JP5930701B2 - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、圧電部材の変位を利用してノズルより液体を吐出する液体吐出ヘッドに関する。

インクを吐出して記録媒体に画像を記録するインクジェット記録装置には、一般的に、インクを吐出する液体吐出ヘッドが搭載されている。液体吐出ヘッドがインクを吐出する機構として、圧電部材によって収縮可能な圧力室を用いる機構が知られている。この機構では、電圧を印加された圧電部材の変形により圧力室が収縮することによって、圧力室内のインクが、圧力室の一端に形成された吐出口から押し出され吐出する。

工業用途のインクジェット装置では、高粘度の液体を使用したいという要求がある。高粘度の液体を吐出するためには、液体吐出ヘッドに大きな吐出力が求められる。グールドタイプの液体吐出ヘッドでは、圧力室の壁面が全て変形し、その変形がインクの吐出力に寄与するので、大きな吐出力を得ることができる。

グールドタイプの液体吐出ヘッドにおいて、高い解像度を得るためには、吐出口を増やすとともに、各々の吐出口を高密度に配置、つまり、各々の吐出口に対応する圧力室も高密度に配置する必要がある。しかし、圧力室を高密度に配置した場合においては、単ノズル駆動時（インクを吐出する吐出口の周囲の吐出口からインク吐出なし）と全ノズル駆動時（全ての吐出口からインクが吐出）の吐出性能が異なるといった構造的クロストークの発生を低減する必要がある。構造的クロストークの原因として、圧力室の変形が隣接する圧力室の圧電部材に伝搬することが考えられる。

特許文献１の液体吐出ヘッドの製造方法では、インクチャネルとインクチャネルより深いダミーチャネルを交互に複数の形成した圧電部材を、インクチャネルの位置と重なるようにスリットを設けたトッププレートで覆っている。このようにすることで、インクチャネルの側壁が変形しても、ダミーチャネル底部がインクチャネル底部よりも深い場所に存在するため、変形したインクチャネルに隣接するダミーチャネル底部での変形が起こらない。また、トッププレートにスリットを設けているので、インクチャネルの変形が容易になる。そのため、変形したインクチャネルに隣接するインクチャネルへの干渉が発生せず、クロストークが低減される。

また、特許文献２の液体吐出ヘッドの製造方法では、圧力室を有する流路基板に振動板と圧電部材とを積層した構造において、圧電部材と振動板を貫通し、流路基板の、圧力室同士を分離する側壁に至る凹部が設けられている。このようにすることで、隣接する圧力室の変形の影響を減らし、クロストークが発生するという問題点を解決している。

特許３２１７００６号公報 特許３１５２２６０号公報

液体吐出ヘッドにおいて、さらに高い解像度を得るためには、複数の吐出口と各吐出口に対応して設けられる圧力室を２次元的により高密度に配置する必要がある。

特許文献１、２に示されている液体吐出ヘッドでは、同様の構成を直接重ねることができない。そのため、直線的には吐出口と圧力室を増やせるが、２次元的に増やす場合には液体吐出ヘッドのサイズが大きくなる。

そこで、本発明の目的は、ノズルおよび圧力室を高密度に二次元配置することを可能とし、かつ、構造的クロストークを低減できる液体吐出ヘッドを提供することである。

本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出口に連通し、該吐出口から吐出される液体を貯留するための圧力室が複数設けられ、圧力室の収縮変形に応じて吐出口から液体を吐出する液体吐出ヘッドである。

また、本発明の液体吐出ヘッドには、圧力室の周囲に、圧力室と同じ方向に延びる複数の凹部が設けられ、圧力室の少なくとも一部が圧電部材で構成されている。

一方の面に第１の凹部と第４の凹部が交互に設けられた第１の基板と、第２の凹部と第３の凹部がそれぞれ複数設けられた第２の基板とが交互に積層した積層体が設けられている。第２の凹部４は、第２の基板２の、第１の基板１の一方の面と接しない面に設けられ、積層方向から見て第２の凹部４と第４の凹部１５とが重なっている。圧力室は、第４の凹部と第２の基板の、第１の基板の一方の面と接する面とで形成されている。さらに、第１の凹部または第２の凹部と、第３の凹部が連通している。第３の凹部は、第２の基板の両面に互いに対向して、または、第２の基板の、第１の基板の一方の面と接する面に設けられている。

