KR20010031048A

KR20010031048A - 잉크 인쇄 장치 및 그것의 제조 방법

Info

Publication number: KR20010031048A
Application number: KR1020007003872A
Authority: KR
Inventors: 스테펜 템플; 살라딘 오메르; 쥐세프 롬바르디; 로버트 알란 하비
Original assignee: 그래햄 와일리; 자아 테크날러쥐 리미티드
Priority date: 1997-10-10
Filing date: 1998-10-09
Publication date: 2001-04-16
Also published as: WO1999019147A1; ES2257481T3; AU747616B2; EP1241007A1; BR9812580A; CN1146501C; JP2001519264A; DE69810799T2; AU9360898A; EP1021302A1; EP1021302B1; IL134657A0; IL134657A; CA2301819A1; ES2186231T3; CN1274316A; DE69833978D1; CA2301819C; ATE231073T1; DE69810799D1

Abstract

압전 인쇄헤드 또는 다른 잉크 인쇄 장치는 베이스와 변위가능한 벽들에 의해 한정되고 커버 수에 의해 덮히며 액체를 수용한 평행한 채널들을 가진다. 채널들은 각각 잉크 방울 분사를 위한 적어도 하나의 노즐을 가진다. 각 노즐은 베이스에 배치될 수도 있고, 커버는 노즐의 반대측에서 각 채널의 길이 방향으로 이격된 두 개의 잉크 공급부를 가진다. 대안적으로 길이 방향으로 이격된 두 개의 노즐들이 각 채널의 베이스에 제공될 수도 있다. 커버는 벽-변위 전극들과 연결되는 도전성 트랙을 가질 수도 있고, 연결점은 채널들의 외측에 있다.

Description

잉크 인쇄 장치 및 그것의 제조 방법{Droplet Deposition Apparatus and Methods of Manufacture thereof}

도 1a는 본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합된 WO92/22429에 따른 종래 기술의 잉크젯 인쇄헤드 구성의 채널들의 단면도이다. 압전 세라믹 시트(12)는 두께 방향(17)으로 극성화되고, 채널 축선과 평행하게 위치된 양 측에서 채널 벽들(13)과 접하는 채널들(11)을 일측 표면에 가지고 있다. 각 벽(13)의 양 측에 형성된 전극들(23)에 의해, 전기장은 벽들의 압전 물질에 가해져 압전 물질을 시어 모드(shear mode)에서 채널 축선과 교차하는 방향으로 휘어지게 할 수 있다. 그에 따라 잉크 방울의 분사를 일으키는 압력파들이 잉크에 발생된다. 이러한 원리들은, 예를 들면 본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합된 EP-A-0 364 136으로부터 본 기술 분야에서 공지되어 있다.

그 위에 형성된 잉크 채널들과 동일한 피치 간격의 도전성 트랙들(16)을 가지는 커버(14)의 표면에 의해, 채널들(11)은 채널 축선과 평행하게 위치된 일 측을 따라 폐쇄된다. 솔더 접합부들(solder bonds)(28)은 트랙들(16)과 채널 벽 전극들(23) 사이에 형성되어, 하나의 단계에서 커버를 베이스에 고정하고 전극들과 트랙 사이의 전기 연결부를 만든다. 그리고 나서, 나중에 잉크에 의해 부식되는 것을 방지하도록 전극들과 트랙들은 보호막으로 코팅된다.

도 1a에 도시된 종래의 인쇄 헤드에서 단일 채널의 길이 방향 축선 A를 따라 취한 단면도인 도 1b에 도시된 바와 같이, 각각 잉크 분사 노즐(22)을 가지는 노즐판(20)은 시트(12)의 전방에 장착되어 있는 반면, 잉크 매니폴드(26)는 매니폴드 구조물(21)에 의해 후방에 한정되어 있다. 입력 트랙들(18)을 통해 수신된 신호에 의해 차례로 구동되는 마이크로칩(27)에 전형적으로 포함된 구동 회로와의 연결을 위하여, 트랙들(16)은 커버(14)의 후방으로 유도된다.

이러한 종류의 인쇄헤드들에 있어서, 잉크에 의해 수반되는 부식을 방지하도록 채널 벽들- 및 특히 그 위에 형성된 전극들 -은 종종 보호막으로 코팅된다. 이에 대해서는 참조에 의해 통합된 WO95/07820을 참조하라.

그러나 상술된 장치에 있어서, 커버의 부착에 앞서서 이루어지는 이러한 통상의 보호막 코팅은 전극들과 트랙들 간의 솔더 접합부들의 형성을 억제할 수 있다. 다른 한편으로, 커버가 부착된 다음의 보호막 코팅은 채널의 끝으로부터만 적용될 수 있으며, 특히 채널 끝으로부터 멀리 떨어진 채널의 중앙에서, 전극들 및 트랙들의 코팅 품질을 낮게 한다.

본 발명은 잉크 인쇄 장치, 특히 잉크젯 인쇄헤드에 관한 것이며, 잉크 인쇄 장치는 잉크 공급원과 소통하는 채널과 잉크 방울의 분사를 위한 구멍을 포함하고, 적어도 하나의 채널 측벽은 전기 신호들에 응답하여 변위가능하여, 채널로부터 잉크 방울을 분사한다.

이제 본 발명은 다음의 도면들을 참조하여 예로서 설명된다. 여기서:

도 3은 본 발명의 제 1 양태의 제 1 실시예에 따른 인쇄헤드의 채널 축선을 따라 취한 단면도이며;

도 4a 및 도 4b는 각각 커버에 부착되기 전후의 도 3에 도시된 인쇄헤드의 후방부를 상세하게 도시한 도면이고;

도 5는 본 발명의 제 1 양태의 제 2 실시예에 따른 인쇄헤드의 채널 축선을 따라 취한 단면도이며;

도 6은 본 발명의 제 1 및 제 2 양태를 통합하는 인쇄헤드의 채널 축선을 따라 취한 단면도이고;

도 7은 본 발명의 제 2 양태의 제 2 실시예에 따른 인쇄헤드의 채널 축선을 따라 취한 단면도이며;

도 8은 도 7에 도시된 인쇄헤드의 압전 몸체의 끝을 상세하게 보인 사시도이고;

도 9 및 도 10은 도 7에 도시된 인쇄헤드의 다른 실시예를 각각 도시한 단면도 및 상세 단면도이다.

