の(ii)−(ii)線に沿う切断面を示す端面図 ヘッドチップの部分背面図 ＦＰＣを展開して示す平面図 ＦＰＣの部分断面図 ４列のチャネル列を有するインクジェットヘッドの切断面を示す端面図 １列のチャネル列を有するインクジェットヘッドの切断面を示す端面図 ３列のチャネル列を有するインクジェットヘッドの切断面を示す端面図 別の態様に係るＦＰＣを使用したインクジェットヘッドの切断面を示す端面図 インクジェットヘッドの製造方法の一例を説明する図 インクジェットヘッドの製造方法の一例を説明する図 インクジェットヘッドの製造方法の一例を説明する図 インクジェットヘッドの製造方法の一例を説明する図 インクジェットヘッドの製造方法の一例を説明する図 インクジェットヘッドの製造方法の一例を説明する図 インクジェットヘッドの製造方法の一例を説明する図

以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。

図１は、本発明に係るインクジェットヘッドの一例を示しており、インクジェットヘッドを背面側から見た斜視図である。図２は、図１中の(ii)−(ii)線に沿う切断面を示す端面図、図３は、ヘッドチップの部分背面図、図４は、ＦＰＣを展開して示す平面図、図５は、ＦＰＣの部分断面図である。

図中、Ｈ１はインクジェットヘッド、１はヘッドチップ、２はヘッドチップ１の前面１ａに接合されるノズルプレート、３はヘッドチップ１の後面１ｂに接合されるＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）、４はヘッドチップ１に対してインクを供給する共通流路部材である。

ヘッドチップ１はＡ列、Ｂ列の２列のチャネル列を有する六面体からなる。ここでは図２、図３に示す上側のチャネル列をＡ列、下側のチャネル列をＢ列とする。各チャネル列は、チャネル１１と、隣り合うチャネル１１、１１の間を隔てている駆動壁１２とが交互に並設されている。駆動壁１２は全部又は一部に圧電素子を含んでいる。

各チャネル１１は、ヘッドチップ１の前面１ａと後面１ｂとにそれぞれ矩形状に開口し、前面１ａと後面１ｂとに亘るストレート状に形成されている。図３に示すように、各チャネル１１内に臨んでいる壁面のうちの少なくとも駆動壁１２の表面には、駆動電極１３がそれぞれ形成されている。駆動電極１３は、少なくとも駆動壁１２の表面に形成されていればよいが、本実施形態では、図２、図３に示すように、チャネル１１内に臨む両駆動壁１２、１２と、これら駆動壁１２、１２を繋ぐ壁面１１ａとに亘って形成されている。

ヘッドチップ１は、各駆動電極１３に不図示の駆動回路から所定電圧の駆動信号を印加することによって、１対の駆動電極１３、１３に挟まれた駆動壁１２がせん断変形する。これによってチャネル１１内の容積が変化し、該チャネル１１に供給されたインクに吐出のための圧力変化が与えられ、ヘッドチップ１の前面１ａに接合されたノズルプレート２のノズル２１からインク滴が吐出する。

なお、本発明では、ヘッドチップ１において、ノズル２１が配置されてインクが吐出される側の面を「前面」、その反対側の面を「後面」と定義する。また、ヘッドチップ１の後面１ｂから離れる方向を「後方」、ヘッドチップ１の前面１ａ又は後面１ｂと平行な方向であって該ヘッドチップ１から離れる方向をヘッドチップ１の「側方」と定義する。

また、本実施形態では、各チャネル列の全てのチャネル１１が、ノズル２１からインク滴を吐出する吐出チャネルであるヘッドチップ１を例示している。しかし、本発明においてヘッドチップは、各チャネル列が、インク滴を吐出する吐出チャネルと、インク滴を吐出しないダミーチャネルとが交互に並設されることによって構成されるものであってもよい。後者のヘッドチップの場合、ノズルプレート２にはダミーチャネルに対応する位置にノズル２１が形成されない。

ヘッドチップ１の後面１ｂには、チャネル１１毎に引き出し電極１４が形成されている。図２、図３中の符号１４ＡはＡ列のチャネル列の引き出し電極、１４ＢはＢ列のチャネル列の引き出し電極を示している。各引き出し電極１４Ａ、１４Ｂの一端は、対応するチャネル１１内の壁面１１ａ上の駆動電極１３と電気的に接続され、他端は、それぞれヘッドチップ１の後面１ｂの中央に向けて延び、互いに接触することなく間隔をあけて止まっている。

ＦＰＣ３は、ヘッドチップ１の後面１ｂにおいて、引き出し電極１４Ａ、１４Ｂの形成領域内に接合されている。ＦＰＣ３は、図４に示すように、ポリイミド等の可撓性を有する樹脂フィルムからなる１枚のベースフィルム３１上に、各引き出し電極１４Ａ、１４Ｂに対応する配線３２が配列されている。図２、図４中の符号３２Ａは引き出し電極１４Ａに対応する配線、３２Ｂは引き出し電極１４Ｂに対応する配線を示している。

