JP2014109453A - 半導体装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】信号遅延検出用回路を構成する排他的論理和回路自体が故障した場合に、信号の遅延を正しく検出することができない。
【解決手段】機能不全事前検出回路12は、FF0の後段に設けられるFF1のデータ入力端子への入力データを遅延させる遅延回路DLと、遅延回路DLの出力を受けるFFTと、FF1の出力とFFTの出力とを比較する比較器CMPとを含む。機能不全事前検出回路12には、機能不全事前検出回路12の動作テスト時には、テストデータtv1と、テストデータtv2が入力される。テストデータtv2は、遅延回路DLに入力される。比較器CMPは、動作テスト時には、テストデータtv1と、FFTの出力とを比較する。
【選択図】図1

Description

本発明は、半導体装置に関し、たとえば温度上昇による信号の遅延による機能不全のリスクを検出する機能を有する半導体装置に関する。
半導体装置の内部の回路に何らかの機能不全が発生し電源とグランドが低抵抗性ショートし、その結果温度が上昇し、内部の回路内での信号の伝達が遅延することがある。
このような信号の遅延を検出するために、たとえば、特許文献1(特開2008−256491号公報)に記載された信号遅延検出用回路は、少なくとも1つの信号伝播遅延回路(1)と、信号伝播遅延回路(1)から出力された信号(B)と、信号伝播遅延回路(1)の入力部から分岐した信号伝達経路を通過した信号Cとを受けて信号を出力する排他的論理和回路(C)とを有する遅延検出用ユニットを1つまたは複数備える。排他的論理和回路(C)から出力されるデジタル信号を用いて信号伝播遅延回路(1)における異常の有無を判定する。
特開2008−256491号公報
しかしながら、特許文献1では、信号遅延検出用回路を構成する排他的論理和回路(C)自体が故障した場合に、信号の遅延を正しく検出することができないという問題がある。
また、特許文献1では、2つのフリップフロップ間の信号の遅延を検出する構成については開示されていない。
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかであろう。
本発明の一実施形態によれば、機能不全事前検出回路は、第1のフリップフロップの後段に設けられる第2のフリップフロップのデータ入力端子への入力データを遅延させる遅延素子と、遅延素子の出力を受ける第3のフリップフロップと、第2のフリップフロップの出力と第3のフリップフロップの出力とを比較する比較器とを含む。機能不全事前検出回路には、機能不全事前検出回路の動作テスト時には、第1のテストデータと、第2のテストデータが入力され、第2のテストデータは、遅延素子に入力される。比較器は、動作テスト時には、第1のテストデータと、第3のフリップフロップの出力とを比較する。
本発明の一実施形態によれば、信号の遅延を検出する回路自体の故障を検出することができるので、温度異常などによる信号の遅延を正しく検出することができる。
第1の実施形態のマイコンの一部の構成を表わす図である。 通常動作時における、正常時の動作を説明するための図である。 通常動作時における、機能不全事前検出時の動作を説明するための図である。 第1の実施形態のマイコンの構成を表わす図である。 マイコン1による機能不全事前検出の手順を表わすフローチャートである。 図5のステップS202における機能不全事前検出回路自体の故障を検出する手順を表わすフローチャートである。 テスト動作時における機能不全事前検出回路が故障しているか否かの判定方式を説明するための図である。 テスト動作時における機能不全事前検出回路が故障しているか否かの判定方式を説明するための図である。 テスト動作時における機能不全事前検出回路が故障しているか否かの判定方式を説明するための図である。 テスト動作時における機能不全事前検出回路が故障しているか否かの判定方式を説明するための図である。 第2の実施形態のマイコンの一部の構成を表わす図である。 通常動作時における、正常時の動作を説明するための図である。 通常動作時における、機能不全事前検出時の動作の例を説明するための図である。 通常動作時における、機能不全事前時の動作の別の例を説明するための図である。 通常動作時における、機能不全事前時の動作の別の例を説明するための図である。 第3の実施形態のマイコンの構成を表わす図である。 第4の実施形態のマイコンの構成を表わす図である。
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。
[第1の実施形態]
図1は、第1の実施形態のマイコンの一部の構成を表わす図である。
図1を参照して、マイコンは、機能回路として、フリップフロップFF0と、論理回路11と、フリップフロップFF1と、フリップフロップFF2とを備える。
マイコン1は、フリップフロップFF0とフリップフロップFF1との間のルートの分岐ルートに設けられる機能不全事前検出回路12を備える。機能不全事前検出回路12は、セレクタSL2と遅延回路DL1とフリップフロップFFTとからなる遅延側経路と、セレクタSL1の基準側経路と、遅延側経路と基準側経路との其々からの信号を比較する比較器CMPとを備える。
フリップフロップFF0は、通常動作時に実データが入力されるデータ入力端子と、
クロックCLKが入力される入力端子と、出力端子とを有する。
論理回路11は、フリップフロップFF0の出力端子から出力されるデータを受けて、データの論理演算などを行なう。
論理回路11の出力は2つに分岐し、一方がフリップフロップFF1と接続し、他方が機能不全事前検出回路12のセレクタSL2と接続する。