본 발명은 종래 구성의 커버에 형성된 도전성 트랙들과 결합된 연결 장점들을 유지하면서도 보호막 코팅이 용이한 인쇄헤드 구성을 그 목적으로 한다.

따라서, 본 발명은, 일 양태에서, 잉크 공급원과 소통하기 위한 수단과 잉크 방울들의 분사를 위한 구멍을 가지는 적어도 하나의 채널을 포함하는 잉크 인쇄 장치로 구성되며;

채널은 채널 축선과 평행하게 놓인 적어도 일측에서 작동 수단과 결합된 채널 벽과 접하고; 작동 수단은 전기 신호들에 응답하여 채널 벽을 변위시켜 채널로부터 잉크 방울들을 분사하며;

채널은 채널 축선과 평행한 타측에서 커버 표면과 접하고, 커버 표면은 상기 작동 수단으로 전기 신호를 전달하기 위한 적어도 하나의 도전성 트랙이 그 위에 형성되며, 트랙과 작동 수단 간의 전기 연결점은 채널 외측에 위치된다.

본 발명에 따라 트랙과 액츄에이터 간의 유일한 전기 연결점이 채널의 외측에 위치하고, 따라서, (잠재적으로 부식 효과를 가진)잉크와 접촉하지 않기 때문에, 이 지점의 보호막 코팅은 더 이상 필요하지 않다. 채널은 그 자체로 채널들의 개방된 상측을 통해 보호막 코팅될 수 있다. 그 후에, 커버는 부착될 수 있고, 커버의 도전성 트랙들 및 채널 벽들과 결합된 작동 수단 사이에 전적기 접촉이 이루어진다. 잉크의 종류 때문에 발사하도록 의도된 - 보호막 코팅이 필요없는 인쇄헤드에 있어서도, 본 발명에 따라 채널 외측에 위치한 전기 연결점은, 도 1a 및 도 1b의 종래 장치의 채널의 길이 방향으로 형성된 솔더 접합부들보다 피로로 인하여 고장나는 경향이 적다.

본 발명의 제 1 양태에 일치하는 방법은 잉크 인쇄 장치의 제조 방법으로 구성되고, 그 방법은:

상측이 개방된 적어도 하나의 채널을 포함하는 베이스 요소를 형성하고, 채널 축선과 평행하게 위치된 적어도 일측에서 상기 채널을 전기 신호들에 응답하여 채널 벽의 변위시켜 채널로부터 잉크 방울들을 분사시키기 위한 작동 수단과 결합된 채널 벽과 접하게 하는 단계;

채널 축선과 평행한 타측에서, 상기 작동 수단으로 전기 신호들을 전달하기 위한 적어도 하나의 도전성 트랙이 그 위에 형성된 커버 표면으로 채널을 폐쇄하는 단계; 및

도전성 트랙과 작동 수단을 채널의 외측에 위치한 한 지점에서 전기적으로 연결하는 단계를 포함한다.

바람직하게는, 채널을 폐쇄하는 단계는 도전성 트랙과 작동 수단의 전기적 연결을 초래하여, 제조 공정을 간단하게 한다.

본 발명의 제 1 양태는 또한:

압전 물질로 된 바닥 시트로서, 상기 시트에 수직한 방향으로 극성화되고, 채널들의 길이 방향과 수직한 배열 방향으로 서로 이격되고, 대향하는 측벽들과 상기 측벽들 사이로 연장하는 바닥 표면에 의해 각각 한정되며, 상측이 개방된 다수의 평행한 채널들을 가지는 바닥 시트;

상기 채널들의 상기 바닥 표면과 대향하며 상기 채널들의 상측에서 채널들을 폐쇄하도록 상기 측벽들에 접합되는 톱 시트;

잉크 방울들의 분사를 위하여 상기 채널들과 소통하는 각각의 노즐들;

상기 채널들을 인쇄용 잉크 공급원과 연결하기 위한 연결 수단을 포함하고;

각 채널은 채널을 한정하는 적어도 한 측벽의 반대측 면들에 전극들이 제공되어 채널로부터 잉크 방울을 배출하는 시어 모드 액츄에이터를 형성하는 전방부와; 전방부 측벽들의 채널-대향 측의 적어도 한 전극과 전기적으로 접촉되는 전기-도전성 코팅부를 가지는 후방부와; 전방부와 후방부를 분리하는 분리 수단을 포함하며; 그리고

상기 측벽들과 접합된 상기 톱 시트의 표면에 형성된 도전성 트랙들을 더 포함하며, 도전성 트랙들은 상기 후방부의 전기-도전성 코팅부와 전기적으로 접촉되는 잉크 인쇄 장치로 구성된다.

일치하는 잉크 인쇄 장치의 제조 방법은:

압전 물질층으로 된 바닥 시트를 형성하는 단계로서, 압전 물질층은 상기 시트와 수직인 방향으로 극성화된 단계;

채널들의 길이 방향과 수직한 배열 방향으로 서로 이격되고, 대향하는 측벽들 및 상기 측벽들 사이로 연장하는 바닥 표면에 의해 한정되며, 전방부와 후방부를 더 가지며, 상측이 개방된 다수의 평행한 채널들을 형성하는 단계;

각 채널의 전방부를 한정하는 적어도 한 측벽의 반대측들에 전극들을 형성하여, 채널로부터 잉크 방울을 배출하기 위한 시어 모드 액츄에이터를 형성하는 단계; 및

각 전극과 전기적으로 접촉되는 전기-도전성 코팅부를 각 채널의 후방부에 형성하는 단계;

도전성 트랙들이 형성된 표면을 가지는 톱 시트를 제공하는 단계; 및

상기 채널들의 상측에서 상기 채널들을 폐쇄하도록 도전성 트랙들을 가지는 톱 시트의 표면을 상기 측벽들에 접합하는 단계;

상기 트랙들과 각 채널의 각 전기-도전성 코팅부 사이에 전기 접촉을 이루는 단계; 및

각 채널의 전방부와 후방부를 분리하는 실링 수단을 제공하는 단계를 포함한다.