各配線３２Ａは、Ａ列のチャネル列の引き出し電極１４Ａに対応するピッチでそれぞれ並設され、各配線３２Ｂは、Ｂ列のチャネル列の引き出し電極１４Ｂに対応するピッチでそれぞれ並設されている。配線３２Ａ、３２Ｂの一端は、ＦＰＣ３の中程の部位を挟んで互いに接触することなく間隔をおいて配置され、他端はそれぞれＦＰＣ３の反対端部に向けて延びるように振り分けられている。このため、各チャネル列のチャネル１１の間隔が密になっても、各チャネル列に対応する配線３２Ａ、３２Ｂ同士が短絡するおそれがない。 また、ヘッドチップ１の後面１ｂに対して１枚のＦＰＣ３を接合するだけで、２列のチャネル列の各チャネル１１の駆動電極１３の外部への取り出し作業を行うことができるため、組立作業の簡略化を図ることもできる。

ＦＰＣ３には、ベースフィルム３１との間で各配線３２Ａ、３２Ｂを挟むように、ポリイミド等の可撓性を有する樹脂フィルムからなるカバーレイ３３が設けられている。カバーレイ３３は、各配線３２Ａ、３２Ｂと引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとの電気的接続部位とするための接続領域３４と、駆動回路との電気的接続部位とするための接続領域（不図示）以外の領域に亘って積層されている。従って、上記接続領域３４には、各配線３２Ａ、３２Ｂの一端の端子部３２Ａａ、３２Ｂａが、互いに接触することなく向かい合うように配列されて露出している。

各引き出し電極１４Ａ、１４Ｂと、ＦＰＣ３の配線３２Ａ、３２Ｂの端子部３２Ａａ、３２Ｂａとは、ヘッドチップ１の後面１ｂ上で直接的に電気的接続されていることが好ましい。「直接的に」とは、引き出し電極１４Ａ、１４Ｂと、ＦＰＣ３の配線３２Ａ、３２Ｂの端子部３２Ａａ、３２Ｂａとが、両者を接着するための手段（導電性粒子を有する接着剤の場合は導電性粒子も含む）以外に、両者の間に他の電気的な中継部材を何ら介在させることがないことをいう。このようにＦＰＣ３が引き出し電極１４Ａ、１４Ｂに直接的に電気的接続されていることにより、構造が簡素で済み、部品点数が増加することもなく、低コストとすることができる。

また、ＦＰＣ３とヘッドチップ１の後面１ｂとの間には、両者を接着するための手段としてＡＣＰ（異方性導電ペースト）又はＡＣＦ（異方性導電フィルム）が介在されている。ＡＣＰやＡＣＦを使用することにより電気的接続の信頼性を更に向上させることができる。本実施形態ではＡＣＰ５を使用した例を示している。

ＦＰＣ３は、両端部が引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとの電気的接続部位の近傍から、ヘッドチップ１の後面１ｂに対して垂直方向に折り曲げられ、２列のチャネル列の間からそれぞれヘッドチップ１の後方に向けて延びている。これにより、ＦＰＣ３における各引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとの電気的接続部位（接続領域３４）の後方には、何も存在しない空間Ｓを有している。

また、ＦＰＣ３は２列のチャネル列の間からヘッドチップ１の後方に延びていることにより、ヘッドチップ１の後面１ｂのいずれのチャネル１１の入口も塞ぐことはなく、該入口の後方に差し掛かることもない。このため、ＦＰＣ３にチャネル１１へのインク供給のための開口部を形成する手間が必要ない。また、ヘッドチップ１の側方へのＦＰＣ３の張り出しが抑えられるため、インクジェットヘッドＨ１をコンパクトにすることができる。

ＦＰＣ３の折り曲げ部３０Ａ、３０Ｂは、引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとの電気的接続部位の近傍であってカバーレイ３３が存在しない接続領域３４内に配置されている。各折り曲げ部３０Ａ、３０ＢにはＲ（アール）が設けられており、このＲによってＦＰＣ３は緩やかに折り曲げられている。このため、ＦＰＣ３をカバーレイ３３のない部位で折り曲げる際に配線３２Ａ、３２Ｂにかかる負荷を軽減することができる。これは電気的接続の信頼性を更に向上させる上で好ましい態様である。

ＦＰＣ３とヘッドチップ１との間には十分なＡＣＰ５が塗布されることにより、折り曲げ部３０Ａ、３０Ｂの外側とヘッドチップ１の後面１ｂとに亘って、接着剤（ＡＣＰ５）によるフィレット５ａが形成されている。これにより、ＦＰＣ３の折り曲げ部３０Ａ、３０Ｂの外側がフィレット５ａによって固定されるので、ＦＰＣ３の接着強度を高めることができる。また、各折り曲げ部３０Ａ、３０Ｂの折り曲げ状態が保持されるので、電気的接続の信頼性を更に向上させる観点から好ましい態様である。このフィレット５ａは、ＡＣＰ５の塗布量が少ない場合や、ＡＣＰ５に代えてＡＣＦを使用する場合等では、ＦＰＣ３をヘッドチップ１の後面１ｂに接合した後に、各折り曲げ部３０Ａ、３０Ｂの外側に更にＡＣＰやエポキシ系接着剤等の接着剤をディスペンサー等で塗布することによって形成してもよい。

