JP2009274327A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009274327A JP2009274327A JP2008127742A JP2008127742A JP2009274327A JP 2009274327 A JP2009274327 A JP 2009274327A JP 2008127742 A JP2008127742 A JP 2008127742A JP 2008127742 A JP2008127742 A JP 2008127742A JP 2009274327 A JP2009274327 A JP 2009274327A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- row
- channel
- head chip
- column
- lead
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 60
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 58
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 19
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 18
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 14
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 11
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 11
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004760 aramid Substances 0.000 description 2
- 229920003235 aromatic polyamide Polymers 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/1609—Production of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1628—Manufacturing processes etching dry etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
- B41J2/1634—Manufacturing processes machining laser machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1642—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by CVD [chemical vapor deposition]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1646—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by sputtering
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/18—Electrical connection established using vias
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
【解決手段】複数のチャネル列(A列、B列)を有するハーモニカ型のヘッドチップ1の後面に形成したA列用接続電極14A及びB列用接続電極14Bに、絶縁層の一方の面にA列用引き出し配線32A、他方の面にB列用引き出し配線32Bが形成された積層体3を接続し、A列のチャネル列側の端部よりも外側方にはみ出して延長させる。その延長された端部には、B列用引き出し配線32Bが、絶縁層の端部からはみ出してA列用引き出し配線31Aよりも更に端部の外側方に延長され、A列用引き出し配線32A及びB列用引き出し配線32Bに対して、駆動用配線がそれぞれヘッドチップ1との接合面と同一面側から電気的に接続される。
【選択図】 図1
Description
図1は、第1の実施形態に係るインクジェットヘッドを後面側から見た分解斜視図、図2(a)は、図1の(i)−(i)線断面図、図2(b)は図1の(ii)−(ii)線断面図である。なお、断面図において接着剤層は図示省略している。
図12は、第2の実施形態に係るインクジェットヘッドを後面側から見た分解斜視図である。図1と同一符号は同一構成を示しているため、詳細な説明は省略する。
図13は、第3の実施形態に係るインクジェットヘッドを後面側から見た分解斜視図、図14(a)は図13の(iii)−(iii)線断面図、図14(b)は図13の(iv)−(iv)線断面図である。なお、断面図において接着剤層は図示省略している。また、図1と同一符号は同一構成を示しているため、詳細な説明は省略する。
図15は、第4の実施形態に係るインクジェットヘッドを後面側から見た分解斜視図、図16(a)は図13の(v)−(v)線断面図、図16(b)は図15の(vi)−(vi)線断面図である。なお、断面図において接着剤層は図示省略している。また、図1と同一符号は同一構成を示しているため、詳細な説明は省略する。
図17は、第5の実施形態に係るインクジェットヘッドの背面図である。図1と同一符号は同一構成を示しているため、詳細な説明は省略する。
11:駆動壁
12:チャネル
12a:吐出チャネル
12b:空気チャネル
13:駆動電極
14A:A列用接続電極
14B:B列用接続電極
15A:A列用共通電極
15B:B列用共通電極
2:ノズルプレート
21:ノズル
3:積層体
3a、3b:直角屈曲部
31:絶縁層
32A:A列用引き出し配線
32A’:A列用引き出し配線の接続部
32B:B列用引き出し配線
32B’:B列用引き出し配線の接続部
33:貫通電極
34:積層電極
35:インク流入孔
4A、4B:FPC
41A、41B:駆動用配線
Claims (7)
- チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成され、複数の前記チャネルによって構成されるチャネル列が複数並設されてなるヘッドチップを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁を変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記複数のチャネル列のうちの前記ヘッドチップの端部側に位置するいずれかのチャネル列をA列、該A列に隣接するチャネル列をB列とするとき、
前記ヘッドチップの後面に、前記A列のチャネルの駆動電極と導通するA列用接続電極が該チャネルから前記ヘッドチップの端部にかけて形成されていると共に、前記B列のチャネルの駆動電極と導通するB列用接続電極が該チャネルから前記A列の手前にかけて形成されており、
前記A列用接続電極及び前記B列用接続電極に、絶縁層の一方の面にA列用引き出し配線が形成されると共に他方の面にB列用引き出し配線が形成された積層体が、前記一方の面側が前記ヘッドチップの後面に面し、且つ、前記A列用引き出し配線が前記A列用接続電極と導通し、前記B列用引き出し配線が前記B列用接続電極と導通するように接続されており、
前記積層体の端部は、前記A列のチャネル列側の端部よりも外側方にはみ出して延長されており、
前記積層体の延長された端部において、前記B列用引き出し配線は、前記絶縁層の端部からはみ出して前記A列用引き出し配線よりも更に端部の外側方に延長され、前記A列用引き出し配線及び前記B列用引き出し配線に対して、駆動回路からの駆動信号を印加するための駆動用配線がそれぞれ前記ヘッドチップとの接合面と同一面側から電気的に接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記チャネル列は4列であり、外側に位置する2つのチャネル列をそれぞれA列、内側に位置する2つのチャネル列をそれぞれB列とすることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。
- 前記積層体は、前記B列用引き出し配線が前記B列用接続電極と重なる領域において、前記絶縁層を貫通する貫通電極を有しており、該貫通電極を介して前記B列用引き出し配線と前記B列用接続電極とが導通していることを特徴とする請求項1又は2記載のインクジェットヘッド。
- 前記積層体は、前記A列用引き出し配線と前記B列用引き出し配線とが、前記A列用接続電極に対応する位置において、前記絶縁層の両面の同一位置に重なるように形成されていることを特徴とする請求項1、2又は3記載のインクジェットヘッド。
- 前記絶縁層は、ドライエッチング可能な有機フィルムからなることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
- 前記チャネルは、全てインクを吐出する吐出チャネルであり、
前記積層体は、前記ヘッドチップの後面の前記A列及びB列の全てのチャネルを塞ぐ大きさに形成されており、前記チャネルに対応する位置に、インク流入孔が形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のインクジェットヘッド。 - 前記チャネルは、インクを吐出する吐出チャネルとインクを吐出しない空気チャネルとが交互に配列されており、
前記積層体は、前記ヘッドチップの後面の前記A列及びB列の全てのチャネルを塞ぐ大きさに形成されており、前記吐出チャネルに対応する位置のみに、インク流入孔が形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008127742A JP5304021B2 (ja) | 2008-05-14 | 2008-05-14 | インクジェットヘッドの製造方法 |