본 발명의 제 2 양태는:

대향하는 종방향 측벽들과, 측벽들 사이로 연장하는 종방향 바닥 표면에 의해 한정되고, 상측이 개방된 적어도 하나의 종방향 잉크 채널;

적어도 하나의 측벽들에 있는 압전 물질에 전기장을 가하여, 상기 종방향 채널로부터 잉크 방울이 분사되도록 채널과 관련한 벽을 변위시키기 위한 수단; 및

종방향 채널의 개방된 상측을 폐쇄하는 커버를 포함하며;

상기 종방향 채널의 바닥 표면은 잉크 방울 분사를 위한 구멍이 형성되며;

커버는 잉크 방울의 공급을 위한 두 개의 포트들을 통합하고, 포트들은 구멍의 양측에서 채널을 따라 이격된 잉크 인쇄장치로 구성된다.

이러한 구성은, 또한, 공지된 인쇄헤드들, 특히 WO91/17051(본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합됨)에서 논의된 "톱 슈터(top shooter)"와 같은 종류의 인쇄헤드들의 제조를 단순화시킨다. 도 2는 이러한 종래의 인쇄헤드의 채널들을 따라 취한 단면도를 도시하며, 도 1과 일치하는 구성은 일치하는 참조 부호로 표시된다. 잉크 분사는 채널 커버 요소(60)에 형성된 노즐로부터 발생되는 반면 잉크는 포트들(33)을 통해 채널로 공급되며, 포트들은 채널 베이스에 형성되고, 채널화된 압전 요소(12)와 별도인 베이스 요소(35)에 형성된 잉크 공급관(미도시)과, 그것들의 차례에서(in their turn), 전형적으로 연결된다.

본 발명에 따라, 잉크 분사 오리피스와 소통하는 구멍은 채널의 바닥 표면에 형성되어, 커버 요소가 채널로 잉크를 공급하기 위한 포트를 통합하게 한다. 결과적으로 추가적인 별도의 베이스 요소는 더 이상 필요없다.

본 발명의 제 3 양태는,

대향하는 종방향 측벽들과 측벽들 사이로 연장하는 종방향 바닥 표면에 의해 한정되고, 상측이 개방된 적어도 하나의 종방향 잉크 방울 채널;

잉크 방울을 채널로 공급하기 위한 수단;

적어도 하나의 측벽에 있는 압전 물질에 전기장을 가하여, 상기 종방향 채널로부터 잉크 방울이 분사되도록 채널과 관련한 벽을 변위시키기 위한 수단; 및

종방향 채널의 개방된 상측을 폐쇄하는 커버를 포함하며,

상기 종방향 채널의 바닥 표면은 잉크 방울 분사를 위한 두 개의 구멍이 형성되며, 구멍들은 채널을 따라 이격된 잉크 인쇄장치를 포함한다.

이러한 구성은 상술된 바와 같이 구성 요소의 수가 감소된다는 장점을 - 본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합된 - PCT 출원 번호 PCT/GB98/01495호의 장치에 부여한다.

일치하는 방법 청구항들 또한 본 발명에 포함되며, 다른 양태들은 다른 종속항들에서 기술되는 바와 같다.

본 발명의 다른 바람직한 실시예들은 상세한 설명, 도면들 및 독립항들에서 기술된다.

개시된 모든 청구항들은 법 조항에 따라 본 명세서에 통합된 것으로 간주된다.

도 3은 본 발명의 제 1 양태의 제 1 실시예에 따른 인쇄헤드를 도시한다. 도 1 및 도 2에 도시된 종래 기술의 인쇄헤드와 도 3에서 공통인 구성들은 공통의 참조 부호들에 의해 지시된다.

종래의 장치에서와 같이, 두께 방향으로 극성화된 압전 세라믹 몸체(12)는 채널 벽들(13)에 의해 분리된 채널들(11)을 가진다. 위에서 언급된 EP-A-0 364 136으로부터 공지된 바와 같이, 전극들(23)은 잉크-수용 채널(11)의 각 벽(13)을 따라 형성되고 후향 그루브(100)를 따라 몸체의 후면(130)까지 연장한다. 또한, 표면(15)이 각 채널들(11)의 개방면을 폐쇄하는 커버(14)와, 잉크 분사를 위한 노즐들(22)을 가지는 노즐판(20)과, 몸체(12)와 교차하도록 새겨진 형태의 잉크를 채널로 공급하기 위한 매니폴드가 제공된다. 커버(14)의 표면(15)은 그 위에 형성된(적당한 공정들은 잘 공지되어 있음) 트랙들(16)을 가지며, 트랙들은 (도 3에 비유적으로 도시되고 크기는 맞지 않은) 마이크로칩(27)에 차례로 연결되고, 마이크로 칩은 입력 트랙들(18)로부터의 입력 신호들을 차례로 수신한다.

커버가 부착되기 전의 인쇄헤드의 후방부가 도 4a에 상세하게 도시되어 있다. 보호층(140)(도 3에는 도시되지 않았으나 도 4a에 점선 해칭으로 지시되어 있음)은 채널의 전극(23)(도 3 및 도 4a에서 실선 해칭으로 지시됨) 전체 및 후향 그루브를 따라 일부분에 도포된다. 종래의 구성과 달리, 보호막 코팅은 커버의 부착 전에, 바람직하게는 본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합된 WO95/07820에 기술된 방법에 따라 수행된다.

몸체와 커버(14)의 표면(15) 간의 기계적 접합은, 커버와 몸체의 조립 전에, 바람직하게는 본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합된 WO95/04658에서 논의된 방법에 따라, 채널들(11)의 영역에서 벽들(13)의 끝 부분 표면들에 도포된 접착층(160)에 의해 달성된다. 도 4b는 조립된 인쇄헤드를 도시하며, 인쇄헤드는 220으로 지시된 접착성 접합부를 가진다. 이러한 접합부는 상술된 종래 구조물의 일치하는 솔더 접합부보다 참으로 더 강하며, 더 긴 피로 수명을 가진다.

커버의 도전성 트랙들(16)과 후향 그루브(100)의 트랙에 대응되는 부분의 전극(23) 사이의 전기적 연결은 트랙(16)의 끝(180)에 부착된, 솔더와 같은, 가단, 가변, 및 도전성 물질로 된 돌기(170)에 의해 달성된다. 도 4b에 도시된 바와 같이, 커버와 몸체의 조립체 상에서, 돌기(170)는 전극(23)과 접촉되고 변형되어, 전극(23)과 트랙(16) 사이에서 유효한 전기 접촉부(200)를 제공한다.