ＦＰＣ３の配線３２Ａ、３２Ｂには主として銅箔が使用されている。また、図５に示すように、引き出し電極１４Ａ、１４Ｂと電気的に接続される端子部３２Ａａ、３２Ｂａにおける銅箔３２１の表面に金めっき３２２が直接被覆されている。表面を金めっき３２２とすることによって電気的接続の信頼性を更に向上させることができる。

なお、一般に、銅箔の表面にこのような金めっき処理を施す場合、金めっきの密着性を高めるため、銅箔の表面にＮｉによる下地処理を施した後、そのＮｉの表面に金めっきを施すようにしている。しかし、Ｎｉによる下地処理を施すと配線が硬くなることにより、折り曲げ難くなって、折り曲げ時にＦＰＣ３の配線３２Ａ、３２Ｂと引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとが剥離し易くなり、接合作業が煩雑になる等の問題がある。このため、銅箔３２１の表面にＮｉによる下地処理を施すことなく金めっき３２２を直接被覆することは、ＦＰＣ３を折り曲げ易くして、ＦＰＣ３と引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとの電気的接続の信頼性を更に向上させる上で好ましい態様である。

ＦＰＣ３の配線３２Ａ、３２Ｂに使用される銅箔は圧延銅箔であることが好ましい。圧延銅箔は屈曲性に優れ、折り曲げ易いため、ＦＰＣ３の折り曲げ加工を更に容易に行うことができる。

共通流路部材４は、ＦＰＣ３の配線３２Ａ、３２Ｂと引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとの電気的接続部位から外れたヘッドチップ１の後面１ｂに接着剤によって接合されている。この共通流路部材４は、ヘッドチップ１の後面１ｂから後方に延びているＦＰＣ３を取り囲むように形成されており、その中央には、ＦＰＣ３を挿通させる挿通穴４２が形成されている。ＦＰＣ３の各折り曲げ部３０Ａ、３０Ｂよりも後方の部位は、共通流路部材４に対して固着されていない。

ＦＰＣ３は、共通流路部材４の挿通穴４２を通ってヘッドチップ１の後方に延びている。これにより、ＦＰＣ３に対して外側に広げる方向の力が作用しても挿通穴４２によって広がりが阻止されるので、ＦＰＣ３と引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとの電気的接続部位の接続状態に何ら影響を及ぼすおそれはない。これはＦＰＣ３と引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとの電気的接続の信頼性を更に向上させる上で好ましい態様である。

共通流路部材４の内部には、ヘッドチップ１の２列のチャネル列の全てのチャネル１１と連通して、各チャネル１１に共通にインクを供給可能となる１つのインク流路４１が形成されている。すなわち、インク流路４１は、ＦＰＣ３の周囲を完全に取り囲むように環状に形成されている。図１中の符号４１ａはインク流入口、４１ｂはインク流出口である。

共通流路部材４は、ヘッドチップ１の後方に折り曲げられたＦＰＣ３よりも外側に配置されているので、ＦＰＣ３は共通流路部材４のインク流路４１からは完全に隔離されている。これにより、ＦＰＣ３の配線３２Ａ、３２Ｂがインクと直に接触することによるトラブル（断線、腐食、短絡等）のおそれがないと共に、ＦＰＣ３の後方の空間Ｓを何ら邪魔することはない。

共通流路部材４は、ヘッドチップ１の後面１ｂと接合される面の最外周の大きさが、該後面１ｂの外周と同じ大きさとなっており、ヘッドチップ１の側方に張り出していない。従って、ＦＰＣ３が側方に張り出していないことと相俟って、インクジェットヘッドＨ１を更にコンパクトにすることができる。

このインクジェットヘッドＨ１は、ヘッドチップ１の後面１ｂに形成された引き出し電極１４Ａ、１４ＢにＦＰＣ３の配線３２Ａ、３２Ｂを直接的に電気的接続しているため、電気的接続の信頼性が高い。ＦＰＣ３の電気的接続部位の後方には空間Ｓを有し、従来の引き出し部材や発泡樹脂材料等のようなＦＰＣ３の電気的接続部位の後方を埋める別途の部材が存在しないため、それだけ低コスト化を図ることができる。しかも、従来の引き出し部材や発泡樹脂材料を用いる場合のように、熱膨張率の相違に起因してＦＰＣ３に負荷が掛かるようなこともないため、電気的接続の信頼性を更に高めることができる。ＦＰＣ３の電気的接続部位の後方の空間Ｓは、ヘッドチップ１の放熱を高める観点からも有効である。

