JP4561332B2 - インクジェットヘッド - Google Patents

Description

本発明はインクジェットヘッドに関し、詳しくは、圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共に前面及び後面にそれぞれチャネルの端部が対向状に配置され、前記駆動壁に電圧を印加することにより該駆動壁をせん断変形させてチャネル内のインクを吐出させるようにしたインクジェットヘッドであって、特にヘッドチップの後面にインク室を有するインクジェットヘッドに関する。

従来、チャネルを区画する駆動壁に電圧を印加することにより該駆動壁をせん断変形させてチャネル内のインクを吐出させるようにしたシェアモード型のインクジェットヘッドとして、インクを吐出させるためのアクチュエータを、圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共に前面及び後面にそれぞれチャネルの端部が対向状に配置される所謂ハーモニカ型のヘッドチップにより構成することで、１枚のウェハーからの取り数が多く、極めて生産性を向上させたインクジェットヘッドが公知である（特許文献１〜３）。

このようなヘッドチップの後面には、インクを貯留するチャネルにその入口側（ノズルプレートと反対側）からインクを供給するためのインク室を構成するため、インク室形成部材が接着剤を用いて接着される。この場合、ヘッドチップの後面とインク室形成部材とを、接着剤がチャネル内に流れ込まないように、その周囲の平坦なスペースに接着剤を塗布して接着を行う必要がある。しかし、ヘッドチップの厚みは数ｍｍ程度しかなく、そのようなヘッドチップの後面において接着剤のはみ出しが生じない程度に塗布可能な平坦な糊代部分はせいぜい０．５ｍｍ程度のスペースしかない。

従って、インク室形成部材を接着剤を用いてヘッドチップの後面に接着する際は、微小なスペースに接着剤がはみ出さないように、接着剤の塗布を精密にコントロールする必要があり、生産性に問題を残している。この場合、基板を厚くすることでチャネル端部の周囲の面が大きくなるように形成し、接着剤の塗布スペースを広く確保することも考えられるが、無駄にヘッドの大型化を招くこととなる。このため、ヘッドチップを無駄に大きくすることなく、チャネル内への接着剤の流れ込みの問題なくインク室を構成することのできるインクジェットヘッド構造が望まれている。
特開２００２−１０３６１２号公報 特開２００２−１０３６１４号公報 特開２００２−２１０９５５号公報

そこで、本発明は、ヘッドチップを無駄に大きくすることなく、チャネル内への接着剤の流れ込みの問題なくインク室を構成することのできるインクジェットヘッドを提供することを課題とする。

本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。

上記課題は、以下の各発明によって解決される。

請求項１記載の発明は、圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共に前面及び後面にそれぞれチャネルの端部が対向状に配置され、前記チャネル内に臨む駆動壁の表面に駆動電極が形成されたヘッドチップと、前記駆動電極に電気的に接続すると共に前記ヘッドチップの後面を通って該ヘッドチップの上面及び／又は下面に引き出し形成された接続電極と、前記ヘッドチップの後面に接着され、前記チャネルにインクを供給するためのインク室を形成するインク室形成部材と、前記ヘッドチップの上面及び／又は下面において前記接続電極と電気的に接続され、該接続電極を介して前記駆動電極に駆動回路からの信号を印加するためのフレキシブル基板とを有し、前記インク室形成部材は、少なくとも前記ヘッドチップの上面及び下面とそれぞれ同一面状となる２平面を有すると共に、該ヘッドチップの後面における前記接続電極の形成領域に対応する部位に、該ヘッドチップの後面との接着端面から後退して該ヘッドチップの後面に対して接しない凹設部を有し、前記フレキシブル基板は、前記インク室形成部材に対して接着されることにより、前記凹設部と前記ヘッドチップとの間で形成される開口を閉塞していることを特徴とするインクジェットヘッドである。

請求項２記載の発明は、前記インク室形成部材は、前記ヘッドチップの上面と同一面状となる平面を構成する部材と前記ヘッドチップの下面と同一面状となる平面を構成する部材の２つの部材間に隙間を有することを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドである。