또한 밀봉 페이스트나 고점성 아교(glue)로 된 비드(190)는 잉크 채널(11)의 끝과 전기 접촉부(200) 간의 잉크 밀봉부(210)를 조립체에 형성하도록 도포된다. 이러한 밀봉부는 잉크로 인한 추후의 부식으로부터 전기 접촉부를 보호한다. 바람직하게는 밀봉부는 보호층(140)의 자유단(150)을 벌리도록 위치되어, 보호층 하에서 그렇지 않으면 전극 물질(23)을 칠 수도 있는 곳으로부터의 잉크 누설을 방지한다.

도 5는 본 발명의 제 1 양태의 제 2 실시예를 도시한다. 이전의 실시예에서와 같이, 세라믹 압전 몸체(290)는 두께 방향으로 극성화되어 있고, 각 측면에 형성된 전극(23)을 차례로 가지는 채널 벽들(13)에 의해 분리된 채널들(11)을 가진다. 그러나, 잉크 분사는, 커버에 직접 형성되거나 또는, 도시된 바와 같이, 커버에 형성된 구멍(340)을 통해 채널과 소통하는 노즐판(330)에 형성되고, 중앙에 위치된 노즐(320)로부터 발생된다. 부가적으로 몸체(290)는 화살표들(300)로 지시된 바와 같이, 채널의 양단으로부터 잉크를 공급하기 위한 두 개의 매니폴드(310)를 가진다. 다른 구조물(미도시)은 잉크통으로부터 매니폴드에 잉크를 공급한다.

이러한 "이중-단" 인쇄헤드 구성은, 본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합된 WO91/17051에 개시되어 있으며, 상술된 "단일-단" 구성에 비하여 작동 전압이 낮다는 측면에서 유리하다. 더욱이, 베이스(290)의 구성은 - 상술된 EP-A-0 364 136호에 기술된 통상의 절단 기술(sawing technique)보다 어쩌면 더 매력적인 기술인 - 몰딩(moulding)으로 제조하는데 적당하다.

그러나, 채널 전극(23)과 몸체(290)와 대향하는 커버(350)의 표면에 형성된 도전성 트랙들(370)의 연결은 도 3, 도 4a 및 도 4b와 관련하여 이미 기술된 바와 같고, 몸체(290)의 일측면에 형성된 그루브(360)에 위치되어 있다. 유사하게, 채널 자체(채널의 채널 벽들은 조립되기 전에 보호막 적용)의 영역에서 및 전기 연결부에 의해 점유되지 않은 몸체의 끝(380)에서, 커버(350)는 통상의 접착성 접합제(미도시)로 압전 세라믹 바디에 부착된다.

적당한 채널(11)로부터 노즐(320)의 출구까지 잉크에 의해 주행된 거리를 최소화하여, 압력 손실 및 그에 따른 잉크 분사 속도에 있어서의 감소를 감소시키기 위하여 노즐(320)은 커버(350) 자체에 형성될 수도 있다. 바람직하게는 노즐은, 예를 들어 참조에 의해 통합된 WO93/15911호에서 기술된 바와 같이, 레이저 절제(laser ablation)로 형성되며,

이 끝까지 커버는 용이하게 절제되는 물질, 적당하게는 전형적으로 50㎛의 두께를 갖는 폴리이미드(polyimid), 폴리카보네이트(ploycarbonate), 폴리에스테르(polyester) 또는 폴리에테르에테르케톤(polyetheretherketone)과 같은 중합체로 만들어질 수도 있다.

이와 같이 용이하게 절제되는 물질로 형성된 커버판의 강성(stiffness)은 절제 가능한 커버판의 내측 및 외측 표면에 더 단단한 물질로 된 코팅부를 적용하는 것에 의해 증가될 수도 있다. 이러한 목적에 특히 적당한 것은 실리콘 니트라이드(silicon nitride)다. 또한, 그것은 상술된 WO95/07820의 공정에서 보호막 코팅부로서 사용될 수 있고, 논-웨팅 코팅의 결과적인 적용에 적당한 부드러운 코팅부로서 침착되며, 그 비 도전성 때문에 인접 채널들의 전극들을 단락시키지 않는다. 폴리이미드 커버의 양측면에 위치되고, 각각 커버 두께의 대략 5%의 두께(50㎛ 두께의 커버인 경우 2.5㎛)를 가지는 이러한 물질로 된 두 개의 층은 (표준 복합 빔 이론에 근거하고 물질을 강화하기 위한 영의 계수(Young's modulus) 값이 합체 및 강성 물질과 중합체 물질 간의 우수한 접합부의 값보다 100배 더 큰 것으로 추정하여) 5-10의 요소(factor)로 휨 강성을 전형적으로 증가시킨다. 이러한 얇은 층은, 특히 층을 이루는 물질 자체가 어느 정도로 절제될 수 있으면, 커버 판이 절제될 수 있는 용이함에 어떤 큰 영향도 미치지 않는다.

넓은 용어로 표현하면, 잉크젯 프린터용 커버판은, 그 반대측 면들에 접합된 다른 층들을 가지고 용이하게 절제될 수 있는 제 1 물질을 포함하며, 다른 층들은 각각 적어도 제 1 물질의 강성보다 큰 크기(order of magnitude) 의 강성을 가지는 물질로 이루어지고 적어도 제 1 층의 두께보다 작은 크기(order of magnitude)의 두께를 가진다.

도 6을 참조하면, 본 발명의 제 1 및 제 2 양태를 통합한 인쇄헤드가 도시되어 있다. 압전 세라믹 몸체(400)는 채널들(11), 채널-분리 벽들(13) 및 구동 회로(미도시)에 연결된 도전성 트랙들(410)을 통해 작동 신호들이 공급되는 전극들(23)을 가진다. 그러나, 이전의 실시예들과 달리, 잉크 인쇄는 몸체(400)에 있어서 채널(11)의 폐쇄된 바닥 표면(440)에 형성된 구멍(430)과 소통하는 노즐(420)로부터 발생되며 - 이는 노즐(320)이 채널(11)의 개방된 상측을 폐쇄하는 커버(350)에 위치된 도 5와 대비된다.

