JP2002210954A

JP2002210954A - 液滴噴射装置

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Publication number: JP2002210954A
Application number: JP2001005179A
Authority: JP
Inventors: Kaoru Higuchi; 馨樋口; Koji Matoba; 宏次的場; Yasuhiro Sakamoto; 泰宏坂本
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2001-01-12
Filing date: 2001-01-12
Publication date: 2002-07-31
Anticipated expiration: 2021-01-12
Also published as: JP3693923B2

Abstract

(57)【要約】【課題】製作容易で、生産性に優れ、小型化が可能な液
滴噴射装置を提供する。【解決手段】圧電部材２７に形成された溝の一方の端部
に導電性部材２６を設け、前記溝をカバープレート３で
覆うことにより、前記溝内に形成されたインク流路１２
─の容積を変化させることにより、そのインク流路１２
─内に供給されたインクを噴射するようにした液滴噴射
装置において、前記導電性部材２６が設けられた端部側
に、インクを供給するインク供給口６８を設けている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電部材に形成さ
れたインク流路の容積を変化させることにより、インク
を噴射する液滴噴射装置の改良技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の液滴噴射装置としては、
例えば特開昭６３−２５２７５０号公報あるいは特開平
２−１５０３５５号公報に記載されているように、イン
クを加圧することのできる流路が並列に多数並んだ構造
のインクジェットプリンタヘッドが提案されている。

【０００３】上記に示す従来技術は、比較的簡単な構造
で高密度のノズルを持つインクジェットプリンタヘッド
を実現できる点で優れた技術であるが、多数の溝からな
る流路を高密度に形成し、それぞれの溝から電気的配線
を行う必要から実用的には特に製造上の問題点を有して
いた。

【０００４】これらを解決する方法として、特開平４−
３０７２５４号公報あるいは特開平６−２１８９１８号
公報又は特開平６−２１８９３４号公報に記載されてい
るように、溝からなる流路の一方の端部をハンダ材、メ
ッキもしくは導電性部材により封止し、該封止部材を用
いて電気的配線を行う方法を提案している。

【０００５】従来技術について、図１２乃至１５を用い
て説明する。図１２に示すように、インクジェットプリ
ンタヘツド１は、圧電プレート２７とカバープレート３
とノズルプレート３１と基板４１とから構成されてい
る。圧電プレート２７は、強誘電性を有するチタン酸ジ
ルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料によって形
成されている。そして、その圧電プレート２７は分極方
向５の方向に分極処理されている。

【０００６】また、圧電プレート２７には、ダイヤモン
ドカッティング円盤の回転による切削加工等によって、
溝８が複数形成されている。それらの溝８は同じ深さで
あり、かつ平行である。また、その溝８の側面となる側
壁１１は前記分極処理により矢印５の方向に分極されて
いる。

【０００７】また、溝８の側面の内面には、蒸着法によ
り、金属電極１３が形成されている。その金属電極１３
の形成時には、図１３に示すように、圧電プレート２７
は、図示しないターゲットまたは蒸着源からの矢印で示
す蒸気放出方向に対して傾斜して配置される。そして、
蒸気が放出されると側壁１１のシャドー効果により、溝
８の側面の上半分及び側壁１１の上面に金属電極１３，
１０が形成される。

【０００８】次に、圧電プレート２が１８０度回転され
て、同様にして、金属電極１３，１０が形成される。こ
うして、溝８の両側面の上半分及び側壁１１の上面に金
属電極１３，１０が形成されている。その金属電極１
３，１０には、アルミニウム、ニッケル等が用いられ
る。

【０００９】次に、導電性部材２６がディスペンサー２
５により溝８に埋め込まれる（図３参照）。その後、導
電性部材２６には、図示しない装置により熱が加えら
れ、その熱により固化する。その導電性部材２６は圧電
プレート２７の端部１５付近に形成される。また、導電
性部材２６は溝８の深さ全部を満たしている。その後、
導電性部材２６の余剰部分及び側壁１１の上面の金属電
極１０がラッピング等によって取り除かれる。

【００１０】次に、図１２に示すカバープレート３は、
セラミックス材料または樹脂材料等から形成されてい
る。そして、カバープレート３には、研削または切削加
工等によって、インク導入口２１及びマニホールド２２
が形成されている。

【００１１】そして、図１４の溝１１部での断面形状に
示すように圧電プレート２７の溝８加工側の面とカバー
プレート３のマニホールド２２加工側の面とがエポキシ
系等の接着剤４によって接着される。従って、インクジ
ェットプリンタヘッド１には、溝８の上面が覆われて、
横方向に互いに間隔を有する複数のインク流路１２が構
成される。そして、全てのインク流路内１２には、イン
クが充填される。