請求項３記載の発明は、前記インク室形成部材は、前記ヘッドチップの上面と同一面状となる平面を構成する部材と前記ヘッドチップの下面と同一面状となる平面を構成する部材の２つの部材を含む複数の部材に分割されていることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドである。

請求項４記載の発明は、前記インク室形成部材は、前記ヘッドチップの上面及び下面とそれぞれ同一面状となる平面を構成する２つの部材同士が、前記ヘッドチップの後面との接着端と反対端において一体化されていることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドである。

請求項５記載の発明は、前記インク室形成部材は、前記ヘッドチップの上面及び下面とそれぞれ同一面状となる２平面を構成する各部材の両側端付近において裏面に突出する肉厚部を有し、該肉厚部の端面を含んで前記ヘッドチップの後面に対する接着端面が形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッドである。

請求項６記載の発明は、前記インク室形成部材は、前記ヘッドチップの上面及び下面とそれぞれ同一面状となる２平面を構成する部材間の側部が開放されており、インク流通口とされていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のインクジェットヘッドである。

請求項７記載の発明は、前記凹設部と前記ヘッドチップとの間で形成される開口は、スリット状に形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッドである。

請求項１記載の発明によれば、ヘッドチップを無駄に大きくすることなく、チャネル内への接着剤の流れ込みの問題なくインク室を構成することのできるインクジェットヘッドを提供することができる。

請求項２記載の発明によれば、ヘッドチップの上面と同一面状となる平面を構成する部材とヘッドチップの下面と同一面状となる平面を構成する部材の２つの部材間に隙間を有するため、ヘッドチップの上面及び下面と各平面との位置合わせ時の誤差を隙間によって吸収することができ、位置合わせが容易に行え、段差の発生のない接着が容易に可能となる。

請求項３記載の発明によれば、インク室形成部材は、ヘッドチップの上面と同一面状となる平面を構成する部材とヘッドチップの下面と同一面状となる平面を構成する部材に少なくとも分割されているので、ヘッドチップの後面に対して個別に接着でき、一方の部品精度が他方の接着精度に影響を与えることがない。

請求項４記載の発明によれば、インク室形成部材は一体化されているので、一度の接着作業でヘッドチップの後面に対してインク室形成部材を設けることができる。

請求項５記載の発明によれば、インク室形成部材のヘッドチップの後面に対する接着端面は肉厚部の端面を含むため、接着面積を広く確保することができ、接着強度を高め、確実且つ強固な接着が可能となる。

請求項６記載の発明によれば、インク室形成部材内にインクを流通させるインク流通口が、ヘッドチップの上面及び下面とそれぞれ同一面状となる２平面を構成する部材間の側部が開放されることにより形成されるため、インク室内にインク供給する際の流路が大きく確保でき、流路抵抗を小さくすることができる。

請求項７記載の発明によれば、開口を通してフレキシブル基板に与える負担を小さくすることができ、フレキシブル基板の剥がれを防止することができる。

以下、本発明の実施の形態について図面に基づいて説明する。

図１は、本発明に係るインクジェットヘッドを示す全体斜視図、図２はその分解斜視図、図３はインクジェットヘッドの断面図、図４はヘッドチップを後面側から見た部分斜視図である。

図中、１はヘッドチップ、２はヘッドチップ１の前面に接着剤を用いて接着されたノズルプレート、３はヘッドチップ１の後面に接着剤を用いて接着されたインク室形成部材、４はヘッドチップ１に対して駆動回路（図示せず）からの信号を印加するためのフレキシブル基板、５はインク室形成部材３内に形成されるインク室である。

なお、本明細書において、ヘッドチップからインクが吐出される側の面をヘッドチップの「前面」といい、その反対側の面を「後面」という。また、ヘッドチップにおいて並設されるチャネルを挟んでヘッドチップの上下に面する外側面をそれぞれ「上面」及び「下面」という。

