JP2007320171A - 液体噴射ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流路基板において、圧力室5の列設方向の両側にインク滴の吐出に関与しないダミー圧力室18を配設し、インク流路となる流路部8よりも外側の領域にはノズル基板と流路基板とを接合する際の余剰な接着剤を導入する逃げ溝部19を設け、ノズル基板には、大気と連通する大気連通路25を形成すると共に、大気連通路とダミー圧力室とを連通する第1連通溝26、及び、大気連通路と逃げ溝部とを連通する第2連通溝27を形成し、第1連通溝及び大気連通路を通じてダミー圧力室を大気開放すると共に、第2連通溝及び大気連通路を通じて逃げ溝部を大気開放する。
【選択図】図3
Description
前記ノズル基板との接合状態でノズル開口に連通する圧力室を含む液体流路を形成する流路基板と、
圧力室の一部を区画する振動板を変形させることにより、当該圧力室の容積を変化させる圧力発生源と、を備え、
前記圧力発生源の作動によって前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることにより、圧力室内の液体を前記ノズル開口から液滴として吐出可能な液体噴射ヘッドであって、
前記流路基板において、圧力室の列設方向の両側に液滴の吐出に関与しないダミー圧力室を配設し、前記液体流路よりも外側の領域にはノズル基板と流路基板とを接合する際の余剰な接着剤を導入する逃げ溝部を設け、
前記ノズル基板に、大気と連通する大気連通路を形成すると共に、大気連通路とダミー圧力室とを連通する第1連通溝、及び、大気連通路と逃げ溝部とを連通する第2連通溝を形成し、
前記第1連通溝及び前記大気連通路を通じて前記ダミー圧力室を大気開放すると共に、前記第2連通溝及び前記大気連通路を通じて前記逃げ溝部を大気開放したことを特徴とする。
前記ノズル基板に、前記流路基板との接合状態において隣り合う小溝部同士を連通する第3連通溝を形成することが望ましい。
前記ノズル基板に、流路基板との接合状態において前記キャビティダイアフラム部と前記逃げ溝部とを連通する第4連通溝、及び、逃げ溝部と前記ダミー圧力室とを連通する第5連通溝を形成する構成とすることもできる。
前記流路基板における液体流路をウェットエッチングによって形成する一方、前記ノズル基板における前記ノズル開口、前記大気連通路、及び前記各連通溝をドライエッチングによって形成する構成を採用することができる。
上記実施形態では、ダミー圧力室18と逃げ溝部19の両方を備える構成を例示したが、これには限られず、例えば、ダミー圧力室18のみを備える構成や、逃げ溝部19のみを備える構成のように、何れか一方を備える構成であっても良い。
Claims (4)
- 液滴を吐出するノズル開口が開設されたノズル基板と、
前記ノズル基板との接合状態でノズル開口に連通する圧力室を含む液体流路を形成する流路基板と、
圧力室の一部を区画する振動板を変形させることにより、当該圧力室の容積を変化させる圧力発生源と、を備え、
前記圧力発生源の作動によって前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることにより、圧力室内の液体を前記ノズル開口から液滴として吐出可能な液体噴射ヘッドであって、
前記流路基板において、圧力室の列設方向の両側に液滴の吐出に関与しないダミー圧力室を配設し、前記液体流路よりも外側の領域にはノズル基板と流路基板とを接合する際の余剰な接着剤を導入する逃げ溝部を設け、
前記ノズル基板に、大気と連通する大気連通路を形成すると共に、大気連通路とダミー圧力室とを連通する第1連通溝、及び、大気連通路と逃げ溝部とを連通する第2連通溝を形成し、
前記第1連通溝及び前記大気連通路を通じて前記ダミー圧力室を大気開放すると共に、前記第2連通溝及び前記大気連通路を通じて前記逃げ溝部を大気開放したことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記逃げ溝部は、複数の小溝部により構成され、
前記ノズル基板に、前記流路基板との接合状態において隣接する小溝部同士を連通する第3連通溝を形成したことを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記流路基板における逃げ溝部よりも外側の領域に、大気と連通してヘッドの内部の圧力と外気との圧力差を緩和するキャビティダイアフラム部を形成し、
前記ノズル基板に、流路基板との接合状態において前記キャビティダイアフラム部と前記逃げ溝部とを連通する第4連通溝、及び、逃げ溝部と前記ダミー圧力室とを連通する第5連通溝を形成したことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記ノズル基板及び前記流路基板は、結晶性基材により成り、
前記流路基板における液体流路をウェットエッチングによって形成する一方、前記ノズル基板における前記ノズル開口、前記大気連通路、及び前記各連通溝をドライエッチングによって形成したことを特徴とする請求項1から請求項3の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
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