本発明によれば、圧力室が二次元的に高密度に配置された液体吐出ヘッドあっても、圧力室の収縮変形による構造的クロストークを低減できる。その結果、吐出パターンに関係なく均一な吐出性能を発現する液体吐出ヘッドを提供することができる。

第１の実施例の液体吐出ヘッドの概略斜視図である。 図１に示す液体吐出ヘッドのＡ−Ａ’断面の概略図である。 第１の実施例の圧電ブロック体の製造手順を示す概略図である。 図３の続きの製造手順を示す概略図である。 第１の実施例における圧力室の変形シミュレーション結果を示す図である。 比較例における圧力室の変形シミュレーション結果を示す図である。 第２の実施例の圧電ブロック体の断面の概略図である。 第２の実施例の圧電ブロック体の製造手順を示す概略図である。 図８の続きの製造手順を示す概略図である。 第３の実施例の圧電ブロック体の断面の概略図である。

以下に、添付の図面に基づき、本発明の実施の形態の詳細について説明する。なお、同一の機能を有する構成には添付図面中、同一の番号を付与し、その説明を省略することがある。

［第１の実施例］
本発明の第１の実施例を説明する。図１は、本発明に係る液体吐出ヘッドの概略斜視図である。

本実施例の液体吐出ヘッド９０は、図１に示すように、後方絞りプレート６と、圧電ブロック体５と、ノズルプレート８とを有する。圧電ブロック体５の一方の面（前面）に、ノズルプレート８が接合されている。ノズルプレート８には、たとえば円形貫通孔からなる複数の吐出口７が形成されており、これらの吐出口７は所定の間隔で二次元に配置されている。圧電ブロック体５の他方の面（後面）には、後方絞りプレート６が接合されている。圧電ブロック体５は、あらかじめ分極処理された第１の圧電基板（第１の基板）１と第２の圧電基板（第２の基板）２とを不図示の接着層を介して交互に複数積層し、第３の圧電基板１１で積層方向の両端を挟んで構成される積層体である。ここで第２の圧電基板２は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を用いることが望ましいが、圧電効果を得られる材料であればこれに限定されるものではない。また、第３の圧電基板１１は圧電材料以外の例えばセラミック材料であっても構わない。

図２は、図１に示す液体吐出ヘッドのＡ−Ａ’断面の概略図である。本発明の圧電ブロック体５は、圧電部材からなる第１の圧電基板１と第２の圧電基板２とが交互に積層されており、積層方向の両端には、第３の圧電基板１１が設けられた積層体である。第１の圧電基板１には、溝状の第４の凹部１５と溝状の第１の凹部９とが一方の面に交互に間隔をあけて複数設けられている。第４の凹部１５は、第２の圧電基板２に積層方向の開口を塞がれることで、インクを貯留する圧力室３となる。また、第２の圧電基板２の、第１の圧電基板１の一方の面とは接しない面である一方の面には溝状の第２の凹部４が間隔を空けて複数設けられ、第１の圧電基板１の一方の面と接する面である他方の面には溝状の第３の凹部１０が複数設けられている。第２の凹部４と第３の凹部１０とは積層方向からみて、互いに重ならないように位置する。第３の凹部１０と第１の凹部９とは互いに向かい合い連通している。第２の凹部４は、積層方向からみて、第４の凹部１５（圧力室３）と重なるようになっている。つまり、第２の凹部４と圧力室３は、積層方向において交互に配置されている。

また、圧力室３となる第４の凹部１５以外も、第１の基板１と第２の基板２とが積層することで、第２の凹部４と第１の基板１および第１の凹部９と第３の凹部１０とでそれぞれ空洞が形成されている。

第１の凹部９は第１の圧電基板１において、圧力室３に平行に延びている。第２の凹部４と第３の凹部１０は第２の圧電基板２において、圧力室３に平行に延びている。つまり、第１〜３の凹部４、９、１０と第１と第２の基板１、２とで形成される空洞も圧力室３に平行である。

圧力室３の内壁の４面には、第１の電極１２が形成されている。第１の電極１２は、圧力室３の内壁４面のうちの、第１の圧電基板１によって圧力室３を構成する３面に形成された第１−１の電極１２ａ、および、第２の圧電基板２によって圧力室３を構成する１面に形成された第１−２の電極１２ｂからなる。またこの第１の電極１２は、圧電ブロック体５の後面に形成された不図示の電極に接続される。第１の圧電基板１に形成された第１の凹部９の内壁の３面には、第２の電極１３が形成されている。