ヘッドチップ１は、電界を印加することによりせん断変形するＰＺＴ等の圧電素子からなる駆動壁１１とチャネル１２とが交互に並設されている。図示するヘッドチップ１は、チャネル１２の並び方向と直交する上下に２列のチャネル列を形成するべく、２つのチップ１ａ、１ｂを積層して一体に固着して形成されており、各チップ１ａ、１ｂにおいて、各々のチャネル１２は互いに位相がずれて設けられている。

各チャネル１２の形状は、両側壁が垂直方向に向いており、そして互いに平行である。また、各チャネル１２の端部は互いに対向しており、チャネル１２内に流入されるインクの入口からインクが吐出される出口に亘る長さ方向で大きさと形状がほぼ変わらないストレートな溝状に形成されている。

各チャネル１２内に臨む駆動壁１１の少なくとも両側壁面には、ＮｉやＣｕ等からなる駆動電極１３が、蒸着法、スパッタリング法、めっき法、ＣＶＤ（化学気相反応法）等の真空装置を用いた方法等によって形成されている。各チップ１ａ、１ｂには、この駆動電極１３に所定の信号電圧が印加されることにより、圧電素子からなる駆動壁１１が圧電すべり効果によってせん断変形し、チャネル１２内のインクに対して吐出のための圧力を発生させる。

各駆動電極１３に対する信号電圧の印加は、それぞれチップ１ａ、１ｂ毎にフレキシブル基板４を介して行われる。このため、各チャネル１２内に形成された駆動電極１３は、図４に示すように、各駆動電極１３と電気的に接続された接続電極１４が、ヘッドチップ１の後面１Ａを通って、２つのチップ１ａ、１ｂのそれぞれ反対面であるヘッドチップ１の上面１Ｂ及び下面１Ｃまで引き出されている。このような接続電極１４は、駆動電極１３を形成した後のヘッドチップ１に対して、接続電極１４を形成する部位以外の部位をマスクした後、アルミニウム等の電極形成用金属を選択的に蒸着することにより形成することができる。

これにより、ヘッドチップ１の上面１Ｂ及び下面１Ｃには、それぞれ各チップ１ａ、１ｂのチャネル１２と同一ピッチで、フレキシブル基板４にそれぞれ形成された配線４１との電気的接続を行うための接続電極１４の一端が配列される。

ノズルプレート２は、ヘッドチップ１の前面に接着剤を用いて接着されている。ノズルプレート２には、各チャネル１２に対応する位置及び数のノズル孔２１が開設されている。

インク室形成部材３は、ヘッドチップ１のチャネル１２内に共通にインクを供給するインク室５の壁面を形成するための部材である。このため、接触するインクに対する耐性を有する材質により形成される。具体的にはポリイミド、ポリカーボネート等のエンジニアリングプラスチックと呼ばれる高機能樹脂やセラミックスが好ましい。特にセラミックスにより作成する場合、ヘッドチップ１と熱膨張係数が異なると、接着時に加熱した後に反りが発生するおそれがあるため、熱膨張係数がヘッドチップ１と同一又はできるだけ近い材質のものが好ましい。

ここに示すインク室形成部材３は、ヘッドチップ１の上面１Ｂと同一面状となる平面を形成する平板状の側板部３ａと、ヘッドチップ１の下面１Ｃと同一面状となる平面を形成する平板状の側板部３ｂと、これら側板部３ａ、３ｂのヘッドチップ１と反対側の端面に接着して該端面側を閉塞する後板部３ｃの３つの部材に分割されており、側板部３ａと側板部３ｂとは間に若干の隙間Ｓを介して対向している。各側板部３ａ、３ｂは、ヘッドチップ１の幅（チャネル１２の並び方向の長さ）と同一幅に形成されている。

インク室形成部材３のヘッドチップ１の後面１Ａに対向する端面は、該後面１Ａとの接着端面３１ａ、３１ｂとされている。各側板部３ａ、３ｂには、各々の裏面の両側端付近の部位の厚みを他の部位よりも厚くすることによってそれぞれ肉厚部３２ａ、３２ｂが形成されており、上記隙間Ｓはこの肉厚部３２ａ、３２ｂ間に形成されている。接着端面３１ａ、３１ｂは、この肉厚部３２ａ、３２ｂの端面を含んで形成されていることで、ヘッドチップ１の後面１Ａに対する比較的広い接着面を形成している。