또한, 몰딩은 채널이 형성된 몸체(400)의 바람직한 제조 방법이며, 또한 도 4a 및 도 4b의 장치는 전극들(23)과 도전성 트랙들(410) 간의 전기 연결을 위하여 채택된다. 또한 소통공(430)은 몰딩 공정 도중에 형성될 수도 있고, 예를 들어 레이저에 의해 몰딩 공정에 이어서 형성될 수도 있다. 커버(450)는 더 이상 노즐을 통합하지 않지만 대신 잉크 입구 포트들(460)을 가진다. 이러한 장치는 앞서 논의된 실시예들보다 더 적은 구성 요소 수를 가지고 결과적으로 제조 상의 장점을 가진다. 대안적으로, 잉크 공급 포트들은 채널이 형성된 요소, 예를 들면 채널 끝들에 형성될 수 있다.

또한, 도 7의 인쇄헤드는, 압전 몸체(530)에 형성된 채널(11)의 양끝 및 중간에 위치된 잉크 입구 포트들(520, 522, 524)을 가지는 커버 요소(500)를 채택한다. 채널 벽들은 갭(540)에 의해 각각 포트들(520, 522)와 (522, 524)로 공급되는 두 구역(550, 560)으로 분리되며, 각 구역은 도전성 트랙들(650, 660)을 통하여 구동 회로(미도시)에 의해 구동되는 각각의 전극들(570, 580)에 의하여 독립적으로 작동가능하다. 각 구역에 대해 노즐판(615)에 형성되고, 그 구역을 위한 각 입구 포트들 간의 중간에 위치된 지점에서 채널의 바닥 표면에 형성된 소통홀들(630, 640)을 통해 채널(11)의 구역과 소통하는, 각각의 노즐(610, 620)이 제공된다.

이러한 구성은, 본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합된, 동시 계류 중인 영국 특허출원 제0710530.8호에 기술되어 있고, 이 출원은 두 개의 평행한 열로 된 독립적으로 작동가능한 인쇄요소들을 가지는 인쇄헤드를 개시하며, 인쇄 요소들은 소형이고, 각 채널 구역으로의 "이중-단" 잉크 공급 때문에 단위 잉크 방울 인쇄 당 작동 전압은 감소된다.

이전의 실시예들과 달리, 채널 전극들을 구동 칩들에 전기적으로 연결하는 도전성 트랙들(650, 660)은, 바람직하게는 전극들(570, 580)이 채널 벽들에 침착되는 동일한 단계에서, 압전 몸체 자체에 형성된다.

이러한 장치는, 본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합된, EP-A-0 397 441로부터 공지되어 있으며, 따라서 여기서 더 이상 상세하게 기술되지 않는다. 트랙(650, 660) 및 구동 칩(590, 600) 간의 연결은, 와이어 본딩(wire bonding) 또는 금재 볼 연결(gold ball connection)을 포함하는 통상의 어떤 방법에 의해서도 달성될 수 있다.

압전 몸체(530)는 몰딩될 수도 있다. 명료한 제조상의 장점에 더하여, 이러한 공정은 채널(11)의 끝이 도 8에 도시된 바와 같이 형성되게 한다. 즉, 채널의 끝이 몸체의 상측 표면(720)으로부터 채널 벽(730) 및 종방향 채널의 바닥표면(710)까지 부드럽고 연속적인 천이부(700)를 가지고 형성되게 한다. 이는 연속적으로 침착된 전극 물질에서의 불연속성 및 인쇄헤드 전체의 작동 수명에 해로운 효과를 가질 수도 있는 결합된 가열 효과들을 차례로 제거한다.

대안적으로, 채널들은 - 예들 들면 EP-A-0 309 148에 기술된 바와 같이 - 디스크 커터를 이용한 절단에 의해 압전 요소에 형성될 수도 있으며, 도 9 및 도 10에 단면도 및 상세 단면도로 도시되어 있다. 채널(11)의 깊이는, 800으로 도시된 바와 같이, 각 끝에서 점점 이어지고(run out), 인접한 절단 채널들(11) 사이로 한정된 압전 채널 벽은 두 개의 작동 구역들(550, 560) 사이에서 연속적으로 이어진다(run out). 그러나, 두 구역 사이에 위치한 채널 벽들 상의 전극의 틈(break)(810)은 작동 구역의 각 벽이 전기 입력부(820)을 통해 공급되는 신호에 의해 독립적으로 작동될 수 있다는 것을 보증한다. 이러한 틈은, 예를 들어 금속 도금의 침착 도중 마스킹에 의해 또는 레이저로 도금을 제거하는 것에 의해 달성될 수도 있다.

상세하게 도시되지는 않았으나, 채널 벽들의 전극들과 전기 입력부(820) 사이의 연결은 어떤 공지된 기술에 의해서도 달성될 수 있으며, 이 기술은 채널(11) 후방의 영역(900)에 형성된 얕은 "런-아웃" 그루브들에 형성된 트랙들 간의 와이어 본드(상술된 EP-A-0 364 136에 기술됨) 또는 압전 시트 자체의 표면 상의 영역(900)에 형성된 도전성 트랙들 간의 도전성 접착제(예를 들면, 이방성 도전성 접착제)(EP-A-0 397 441에 기술됨)를 포함한다.

도 7의 실시예에서와 같이, 각 채널(11)은 적당한 길이(820, 830)의 커버 요소(500)에 의해 두 개의 작동 구역들(550, 560)을 따라 폐쇄되며, 커버 요소는 각 채널 작동 구역으로 잉크가 공급되게 하고, 선택적으로, 일반적으로 알려진 바와 같이, 세척 목적을 위해 잉크가 각 채널 구역을 순환하게 하는 포트들(520, 522, 524)을 가진다. 포트(522)의 경우에서와 같이, 포트들은 작동 구역의 가장자리를 한정하도록 위치될 수도 있으며, 이 경우 제조가 간단해진다. 도시된 예에 있어서, 커버 포트(552)의 폭과 커버 폐쇄 길이(820, 803)는 동일한 크기이며, 그 크기는 전형적으로 2mm이다.

각 작동 구역으로부터의 잉크 분사는, 채널을 압전 요소(시트 860)의 채널이 형성된 표면의 반대측 표면과 소통시키는 구멍들을 통한다. 본 실시예에 있어서, 이 구멍들은 슬롯들(840, 850)의 형태를 취하며, 노즐판(890)의 각 노즐들(870, 880)의 배치에 있어서 약간의 여유를 허용하도록 슬롯들은 채널의 종방향으로 소정 거리 - 전형적으로 20㎛ - 연장한다. 일반적으로 노즐의 오프세팅(offsetting)은, 예를 들면 도시된 종류의 "공유 벽" 인쇄헤드들에서 인접한 채널로부터 잉크의 동시 분사가 가능하지 않을 때마다 필요하고, 일반적으로, 예를 들면 EP-A-0 396으로부터, 공지되어 있다. 그러므로 여기서 더 이상 상세하게 논의되지 않는다.

