JP2001063045A - インク噴射装置およびその製造方法 - Google Patents
インク噴射装置およびその製造方法Info
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- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 射出成形により低コストで製造することがで
きるインク噴射装置およびその製造方法を提供する 【解決手段】 基板部３２上に、両端を開放した複数の
筒状アクチュエータ部３１、外周壁３４ａ，３４ｂを圧
電材料により一体に突出形成したものを、射出成形によ
り成形する。その成形体の全表面に導電材料層を形成し
て、レーザ光により導電材料層を分割し個別電極４１、
導電膜４３、接続端子４３ａ，４５ａを形成する。筒状
アクチュエータ部３１の前端面と接続端子４３ａ，４５
ａをほぼ同一平面上に配置し、これを覆うプレート部材
５０に、アクチュエータ部３１内のインク室と連通する
インク噴射口５１、接続端子４３ａ，４５ａと接続する
給電線５４を形成する。
きるインク噴射装置およびその製造方法を提供する 【解決手段】 基板部３２上に、両端を開放した複数の
筒状アクチュエータ部３１、外周壁３４ａ，３４ｂを圧
電材料により一体に突出形成したものを、射出成形によ
り成形する。その成形体の全表面に導電材料層を形成し
て、レーザ光により導電材料層を分割し個別電極４１、
導電膜４３、接続端子４３ａ，４５ａを形成する。筒状
アクチュエータ部３１の前端面と接続端子４３ａ，４５
ａをほぼ同一平面上に配置し、これを覆うプレート部材
５０に、アクチュエータ部３１内のインク室と連通する
インク噴射口５１、接続端子４３ａ，４５ａと接続する
給電線５４を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インク噴射装置お
よびその製造方法に関する。
よびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ドロップ・オン・デマンド型のインク噴
射装置として特開平６−２１８９３４号公報、特開平８
−２４４２１８号公報に開示されている圧電材料を利用
したものがある。
射装置として特開平６−２１８９３４号公報、特開平８
−２４４２１８号公報に開示されている圧電材料を利用
したものがある。
【０００３】前者は、圧電材料にインク噴射チャンネル
となる溝を形成し、溝の内面に形成した電極に電圧を印
加することより、溝間の隔壁を変形させて溝内のインク
に噴射圧力を与える構造である。この製造方法は、圧電
材料にインク噴射チャンネルとなる溝をダイヤモンドブ
レードなどによって切削加工したり、溝内面に形成した
電極を制御回路基板にワイヤボンディングによって接続
する。
となる溝を形成し、溝の内面に形成した電極に電圧を印
加することより、溝間の隔壁を変形させて溝内のインク
に噴射圧力を与える構造である。この製造方法は、圧電
材料にインク噴射チャンネルとなる溝をダイヤモンドブ
レードなどによって切削加工したり、溝内面に形成した
電極を制御回路基板にワイヤボンディングによって接続
する。
【０００４】また、後者は、円筒状に圧電材料と電極層
を複数重ね、電極層に電圧を印加することより、円筒状
に圧電材料を収縮あるいは膨張させてインクに噴射圧力
を与える構造である。この製造方法は、圧電材料の液に
浸して引き上げる操作と電極層を蒸着する操作を複数回
繰り返してそれらの層を順次重ねて形成する。そしてマ
ルチノズル型にするためには、円筒状に形成したものを
複数個並べて一体化し、各電極層を制御回路基板に接続
する必要がある。
を複数重ね、電極層に電圧を印加することより、円筒状
に圧電材料を収縮あるいは膨張させてインクに噴射圧力
を与える構造である。この製造方法は、圧電材料の液に
浸して引き上げる操作と電極層を蒸着する操作を複数回
繰り返してそれらの層を順次重ねて形成する。そしてマ