また、各肉厚部３２ａ、３２ｂは、ヘッドチップ１の後面１Ａに対する接着端面３１ａ、３１ｂからインクの吐出方向と反対方向に延びているが、側板部３ａ、３ｂの長さ（インクの吐出方向に沿う長さ）よりも短く形成されており、各側板部３ａ、３ｂにおいて各肉厚部３２ａ、３２ｂよりも後方側は、平板部分の肉厚分しかない。このため、インク室形成部材３の両側部において、隙間Ｓを介して近接している肉厚部３２ａ、３２ｂよりも後方側は、該隙間Ｓに比べて大きく開放し、インク室５内にインクを流通させるためのインク流通口３３となっている。

これにより、インク形成部材３は、大きく開放するインク流通口３３によってインク室５内にインク供給する際の流路が大きく確保でき、流路抵抗を小さくすることができる。また、ヘッドチップ１の後面１Ａに対する接着面積は、接着端面３１ａ、３１ｂが肉厚部３２ａ、３２ｂの端面を含むことによって広く確保されているため、それだけ接着強度を高めることができ、インク室形成部材３をヘッドチップ１の後面１Ａに対して確実且つ強固に接着することができる。

インク室形成部材３の各側板部３ａ、３ｂにおいて、上記接着端面３１ａ、３１ｂは、ヘッドチップ１の後面１Ａにおける幅方向の両端部のチャネル非形成領域１００（図３参照）に対応する部位にのみ形成されており、ヘッドチップ１の中程、すなわち、各チャネル１２から引き出し形成された各接続電極１４の形成領域に対応する部位には存在していない。各側板部３ａ、３ｂにおいて、この各接続電極１４の形成領域に対応する部位には、上記接着端面３１ａ、３１ｂからそれぞれヘッドチップ１とは反対方向に向けて後退して該ヘッドチップ１の後面１Ａに対して接しない凹設部３４ａ、３４ｂが形成されている。

従って、インク室形成部材３はヘッドチップ１の後面１Ａにおけるチャネル非形成領域１００においてのみ接着するので、接着剤がチャネル１２に流れ込む危険性はない。また、ヘッドチップ１を大きく形成する必要もないため、インクジェットヘッドのコンパクト化を阻害することもない。

ヘッドチップ１の後面１Ａは、接続電極１４の厚みによって僅かながらも凹凸状となっているが、インク室形成部材３は、凹設部３４ａ、３４ｂによって接続電極１４が形成される領域に対して接することがないため、チャネル非形成領域１００の平滑面に対する接着精度だけを考慮すればよい。従って、インク室形成部材３をヘッドチップ１の後面１Ａに対して精度良く接着することが可能となる。特に、このインク室形成部材３は、少なくとも側板部３ａと側板部３ｂとは分割されているので、ヘッドチップ１の後面１Ａに対してそれぞれ個別に接着される。従って、一方の部品精度が他方の接着精度に影響を与えることがない。

更に、インク室形成部材３は、ヘッドチップ１の上面１Ｂ及び下面１Ｃとそれぞれ同一面状となる側板部３ａ、３ｂ間に若干の隙間Ｓが設けられているので、各側板部３ａ、３ｂをヘッドチップ１の上面１Ｂ及び下面１Ｃとそれぞれ同一面状となるように位置合わせする際の誤差を隙間Ｓによって吸収することでき、位置合わせが容易に行え、段差の発生のない接着が容易に可能となる利点がある。後板部３ｃは、各側板部３ａ、３ｂをそれぞれ位置合わせしてヘッドチップ１の後面１Ａに接着した後、各側板部３ａ、３ｂの後端面に対して接着すればよい。

このようにインク室形成部材３がヘッドチップ１の後面１Ａに対して接着されると、ヘッドチップ１の後面１Ａとインク室形成部材３の各凹設部３４ａ、３４ｂとの間に開口３５ａ、３５ｂが形成される。