본 발명에 따른 인쇄헤드들은 상술된 WO91/17051에 기술된 바와 같이 모듈 형태로 만들어질 수도 있으며, 각 모듈은, 모듈들이 함께 접하는 것에 의해 각각의 인접한 모듈 쌍들 사이에 다른 채널들이 형성되도록 각각의 채널 부분을 가지고 반대측 끝 표면들에 형성된다. 이러한 장치에 있어서, 각각의 채널 부분들은 슬롯의 적어도 일부분을 포함할 수도 있으며, 슬롯은 각 채널 베이스에 형성되고, 한 쌍의 인접 모듈들 및 그것들의 각 슬롯 분들이 완벽하게 정렬되지 않았을지라도 두 슬롯 반들(two slot halves) 사이에서 노즐을 수용하기에 충분한 중첩부를 유지하는데 충분한 길이를 가진다.

이전의 실시예에서와 같이, 노즐들(870, 880)은 노즐판(890)에 형성되며, 노즐판은, 도시된 바와 같이, 예를 들면 캐핑 및/또는 와이핑 기구(capping and/or wiping mechanism)의 결합을 위하여 적당히 큰 영역을 제공하도록 대체로 압전 시트(860)의 전체 길이 이상 연장할 수도 있다.

본 발명이 실시예들 만으로 설명되었으나 본 발명의 범위로부터 벗어나지 않고 넓은 범위의 변형이 가능하다는 것을 알 수 있다. 본 발명의 제 1 양태에 관련하여 도시된 특징들은 제 2 양태에도 동등하게 적용될 수도 있으며, 그 반대도 마찬가지이다.

예를 들면, 압전 채널 벽들은, 예를 들면 참조에 의해 통합된 EP-A-0 277 703으로부터 공지된 바와 같이, 채널 축선의 평면에 수직인 반대 방향들로 극성화될 수 있다. 대안적으로, 채널 벽들의 극성화는, 예를 들면 EP-A-0 528 647로부터 공지된 바와 같이, 전극들이 채널 벽들 자체에 형성된 상태로 채널 축선의 평면에 평행할 수 있다.

또한, 인쇄헤드의 모든 채널이 잉크 방울을 분사할 수 있어야 할 필요는 없다. 즉, 잉크 방울을 분사할 수 있는 작동 채널들은, 예들 들면 상술된 EP-A-0 277 703에 기술된 바와 같이, - "더미(dummy)" 채널들이라고도 하는 - 비작동 채널들과 교호될 수도 있다.

Claims

대향하는 종방향 측벽들과, 측벽들 사이로 연장하는 종방향 바닥 표면에 의해 한정되고, 상측이 개방된 적어도 하나의 종방향 잉크 채널;

적어도 하나의 측벽들에 있는 압전 물질에 전기장을 가하여, 상기 종방향 채널로부터 잉크 방울이 분사되도록 채널과 관련한 벽을 변위시키기 위한 수단; 및

종방향 채널의 개방된 상측을 폐쇄하는 커버를 포함하며;

상기 종방향 채널의 바닥 표면은 잉크 방울 분사를 위한 구멍이 형성되며;

커버는 잉크 방울의 공급을 위한 두 개의 포트들을 통합하고, 포트들은 구멍의 양측에서 채널을 따라 이격된 잉크 인쇄장치.
제 1 항에 있어서, 공급 포트들은 구멍의 양측에서 동일한 양만큼 이격된 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 종방향 채널의 바닥 표면은 적어도 두 개의 구멍들이 형성되며, 구멍들은 채널을 따라 이격된 장치.
제 3 항에 있어서, 커버는 각 구멍의 양측에 놓이도록 채널을 따라 이격된 잉크 방울 공급 포트들을 통합하는 장치.
선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 압전 물질은 전기장을 받을 때 시어 모드에서 변형하는 장치.
선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 전극은 채널 벽의 채널-대향 표면에 형성된 장치.
제 6 항에 있어서, 전극은 채널 벽의 채널-대향 표면의 반대측 표면의 채널 벽에도 또한 형성된 장치.
선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 채널 벽은 전기 신호에 응답하여 채널들의 축선과 교차하는 방향으로 변위가능한 장치.
선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 종방향 바닥 표면은 베이스에 의해 한정되고, 상기 베이스 및 상기 종방향 측벽들은 일체인 장치.
선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 서로 평행하게 배열된 다수의 종방향 채널들을 포함하는 장치.
대향하는 종방향 측벽들과 측벽들 사이로 연장하는 종방향 바닥 표면에 의해 한정되고, 상측이 개방된 적어도 하나의 종방향 잉크 방울 채널;

잉크 방울을 채널로 공급하기 위한 수단;

적어도 하나의 측벽에 있는 압전 물질에 전기장을 가하여, 상기 종방향 채널로부터 잉크 방울이 분사되도록 채널과 관련한 벽을 변위시키기 위한 수단; 및

종방향 채널의 개방된 상측을 폐쇄하는 커버를 포함하며,

상기 종방향 채널의 바닥 표면은 잉크 방울 분사를 위한 두 개의 구멍이 형성되며, 구멍들은 채널을 따라 이격된 잉크 인쇄장치.
제 11 항에 있어서, 잉크 방울을 공급하기 위한 수단은 각 채널의 양측에 위치되도록 커버에서 채널을 따라 이격된 공급 포트들을 포함하는 장치.
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서, 압전 물질은 전기장을 받을 때 시어 모드에서 변형하는 장치.
제 11 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서, 전극은 채널 벽의 채널-대향 표면에 형성된 장치.
제 14 항에 있어서, 전극은 채널 벽의 채널-대향 표면의 반대측 표면의 채널 벽에도 또한 형성된 장치.
제 11 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 채널 벽은 전기 신호에 응답하여 채널들의 축선과 교차하는 방향으로 변위가능한 장치.
제 11 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 종방향 바닥 표면은 베이스에 의해 한정되고, 상기 베이스 및 상기 종방향 측벽들은 일체인 장치.
제 11 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서, 서로 평행하게 정렬된 다수의 종방향 채널들을 포함하는 장치.
압전 물질을 포함하고, 상측이 개방된 적어도 하나의 종방향 채널을 가지며, 채널은 대향하는 종방향 측벽들과 측벽들 사이로 연장하는 종방향 바닥 표면에 의해 한정되는 몸체를 제공하는 단계;