【００１２】圧電プレート２７及びカバープレート３の
端面に、各インク流路１２の位置に対応した位置にノズ
ル３２が設けられたノズルプレート３１が接着されてい
る。このノズルプレート３１は、ポリアルキレン（例え
ばエチレン）、テレフタレート、ポリイミド、ポリエー
テルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホ
ン、ポリカーボネイト、酢酸セルロース等のプラスチッ
クによって形成されている。

【００１３】そして、圧電プレート２７の溝８の加工側
に対して反対側の面には、基板４１が、エポキシ系接着
剤等によって接着されている。その基板４１には各イン
ク流路１２に対応した位置に導電層のパターン４２が形
成されている。その導電層のパターン４２と導電性部材
２６とは、ワイヤボンディング等によって電気的に接続
される。

【００１４】従って、溝８の一側面の金属電極１３と他
側面の金属電極１３とが導電性部材２６によって電気的
に接続される。このため、導電性部材２６に電圧が印加
されると、導電性部材２６を通して溝８の両側面の金属
電極１３に電圧が同時に印加され、同時に溝８の両側面
である側壁１１が溝８の内部方向に変形してインク滴が
噴出される。

【００１５】図１４，図１５によって、インクジェット
プリンタヘッド１の動作を説明すると、図示しない駆動
制御回路が、所要のデータに従って、インクジェットプ
リンタへツド１のインク流路１２ｂからインクの噴出を
行なうと判断する。すると、そのインク流路１２ｂに対
応する導電層パターン４２及び導電性部材２６を介して
金属電極１３ｅと１３ｆとに正の駆動電圧Ｖが印加さ
れ、金属電極１３ｄと１３ｇとが接地される。

【００１６】図１５に示すように、側壁１１ｂには矢印
１４ｂの方向の駆動電界が発生し、側壁１１ｃには矢印
１４ｃの方向の駆動電界が発生する。すると、駆動電界
方向１４ｂ及び１４ｃは、分極方向５と直交しているた
め、側壁１１ｂ及びｌ１ｃは、圧電厚みすべり効果によ
り、この場合、インク流路１２ｂの内部方向に急速に変
形する。この変形によって、インク流路１２ｂの容積が
減少してインク圧力が急速に増大し、圧力波が発生し
て、インク流路１２ｂに連通するノズル３２からインク
滴が噴射される。

【００１７】また、駆動電圧Ｖの印加が停止されると、
側壁１１ｂ及び１１ｃが変形前の位置に徐々に戻るた
めインク流路１２ｂ内のインク圧力が徐々に低下する。
すると、インク供給口２１からマニホールド２２を通し
てインク流路１２ｂ内にインクが供給される。

【００１８】このように、インク滴を噴出するために、
溝８の両側面となる２つの側壁１１の中央部分を溝８の
内部方向に同時に変形させるようにしている。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たインクジェットプリンタヘッド１では、導電性部材２
６によって塞がれている圧電プレート２７の端部１５
は、インク流路１２にインクが充填されても端部１５か
らインクが排出されることがないように完全に封止する
必要がある。

【００２０】しかし、上記導電性部材２６を溝端部に形
成する場合に液相状態から個相状態への相変化が必要で
あり、該相変化による体積変化等により導電性部材２６
内にボイドが発生してしまいインクの漏れが発生してい
た。また、完全に封止しない場合には、溝８の端部１５
を塞ぐ部材が別途必要であり製造方法が複雑になるとい
った問題もあった。

【００２１】また、マニホールド２２をカバープレート
３の溝接着面に設けているため、マニホールド２２によ
るインク供給口をインク流路途中に設けるため、インク
流路が長くなると共に、インク供給口からインク流路に
おいてほぼ直角に流れが変わるためインクの流路抵抗が
高くなるといった問題があった。

【００２２】同様に、上記インク流路が長くなるために
側壁の電極部の電気抵抗が高くなり駆動回路上の負荷が
大きくなる、インクジェットプリンタヘッド自体大きく
なるといった問題があった。