EP09159122A EP2119566B1 (en) | 2008-05-14 | 2009-04-29 | Inkjet head |
AT09159122T ATE502782T1 (de) | 2008-05-14 | 2009-04-29 | Tintenstrahlkopf |
DE602009000939T DE602009000939D1 (de) | 2008-05-14 | 2009-04-29 | Tintenstrahlkopf |
US12/437,095 US7918544B2 (en) | 2008-05-14 | 2009-05-07 | Inkjet head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008127742A JP5304021B2 (ja) | 2008-05-14 | 2008-05-14 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009274327A true JP2009274327A (ja) | 2009-11-26 |
JP5304021B2 JP5304021B2 (ja) | 2013-10-02 |
Family
ID=40921983
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008127742A Expired - Fee Related JP5304021B2 (ja) | 2008-05-14 | 2008-05-14 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7918544B2 (ja) |
EP (1) | EP2119566B1 (ja) |
JP (1) | JP5304021B2 (ja) |
AT (1) | ATE502782T1 (ja) |
DE (1) | DE602009000939D1 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011126254A (ja) * | 2009-12-21 | 2011-06-30 | Sii Printek Inc | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2012016848A (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-26 | Konica Minolta Ij Technologies Inc | インクジェットヘッド |
JP2012131175A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Konica Minolta Ij Technologies Inc | インクジェットヘッド |
WO2012144597A1 (ja) * | 2011-04-22 | 2012-10-26 | コニカミノルタIj株式会社 | インクジェットヘッド |
JP2014004726A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド |
JP2014024325A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-02-06 | Canon Inc | 液体吐出装置の製造方法 |
JP2014128940A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Konica Minolta Inc | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 |
EP2803486A1 (en) | 2013-05-17 | 2014-11-19 | Konica Minolta, Inc. | Inkjet head and method for leading out wiring line of inkjet head |
JP2015042495A (ja) * | 2009-12-18 | 2015-03-05 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド |
JP2015217665A (ja) * | 2014-05-21 | 2015-12-07 | 株式会社東芝 | インクジェットヘッド |
JP2016215382A (ja) * | 2015-05-14 | 2016-12-22 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェット記録装置 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011062061A1 (ja) * | 2009-11-17 | 2011-05-26 | コニカミノルタIj株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
JP5720682B2 (ja) * | 2010-06-03 | 2015-05-20 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 |
JP2012000873A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP2013129117A (ja) | 2011-12-21 | 2013-07-04 | Sii Printek Inc | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP6128820B2 (ja) * | 2011-12-22 | 2017-05-17 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
JP2013132810A (ja) * | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Sii Printek Inc | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP5775045B2 (ja) | 2012-09-24 | 2015-09-09 | 株式会社東芝 | インクジェットヘッド |
JP2016159549A (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-05 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001088309A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-03 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッドの製造方法 |
JP2006082396A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Konica Minolta Holdings Inc | インクジェットヘッド |
JP2006095808A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びに液滴吐出装置 |
JP2006192787A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液体吐出ヘッド |
JP2007203482A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Brother Ind Ltd | インクジェットプリンタヘッド及びヘッドユニット |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1029678B1 (en) * | 1999-02-17 | 2008-04-09 | Konica Corporation | Ink jet head |
JP4207504B2 (ja) | 2002-08-30 | 2009-01-14 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | インクジェットヘッド |
US7232207B2 (en) * | 2002-12-27 | 2007-06-19 | Konica Minolta Holdings, Inc. | Ink jet head |
WO2006003862A1 (ja) * | 2004-07-02 | 2006-01-12 | Seiko Epson Corporation | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP4857934B2 (ja) * | 2005-08-23 | 2012-01-18 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | インクジェットヘッド |
US7922291B2 (en) * | 2006-01-31 | 2011-04-12 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet head and head unit |
JP5056309B2 (ja) | 2006-11-16 | 2012-10-24 | コニカミノルタIj株式会社 | インクジェットヘッド |
JP4325693B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2009-09-02 | ソニー株式会社 | ヘッドモジュール、液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置 |
JP5309686B2 (ja) * | 2008-05-14 | 2013-10-09 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド |
-
2008
- 2008-05-14 JP JP2008127742A patent/JP5304021B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-04-29 AT AT09159122T patent/ATE502782T1/de not_active IP Right Cessation
- 2009-04-29 EP EP09159122A patent/EP2119566B1/en active Active
- 2009-04-29 DE DE602009000939T patent/DE602009000939D1/de active Active
- 2009-05-07 US US12/437,095 patent/US7918544B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001088309A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-03 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッドの製造方法 |
JP2006082396A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Konica Minolta Holdings Inc | インクジェットヘッド |
JP2006095808A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びに液滴吐出装置 |
JP2006192787A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液体吐出ヘッド |
JP2007203482A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Brother Ind Ltd | インクジェットプリンタヘッド及びヘッドユニット |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015042495A (ja) * | 2009-12-18 | 2015-03-05 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド |
JP2011126254A (ja) * | 2009-12-21 | 2011-06-30 | Sii Printek Inc | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2012016848A (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-26 | Konica Minolta Ij Technologies Inc | インクジェットヘッド |
JP2012131175A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Konica Minolta Ij Technologies Inc | インクジェットヘッド |
WO2012144597A1 (ja) * | 2011-04-22 | 2012-10-26 | コニカミノルタIj株式会社 | インクジェットヘッド |
JP5846201B2 (ja) * | 2011-04-22 | 2016-01-20 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド |
JP2014004726A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド |
JP2014024325A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-02-06 | Canon Inc | 液体吐出装置の製造方法 |
JP2014128940A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Konica Minolta Inc | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 |
EP2803486A1 (en) | 2013-05-17 | 2014-11-19 | Konica Minolta, Inc. | Inkjet head and method for leading out wiring line of inkjet head |
JP2015217665A (ja) * | 2014-05-21 | 2015-12-07 | 株式会社東芝 | インクジェットヘッド |
JP2016215382A (ja) * | 2015-05-14 | 2016-12-22 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェット記録装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2119566A1 (en) | 2009-11-18 |
ATE502782T1 (de) | 2011-04-15 |
EP2119566B1 (en) | 2011-03-23 |
US7918544B2 (en) | 2011-04-05 |
JP5304021B2 (ja) | 2013-10-02 |
DE602009000939D1 (de) | 2011-05-05 |
US20090284569A1 (en) | 2009-11-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5304021B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP5056309B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP5309686B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP6039263B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2009233939A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法、電子デバイス及びその製造方法 | |
JP2008094036A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド | |
JP2007229976A (ja) | インクジェットヘッドチップ、インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドチップの製造方法 | |
JP2011183574A (ja) | 液体噴出装置 | |
JP5029760B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP4905046B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド | |
WO2011062061A1 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP4983582B2 (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 | |
JP5224782B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP4590934B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP4561332B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP7346148B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP4876701B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP7171426B2 (ja) | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法と液体吐出装置 | |
WO2011125886A1 (ja) | インクジェットヘッド | |
WO2013105403A1 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP6111851B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP6111850B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2005111806A (ja) | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101217 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120814 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121015 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20130417 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130528 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130610 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |