JP5720682B2 - インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
前記ヘッドチップの後面に、前記ヘッドチップの一端側の端部に対して相対的に遠い一のチャネル列の前記チャネルから前記端部に対して相対的に近い他のチャネル列における前記チャネル間の駆動壁上を通って前記端部にかけて連続する単線状の接続電極がそれぞれ形成され、該接続電極を介して前記駆動電極に駆動信号を印加することにより、前記駆動壁を変形させて前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップの後面において、前記他のチャネル列の駆動壁上を通るように形成される前記接続電極と前記駆動壁表面との間に、絶縁膜が介設されていることを特徴とするインクジェットヘッドである。
前記ヘッドチップの後面に、前記ヘッドチップの一端側の端部に対して相対的に遠い一のチャネル列の前記チャネルから前記端部に対して相対的に近い他のチャネル列における前記チャネル間の駆動壁上を通って前記端部にかけて連続する単線状の接続電極がそれぞれ形成され、該接続電極を介して前記駆動電極に駆動信号を印加することにより、前記駆動壁を変形させて前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドチップの後面における少なくとも前記接続電極が通る前記駆動壁の表面に絶縁膜を形成した後、
前記絶縁膜が形成された前記ヘッドチップの後面に対して、前記接続電極を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
また、絶縁膜の厚みは0.1〜20μmが適当である。
チャネル:256チャネル×4列
L長:1.0mm
チャネル高さ(L1:図2参照):200μm
チャネル幅:82μm
チャネルピッチ:141μm
駆動壁幅:59μm
ノズル径:23μm
1a:前面
1b:後面
1c:下端部
11A、11B、11C:駆動壁
12A、12B、12C:チャネル
13:駆動電極
14A:A列用接続電極
14B:B列用接続電極
14C:C列用接続電極
15、16、17:絶縁膜
171:開口部
172:露出部
2:ノズルプレート
21:ノズル
3:配線基板
31:開口
32:配線電極
4:電気配線部材
5:ドライフィルム
6:レジスト
61:開口
7:無機絶縁材料からなる膜
Claims (12)
- チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が複数並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極が形成されてなるヘッドチップを有し、
前記ヘッドチップの後面に、前記ヘッドチップの一端側の端部に対して相対的に遠い一のチャネル列の前記チャネルから前記端部に対して相対的に近い他のチャネル列における前記チャネル間の駆動壁上を通って前記端部にかけて連続する単線状の接続電極がそれぞれ形成され、該接続電極を介して前記駆動電極に駆動信号を印加することにより、前記駆動壁を変形させて前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップの後面において、前記他のチャネル列の駆動壁上を通るように形成される前記接続電極と前記駆動壁表面との間に、絶縁膜が介設されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記絶縁膜は、無機絶縁材料からなることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。
- 前記無機絶縁材料は、SiO2又はAl2O3であることを特徴とする請求項2記載のインクジェットヘッド。
- 前記絶縁膜は、有機絶縁材料からなることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。
- 前記有機絶縁材料は、感光性樹脂材料であることを特徴とする請求項4記載のインクジェットヘッド。
- 前記有機絶縁材料は、ポリイミドであることを特徴とする請求項4又は5記載のインクジェットヘッド。
- チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が複数並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極が形成されてなるヘッドチップを有し、
前記ヘッドチップの後面に、前記ヘッドチップの一端側の端部に対して相対的に遠い一のチャネル列の前記チャネルから前記端部に対して相対的に近い他のチャネル列における前記チャネル間の駆動壁上を通って前記端部にかけて連続する単線状の接続電極がそれぞれ形成され、該接続電極を介して前記駆動電極に駆動信号を印加することにより、前記駆動壁を変形させて前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドチップの後面における少なくとも前記接続電極が通る前記駆動壁の表面に絶縁膜を形成した後、
前記絶縁膜が形成された前記ヘッドチップの後面に対して、前記接続電極を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記絶縁膜を、無機絶縁材料を用いてスパッタリング法によってパターン形成することを特徴とする請求項7記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記絶縁膜は、SiO2又はAl2O3であることを特徴とする請求項8記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記絶縁膜を、有機絶縁材料を用いてインクジェット法によってパターン形成することを特徴とする請求項7記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記絶縁膜を、感光性樹脂材料を用いて露光、現像によってパターン形成することを特徴とする請求項7記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記絶縁膜は、ポリイミドであることを特徴とする請求項10又は11記載のインクジェットヘッドの製造方法。
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