また、本実施形態のようにＦＰＣ３と共通流路部材４とが固着されないようにすることで、ＦＰＣ３と共通流路部材４との間でも、熱膨張率の相違に起因して剥離等が生じるような無理な負荷がＦＰＣ３に掛かることもない。

更に、従来のようにＦＰＣ３の後方に別途の引き出し部材や発泡樹脂材料を設けていないため、詳細には後述するが、ＦＰＣ３の配線３２Ａ、３２Ｂと引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとの位置合わせ時、ＦＰＣ３の電気的接続部位の後方から該ＦＰＣ３を観察しながら容易に位置合わせを行うことができる。このためＦＰＣ３の配線３２Ａ、３２Ｂを引き出し電極１４Ａ、１４Ｂと直接的に電気的接続していることと相俟って、電気的接続の信頼性を更に高めることができる。

また、共通流路部材４は側方に張り出していないため、図６に示すように、このインクジェットヘッドＨ１を複数積層することによって、チャネル列を更に増加させることが容易に可能である。この場合、内側に配置されるチャネル列の引き出し電極１４Ａ、１４Ｂに対しても、ヘッドチップ１の後方に延びるＦＰＣ３によって駆動回路からの駆動信号を容易に印加することができる。

図６ではインクジェットヘッドＨ１を２つ積層することにより、４列のチャネル列を有するインクジェットヘッドＨ２としたが、インクジェットヘッドＨ１の積層数を更に増加させることにより、６列、８列・・・というように容易にチャネル列数を増加させることができる。このようにインクジェットヘッドＨ１を複数積層したインクジェットヘッドＨ２とする場合、ノズルプレート２はインクジェットヘッドＨ２で１枚となるように構成してもよい。

また、本発明は、図７に示すように、１列のチャネル列のみを有するインクジェットヘッドＨ３とすることもできる。この場合のＦＰＣ３’は、図４に示すＦＰＣ３を接続領域３４の中央で切断したうちの半分の構造のものを使用すればよい。

この場合のＦＰＣ３’も引き出し電極１４との電気的接続部位の近傍から折り曲げられ、ヘッドチップ１の後方に向けて延び、電気的接続部位の後方には空間Ｓを有している。また、共通流路部材４は、ＦＰＣ３’の折り曲げ部３０よりも後方の部位を固着することなく、該ＦＰＣ３’の電気的接続部位から外れた位置に、全てのチャネル１１の入口を覆うように接合されており、インクジェットヘッドＨ１と同様の効果を有している。

なお、図７中のＦＰＣ３’に付された符号のうち、図２に示したＦＰＣ３に付された符号と同一の符号の部位は、同一の構成の部位を示している。また、図７中の符号３２ａは配線３２の端子部である。

この１列のチャネル列を有するインクジェットヘッドＨ３は、図８に示すように、偶数列（２列、４列・・・）のチャネル列を有するインクジェットヘッドＨ１と積層することによって、奇数列（３列、５列・・・）のチャネル列を有するインクジェットヘッドＨ４を容易に構成することができる。このように構成されるインクジェットヘッドＨ４も、ノズルプレート２はインクジェットヘッドＨ４で１枚となるように構成してもよい。

なお、図６、図８に示したように複数のインクジェットヘッドを積層する場合、共通流路部材４を積層したヘッドチップ１毎に１つずつ設けるようにする態様に限らず、複数のヘッドチップ１を積層した後の全てのチャネル列に対して共通となる１つの共通流路部材を設ける態様としてもよい。

また、インクジェットヘッドが２列以上のチャネル列を有する場合は、ヘッドチップ１の数にかかわらず、１列のチャネル列毎に独立した共通流路部材をそれぞれ設ける態様とすることもできる。このように１つのインクジェットヘッドに複数の共通流路部材を設ける場合、例えば共通流路部材毎に異なる色のインクを供給すれば、１つのインクジェットヘッドで異なる色のインクを吐出させることもできる。

図９は、インクジェットヘッドＨ１のＦＰＣ３に代えて別態様のＦＰＣ６を使用したインクジェットヘッドＨ５を示している。図２と同一符号の部位は同一構成の部位であるため、それらの説明は図２の説明を援用し、ここでは省略する。

このＦＰＣ６は、ヘッドチップ１の後面１ｂの引き出し電極１４Ａ、１４Ｂに対応する配線６２Ａ、６２Ｂをポリイミド等の可撓性を有する樹脂フィルムからなるベースフィルム６１との間で挟むように、ポリイミド等の可撓性を有する樹脂フィルムからなるカバーレイ６３が積層されている点でＦＰＣ３と同一であるが、カバーレイ６３が引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとの接続領域にも形成され、更に空間Ｓ側に面するように配置されている点でＦＰＣ３とは異なっている。