ルチノズル型にするためには、円筒状に形成したものを
複数個並べて一体化し、各電極層を制御回路基板に接続
する必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のいずれの構造に
おいても、ダイヤモンドブレードなどによって切削加工
したり、圧電材料の液に浸して引き上げる操作を繰り返
したり、また電極を制御回路基板に接続するなど、製作
工数が多く、コストがかかる問題がある。
おいても、ダイヤモンドブレードなどによって切削加工
したり、圧電材料の液に浸して引き上げる操作を繰り返
したり、また電極を制御回路基板に接続するなど、製作
工数が多く、コストがかかる問題がある。
【０００６】本発明は、上述した問題点を解決し、低コ
ストで製造することができるインク噴射装置およびその
製造方法を提供するものである。
ストで製造することができるインク噴射装置およびその
製造方法を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段および発明の効果】この目
的を達成するために、請求項１記載のインク噴射装置
は、基板部上に、両端を開放した圧電材料製の筒状アク
チュエータ部を複数個一体に突出形成し、前記筒状アク
チュエータ部の外周面と内周面とに、前記圧電材料に電
界を生成するための電極を形成し、前記基板部上に前記
各電極と接続して該電極に電圧を印加するための導電部
を形成したことを特徴とする。
的を達成するために、請求項１記載のインク噴射装置
は、基板部上に、両端を開放した圧電材料製の筒状アク
チュエータ部を複数個一体に突出形成し、前記筒状アク
チュエータ部の外周面と内周面とに、前記圧電材料に電
界を生成するための電極を形成し、前記基板部上に前記
各電極と接続して該電極に電圧を印加するための導電部
を形成したことを特徴とする。
【０００８】この構成により、導電部を通じてアクチュ
エータ部の外周面と内周面の電極に電圧を印加すること
で、筒状アクチュエータ部の圧電材料を変形させ、その
内部のインクに噴射圧力を与えることができる。また、
基板部と筒状アクチュエータ部を、例えば射出成形によ
り一体成形することが可能で、これに電極、導電部を例
えば蒸着、メッキ等で形成することで、低コストで製造
可能なインク噴射装置を提供することができる。
エータ部の外周面と内周面の電極に電圧を印加すること
で、筒状アクチュエータ部の圧電材料を変形させ、その
内部のインクに噴射圧力を与えることができる。また、
基板部と筒状アクチュエータ部を、例えば射出成形によ
り一体成形することが可能で、これに電極、導電部を例
えば蒸着、メッキ等で形成することで、低コストで製造
可能なインク噴射装置を提供することができる。
【０００９】上記構成において、前記電極は、前記各筒
状アクチュエータ部の外周面と内周面の一方に形成され
相互に独立した個別電極と、他方に各筒状アクチュエー
タ部にわたって連続して形成された共通電極とから構成
することで、共通電極を共通電位、例えばアースに接続
し、各個別電極に選択的に電圧を印加することで、各筒
状アクチュエータ部を選択的に駆動することができる。
状アクチュエータ部の外周面と内周面の一方に形成され
相互に独立した個別電極と、他方に各筒状アクチュエー
タ部にわたって連続して形成された共通電極とから構成
することで、共通電極を共通電位、例えばアースに接続
し、各個別電極に選択的に電圧を印加することで、各筒
状アクチュエータ部を選択的に駆動することができる。
【００１０】また、前記個別電極に接続された導電部お
よび共通電極に接続された導電部は、それぞれ端部に有
する接続端子を前記基板部の同一面上に配列しているこ
とで、制御回路から延びる配線部材、例えばフレキシブ
ルなプリント基板を接続端子に容易に接続することがで
きる。
よび共通電極に接続された導電部は、それぞれ端部に有
する接続端子を前記基板部の同一面上に配列しているこ
とで、制御回路から延びる配線部材、例えばフレキシブ