잉크 방울의 분사를 위하여 종방향 바닥 표면에 구멍을 형성하는 단계;

적어도 하나의 측벽에 있는 압전 물질에 전기장을 가하여 상기 종방향 채널로부터 잉크를 분사하도록 채널과 관련한 벽을 변위시키기 위한 수단을 제공하는 단계; 및

구멍의 양측에서 채널을 따라 이격되게 위치되도록 배렬된 두 개의 잉크 공급 포트를 가지는 커버에 의해 종방향 채널의 개방된 상측을 폐쇄하는 단계를 포함하는 잉크 인쇄 장치의 제조 방법.
제 19 항에 있어서, 상기 종방향 바닥 표면과 상기 종방향 측벽들을 서로 일체이도록 형성하는 단계를 포함하는 방법.
제 20 항에 있어서, 압전 물질로 된 몸체를 제공하는 단계와, 상기 몸체로부터 물질을 제거하여 상기 몸체에 상기 채널을 형성하는 단계를 포함하는 방법.
제 21 항에 있어서,

반대측에 있는 제 1 및 제 2 표면을 가지는 시트 형태인 몸체를 제공하는 단계;

상기 몸체의 제 1 표면으로부터 물질을 제거하여 채널을 형성하는 단계;

종방향 채널의 바닥 표면에 상기 시트의 제 2 표면과 소통하는 구멍을 형성하는 단계를 포함하는 방법.
제 24 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 표면과 수직한 방향으로 시트의 압전 물질을 극성화하는 단계를 포함하는 방법.
압전 물질을 포함하며, 대향하는 종방향 측벽들과 측벽들 사이로 연장하는 종방향 바닥 표면에 의해 한정되고 상측이 개방된 적어도 하나의 종방향 잉크 방울 채널을 가지는 몸체를 제공하는 단계;

채널의 종방향 바닥 표면에서 채널을 따라 이격되고, 잉크 방울 분사를 위한 두 개의 구멍을 형성하는 단계;

적어도 하나의 측벽에 있는 압전 물질에 전기장을 가하여 상기 종방향 채널로부터 잉크를 분사하도록 채널과 관련한 벽을 변위시키기 위한 수단을 제공하는 단계;

채널의 개방된 종방향 상측을 커버로 폐쇄하는 단계를 포함하는 잉크 인쇄 장치의 제조 방법.
제 24 항에 있어서, 각 구멍의 양측에 놓이도록 채널을 따라 이격된 잉크 공급 포트들을 통합하는 커버로 종방향 채널의 개방된 상측을 폐쇄하는 단계를 포함하는 방법.
제 24 항 또는 제 25 항에 있어서, 상기 종방향 바닥 표면과 상기 종방향 측벽들을 서로 일체이도록 형성하는 단계를 포함하는 방법.
제 26 항에 있어서, 압전 물질로 된 몸체를 제공하는 단계와, 상기 몸체로부터 물질을 제거하여 상기 몸체에 상기 채널을 형성하는 단계를 포함하는 방법.
제 24 항에 있어서,

반대측에 있는 제 1 및 제 2 표면을 가지는 시트 형태의 몸체를 제공하는 단계;

상기 몸체의 제 1 표면으로부터 물질을 제거하여 채널을 형성하는 단계;

종방향 채널의 바닥 표면에 시트의 제 2 표면과 소통하는 상기 두 개의 구멍을 형성하는 단계를 포함하는 방법.
제 28 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 표면들에 수직한 방향으로 시트의 압전 물질을 극성화하는 단계를 포함하는 방법.
잉크 공급원과 소통하기 위한 수단과 잉크 방울들의 분사를 위한 구멍을 가지는 적어도 하나의 채널을 포함하며;

채널은 채널 축선과 평행하게 놓인 적어도 일측에서 작동 수단과 결합된 채널 벽과 접하고; 작동 수단은 전기 신호들에 응답하여 채널 벽을 변위시켜 채널로부터 잉크 방울들을 분사하며;

채널은 채널 축선과 평행한 타측에서 커버 표면과 접하고, 커버 표면은 상기 작동 수단으로 전기 신호를 전달하기 위한 적어도 하나의 도전성 트랙이 그 위에 형성되며, 트랙과 작동 수단 간의 전기 연결점은 채널 외측에 위치된 잉크 인쇄 장치.
상측이 개방된 적어도 하나의 채널을 포함하는 베이스 요소를 형성하고, 채널 축선과 평행하게 위치된 적어도 일측에서 상기 채널을 전기 신호들에 응답하여 채널 벽의 변위시켜 채널로부터 잉크 방울들을 분사시키기 위한 작동 수단과 결합된 채널 벽과 접하게 하는 단계;

채널 축선과 평행한 타측에서, 상기 작동 수단으로 전기 신호들을 전달하기 위한 적어도 하나의 도전성 트랙이 그 위에 형성된 커버 표면으로 채널을 폐쇄하는 단계; 및