【００２３】本発明は、このような実情に鑑みてなさ
れ、製作容易で、生産性に優れ、小型化が可能な液滴噴
射装置を提供することを目的とする。

【００２４】

【課題を解決するための手段】本発明は、上述の課題を
解決するための手段を以下のように構成している。

【００２５】（１）圧電部材に形成され、インク流路を
構成する溝と、前記溝の両側壁の側面に形成され、前記
インク流路の容積を変化させるために電圧が印加される
駆動電極と、前記駆動電極に電圧を印加するための配線
パターンと、前記駆動電極と前記配線パターンを電気的
に接続するために前記溝の一方の端部に設けられた導電
性部材と、前記溝の底面に対向し前記側壁と接着される
カバープレートを有し、前記インク流路の容積を変化さ
せることにより、そのインク流路内のインクを噴射する
液滴噴射装置において、前記導電性部材が設けられた装
置の端部側に、インクを供給するためのインク供給口を
設けたことを特徴とする。

【００２６】この構成によれば、圧電部材に形成された
溝の端部に前記溝の両側面に形成された駆動電極と配線
パターンと電気的に接続するのに導電性部材が設けら
れ、前記導電性部材が設けられた端部側の面からインク
を供給するインク供給口を設けるので、圧電プレートの
端部を導電性部材で完全に封止する必要がなく、信頼性
及び生産性が高くなる。

【００２７】また、インク流路途中にインクの供給口を
設けないためインク流路長を短くすることができ、イン
クジェットプリンタヘッドの小型化が実現できると共
に、駆動電極部の電気抵抗を低減し駆動回路の負荷を低
減できる。

【００２８】そして、インクの流れが供給口からインク
流路までほぼ一直線となり抵抗のない流れを形成するこ
とができ、安定したインク吐出ができる。

【００２９】（２）前記インク供給口が少なくとも前記
カバープレート側に設けられていることを特徴とする。

【００３０】この構成によれば、カバープレート側にイ
ンク供給口を開設することにより、そのカバープレート
に沿って、各インク流路内にインクをストレートに導入
することができる。

【００３１】（３）少なくとも前記導電性部材を介して
前記駆動電極と前記配線パターンを電気的に接続した接
続部に保護膜が設けられていることを特徴とする。

【００３２】この構成によれば、接続部を保護膜で絶縁
保護することにより、導電性インクを用いた場合に、そ
の接続部を保護することができる。

【００３３】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施形態に係る
液滴噴射装置を、図面を参照しつつ詳細に説明する。な
お、以下の各実施形態にて、従来例と同一部材（又は均
等部材）には同一符号を付し、その詳細な説明は省略す
る。

【００３４】（第１の実施形態）図１ないし図６および
図１１は第１の実施形態を示し、図１に示すように、イ
ンクジェットプリンタヘッド（液滴噴射装置）１は、圧
電プレート（圧電部材）２７とカバープレート３とノズ
ルプレート３１と基板４１とから構成されている。図２
に示す圧電プレート２７は、強誘電性を有するチタン酸
ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料で製造さ
れている。

【００３５】その圧電プレート２７は、矢印５の方向に
分極処理が施された厚さ約１ｍｍ程度の板である。ま
た、圧電プレート２７には、ダイヤモンドカッティング
円盤の回転による切削加工によって、複数の溝８が形成
されている。それらの溝８は平行、且つ同じ深さであ
る。その溝８の深さは約３００μｍであり、幅は約７０
μｍ、ピッチは１４０μｍである。

【００３６】そして、溝８の両側面の上半分及び側壁１
１の上面に金属電極（駆動電極）１３，１０が形成され
る。その金属電極１３，１０には、アルミニウム、ニッ
ケル、銅、金等が用いられる。

【００３７】そして、図３に示すように、導電性部材２
６がディスベンサー２５により溝８に幅５００乃至６０
０μｍで高さ１６０乃至２００μｍの位置まで埋め込ま
れる。このように、溝８の一部を残して導電性部材２６
を充填することにより、溝８の空隙部分がインク供給路
の役割を果たすようにしている。

【００３８】図４に導電性部材２６での断面形状を示し
ているように、導電性部材２６と金属電極１３の接触面
積は、導電性部材２６は側壁１１との濡れ性により上面
が凹型に形成されているため、凸型に形成される場合に
比べて増大し、側壁１１の電極１３と導電性部材２６と
の接続が確実となり、駆動に問題はない。

【００３９】実際の製造上では、ディスペンサー２５は
複数設けられており、それらディスペンサー２５は各溝
８の上方に配置されている。その後、導電性部材２６に
は、図示しない装置により熱が加えられ、その熱により
固化する。尚、導電性部材２６としては、エポキシ系の
樹脂成分を含有した金ペースト，銀ペースト，銅ペース
トもしくはメッキ液をベースとした金メッキ、ニッケル
メッキなどが用いられる。

【００４０】図５に示すように、その導電性部材２６は
圧電プレート２７の端部１５付近に形成される。その
後、導電性部材２６の余剰部分及び側壁１１の上面の金
属電極１０がラッピング等によって取り除かれる。そし
て、圧電プレート２７の溝８加工側の面とカバープレー
ト３とがエポキシ系等の接着剤によって接着される。

【００４１】図６に示しているインクジェットプリンタ
ヘッド１のインク流路１２に沿った断面図のように、イ
ンクジェットプリンタヘッド１には、溝８の上面が覆わ
れて横方向に互いに間隔を有する複数のインク流路１２
が構成され、インク充填時には、全てのインク流路１２
内に、導電性部材２６とカバープレート３との間（図４
では導電性部材２６の上部に形成される空間）を通りイ
ンクが充填される。

【００４２】すなわち、矢印６７で示すように、圧電プ
レート２７およびカバープレート３の導電性部材２６が
設けられている端部側に、インク供給口２８が形成され
る。そのインク供給口２８は、カバープレート３側に形
成されるため、インクをストレートにインク流路１２内
に導入することができる。従って、インク流路１２内で
インクの流れが安定化し、吐出状態が安定化する。

【００４３】次に、各インク流路１２の位置に対応した
位置に導電層のパターン（配線パターン）４２が形成さ
れている基板４１を圧電プレート２７の端部１５に形成
された導電性部材２６に接続する。その導電層のパター
ン４２と導電性部材２６とは、異方導電性接着剤もしく
はパターン４２上にバンプ（図示せず）を形成し該バン
プを導電性部材２６に挿入することによって接続され
る。

【００４４】この後、導電性インクを用いる場合には、
ポリパラキシリレン（商標名：パリレン）等の有機保護
膜により上記接合部を絶縁保護する。但し、使用するイ
ンク及び異方導電性接着剤を含む該インクジェットプリ
ンタヘッドを作成するために使用した接着剤の特性によ
っては保護膜は必要ない。

【００４５】次に、導電性部材２６が設けられていない
側の圧電プレート２７とカバープレート３の端面に、各
インク流路１２に対応するノズル３２を形成したノズル
プレート３１が接着される。

【００４６】最後に、導電性部材２６が設けられている
側の圧電プレート２７とカバープレート３の端面に、基
板４１を挟んだ状態でマニホールド２２を接合する。こ
のとき、接合部分からインクの漏れのないよう樹脂で封
止すると信頼性が向上する。

【００４７】上記構成により、溝８の一側面の金属電極
１３と他側面の金属電極１３とが導電性部材２６によっ
て電気的に接続される。このため、導電性部材２６に電
圧が印加されると、導電性部材２６を通して溝８の両側
面の金属電極１３に電圧が同時に印加され、同時に溝８
の両側面である側壁１１が溝８の内部方向に変形してイ
ンク滴が噴出される。

【００４８】以上説明したように、圧電プレート２７の
端部１５を導電性部材２６で完全に封止する必要がない
ため、信頼性及び生産性が高い。同時に、カバープレー
ト３にインク供給用の穴等を加工する必要がないため簡
単な構造となり、かつカバープレート３と圧電プレート
２７の貼合わせが容易となり、生産性が向上する。

【００４９】また、インク流路１２途中にインクの供給
口を設けないためインク流路長を短くすることができ、
かつ図６の矢印６７に示すインクの流れ経路のように、
流れがほぼ一直線になるためインクの流路抵抗を低く押
さえることができた。

【００５０】（第２の実施形態）図７ないし図１１は第
２の実施形態を示し、前実施形態では、カバープレート
３が平板状であったのに対し、本実施形態では、マニホ
ールド２２が形成される端部に、インク供給を行うため
の段差が形成されている点である。また、図８に示すよ
うに、溝８をほぼ埋めるように導電性部材２６が充填さ
れている。この場合、従来例のように、溝８を完全に封
止することは要求されない。

【００５１】図７に示すように、インクジェットプリン
タヘッド１は、圧電プレート２７とカバープレート３と
ノズルプレート３１と基板４１とから構成されている。
圧電プレート２７は、矢印５の方向に分極処理が施され
た厚さ約１ｍｍ程度の板である。また、圧電プレート２
７には、溝８が複数形成されている。それらの溝８は平
行、且つ同じ深さである。その溝８の深さは約３００μ
ｍであり、幅は約７０μｍ、ピッチは１４０μｍであ
る。