ルなプリント基板を接続端子に容易に接続することがで
きる。
【００１１】上記プリント基板は、さらに、前記各筒状
アクチュエータ部の一端の開口と連通する複数のインク
噴射口、および前記接続端子と接続する給電線を有する
プレート部材によって構成することで、一層構造を簡単
にし、低コストで製造することができる。
アクチュエータ部の一端の開口と連通する複数のインク
噴射口、および前記接続端子と接続する給電線を有する
プレート部材によって構成することで、一層構造を簡単
にし、低コストで製造することができる。
【００１２】さらに好ましくは、前記基板部の、前記接
続端子を配列した一側部を、前記各筒状アクチュエータ
部の一端の開口とほぼ同一平面に配置することで、前記
プレート部材を、インク噴射口がアクチュエータ部の開
口と対向するように筒状アクチュエータ部の一端に固定
すると同時に、給電線を接続端子と容易に接続すること
ができる。
続端子を配列した一側部を、前記各筒状アクチュエータ
部の一端の開口とほぼ同一平面に配置することで、前記
プレート部材を、インク噴射口がアクチュエータ部の開
口と対向するように筒状アクチュエータ部の一端に固定
すると同時に、給電線を接続端子と容易に接続すること
ができる。
【００１３】そして本発明のインク噴射装置の製造方法
は、基板部と、両端を開放した圧電材料製の筒状アクチ
ュエータ部を複数個一体に突出形成する第１の工程と、
前記筒状アクチュエータ部の外周面と内周面とに、前記
圧電材料に電界を生成するための電極を、および前記基
板部状に前記各電極と接続した導電部をそれぞれ形成す
る第２の工程とからなり、基板部と筒状アクチュエータ
部を、例えば射出成形を利用することにより容易に一体
成形することができ、これに電極、導電部を例えば蒸
着、メッキ等で形成することで、低コストで製造するこ
とができる。
は、基板部と、両端を開放した圧電材料製の筒状アクチ
ュエータ部を複数個一体に突出形成する第１の工程と、
前記筒状アクチュエータ部の外周面と内周面とに、前記
圧電材料に電界を生成するための電極を、および前記基
板部状に前記各電極と接続した導電部をそれぞれ形成す
る第２の工程とからなり、基板部と筒状アクチュエータ
部を、例えば射出成形を利用することにより容易に一体
成形することができ、これに電極、導電部を例えば蒸
着、メッキ等で形成することで、低コストで製造するこ
とができる。
【００１４】また、上記製造方法において、前記第２の
工程は、前記基板部と前記筒状アクチュエータとの全面
に導線層を形成する工程と、その導電層の一部を除去
し、前記筒状アクチュエータ部の外周面と内周面の一方
および前記基板部の導電層を、個別電極および導電部に
分割する工程とからなることで、一層容易に電極、導電
部を形成することができる。
工程は、前記基板部と前記筒状アクチュエータとの全面
に導線層を形成する工程と、その導電層の一部を除去
し、前記筒状アクチュエータ部の外周面と内周面の一方
および前記基板部の導電層を、個別電極および導電部に
分割する工程とからなることで、一層容易に電極、導電
部を形成することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
にしたがって説明する。
にしたがって説明する。
【００１６】実施の形態のインク噴射装置は、複数のア
クチュエータ部を有するアクチュエータユニット３０
と、インク噴射口および給電線を有するプレート部材５
０と、複数のアクチュエータ部にインクを供給するマニ
ホールド部材６０とからなる。
クチュエータ部を有するアクチュエータユニット３０
と、インク噴射口および給電線を有するプレート部材５
０と、複数のアクチュエータ部にインクを供給するマニ
ホールド部材６０とからなる。
【００１７】アクチュエータユニット３０は、複数の円
筒状アクチュエータ部３１と、それらアクチュエータ部
３１を複数列に配置して支持する基板部３２とを、チタ