このＦＰＣ６のベースフィルム６１には、各引き出し電極１４Ａ、１４Ｂに対応する部位にスルーホール６１ａ、６１ａがそれぞれ貫通形成されている。配線６２Ａ、６２Ｂの各々の一端側は、ベースフィルム６１の一方の面（カバーレイ６３が積層される面）からスルーホール６１ａ、６１ａを介して他方の面（引き出し電極１４Ａ、１４Ｂに対向する面）に引き出されており、ベースフィルム６１の表面に沿ってそれぞれ端子部６２Ａａ、６２Ｂａを形成している。

ＦＰＣ６は、ベースフィルム６１の他方の面に配置された各端子部６２Ａａ、６２Ｂａが、対応する引き出し電極１４Ａ、１４Ｂに電気的接続され、その電気的接続部位の近傍で折り曲げられてヘッドチップ１の後方に延びている。従って、このＦＰＣ６も、いずれのチャネル１１の入口にも差し掛かっておらず、該入口を塞ぐことはない。

また、このＦＰＣ６の折り曲げ部６０Ａ、６０Ｂにも、図２に示したＦＰＣ３のようなＲ（アール）を設けてもよい。しかし、各端子部６２Ａａ、６２Ｂａを含む電気的接続部位及びその近傍もカバーレイ６３で被覆されているため、必ずしもＲ（アール）を設けなくても、ＦＰＣ６の折り曲げ部６０Ａ、６０Ｂで配線６２Ａ、６２Ｂに折り曲げによる負荷が掛かりにくい効果がある。

なお、この配線６２Ａ、６２Ｂに折り曲げによる負荷が掛かりにくい効果を得るためには、カバーレイ６３は、ＦＰＣ６の全面に形成されていなくてもよく、少なくとも各端子部６２Ａａ、６２Ｂａを含む電気的接続部位及びその近傍の折り曲げ部６０Ａ、６０Ｂを覆うように形成されていればよい。

このインクジェットヘッドＨ５に使用したＦＰＣ６は、一方の配線６２Ａ又は６２Ｂのみを有する半分の大きさに形成し、図７に示した１列のチャネル列を有するＦＰＣ３’に代えて使用することにより、インクジェットヘッドＨ３にも同様に適用できることはもちろんである。

次に、本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法について、図１０〜図１６を用いて、２列のチャネル列を有するインクジェットヘッドＨ１を例に挙げて説明する。なお、このインクジェットヘッドＨ１では、図４に示したＦＰＣ３を使用したが、図９に示したＦＰＣ６を使用する場合も同様に適用できる。

まず、圧電素子を含む基板１０１の上面から、複数の溝を平行に研削することによって、チャネル１１と駆動壁１２とが交互に並設されるように形成すると共に、各チャネル１１の内面全面に駆動電極１３を形成する。そして、この基板１０１に、チャネル１１の上方を塞ぐように１枚のカバー基板１０２を積層することにより、１枚の大判のチャネル基板１００を形成する（図１０（ａ））。

次いで、同様に形成したチャネル基板１００を２枚用意し、カバー基板１０２が外側となるように接合して２列のチャネル列となる大判のチャネル基板２００を作製する（図１０（ｂ））。

そして、この大判のチャネル基板２００を、チャネル１１の長さ方向と直交する方向に沿う複数のカットラインｃ、ｃ・・・に沿って切断（フルカット）することにより、２列のチャネル列を有するヘッドチップ１、１・・・を作製する（図１１）。各ヘッドチップ１のチャネル１１の駆動長さは、カットラインｃ、ｃ・・・の間隔によって調整することができる。

次いで、この２列のチャネル列を有するヘッドチップ１の後面１ｂに対し、図３に示したように、各チャネル１１内の駆動電極１３に一端が電気的に接続されるチャネル１１毎の引き出し電極１４Ａ、１４Ｂをパターン形成する（第１の工程）。

この引き出し電極１４Ａ、１４Ｂの形成は、ドライフィルムを用いた露光・現像処理、蒸着法による金属膜の形成、金属膜形成後のドライフィルムの除去を行う公知のパターニング技術を採用することができる。

蒸着は、ヘッドチップ１の後面１ｂに対して方向を変えて２度行うことが好ましい。具体的には、後面１ｂに垂直な方向から、チャネル列の並設方向に沿う上下に各３０度の方向から行うことが好ましい。これにより、各引き出し電極１４Ａ、１４Ｂと各チャネル１１内の駆動電極１３との電気的接続を確実にすることができる。

また、引き出し電極１４Ａ、１４Ｂの形成は、蒸着法に代えてスパッタリング法によって行ってもよい。スパッタリング法は、飛来する金属粒子の方向がランダムなため、特に方向を変えなくてもチャネル２２の内部まで金属膜を形成できるので好適である。