도전성 트랙과 작동 수단을 채널의 외측에 위치한 한 지점에서 전기적으로 연결하는 단계를 포함하는 잉크 인쇄 장치의 제조 방법.
제 31 항에 있어서, 상기 채널을 폐쇄하는 단계가 상기 도전성 트랙과 작동 수단을 전기적으로 연결하는 방법.
제 30 항 내지 제 32 항 중 어느 한 항에 있어서, 전기 연결점은 채널로부터의 잉크의 침입으로부터 밀봉된 방법.
제 30 항 내지 제 33 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 채널 부근의 영역은 상기 채널의 적어도 하나의 채널 벽과 결합된 작동 수단과 전기적으로 접촉된 전기-도전성 코팅부를 가지며, 도전성 트랙은 상기 전기-도전성 코팅부와 전기적으로 접촉된 장치 또는 방법.
제 34 항에 있어서, 상기 영역은 그루브인 장치 또는 방법.
제 35 항에 있어서, 그루브는 채널보다 깊이가 얕은 장치 또는 방법.
제 35 항 또는 제 36 항에 있어서, 그루브는 채널과 동일 선상에 있는 장치 또는 방법.
제 31 항 내지 제 33 항 중 어느 한 항에 있어서, 그루브는 실링 수단에 의해 채널로부터의 잉크의 침입에 대해 밀봉되는 장치 또는 방법.
제 30 항 내지 제 34 항 중 어느 한 항에 있어서, 전기 접촉부는 전기-도전성 코팅부와 도전성 트랙 사이에 삽입된 변형가능한 도전성 물질에 의해 만들어지는 장치 또는 방법.
제 39 항에 있어서, 변형가능한 도전성 물질은 솔더(solder)인 장치 또는 방법.
제 30 항 내지 제 40 항 중 어느 한 항에 있어서, 보호 코팅부가 채널 벽에 도포되는 장치 또는 방법.
제 41 항에 있어서, 전기-도전성 코팅부는 적어도 채널 벽의 채널-대향 표면 이상으로 연장되고, 보호 코팅부가 상기 전기-도전성 코팅부에 도포되는 장치 또는 방법.
제 34 항에 종속될 때의 제 41 항에 있어서, 보호 코팅부는 상기 채널 부근의 상기 영역에서 끝나는 장치 또는 방법.
제 31 항 또는 제 31 항에 종속되는 항들 중 어느 한 항에 있어서, 보호 코팅부는 커버로 채널을 폐쇄하기 전에 적어도 하나의 채널 벽에 도포되는 제조 방법.
제 43 항에 종속될 때의 제 44 항에 있어서, 적어도 하나의 채널 벽에 보호 코팅부를 도포하기 전에 도전성 트랙과 작동 수단이 전기적으로 연결되는 위치를 마스킹하는 단계를 더 포함하는 방법.
제 38 항에 있어서, 상기 실링 수단은 상기 채널 부근의 상기 영역에 있는 보호 코팅부의 끝 이상으로 연장하는 장치 또는 방법.
제 30 항 내지 제 46 항에 있어서, 상기 채널 벽들의 상단들은 비 도전성 접합제에 의해 커버 표면에 부착되는 장치 또는 방법.
제 47 항에 있어서, 비 도전성 접합제는 접착성 접합제인 장치 또는 방법.
제 30 항 내지 제 48 항 중 어느 한 항에 있어서, 다수의 채널들이 배열로 형성되고, 채널들은 서로 평행하게 위치되며 그 사이의 채널 벽들을 한정하는 장치 또는 방법.
제 49 항에 있어서, 상기 채널 벽들은 전기 신호들에 응답하여 채널들의 축선과 교차하고 채널 배열 방향에 평행한 방향으로 변위가능한 장치 또는 방법.
제 30 항 내지 제 40 항에 있어서, 채널 벽은 상기 전기 신호들이 가해지는 압전 물질을 포함하는 장치 또는 방법.
제 51 항에 있어서, 상기 압전 물질은 상기 전기 신호들을 받을 때 시어 모드에서 변형하는 장치 또는 방법.
제 52 항에 있어서, 전극이 채널 벽의 채널-대향 표면에 형성되고 압전 물질은 배열 방향 및 채널 축선에 모두 수직한 방향으로 극성화된 장치 또는 방법.
제 30 항 내지 제 53 항 중 어느 한 항에 있어서, 몸체는 시트로 된 압전 물질을 포함하며, 다수의 채널들이 시트의 일측 표면에 형성된 장치 또는 방법.
제 54 항에 있어서, 압전 물질은 시트의 표면에 수직한 방향으로 극성화된 장치 또는 방법.
제 30 항 내지 제 55 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 커버는 상기 채널로 잉크를 공급하기 위한 포트들을 가지는 장치 또는 방법.
압전 물질로 된 바닥 시트로서, 상기 시트에 수직한 방향으로 극성화되고, 채널들의 길이 방향과 수직한 배열 방향으로 서로 이격되고, 대향하는 측벽들과 상기 측벽들 사이로 연장하는 바닥 표면에 의해 각각 한정되며, 상측이 개방된 다수의 평행한 채널들을 가지는 바닥 시트;

상기 채널들의 상기 바닥 표면과 대향하며 상기 채널들의 상측에서 채널들을 폐쇄하도록 상기 측벽들에 접합되는 톱 시트;

잉크 방울들의 분사를 위하여 상기 채널들과 소통하는 각각의 노즐들;

상기 채널들을 인쇄용 잉크 공급원과 연결하기 위한 연결 수단을 포함하고;

각 채널은 채널을 한정하는 적어도 한 측벽의 반대측 면들에 전극들이 제공되어 채널로부터 잉크 방울을 배출하는 시어 모드 액츄에이터를 형성하는 전방부와; 전방부 측벽들의 채널-대향 측며의 적어도 한 전극과 전기적으로 접촉되는 전기-도전성 코팅부를 가지는 후방부와; 전방부와 후방부를 분리하는 분리 수단을 포함하며; 그리고

상기 측벽들과 접합된 상기 톱 시트의 표면에 형성된 도전성 트랙들을 더 포함하며, 도전성 트랙들은 상기 후방부의 전기-도전성 코팅부와 전기적으로 접촉되는 잉크 인쇄 장치.
압전 물질층으로 된 바닥 시트를 형성하는 단계로서, 압전 물질층은 상기 시트와 수직인 방향으로 극성화된 단계;

채널들의 길이 방향과 수직한 배열 방향으로 서로 이격되고, 대향하는 측벽들 및 상기 측벽들 사이로 연장하는 바닥 표면에 의해 한정되며, 전방부와 후방부를 더 가지며, 상측이 개방된 다수의 평행한 채널들을 형성하는 단계;

각 채널의 전방부를 한정하는 적어도 한 측벽의 반대측들에 전극들을 형성하여, 채널로부터 잉크 방울을 배출하기 위한 시어 모드 액츄에이터를 형성하는 단계; 및

각 전극과 전기적으로 접촉되는 전기-도전성 코팅부를 각 채널의 후방부에 형성하는 단계;

도전성 트랙들이 형성된 표면을 가지는 톱 시트를 제공하는 단계; 및

상기 채널들의 상측에서 상기 채널들을 폐쇄하도록 도전성 트랙들을 가지는 톱 시트의 표면을 상기 측벽들에 접합하는 단계;

상기 트랙들과 각 채널의 각 전기-도전성 코팅부 사이에 전기 접촉을 이루는 단계; 및

각 채널의 전방부와 후방부를 분리하는 실링 수단을 제공하는 단계를 포함하는 잉크 인쇄 장치의 제조 방법.