ン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）等の圧電セラミックス材
料により一体成形して有する。各円筒状アクチュエータ
部３１は両端を開放した筒状をなし、その内部にインク
室３３を形成し、筒状の側壁を半径方向Ｐに分極してい
る。複数のアクチュエータ部３１の各インク室３３は、
相互に平行に延び、アクチュエータ部３１の前端にそれ
ぞれ開口している。
筒状アクチュエータ部３１と、それらアクチュエータ部
３１を複数列に配置して支持する基板部３２とを、チタ
ン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）等の圧電セラミックス材
料により一体成形して有する。各円筒状アクチュエータ
部３１は両端を開放した筒状をなし、その内部にインク
室３３を形成し、筒状の側壁を半径方向Ｐに分極してい
る。複数のアクチュエータ部３１の各インク室３３は、
相互に平行に延び、アクチュエータ部３１の前端にそれ
ぞれ開口している。
【００１８】基板部３２は、複数のアクチュエータ部３
１の他端に一体に連続してアクチュエータ部３１と直角
に平面状に延びている。つまり、複数のアクチュエータ
部３１が基板部３２からそれぞれ突出した状態にある。
また、基板部３２は、外周に複数のアクチュエータ部３
１を囲むように立ち上がった外周壁３４ａ，３４ｂを有
する。その外周壁３４ａ，３４ｂの前端面は、アクチュ
エータ部３１の前端面とほぼ同一平面上にある。
１の他端に一体に連続してアクチュエータ部３１と直角
に平面状に延びている。つまり、複数のアクチュエータ
部３１が基板部３２からそれぞれ突出した状態にある。
また、基板部３２は、外周に複数のアクチュエータ部３
１を囲むように立ち上がった外周壁３４ａ，３４ｂを有
する。その外周壁３４ａ，３４ｂの前端面は、アクチュ
エータ部３１の前端面とほぼ同一平面上にある。
【００１９】各円筒状アクチュエータ部３１は、外周面
と内周面とに電極４１、４２を有する。基板部３２は、
アクチュエータ部３１が突出している前面側に外周面の
各電極４１と接続した導電膜４３を有し、各導電膜４３
間に間隔４４をあけ各導電膜４３を相互に電気絶縁して
いる。基板面３２の後面側は、図４に示すようにすべて
の内周面の電極４２と接続した１つの導電膜４５を有す
る。つまり、外周面の各電極４１を、各アクチュエータ
部３１ごとに独立した個別電極とし、内周面の電極４２
を共通電位の電極としている。
と内周面とに電極４１、４２を有する。基板部３２は、
アクチュエータ部３１が突出している前面側に外周面の
各電極４１と接続した導電膜４３を有し、各導電膜４３
間に間隔４４をあけ各導電膜４３を相互に電気絶縁して
いる。基板面３２の後面側は、図４に示すようにすべて
の内周面の電極４２と接続した１つの導電膜４５を有す
る。つまり、外周面の各電極４１を、各アクチュエータ
部３１ごとに独立した個別電極とし、内周面の電極４２
を共通電位の電極としている。
【００２０】個別電極４１に接続した各導電膜４３は、
アクチュエータ部３１の列と平行な外周壁３４ａの内面
を経て前端面に延び、その前端面に接続端子４３ａを有
する。共通電極４２に接続した導電膜４５は、基板部３
２左右両端の外周壁３４ｂの外面を経て前端面に延び、
その前端面に接続端子４５ａを有する。接続端子４５ａ
と接続端子４３ａとの間も間隔をあけ、電気絶縁してい
る。アクチュエータ部３１の前端面と接続端子４５ａ，
４３ａとはほぼ同一平面上に位置している。
アクチュエータ部３１の列と平行な外周壁３４ａの内面
を経て前端面に延び、その前端面に接続端子４３ａを有
する。共通電極４２に接続した導電膜４５は、基板部３
２左右両端の外周壁３４ｂの外面を経て前端面に延び、
その前端面に接続端子４５ａを有する。接続端子４５ａ
と接続端子４３ａとの間も間隔をあけ、電気絶縁してい
る。アクチュエータ部３１の前端面と接続端子４５ａ，
４３ａとはほぼ同一平面上に位置している。
【００２１】上記アクチュエータユニット３０は、射出
成形により成形される。例えば、圧電材料を低温度（後
述する焼結よりも低温度）で仮焼成して結晶化する。こ
れを粉砕機を用いて粉砕し平均粒径６μｍ程度の粉末と
する。さらに、ポリカーボネート、ポリアセタール、ナ
イロン等の樹脂材料、可塑剤、滑剤と乾式混合した後、
加圧ニーダーを用いて加熱混練しペレタイザーを用いて
ペレット化した。上記のペレット化した複合圧電材料を
用いて射出成形を行う。ペレット化した複合圧電材料は
公知の射出成形機に供給し溶融する。溶融した複合圧電
材料は設定された射出圧力によって、円筒状アクチュエ
ータ部３１、基板部３２に対応するキャビティを有する
成形型に注入する。成形されたアクチュエータユニット
３０は、このまま電極および導電膜を形成することもで
きるが、成形体中の樹脂成分のみを熱処理によって脱脂
し、得られた脱脂体を原料として用いた圧電セラミック
ス粉末材料の焼結条件にて焼結するようにしてもよい。
成形により成形される。例えば、圧電材料を低温度（後
述する焼結よりも低温度）で仮焼成して結晶化する。こ
れを粉砕機を用いて粉砕し平均粒径６μｍ程度の粉末と
する。さらに、ポリカーボネート、ポリアセタール、ナ
イロン等の樹脂材料、可塑剤、滑剤と乾式混合した後、
加圧ニーダーを用いて加熱混練しペレタイザーを用いて
ペレット化した。上記のペレット化した複合圧電材料を
用いて射出成形を行う。ペレット化した複合圧電材料は
公知の射出成形機に供給し溶融する。溶融した複合圧電
材料は設定された射出圧力によって、円筒状アクチュエ
ータ部３１、基板部３２に対応するキャビティを有する
成形型に注入する。成形されたアクチュエータユニット
３０は、このまま電極および導電膜を形成することもで
きるが、成形体中の樹脂成分のみを熱処理によって脱脂
し、得られた脱脂体を原料として用いた圧電セラミック
ス粉末材料の焼結条件にて焼結するようにしてもよい。
【００２２】成形されたアクチュエータユニット３０の
全表面に、図５に示すように、電極および導電膜となる
導電材料層４６を、無電解メッキ、蒸着等の方法により
形成する。その後、図６に示すように、レーザ光の照射
等により導電材料層４６を選択的に除去して、電極およ
び導電膜を分離形成する。なお、筒状アクチュエータ部
３１の前端面３１ａおよび外周壁３４ａの外面３４ａ−
１は、研磨機により平面状に研磨することにより導電材
料層４６を除去することができる。導電膜４３間、およ
び接続端子４３ａ，４５ａ間の導電材料層４６を除去す
る、すなわち間隔４４を形成するのは、レーザ光の照射
が好適である。
全表面に、図５に示すように、電極および導電膜となる
導電材料層４６を、無電解メッキ、蒸着等の方法により
形成する。その後、図６に示すように、レーザ光の照射
等により導電材料層４６を選択的に除去して、電極およ
び導電膜を分離形成する。なお、筒状アクチュエータ部
３１の前端面３１ａおよび外周壁３４ａの外面３４ａ−
１は、研磨機により平面状に研磨することにより導電材
料層４６を除去することができる。導電膜４３間、およ
び接続端子４３ａ，４５ａ間の導電材料層４６を除去す
る、すなわち間隔４４を形成するのは、レーザ光の照射
が好適である。
【００２３】形成された導電膜４３，４５を通して電極
４１，４２に通常のインク噴射時よりも高い電圧を印加
することにより、アクチュエータ部３１の側壁に半径方
向の電界を生成し、その圧電材料を分極することで、ア
クチュエータユニット３０が完成する。
４１，４２に通常のインク噴射時よりも高い電圧を印加
することにより、アクチュエータ部３１の側壁に半径方
向の電界を生成し、その圧電材料を分極することで、ア
クチュエータユニット３０が完成する。
【００２４】プレート部材５０は、ポリイミド樹脂等の
フレキシブルなシート材料からなり、アクチュエータ部
３１前端面の開口と対向する位置にインク噴射口５１
と、接続端子４５ａ，４３ａと対向する位置に接続端子
５２，５３と、接続端子５２，５３から延びる複数の給
電線５４とを有する。給電線５４は接続端子５２，５３
と反対側の端部をプレート部材５０の一側に配列してお
り、図示しない制御回路のコネクタに着脱可能に接続さ
れる。給電線５４および接続端子５２，５３は、プレー
ト部材５０の上に公知の印刷法等により形成する。プレ
ート部材５０上に制御回路を構成する素子の一部あるい
は全部を配置することもできる。
フレキシブルなシート材料からなり、アクチュエータ部
３１前端面の開口と対向する位置にインク噴射口５１
と、接続端子４５ａ，４３ａと対向する位置に接続端子
５２，５３と、接続端子５２，５３から延びる複数の給
電線５４とを有する。給電線５４は接続端子５２，５３
と反対側の端部をプレート部材５０の一側に配列してお
り、図示しない制御回路のコネクタに着脱可能に接続さ
れる。給電線５４および接続端子５２，５３は、プレー
ト部材５０の上に公知の印刷法等により形成する。プレ
ート部材５０上に制御回路を構成する素子の一部あるい
は全部を配置することもできる。
【００２５】プレート部材５０はインク噴射口５１の周
囲においては、アクチュエータ部３１前端面に接着剤に
より固定され、接続端子５２，５３は接続端子４５ａ，
４３ａとハンダ等による導電性のろう付けがなされる。
囲においては、アクチュエータ部３１前端面に接着剤に
より固定され、接続端子５２，５３は接続端子４５ａ，
４３ａとハンダ等による導電性のろう付けがなされる。
【００２６】マニホールド部材６０は、一面を開放した
箱状をなし、その開放面を複数のアクチュエータ部３１
の後端開口を覆って基板部３２に接着剤により固着され
る。マニホールド部材６０は、一側の開口６１から供給
されたインクを内部の空間を経て複数のアクチュエータ
部３１のインク室３３に供給する。なお、マニホールド
部材６０内を仕切り壁６２により分割することで、複数
のアクチュエータ部３１の列ごとに異なる色のインクを
供給することができる。
箱状をなし、その開放面を複数のアクチュエータ部３１
の後端開口を覆って基板部３２に接着剤により固着され
る。マニホールド部材６０は、一側の開口６１から供給
されたインクを内部の空間を経て複数のアクチュエータ
部３１のインク室３３に供給する。なお、マニホールド
部材６０内を仕切り壁６２により分割することで、複数
のアクチュエータ部３１の列ごとに異なる色のインクを
供給することができる。
【００２７】上記のように構成されたインク噴射装置に
おいて、共通電極４２に接続された給電線５４を共通電
位、例えばアースに接続し、他の給電線５４に選択的に
電圧を印加すると、選択されたアクチュエータ部３１の
側壁に分極方向と平行な電界が生成され、その側壁が半
径方向に伸縮され、インク室３３内部のインクに噴射圧
力が与えられ、インク噴射口５１からインク滴が噴射さ
れる。
おいて、共通電極４２に接続された給電線５４を共通電
位、例えばアースに接続し、他の給電線５４に選択的に
電圧を印加すると、選択されたアクチュエータ部３１の
側壁に分極方向と平行な電界が生成され、その側壁が半
径方向に伸縮され、インク室３３内部のインクに噴射圧
力が与えられ、インク噴射口５１からインク滴が噴射さ
れる。
【００２８】上記の実施の形態では、筒状アクチュエー
タ部３１の外周面に個別電極、内周面に共通電極を設け
ているが、この逆に、外周面に共通電極、内周面に個別
電極を設けることもできる。
タ部３１の外周面に個別電極、内周面に共通電極を設け
ているが、この逆に、外周面に共通電極、内周面に個別
電極を設けることもできる。
【図１】本発明の実施の形態のインク噴射装置の分解斜
視図である。
視図である。
【図２】図１のインク噴射装置を組み立てた状態の断面
図である。
図である。
【図３】図１のインク噴射装置のアクチュエータユニッ
トの前面図である。
トの前面図である。
【図４】図３のアクチュエータユニットの後面図であ
る。
る。
【図５】アクチュエータユニットの製造過程を示す斜視
図である。
図である。
【図６】アクチュエータユニットの製造過程を示す斜視
