JP4983582B2 - インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
1a:上端
1b:下端
11:駆動壁
12:チャネル
12a:前面側の開口部
12b:後面側の開口部
12b1:上端の開口部
12b2:下端の開口部
13:駆動電極
14:配線電極
14a:チャネルの開口部側の端部
15:積層体
15a:開口部の左右両側部に位置する部分
16:流路規制部材
16a:インク流路孔
160:樹脂フィルム
161:被覆層
2:ノズルプレート
21:ノズル
3:配線基板
31:張り出し部
32:凹部
33:配線
34:開口
4:FPC
5:インクマニホールド
Claims (17)
- チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁の壁面に駆動電極が形成され、該駆動電極に駆動電圧を印加することにより前記駆動壁をせん断変形させて前記チャネル内のインクに吐出のための圧力を発生させるヘッドチップを有し、前記ヘッドチップの後面に、前記駆動電極と電気的に接続する配線電極が、前記チャネルの開口部から該後面における上端及び/又は下端にかけて積層形成され、該上端側及び/又は下端側が外部配線との電気的接続領域とされているインクジェットヘッドにおいて、
前記ヘッドチップの後面に、前記配線電極の前記チャネルの開口部側の端部を含み且つ前記電気的接続領域を除く前記チャネルの開口部の外周を平坦面にする積層体を形成し、
前記積層体の表面の範囲内に、前記チャネルの開口部を覆うように、該チャネル内へのインクの流入を規制する流路規制部材を接着してなることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記積層体は、前記配線電極と同一の金属材料により前記配線電極と一体に形成されていることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。
- 前記積層体は、絶縁材料により前記配線電極の厚み以上の厚みで形成されていることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。
- 前記積層体は、前記チャネルの開口部毎に独立して形成されていることを特徴とする請求項3記載のインクジェットヘッド。
- 前記積層体は、前記チャネルの複数の開口部に亘る大きさに形成されていることを特徴とする請求項3記載のインクジェットヘッド。
- 前記チャネルは、全てインクを吐出する吐出チャネルであり、前記流路規制部材は、前記チャネルの開口部の開口面積を絞るように形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
- 前記チャネルは、インクを吐出する吐出チャネルとインクを吐出しない空気チャネルとが交互に配置されたものであり、前記流路規制部材は、前記空気チャネルの開口部を閉塞するように形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
- 前記流路規制部材は、前記吐出チャネルの開口部の開口面積を絞るように形成されていることを特徴とする請求項7記載のインクジェットヘッド。
- チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁の壁面に駆動電極が形成され、該駆動電極に駆動電圧を印加することにより前記駆動壁をせん断変形させて前記チャネル内のインクに吐出のための圧力を発生させるヘッドチップを有し、前記ヘッドチップの後面に、前記駆動電極と電気的に接続する配線電極が、前記チャネルの開口部から該後面における上端及び/又は下端にかけて積層形成され、該上端側及び/又は下端側が外部配線との電気的接続領域とされているインクジェットヘッドの製造方法において、
前記ヘッドチップの後面に、前記配線電極の前記チャネルの開口部側の端部を含み且つ前記電気的接続領域を除く前記チャネルの開口部の外周を平坦面にする積層体をパターン形成した後、
前記ヘッドチップの後面に樹脂フィルムを接着剤を用いて加圧接着し、
その後、前記樹脂フィルムをパターニングして不要部分を除去することにより、前記積層体の表面の範囲内に前記樹脂フィルムを残存させ、該残存する樹脂フィルムにより前記チャネル内へのインクの流入を規制する流路規制部材を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記樹脂フィルムのパターニングは、前記樹脂フィルムを前記ヘッドチップの後面に接着する前又は接着した後に、前記樹脂フィルムの表面における前記流路規制部材として残存させるべき領域に被覆層をパターン形成しておき、前記ヘッドチップの後面に接着された前記樹脂フィルムに対してドライエッチングすることにより、前記被覆層で被覆された領域以外を除去することにより行うことを特徴とする請求項9記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記積層体は、前記配線電極と同一の金属材料を用いて、前記配線電極の形成時に一体に形成することを特徴とする請求項9又は10記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記積層体は、前記配線電極を形成した後に、絶縁材料を用いて前記配線電極の厚み以上の厚みで形成することを特徴とする請求項9又は10記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記積層体は、前記チャネルの開口部毎に独立して形成することを特徴とする請求項12記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記積層体は、前記チャネルの複数の開口部に亘る大きさに形成することを特徴とする請求項12記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記チャネルは、全てインクを吐出する吐出チャネルであり、前記流路規制部材は、前記チャネルの開口部の開口面積を絞るように形成することを特徴とする請求項9〜14のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記チャネルは、インクを吐出する吐出チャネルとインクを吐出しない空気チャネルとが交互に配置されたものであり、前記流路規制部材は、前記空気チャネルの開口部を閉塞するように形成することを特徴とする請求項9〜15のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記流路規制部材は、前記吐出チャネルの開口部の開口面積を絞るように形成することを特徴とする請求項16記載のインクジェットヘッドの製造方法。
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