【００５２】そして、上述したように、溝８の両側面の
上半分及び側壁１１の上面に金属電極１３，１０が形成
される。そして、導電性部材２６がディスペンサー２５
により溝８に幅５００乃至６００μｍで高さほぼ溝８の
深さ全部を満たしている。その後、導電性部材２６は、
図示しない装置により加熱され、その熱により固化す
る。

【００５３】図８に示すように、その導電性部材２６は
圧電プレート２７の端部１５付近に形成される。その
後、導電性部材２６の余剰部分及び側壁１１の上面の金
属電極１０（図２参照）がラッピング等によって取り除
かれる。次に、カバープレート３は、図９に示すよう
に、厚さ１ｍｍのセラミックス材料または樹脂材料等か
ら形成されている。

【００５４】そして、カバープレート３には、研削また
は切削加工等によって、導電性部材２６に対向する面が
深さ５００μｍの凹部６６が形成されている。前実施形
態においては、インク供給に寄与する導電性部材２６と
カバープレート３との間隙は、１００μｍ乃至１４０μ
ｍ程度であったのに対し、カバープレート３に加工を施
す結果、上記距離を５００μｍに設定することが可能と
なる。

【００５５】これにより、図１０に示すように、導電性
部材２６とカバープレート３の凹部６６の底面との間に
形成されるインク供給口６９の開口面積をより大きく形
成することができる。

【００５６】従って、溝８がカバープレート３によって
覆われることにより、横方向に互いに間隔を有して形成
された複数のインク流路１２内へのインクの供給量をよ
り増加させることができ、高速印字および多ノズル化に
伴いインクの消費が多量になっても、インクを確実に供
給することができる。

【００５７】なお、該凹部６６は少なくとも全溝をカバ
ーできる幅とインクの供給として流路抵抗を軽減するた
め端部より１０００μｍ乃至１５００μｍの長さで形成
されていることが好ましい。

【００５８】そして、各インク流路１２の位置に対応し
た位置に導電層のパターン４２が形成されている基板４
１を圧電プレート２７の端部１５に形成された導電性部
材２６に接続する。その導電層のパターン４２と導電性
部材２６とは、異方導電性接着剤もしくはパターン上に
バンプを形成し該バンプを導電性部材２６に挿入するこ
とによって接続される。

【００５９】この後、ポリパラキシリレン（パリレン）
等の有機保護膜により上記接合部を保護する。但し、使
用するインク及び異方導電性接着剤を含む該インクジェ
ットプリンタヘッド１を作成するために使用した接着剤
の特性によっては保護膜は必要ない。

【００６０】次に、導電性部材２６が設けられていない
側の圧電プレート２７とカバープレート３の端面に、各
インク流路１２に対応したノズル３２が形成されたノズ
ルプレート３１が接着される。

【００６１】最後に、導電性部材２６が設けられている
側の圧電プレート２７とカバープレート３の端面に基板
４１をはさんだ状態でマニホールド２２を接合する。こ
のとき、接合部分からインクの漏れのないよう周りを樹
脂等で封止すると信頼性が向上する。

【００６２】上記構成により、溝８の一側面の金属電極
１３と他側面の金属電極１３とが導電性部材２６によっ
て電気的に接続される。このため、導電性部材２６に電
圧が印加されると、導電性部材２６を通して溝８の両側
面の金属電極１３に電圧が同時に印加され、同時に溝８
の両側面である側壁１１が、上述したように、溝８の内
部方向に変形してインク滴が噴出される。

【００６３】以上説明したように、インクの供給側の流
路抵抗が低いため、インク吐出における高速駆動時の安
定性が高い。また、導電性部材２６と金属電極１３，１
０の接触面積が大きいため電気抵抗を低減することがで
き、駆動回路の負荷を軽減することができた。

【００６４】また、上記第１及び第２の実施形態におい
ては、本発明の主旨を逸脱しない範囲で変更可能であ
る。例えば、圧電プレート２７に形成される溝８のピッ
チ、幅、深さは特に特定するものではなく、使用条件等
に応じて適切な値に設定されてよい。

【００６５】さらに、本実施形態では、側壁に形成する
金属電極を側面の上半分に行ったが、流路全面に金属メ
ッキ等で形成した後、レーザー光を上半分に照射するこ
とにより該金属メッキを除去し、下半分及び底面に金属
電極を形成した構成でも構わない。