第２の凹部４の内壁の底面と、積層方向で第２の凹部４の開口を塞ぐ位置の第１の圧電基板１には、それぞれ第３−１の電極１４ａと第３−２の電極１４ｂとが設けられ、この２つの電極１４ａ、１４ｂで第３の電極１４を形成している。

圧電ブロック体５の後面の不図示の電極は、個々の圧力室３に応じた個別の配線がなされ、圧電ブロック体５の前面の不図示の電極は、第２の電極１３および第３の電極１４に共通の電極として配線される。これにより、圧力室３の内壁に形成されている第１の電極１２と、それ以外の第２の電極１３および第３の電極１４との間で、別々に駆動電圧を印加することが出来る。

圧電ブロック体５の前面にはノズルプレート８が貼り合わされ、ノズルプレート８に形成されている吐出口７と圧力室３とが連通している。また、圧電ブロック体５の後面には後方絞りプレート６が貼り合わされ、後方絞りプレート６に形成されている不図示の孔と圧力室３とが連通している。

図示しない共通液室から供給されたインクは、後方絞りプレート６内に形成された孔を通り、圧力室３を通過して、さらに吐出口７まで満たされる。インクは、図示しない共通液室の上流において負圧にコントロールされており、メニスカスと呼ばれる気液界面は毛管力により吐出口７で保持される。電極に駆動電圧を印加して圧力室３を収縮変形させて圧力室の容積を変化させることにより、圧力室３内のインクに圧力が付与されて吐出口７からインクが吐出する。

圧電ブロック体５の製造方法を、図３と図４を用いて説明する。まず、第２の圧電基板２の一方の面（上面）に、溝状の第２の凹部４をダイシングにより形成し（図３（ａ））、選択めっきにより第３−１の電極１４ａを、第２の凹部４の他方の面（下面）側の内壁に形成する（図３（ｂ））。その後、第２の圧電基板２の上面に、第３の圧電基板１１を接着し（図３（ｃ））、第３の圧電基板１１に接着した第２の圧電基板２の下面に溝状の第３の凹部１０を、積層方向からみて第２の凹部４とは重ならない位置にダイシングにより形成する（図３（ｄ））。このとき、第３の凹部１０は第２の圧電基板２を貫通してもよい。さらに、第２の圧電基板２の下面から、第２の圧電基板２の下面の、第３の凹部１０同士の間であり、圧力室３の内壁の一部となる部分に選択めっきを施し、第１−２の電極１２ｂを形成する（図３（ｅ））。

次に、圧力室３の一部を構成する溝状の第４の凹部１５、および、溝状の第１の凹部９を、第１の圧電基板１の一方の面（上面）にダイシングにより交互に形成する（図４（ａ））。ただし、第４の凹部１５と第１の凹部９とを、上記の工程で作製された第２の圧電基板２の第１−２の電極１２ｂと第３の凹部１０とをそれぞれ覆うことができる位置に形成する。第１の圧電基板１の上面の第４の凹部１５と第１の凹部凹部９とに、選択めっきを施し、第１−１の電極１２ａおよび第２の電極１３をそれぞれ形成する（図４（ｂ））。図３で作製した第２の圧電基板２の下面に、凹部９、１５と電極１２ａ、１３を形成した第１の圧電基板１の上面を接着する。これにより圧力室３が出来上がる（図４（ｃ））。次に、第１の圧電基板１の他方の面（下面）の一面にめっきを施し、第３−２の電極１４ｂを形成する（図４（ｄ））。さらに、第１の圧電基板１の下面に、第２の凹部４と第３−１の電極１４ａとを形成した状態の第２の圧電基板２（図３（ｂ）参照）を接着し、第３の凹部１０と第１−２の電極１２ｂを上記と同様に形成する（図４（ｅ））。このように、凹部形成と電極形成と積層接合とを繰り返し、最後に第３の圧電基板１１を接合すことで、第１の圧電基板１と第２の圧電基板２とが交互に積層し、それらが第３の圧電基板１１に挟まれる圧電ブロック体５が完成する。

電極形成した圧電ブロック体５は分極処理が施される。分極処理工程は、圧電ブロック体５をシリコンオイルなどの絶縁体液体に浸し、例えば２００℃の温度に加熱し、形成した電極間に１~２ｋＶ／ｍｍ程度の電界を印加することで行われる。

ここで、本発明の構造的クロストーク低減効果を示すシミュレーション結果を、図５を用いて説明する。図５は、第１の凹部９が第１の圧電基板１に形成され、第２の凹部４と第３の凹部１０が第２の圧電基板２に形成されたモデルで、図２中の領域Ｂのみを示している。また、駆動電圧を印加した際の圧力室３の変形を示しており、鎖線で変形前の輪郭を示している。

変形前と変形後とを比べると圧力室３が収縮していることが分かる。この時、点Ｃにおける圧力室３が収縮する方向への全ノズル駆動時（全ての吐出口からインクが吐出）の変位量は、単ノズル駆動時（インクを吐出する吐出口の周囲の吐出口からインク吐出なし）の変位量の９８％程度となり、ほぼ同程度の変位量が得られる。これは第３の凹部１０があることで、第２の圧電基板２の領域Ｄが圧力室３方向へ変形しやすくなっており、隣接するノズルの影響を受けにくいためである。

比較例として、第１の実施例の第３の凹部１０が無いモデルのシミュレーション結果を、図６を用いて説明する。図６は、第１の凹部９が第１の圧電基板１に形成され、第２の凹部４が第２の圧電基板２に形成されたモデルで、図２中の領域Ｂに相当する領域のみを示している。駆動電圧を印加した際の圧力室３の変形を示しており、鎖線で変形前の輪郭を示している。

変形前と変形後とを比べると圧力室３が収縮していることが分かる。図５と同様に、点Ｃにおける圧力室３が収縮する方向への変位量を見てみると、全ノズル駆動時の変位量は、単ノズル駆動時の変位量の９０％程度であり、本発明に比べて１０％変位量が低減してしまう。

以上説明したように、本発明の液体吐出ヘッドは、圧力室３の変形が周囲の圧力室の変形の有無に干渉されにくい構成であり、構造的クロストークを低減することが出来る。そのため、圧力室を二次元的に高密度に配置しても、小型で構造的クロストークを低減した均一な吐出性能を実現する液体吐出ヘッドを提供することが出来る。

［第２の実施例］
本発明の第２の実施例を説明する。本実施例は、第１の実施例の圧電ブロック体１５とは構成が異なる。他の構成については同様である。したがって、圧電ブロック体の構成のみ説明する。

図７に、本実施例を適用した液体吐出ヘッドの圧電ブロック体２５の断面図を示す。なお、図１の位置Ａ−Ａ’での断面である。圧電ブロック体２５は、第１の圧電基板２１と第２の圧電基板２２とを不図示の接着層を介して交互に複数積層されており、両端に第３の圧電基板３１が設けられた積層体である。

第１の圧電基板２１には、溝状の第４の凹部３５と溝状の第１の凹部２９とが一方の面に間隔を空けて交互に複数設けられている。第４の凹部３５は、第２の圧電基板２２に積層方向の開口を塞がれることで、圧力室２３となる。また、第２の圧電基板２２の両面には、互いに対向するように溝状の第３の凹部３０ａ、３０ｂがそれぞれ複数設けられ、さらに、一方の面には、溝状の第２の凹部２４が複数設けられている。第１の凹部２９と第３の凹部３０ａ、３０ｂは連通している。

第１の基板２１と第２の基板２２とが積層することで、第２の凹部２４と第１の基板２１および第１の凹部２９と第３の凹部３０ａ、３０ｂとでそれぞれ空洞が形成されている。

圧力室２３の内壁の４面には、第１の電極３２が形成されている。第１の電極３２は、圧力室２３の内壁４面のうちの、第１の圧電基板２１によって圧力室２３を構成する３面に形成された第１−１の電極３２ａ、および、第２の圧電基板２２によって圧力室２３を構成する１面に形成された第１−２の電極３２ｂからなる。また、この第１の電極３２は、圧電ブロック体２５の後面に形成された電極に接続される。第１の圧電基板２１に形成された第１の凹部２９には、第２の電極３３が形成されている。

第２の凹部２４の底面と、積層方向で第２の凹部２４を塞ぐ位置の第１の圧電基板２１には、それぞれ第３−１の電極３４ａと第３−２の電極３４ｂとが設けられ、これらの電極４３ａ、３４ｂで第３の電極３４が形成されている。

圧電ブロック体２５の後面の電極は、個々の圧力室２３に応じた個別の配線がなされ、圧電ブロック体２５の前面の不図示の電極は、第２の電極３３および第３の電極３４に共通の電極として配線される。これにより、圧力室２３の内壁に形成されている第１の電極３２と、第２の電極３３及び第３の電極３４との間で、別々に駆動電圧を印加することが出来る。

圧電ブロック体２５の作製方法を、図８と図９を用いて説明する。まず、第２の圧電基板２２の上面に、溝状の第２の凹部２４、および、溝状の第３の凹部３０ｂを、ダイシングにより形成し（図８（ａ））、第２の凹部２４の下面側の内壁に選択めっきを施し、第３−１の電極３４ａを形成する（図８（ｂ））。その後、第２の圧電基板２２の上面に、第３の圧電基板３１を接着する（図８（ｃ））。第３の圧電基板３１に接着した第２の圧電基板２２の下面に溝状の第３の凹部３０ａを、積層方向からみて第３の凹部３０ｂと重なる位置にダイシングにより形成する（図８（ｄ））。このとき、第３の凹部３０ａは第２の圧電基板２２を貫通してもよい。さらに、第２の圧電基板２２の下面から、圧力室２３の内壁面を構成する面に選択めっきを施し、第１−２の電極３２ｂを形成する（図８（ｅ））。

次に、圧力室２３の一部を構成する溝状の第４の凹部３５、および、溝状の第１の凹部２９を、第１の圧電基板２１の上面にダイシングにより交互に形成する（図９（ａ））。ただし、第４の凹部３５と第１の凹部２９とを、上記の工程で作製された第２の圧電基板２２の第１の電極３２ｂと第３の凹部３０ａとをそれぞれ覆うことができる位置に形成する。第１の圧電基板２１の上面の第４の凹部３５と第１の凹部２９とに、選択めっきを施し、第１−１の電極３２ａおよび第２の電極３３を形成する（図９（ｂ））。次に、図８で作製した第２の圧電基板２２の下面に第１の圧電基板２１の上面を接着する。これにより圧力室２３が出来上がる。（図９（ｃ））。次に、第１の圧電基板２１の他方の面（下面）の一面にめっきを施し、第３−２の電極３４ｂを形成する（図９（ｄ））。さらに、第１の圧電基板２１の下面から第１の凹部２９に至る貫通路２９ｂを、ダイシングにより形成する（図９（ｅ））。次に、第１の圧電基板２１の下面に形成した第３−２の電極３４ｂに、第２の凹部２４と第３−１の電極３４ａとが形成されている第２の圧電基板２２（図８（ｂ）参照）を接着し、第３の凹部３０ａと第１−２の電極３２ｂを上記と同様に形成する（図９（ｆ））。このように、凹部形成と電極形成と積層接合を繰り返し、最後に不図示の第３の圧電基板を接合することで、本実施例の圧電ブロック体２５が作製される。

以上のように作製された本実施例の液体吐ヘッドでは、第３の凹部が２つの部分３０ａ、３０ｂに分かれており、第１の凹部２９を介してつながっている。そのため、第１の実施例で示した領域Ｄのみならず、第１の圧電基板２１の、領域Ｄと第１の凹部２９を挟んで対向する領域においても変形しやすくなっている。したがって、圧力室２３の変形が、より干渉されにくくなり、構造的クロストークを低減することが出来る。

［第３の実施例］
本発明の第３の実施例を説明する。本実施例は、上述の実施例の圧電ブロック体とは構成が異なる。他の構成については同様である。したがって、圧電ブロック体の構成のみ説明する。

図１０に本実施例を適用した液体吐出ヘッドの圧電ブロック体４５の断面図を示す。なお、図１の位置Ａ−Ａ’での断面である。圧電ブロック体４５は、第１の圧電基板４１と第２の圧電基板４２とを不図示の接着層を介して交互に複数積層されており、両端に第３の圧電基板５１が設けられた積層体である。

第１の圧電基板４１には、溝状の第４の凹部５５と凹状の第１の凹部４９とが一方の面に間隔を空けて交互に複数設けられている。第４の凹部５５は、第２の圧電基板４２に積層方向の開口を塞がれることで圧力室４３となる。また、第２の圧電基板４２には、一方の面に第２の凹部４４と、第２の凹部４４を挟むように、第３の凹部５０ａ、５０ｂが設けられている。第２の凹部４４と第３の凹部５０ａ、５０ｂは連通している。

第１の基板４１と第２の基板４２とが積層することで、第２の凹部４４と第３の凹部５０ａ、５０ｂおよび第１の凹部４９と第２の基板４２とでそれぞれ空洞が形成されている。

圧力室４３の内壁の４面には、第１の電極５２が形成されている。第１の電極５２は、圧力室４３の内壁４面のうちの、第１の圧電基板４１によって圧力室４３を構成する３面に形成された第１−１の電極５２ａ、および、第２の圧電基板４２によって圧力室４３を構成する１面に形成された第１−２の電極５２ｂからなる。また、この第１の電極５２は、圧電ブロック体４５の後面に形成された電極に接続される。第１の圧電基板４１に形成された第１の凹部４９の内壁の３面には、第２の電極５３が形成されている。

第２の凹部４４の底面と、積層方向で第２の凹部４４を塞ぐ位置の第１の圧電基板４１にはそれぞれ第３−１の電極５４ａと第３−２の５４ｂとが設けられ、これらの電極５４ａ、５４ｂで第３の電極５４が形成されている。

圧電ブロック体４５の後面の電極は、個々の圧力室４３に応じた個別の配線がなされ、圧電ブロック体４５の前面の電極は、圧力室４第２の電極５３と第３の電極５４に共通の電極として配線される。これにより、圧力室４３の内壁に形成されている第１の電極５２と、第２の電極５３および第３の電極５４との間で、別々に駆動電圧を印加することが出来る。

以上のように構成した液体吐出ヘッドでは、第２の圧電基板４２において第３の凹部５０ａ、５０ｂと第２の凹部４４とが連通している。そのため、第１の圧電基板４１と第２の圧電基板４２とが接する部分が少なく、また、積層方向から見て、隣接する圧力室４３同士の間の中心で第１の圧電基板４１と第２の圧電基板４２とが接する。これにより、特に積層方向で隣接する圧力室４３の影響が小さくなるため、圧力室４３の内壁の変形が、変形しない圧力室４３により干渉されにくくなり、構造的クロストークを低減することが出来る。

本発明の液体吐出ヘッドは、例えば、液滴を吐出する印刷装置や塗布装置あるいは造形装置などに適用可能である。

１、２１、４１ 第１の圧電基板
２、２２、４２ 第２の圧電基板
３、２３、４３ 圧力室
４、２４、４４ 第２の凹部
５、２５、４５ 圧電ブロック体
７ 吐出口
９、２９、４９ 第１の凹部
１０、３０、５０ 第３の凹部
１５、３５、５５ 第４の凹部
９０ 液体吐出ヘッド

Claims (4)

1. 液体を吐出する吐出口に連通し、該吐出口から吐出される前記液体を貯留するための圧力室が複数設けられ、前記圧力室の収縮変形に応じて前記吐出口から前記液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、各前記圧力室の周囲に、前記圧力室と同じ方向に延びる複数の凹部が設けられ、前記圧力室の少なくとも一部が圧電部材で構成された液体吐出ヘッドにおいて、
   一方の面に第１の凹部と第４の凹部とが交互に複数設けられた第１の基板と、第２の凹部と第３の凹部がそれぞれ複数設けられた第２の基板とが交互に積層された積層体を有し、
   前記第２の凹部は、前記第２の基板の、前記第１の基板の前記一方の面と接しない面に設けられ、積層方向から見て前記第２の凹部と前記第４の凹部とが重なっており、
   前記圧力室が、前記第４の凹部と前記第２の基板の、前記第１の基板の前記一方の面と接する面とで形成されており、
   前記第１の凹部または前記第２の凹部と、前記第３の凹部が連通しており、
   前記第３の凹部は、前記第２の基板の両面に互いに対向して、または、前記第２の基板の、前記第１の基板の前記一方の面と接する面に設けられていることを特徴とする、液体吐出ヘッド。
2. 前記第２の凹部と前記第３の凹部とが、積層方向から見て交互に設けられている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第３の凹部は、前記第２の凹部と同じ面に、かつ前記第２の凹部を挟んで位置している、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１の基板および前記第２の基板は圧電部材からなる、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。