この他、引き出し電極１４Ａ、１４Ｂを無電解めっき法によって形成することもできる。

次いで、ヘッドチップ１の後面２ｂに引き出し電極１４Ａ、１４Ｂを覆うようにＡＣＰ５を塗布し、ＦＰＣ３の接続領域３４を重ね合わせる（図１２）。

ＦＰＣ３には、図４に示したように、予めベースフィルム３１上に配線３２Ａ、３２Ｂが形成され、これら配線３２Ａ、３２Ｂをベースフィルム３１との間で挟むようにカバーレイ３３が積層されている。カバーレイ３３は接続領域３４には設けられておらず、この接続領域３４に、各配線３２Ａ、３２Ｂの端子部３２Ａａ、３２Ｂａが露出している。ＦＰＣ３は、これら端子部３２Ａａ、３２Ｂａがヘッドチップ１の後面１ｂに対向するように配置されて重ね合される。

ヘッドチップ１の後面１ｂにＦＰＣ３を重ね合わせた後、ヘッドチップ１の後方からＦＰＣ３を観察することにより、引き出し電極１４Ａ、１４ＢとＦＰＣ３に設けられている配線３２Ａ、３２Ｂとの位置合わせを行う（第２の工程、図１３）。

図１３中の符号３００は、位置合わせ時にＦＰＣ３を後方から観察するためのカメラである。本発明では、ヘッドチップ１の後面１ｂに対してＦＰＣ３を接合するために従来用いられていた引き出し部材や発泡樹脂材料を使用しておらず、また、溝を形成してその溝内にＦＰＣを挿入する構成でもないため、位置合わせ時にＦＰＣ３の後方には何も存在しない広い空間を確保でき、このようにカメラ３００を使用してＦＰＣ３を後方から容易に観察することができる。

カメラ３００は、ＦＰＣ３のベースフィルム３１を透過して、接続領域３４内の配線３２Ａ、３２Ｂと引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとを撮影可能であり、不図示のモニタ画面に像を投影する。作業者は、このモニタ画面を観察することにより、ＦＰＣ３の位置合わせを容易且つ確実に行うことができる。これにより、ＦＰＣ３の配線３２Ａ、３２Ｂと引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとの電気的接続の信頼性を向上させることができる。

ＦＰＣ３の位置合わせが完了したら、ＦＰＣ３の配線３２Ａ、３２Ｂと引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとを圧着させる（第３の工程、図１４）。

図１４中の符号４００は、この圧着時に好ましく使用される圧着治具である。圧着治具４００は、厚みがヘッドチップ１のチャネル列間の間隔よりも薄い板状部材によって形成されている。ＦＰＣ３と当接して圧着する圧着治具４００の先端は、平坦に形成された先端面４０１となっており、この先端面４０１に隣接する側面４０２、４０２は、ヘッドチップ１の後方に向けて延びるように、ヘッドチップ１の後面１ｂに垂直な面で構成されている。圧着治具４００は、先端面４０１をＦＰＣ３の接続領域３４の背面側から所定の圧力で押し当てることにより、配線３２Ａ、３２Ｂの端子部３２Ａａ、３２Ｂａを引き出し電極１４Ａ、１４Ｂに圧着させる。

圧着治具４００によってＦＰＣ３をヘッドチップ１の後面１ｂに圧着させた後、その圧着状態を保ったまま、ＦＰＣ３の両端部を引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとの電気的接続部位の近傍のカバーレイ３３のない部位から、圧着治具４００の側面４０２、４０２に沿わせて、ヘッドチップ１の後方に延びるように折り曲げる（第４の工程）。

この圧着治具４００の先端面４０１の両角部４０１ａ、４０１ａは丸め加工されることによってＲ（アール）が設けられている。これによりＦＰＣ３を圧着治具４００の側面４０２、４０２に沿って折り曲げた際、その折り曲げ部３０Ａ、３０Ｂ（図２参照）が鋭角になることなく、容易にＲを形成することができる。

ヘッドチップ１の後面１ｂとＦＰＣ３との間のＡＣＰ５が十分な量で塗布されれば、圧着治具４００を用いた圧着、接合時、図２に示すように、ＡＣＰ５はＦＰＣ３の折り曲げ部３０Ａ、３０Ｂの外側にも回り込むことで、該部位にフィレット５ａ、５ａを形成することができる。しかし、ＡＣＰ５の塗布量が少ない等の理由によってフィレット５ａ、５ａの形成が不十分となる場合は、図１５に示すように、ＦＰＣ３を折り曲げた後または後述するように圧着治具４００を取り除いた後に、折り曲げ部３０Ａ、３０Ｂの外側にディスペンサー５００等を用いて、ＡＣＰやエポキシ接着剤等の追加の接着剤を塗布することによってフィレット５ａを形成することが好ましい。