【００６６】この場合、金属電極の形成は複雑となる
が、導電性部材と金属電極の密着面積が大きいため、該
接続部の電気抵抗を押さえることができると共に、接続
部の信頼性が向上する。また、導電性部材の充填量を溝
深さの半分以下に押さえることができるため、インク供
給口での流路抵抗を軽減することができ、インク供給及
び吐出駆動が安定する。

【００６７】そして、上述の第１及び第２の実施形態で
は、圧電プレート２７を一体構成としたが、本発明はこ
れに限定されることなく、例えば、図１１に示すよう
に、圧電プレート２７を上部圧電部材６１と下部圧電部
材６２の２枚構成として、各々の圧電プレート２７の分
極方向が各々矢印６３，６４に示すように厚さ方向に反
対向きに接着し、溝１１を高さの約半分の位置で分極方
向が反対となるように形成した後、溝１１の全面に電極
６５を形成してもよい。この場合にも、前記各実施形態
と同様の効果が得られる。

【００６８】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、以下の効果を奏する。

【００６９】請求項１によれば、圧電部材に形成された
溝の端部に前記溝の両側面に形成された駆動電極と配線
パターンと電気的に接続するのに導電性部材が設けら
れ、前記導電性部材が設けられた端部側の面からインク
を供給するインク供給口を設けるので、圧電プレートの
端部を導電性部材で完全に封止する必要がなく、信頼性
及び生産性が向上する。

【００７０】また、インク流路途中にインクの供給口を
設けないため、インク流路長を短くすることができ、イ
ンクジェットプリンタヘッドの小型化が実現できると共
に、駆動電極部の電気抵抗を低減し駆動回路の負荷を低
減することができる。

【００７１】また、インクの流れが供給口からインク流
路までほぼ一直線となり抵抗のない流れを形成すること
ができ、安定したインク吐出ができる。

【００７２】請求項２によれば、カバープレート側にイ
ンク供給口を開設することにより、そのカバープレート
に沿って、各インク流路内にインクをストレートに導入
することができ、インクの流れが安定し、インクの吐出
状態が安定化する。

【００７３】請求項３によれば、接続部を保護膜で絶縁
保護することにより、導電性インクを用いた場合に、そ
の接続部を保護することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態に係る液滴噴射装置の
要部断面斜視図である。

【図２】同圧電部材の形成過程の斜視図である。

【図３】同導電性部材の塗布工程を説明するための断面
図である。

【図４】同圧電部材の導電性部材形成部の断面図であ
る。

【図５】同導電性部材が形成された状態の圧電部材の斜
視図である。

【図６】同液滴噴射装置の断面図である。

【図７】同第２の実施形態に係る液滴噴射装置の要部断
面斜視図である。

【図８】同導電性部材が形成された状態の圧電部材の斜
視図である。

【図９】同カバープレートの斜視図である。

【図１０】同液滴噴射装置の断面図である。

【図１１】同異なる圧電部材の断面図である。

【図１２】従来技術の液滴噴射装置の構成を示す分解斜
視図である。

【図１３】同電極形成過程の説明図である。

【図１４】同液滴噴射装置の断面図である。

【図１５】同作動状態を示す説明図である。

【符号の説明】

３−カバープレート８−溝１０、１３−駆動電極１２−インク流路２６−導電性部材２７−圧電部材４２−配線パターン６８，６９−インク供給口

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者坂本泰宏大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シャープ株式会社内Ｆターム(参考） 2C057 AF34 AG45 AG68 AG89 AG90 BA03 BA14

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電部材に形成され、インク流路を構成
する溝と、前記溝の両側壁の側面に形成され、前記インク流路の容
積を変化させるために電圧が印加される駆動電極と、前記駆動電極に電圧を印加するための配線パターンと、前記駆動電極と前記配線パターンを電気的に接続するた
めに前記溝の一方の端部に設けられた導電性部材と、前記溝の底面に対向し前記側壁と接着されるカバープレ
ートを有し、前記インク流路の容積を変化させることにより、そのイ
ンク流路内のインクを噴射する液滴噴射装置において、前記導電性部材が設けられた装置の端部側に、インクを
供給するためのインク供給口を設けたことを特徴とする
液滴噴射装置。
【請求項２】前記インク供給口が少なくとも前記カバ
ープレート側に設けられていることを特徴とする請求項
１に記載の液滴噴射装置。
【請求項３】少なくとも前記導電性部材を介して前記
駆動電極と前記配線パターンを電気的に接続した接続部
に保護膜が設けられていることを特徴とする請求項１ま
たは２に記載の液滴噴射装置。