各フレキシブル基板４は、それぞれに駆動回路（図示せず）と電気的に接続する配線４１が、それぞれ対応するチップ１ａ、１ｂの接続電極１４と同数及び同ピッチで形成されており、各接続電極１４と各配線４１とが電気的に接続するように、ＮＣＰ（non conductive paste）や導電粒子を配合したＡＣＰ（anisotropic conductive paste）等によって接続及び接着される。

なお、図示しないが、フレキシブル基板４は、駆動回路（駆動ＩＣ）を実装したＣＯＦ（chip on film）の構成としてもよい。

各フレキシブル基板４は、ヘッドチップ１の上面１Ｂ及び下面１Ｃからそれぞれ後方に延び、インク室形成部材３の各側板部３ａ、３ｂ上に対しても同様に接着され、ヘッドチップ１の後面１Ａとインク室形成部材３の凹設部３４ａ、３４ｂとの間で形成された開口３５ａ、３５ｂをそれぞれ閉塞している。ヘッドチップ１とインク室形成部材３の各側板部３ａ、３ｂとの間は、段差なく同一面状となるように接着されているため、各フレキシブル基板４は、開口３５ａ、３５ｂを隙間無く密閉し、該開口３５ａ、３５ｂからのインク漏れの心配はない。

各フレキシブル基板４とインク室形成部材３との接着は、各側板部３ａ、３ｂの平面全面に対して接着することもできるが、少なくとも開口３５ａ、３５ｂの周囲に対して接着することで、該開口３５ａ、３５ｂをフレキシブル基板４によって密閉することができる。

各フレキシブル基板４を接着する接着剤層は、インクに対して侵されにくくする観点から薄くすることが望ましく、厚みは１０μｍ以下とすることが好ましい。この接着剤層は、フレキシブル基板４の隣接する配線４１、４１間に形成され、その厚みは、配線４１の厚みによって影響される。従って、接着剤層の厚みが１０μｍ以下となるように、配線４１の厚みを薄く形成することが好ましい。

フレキシブル基板４は、通常、ポリエステル、ポリイミド、液晶ポリマー等のベースフィルム上に配線４１となる銅箔を所定パターンとなるようにエッチングすることにより作成されるが、ベースフィルム上にアルミ等の導体を所定パターンで蒸着、スパッタリングして形成することもできる。特に後者の方が薄い配線４１を形成できるために好ましい。

フレキシブル基板４をヘッドチップ１及びインク室形成部材３に対して接着する際は、図５に示すように、ヘッドチップ１の後面にインク室形成部材３の側板部３ａ、３ｂを接着した後、各側板部３ａ、３ｂの間にスペーサー６を挟み込み、ノズルプレート２や後板部３ｃを接着する前に、フレキシブル基板４を接着剤層を介して位置合わせし、ヘッドチップ１の接続電極１４と接着される領域とインク室形成部材３と接着される領域とで、別々の圧着ツールＡ、Ｂを用いて個別に管理することにより行うことが好ましい。ヘッドチップ１及びインク室形成部材３とフレキシブル基板４との間の接着において最も重要な電気的接続を行う必要のあるフレキシブル基板４と接続電極１４との接着が、インク室形成部材３やその他の部品の精度（平滑度）によらずに確実に行うことができるためである。

ヘッドチップ１及びインク室形成部材３に対する各フレキシブル基板４の接着は、２枚を同時に行うこともできるが、接続電極１４とフレキシブル基板４の各配線４１との位置合わせを簡単に行うために、片方ずつ行うことが好ましい。

なお、インクジェットヘッド内部のインク圧が上がると、開口３５ａ、３５ｂを通して各フレキシブル基板４を剥がす方向に力が働く。フレキシブル基板４の剥がれ易さは、フレキシブル基板４の厚みや材質にもよるが、これに対処するため、開口３５ａ、３５ｂをできるだけ細いスリット状とし、フレキシブル基板４に与える負担を小さくすることが好ましい。開口３５ａ、３５ｂをスリット状にするには、接着端面３１ａ、３１ｂに対して凹設部３４ａ、３４ｂの凹設深さを浅く形成すればよい。スリット状とする場合の凹設部３４ａ、３４ｂの凹設深さは、側板部３ａ、３ｂの加工精度等にもよるが、例えば３０μｍ〜１ｍｍ、好ましくは３０μｍ〜０．５ｍｍとすることである。