ＦＰＣ３の折り曲げが完了し、ＡＣＰ５（接着剤）が硬化した後（接合完了後）、圧着治具４００を取り除く。これにより、ＦＰＣ３における引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとの電気的接続部位の後方には、何も存在しない空間Ｓが形成される。このため、従来の引き出し部材や発泡樹脂材料を用いる場合のように、ＦＰＣ３との熱膨張率の相違に起因して、ＦＰＣ３に負荷が掛かるようなことはない。

次いで、予め挿通穴４２を有する形状に形成しておいた共通流路部材４を、ＦＰＣ３と引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとの電気的接続部位から外れたヘッドチップ１の後面１ｂに接合する（第５の工程、図１６）。

すなわち、ヘッドチップ１の後方に延びるように接合されたＦＰＣ３の両端部を、共通流路部材４の挿通穴４２に挿通させ、各チャネル列の全てのチャネル１１の入口がインク流路４１で被覆されるように、共通流路部材４をヘッドチップ１の後面１ｂにエポキシ系接着剤等を用いて接合する。ＦＰＣ３は共通流路部材４の挿通穴４２に挿通するだけであり、挿通穴４２の内面とは何ら固着されないと共に、ＦＰＣ３の後方の空間Ｓが塞がれることもない。

ノズルプレート２は、図１６に示すように、ここでヘッドチップ１の前面１ａに接合されるようにしたが、チャネル基板２００からヘッドチップ１を切り出した後で、ＦＰＣ３を重ね合わせる前に接合してもよい。

以上により、ヘッドチップ１の後面１ｂの引き出し電極１４Ａ、１４Ｂに容易にＦＰＣ３を直接的に電気的接続することができる２列のチャネル列を有するコンパクトなインクジェットヘッドＨ１を構成することができる。ＦＰＣ３の電気的接続は、引き出し電極１４Ａ、１４Ｂに対して直接的に行っていると共に、引き出し電極１４Ａ、１４Ｂとの位置合わせも容易であるため、信頼性の高い電気的接続を行うことができる。

チャネル列を増加する場合は、このインクジェットヘッドＨ１を複数積層すればよい。このとき、共通流路部材を全てのチャネル列で共通とする場合、ＦＰＣ３を接合した後で、共通流路部材４を接合する前のヘッドチップ１を複数積層した後、各ＦＰＣ３をそれぞれ個別に挿通することのできる挿通穴と、内部に全てのチャネル列で共通のインク流路を有する１つの共通流路部材を接合すればよい。

また、図１０（ａ）に示すチャネル基板１００からヘッドチップ１を切り出し、そのヘッドチップ１に一方の配線３２のみを有するＦＰＣ３’を接合すれば、図７に示した１列のチャネル列を有するインクジェットヘッドＨ３も同様にして形成することができる。

１：ヘッドチップ
１ａ：前面
１ｂ：後面
１１：チャネル
１１ａ：壁面
１２：駆動壁
１３：駆動電極
１４、１４Ａ、１４Ｂ：引き出し電極
２：ノズルプレート
２１：ノズル
３、３’：ＦＰＣ
３０、３０Ａ、３０Ｂ：折り曲げ部
３１：ベースフィルム
３２、３２Ａ、３２Ｂ：配線
３２ａ、３２Ａａ、３２Ｂａ：端子部
３２１：銅箔
３２２：金めっき
３３：カバーレイ
３４：接続領域
４：共通流路部材
４１：インク流路
４１ａ：インク流入口
４１ｂ：インク流出口
４２：挿通穴
５：ＡＣＰ
５ａ：フィレット
６：ＦＰＣ
６０Ａ、６０Ｂ：折り曲げ部
６１：ベースフィルム
６１ａ：スルーホール
６２Ａ、６２Ｂ：配線
６２Ａａ、６２Ｂａ：端子部
６３：カバーレイ
１００：チャネル基板
１０１：基板
１０２：カバー基板
２００：大判のチャネル基板
３００：カメラ
４００：圧着治具
４０１：先端面
４０１ａ：角部
４０２：側面
５００：ディスペンサー
Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３、Ｈ４、Ｈ５：インクジェットヘッド
Ｓ：空間
ｃ：カットライン

Claims (22)