図である。
図である。
３０ アクチュエータユニット ３１ 筒状アクチュエータ部 ３２ 基板部 ４１ 個別電極 ４２ 共通電極 ４３，４５ 導電膜 ４３ａ，４５ａ 接続端子 ５０ プレート部材 ５１ インク噴射口 ５４ 給電線
Claims (7)
- 【請求項１】 基板部上に、両端を開放した圧電材料製
の筒状アクチュエータ部を複数個一体に突出形成し、 前記筒状アクチュエータ部の外周面と内周面とに、前記
圧電材料に電界を生成するための電極を形成し、 前記基板部上に前記各電極と接続して該電極に電圧を印
加するための導電部を形成したことを特徴とするインク
噴射装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載のインク噴射装置におい
て、 前記電極は、前記各筒状アクチュエータ部の外周面と内
周面の一方に形成され相互に独立した個別電極と、他方
に各筒状アクチュエータ部にわたって連続して形成され
た共通電極とからなることを特徴とするインク噴射装
置。 - 【請求項３】 請求項２に記載のインク噴射装置におい
て、 前記個別電極に接続された導電部および共通電極に接続
された導電部は、それぞれ端部に有する接続端子を前記
基板部の同一面上に配列していることを特徴とするイン
ク噴射装置。 - 【請求項４】 請求項３に記載のインク噴射装置におい
て、 前記各筒状アクチュエータ部の一端の開口と連通する複
数のインク噴射口、および前記接続端子と接続する給電
線を有するプレート部材をさらに備えることを特徴とす
るインク噴射装置。 - 【請求項５】 請求項５に記載のインク噴射装置におい
て、 前記基板部の、前記接続端子を配列した一側部を、前記
各筒状アクチュエータ部の一端の開口とほぼ同一平面に
配置したことを特徴とするインク噴射装置。 - 【請求項６】 基板部と、両端を開放した圧電材料製の
筒状アクチュエータ部を複数個一体に突出形成する第１
の工程と、 前記筒状アクチュエータ部の外周面と内周面とに、前記
圧電材料に電界を生成するための電極を、および前記基
板部状に前記各電極と接続した導電部をそれぞれ形成す
る第２の工程とからなることを特徴とするインク噴射装
置の製造方法。 - 【請求項７】 請求項６に記載のインク噴射装置の製造
方法において、 前記第２の工程は、前記基板部と前記筒状アクチュエー
タとの全面に導線層を形成する工程と、その導電層の一
部を除去し、前記筒状アクチュエータ部の外周面と内周
面の一方および前記基板部の導電層を、個別電極および
導電部に分割する工程とからなることを特徴とするイン
ク噴射装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23953399A JP2001063045A (ja) | 1999-08-26 | 1999-08-26 | インク噴射装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23953399A JP2001063045A (ja) | 1999-08-26 | 1999-08-26 | インク噴射装置およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001063045A true JP2001063045A (ja) | 2001-03-13 |
Family
ID=17046233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23953399A Pending JP2001063045A (ja) | 1999-08-26 | 1999-08-26 | インク噴射装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001063045A (ja) |
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