インク室形成部材３ａ、３ｂ及びフレキシブル基板５ａ、５ｂによって構成されるインク室５内には、各インク室形成部材３ａ、３ｂの両側部に形成されるインク流通口３３によってインクの流通が可能である。この場合、２つのインク流通口３３にそれぞれインクチューブ（図示せず）等を接続してインクを流通させるようにしてもよいし、一方を塞いで片方のインク流通口３３のみにインクチューブを接続してインクを流入させるようにしてもよい。

２つのインク流通口３３を利用する場合、各インク流通口３３をインク室５内へのインクの流入口として利用してもよいし、一方をインクの流入口とし、他方をインク室５内に発生した気泡等の空気抜き口として利用してもよい。

図６は、インク室形成部材の別の態様を示している。このインク室形成部材３０は、側板部３ａ、３ｂ及び後板部３ｃが分割されておらず、側板部３ａと側板部３ｂのヘッドチップ１の後面１Ａとの接着端と反対端において、後板部３ｃによって一体化されている。側板部３ａと側板部３ｂとの間には、互いの肉厚部３２ａ、３２ｂにおいて隙間Ｓが設けられている。このようなインク室形成部材３０は、各側板部３ａ、３ｂの先端、すなわちヘッドチップ１の後面１Ａに対する接着端面３１ａ、３１ｂ側が隙間Ｓをおいて離れているため、合成樹脂等の比較的可撓性を有する材質により形成することで矢印の方向に容易に撓ませることができる。

従って、この場合も、インク室形成部材３０をヘッドチップ１の後面１Ａに対して接着する際、必要に応じて矢印の方向に撓ませることで、各側板部３ａ、３ｂがヘッドチップ１の上面１Ｂ、１Ｃに対して同一面状となるように簡単に位置合わせすることができる。また、側板部３ａ、３ｂ及び後板部３ｃは一体化されているので、一度の接着作業でヘッドチップ１の後面１Ａに対してインク室形成部材３０を設けることができる。

以上の説明では、ヘッドチップ１を構成するチップの数（チャネル列の数）が２つであるものを例示したが、ヘッドチップ１を構成するチップの数はこれに限定されず、１つのチップ（１列のチャネル列）のみからなるものであってもよい。この場合、フレキシブル基板４との電気的接続をヘッドチップ１の上面１Ｂ又は下面１Ｃのいずれか一方のみで行い、他方の面は、フレキシブル基板４と同様の基板又はその他の適宜の基板を用いて、ヘッドチップ１とインク室形成部材３との間の開口３５ａ又は３５ｂを同様に閉塞すればよい。

また、ヘッドチップ１を１つのチップのみとする場合、図７（Ａ）に示すように、各接続電極１４を一つおきに、ヘッドチップ１の上面１Ｂと下面１Ｃとに交互に引き出すようにすることもできる。フレキシブル基板４は、２つのヘッドチップを有する場合と同様に、ヘッドチップ１の上面１Ｂと下面１Ｃとの両面において電気的接続を行う。これによれば、ヘッドチップ１の上面１Ｂ及び下面１Ｃの各面において隣接する接続電極１４の間隔を広くとれるため、電気的短絡の危険性を低減することができる。また、上面１Ｂ、下面１Ｃの各面での接続電極１４の面積を大きくとることもできるようになるので、フレキシブル基板４の各配線４１との電気的接続の確実性を向上させることもできる。

更に、ヘッドチップを構成するチップの数（チャネル列の数）は３つ又は４つとすることもできる。図７（Ｂ）は４つのチップ１ａ〜１ｄを積層し、４列のチャネル列を構成したヘッドチップ１を示している。この場合、中程に位置する２つのチップ１ｂ、１ｃの接続電極１４ｂ、１４ｃは、ヘッドチップ１の後面１Ａにおいて、外側に位置するチップ１ａ、１ｄの駆動壁１１を通って、ヘッドチップ１の上面１Ｂと下面１Ｃにそれぞれ引き出すようにすればよい。