1. 圧電素子を含む駆動壁とチャネルとが交互に並設されたチャネル列を有すると共に前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの出口と入口とが配置され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁の壁面に駆動電極が形成されてなるヘッドチップを有するインクジェットヘッドにおいて、
   前記ヘッドチップの後面に、前記チャネル内の前記駆動電極と電気的に接続された引き出し電極が前記チャネル毎に形成されていると共に、前記引き出し電極にＦＰＣの配線が電気的に接続されており、
   前記ＦＰＣは、溝が形成されていない前記後面に形成された前記引き出し電極と前記配線との電気的接続部位の近傍から折り曲げられて前記ヘッドチップの後方に延びていると共に、前記電気的接続部位の後方に空間を有していることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記ヘッドチップの後面の前記電気的接続部位から外れた部位に、前記チャネル列の前記チャネルに共通のインク流路を形成する共通流路部材が接合されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
3. 前記ＦＰＣは、前記共通流路部材に固着されていないことを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッド。
4. 前記チャネル列は複数並設されており、
   前記ＦＰＣは、隣り合う２列の前記チャネル列の間から前記ヘッドチップの後方に延びていることを特徴とする請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッド。
5. 隣り合う２列の前記チャネル列の前記引き出し電極と電気的に接続される配線が、１枚の前記ＦＰＣに形成されていることを特徴とする請求項４記載のインクジェットヘッド。
6. 一方の前記チャネル列の前記引き出し電極と電気的に接続される配線と、他方の前記チャネル列の前記引き出し電極と電気的に接続される配線とが、前記ＦＰＣの中程に配置された前記電気的接続部位から前記電気的接続部位の近傍の折り曲げ部を経由して互いに前記ＦＰＣの反対端部に向けて延びるように配列され、該ＦＰＣの両端部がそれぞれ前記ヘッドチップの後方に延びていることを特徴とする請求項５記載インクジェットヘッド。
7. 前記ＦＰＣは、前記電気的接続部位を除いてカバーレイが設けられており、前記電気的接続部位の近傍の前記カバーレイのない部位で折り曲げられ、折り曲げ部にＲが設けられていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
8. 前記ＦＰＣの前記配線は、前記引き出し電極と電気的に接続される端子部表面が、銅箔の表面にＮｉによる下地処理を施すことなく金めっき処理されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
9. 前記銅箔は、圧延銅箔であることを特徴とする請求項８記載のインクジェットヘッド。
10. 前記ＦＰＣは、ベースフィルムにスルーホールが形成され、配線が前記ベースフィルムの一方の面から前記スルーホールを介して他方の面に引き出され、該他方の面において前記引き出し電極と電気的に接続されており、前記一方の面には少なくとも前記電気的接続部位及びその近傍の折り曲げ部を覆うようにカバーレイが設けられていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
11. 前記ＦＰＣは、ＡＣＦ又はＡＣＰによって前記引き出し電極と電気的に接続されていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
12. 前記ＦＰＣの折り曲げ部の外側と前記ヘッドチップの後面とに亘って、接着剤によるフィレットが形成されていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
13. 前記共通流路部材は、前記ＦＰＣを取り囲むように設けられていることを特徴とする請求項２又は３に記載のインクジェットヘッド。
14. 前記溝が形成されていない前記後面は、前記前面に対向していることを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
15. 前記ＦＰＣにおける前記ヘッドチップの後方に延びている部位には、他の部材が固着されていないことを特徴とする請求項１〜１４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
16. 前記空間は、前記電気的接続部位に隣接して形成されていることを特徴とする請求項１〜１５のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
17. 圧電素子を含む駆動壁とチャネルとが交互に並設されたチャネル列を有すると共に前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの出口と入口とが配置され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁の壁面に駆動電極が形成されてなるヘッドチップを用意し、該ヘッドチップの後面に、前記チャネル内の前記駆動電極と電気的に接続された該チャネル毎の引き出し電極を形成する第１の工程と、
    前記ヘッドチップの後面にＦＰＣを重ね、前記ヘッドチップの後方から該ＦＰＣを観察することにより、前記引き出し電極と前記ＦＰＣに設けられている配線との位置合わせを行う第２の工程と、
    位置合わせされた前記ＦＰＣの前記配線と前記引き出し電極とを圧着する第３の工程と、
    前記ＦＰＣを、前記引き出し電極との電気的接続部位の近傍から前記ヘッドチップの後方に延びるように折り曲げる第４の工程とを、この順に有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
18. 前記第４の工程の後に、前記チャネル列の前記チャネルに共通のインク流路を形成する共通流路部材を、前記電気的接続部位から外れた前記ヘッドチップの後面に接合する第５の工程を有することを特徴とする請求項１７記載のインクジェットヘッドの製造方法。
19. 前記第３の工程において、前記ＦＰＣの背面側から前記電気的接続部位を、圧着治具の先端面を押し当てて圧着することを特徴とする請求項１７又は１８記載のインクジェットヘッドの製造方法。
20. 前記圧着治具は、前記先端面に隣接して、前記ヘッドチップの後方に向けて延びる側面を有し、
    前記第４の工程において、前記圧着治具の前記側面に沿って前記ＦＰＣを前記ヘッドチップの後方に延びるように折り曲げた後、前記圧着治具を取り除くことを特徴とする請求項１９記載のインクジェットヘッドの製造方法。
21. 前記第２の工程において、前記ヘッドチップの後面に前記引き出し電極を覆うようにＡＣＦ又はＡＣＰを設けた後、前記ＦＰＣを重ねることを特徴とする請求項１７〜２０のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
22. 前記第４の工程において、前記ＦＰＣを折り曲げた後、折り曲げ部の外側と前記ヘッドチップの後面とに亘って、接着剤によるフィレットを形成することを特徴とする請求項１７〜２１のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。

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