なお、インクとして水系インクを使用する場合には、各チャネル１２内の駆動電極１３、接続電極１４及び開口３５ａ、３５ｂを通してのフレキシブル基板４の配線４１の表面にパリレン膜等の電極保護膜を設けることが好ましい。

本発明に係るインクジェットヘッドを示す全体斜視図 本発明に係るインクジェットヘッドの分解斜視図 本発明に係るインクジェットヘッドの断面図 ヘッドチップを後面側から見た部分斜視図 フレキシブル基板の接着方法の一例を説明する図 インク室形成部材の他の態様を示す側面図 （Ａ）は１列のチャネル列を有するヘッドチップを後面側から見た部分斜視図、（Ｂ）は４列のチャネル列を有するヘッドチップを後面側から見た部分斜視図

符号の説明

１：ヘッドチップ
１ａ〜１ｄ：チップ
１Ａ：後面
１Ｂ：上面
１Ｃ：下面
２：ノズルプレート
２１：ノズル孔
３：インク室形成部材
３ａ、３ｂ：側板部
３ｃ：後板部
３１ａ、３１ｂ：接着端面
３２ａ、３２ｂ：肉厚部
３３：インク流通口
３４ａ、３４ｂ：凹設部
３５ａ、３５ｂ：開口
４：フレキシブル基板
４１：配線
５：インク室
６：スペーサー
１００：チャネル非形成領域
Ｓ：隙間

Claims (7)

1. 圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共に前面及び後面にそれぞれチャネルの端部が対向状に配置され、前記チャネル内に臨む駆動壁の表面に駆動電極が形成されたヘッドチップと、
   前記駆動電極に電気的に接続すると共に前記ヘッドチップの後面を通って該ヘッドチップの上面及び／又は下面に引き出し形成された接続電極と、
   前記ヘッドチップの後面に接着され、前記チャネルにインクを供給するためのインク室を形成するインク室形成部材と、
   前記ヘッドチップの上面及び／又は下面において前記接続電極と電気的に接続され、該接続電極を介して前記駆動電極に駆動回路からの信号を印加するためのフレキシブル基板とを有し、
   前記インク室形成部材は、少なくとも前記ヘッドチップの上面及び下面とそれぞれ同一面状となる２平面を有すると共に、該ヘッドチップの後面における前記接続電極の形成領域に対応する部位に、該ヘッドチップの後面との接着端面から後退して該ヘッドチップの後面に対して接しない凹設部を有し、
   前記フレキシブル基板は、前記インク室形成部材に対して接着されることにより、前記凹設部と前記ヘッドチップとの間で形成される開口を閉塞していることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記インク室形成部材は、前記ヘッドチップの上面と同一面状となる平面を構成する部材と前記ヘッドチップの下面と同一面状となる平面を構成する部材の２つの部材間に隙間を有することを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
3. 前記インク室形成部材は、前記ヘッドチップの上面と同一面状となる平面を構成する部材と前記ヘッドチップの下面と同一面状となる平面を構成する部材の２つの部材を含む複数の部材に分割されていることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッド。
4. 前記インク室形成部材は、前記ヘッドチップの上面及び下面とそれぞれ同一面状となる平面を構成する２つの部材同士が、前記ヘッドチップの後面との接着端と反対端において一体化されていることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッド。
5. 前記インク室形成部材は、前記ヘッドチップの上面及び下面とそれぞれ同一面状となる２平面を構成する各部材の両側端付近において裏面に突出する肉厚部を有し、該肉厚部の端面を含んで前記ヘッドチップの後面に対する接着端面が形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
6. 前記インク室形成部材は、前記ヘッドチップの上面及び下面とそれぞれ同一面状となる２平面を構成する部材間の側部が開放されており、インク流通口とされていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
7. 前記凹設部と前記ヘッドチップとの間で形成される開口は、スリット状に形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
   
   
   

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