フリップフロップFF1は、通常動作時に論理回路11の出力を受けるデータ入力端子と、クロックCLKが入力されるクロック端子と、出力端子とを有する。
フリップフロップFF1の出力は2つに分岐し、一方がフリップフロップFF2と接続し、他方が機能不全事前検出回路12のセレクタSL1と接続する。
フリップフロップFF2は、通常動作時にフリップフロップFF1の出力を受けるデータ入力端子と、クロックCLKが入力されるクロック端子と、出力端子とを有する。
セレクタSL2は、論理回路11から出力されるデータと、テストデータtv2とを受ける。セレクタSL2は、テストモード信号tmが活性化されている場合には、テストデータtv2を遅延回路DLへ出力する。セレクタSL2は、テストモード信号tmが非活性化されている場合には、論理回路11から出力されるデータを遅延回路DLへ出力する。
遅延回路DLは、セレクタSL2の出力信号を遅延させる。遅延回路DLによる遅延量は、動作保障温度を外れた場合に、比較器CMPで不良が判定できるような値に設定されている。
フリップフロップFFTは、遅延回路DLの出力を受けるデータ入力端子と、クロックCLKが入力されるクロック端子と、出力端子とを有する。
セレクタSL1は、フリップフロップFF1から出力されるデータと、テストデータtv1とを受ける。セレクタSL1は、テストモード信号tmが活性化されている場合には、テストデータtv1を比較器CMPへ出力する。セレクタSL1は、テストモード信号tmが非活性化されている場合には、フリップフロップFF1から出力されるデータを比較器CMPへ出力する。
比較器CMPは例えばXNOR回路であり、セレクタSL1の出力信号と、フリップフロップFFTの出力信号とが一致したときには、比較結果信号DSを「H」レベルに設定し、不一致のときには、比較結果信号DSを「L」レベルに設定する。
すなわち、比較器CMPは、テスト動作時には、テストデータtv1と、遅延回路DLおよびフリップフロップFFTを経由したテストデータtv2とが一致したときには、比較結果信号DSを「H」レベルに設定し、不一致のときには、比較結果信号DSを「L」レベルに設定する。
比較器CMPは、通常動作時には、フリップフロップFF1を経由した実データと、遅延回路DLおよびフリップフロップFFTを経由した実データとが一致したときには、比較結果信号DSを「H」レベルに設定し、不一致のときには、比較結果信号DSを「L」レベルに設定する。
図1では、セレクタSL1はフリップフロップFF1の後段に配置している。かかる配置を行うことで、フリップフロップFF1からフリップフロップFF2の経路での動作に影響を及ぼすことなく、機能不全事前検出テストを実施することが可能となる。フリップフロップFF1からフリップフロップFF2の経路での動作に支障を生じない場合は、フリップフロップFF1の前段にセレクタSL1を配置し、遅延側経路と同様の配置順序としても良い。
図2は、通常動作時における、正常時の動作を説明するための図である。
図2を参照して、フリップフロップFF1のデータ入力端子には、C点のデータが入力される。C点のデータは、クロックCLKの立ち上りエッジ#0に対して、d0の時間だけ遅れている。フリップフロップFF1は、クロックCLKの立ち上りエッジ#1に同期して、出力(C′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
一方、フリップフロップFFTのデータ入力端子には、B点のデータが入力される。B点のデータは、遅延回路DLによってC点のデータよりもd1の時間だけ遅れている。 フリップフロップFFTは、クロックCLKの立ち上りエッジ#1に同期して、出力(B′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
比較器CMPは、C′点のデータとB′点のデータとを比較する。C′点のデータとB′点のデータとは常に一致するので、比較結果信号DSは常に「H」レベルを維持する。
図3は、通常動作時における、機能不全事前検出時の動作を説明するための図である。
図3を参照して、フリップフロップFF1のデータ入力端子には、C点のデータが入力される。C点のデータは、クロックCLKの立ち上りエッジ#0に対して、d0′の時間だけ遅れている。フリップフロップFF1は、クロックCLKの立ち上りエッジ#1に同期して、出力(C′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
一方、フリップフロップFFTのデータ入力端子には、B点のデータが入力される。B点のデータは、遅延回路DLによってC点のデータよりもd1′の時間だけ遅れている。
フリップフロップFFTは、動作保証温度を外れたことによって、クロックCLKの立ち上りエッジ#2に同期して、出力(B′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
比較器CMPは、C′点のデータとB′点のデータとを比較する。 C′点のデータとB′点のデータとは、クロックCLKの立ち上りエッジ#1から立ち上りエッジ#2までの期間不一致となるので、この期間は、比較結果信号DSが「L」レベルとなる。
図4は、第1の実施形態のマイコン1の構成を表わす図である。
図4を参照して、マイコン1は、デュアルロックステップ方式のマイクロコンピュータであり、電源A回路群81と、電源B回路群82と、電源C回路群83と、レギュレータ37と、制御回路41と、電源Aスイッチ42と、電源Bスイッチ43と、電源Cスイッチ44とを備える。
電源A回路群81は、メインのCPUコア2と、回路#1とを備える。
メインのCPUコア2は、割込コントローラ32、システムレジスタ31、およびシステムレジスタ33を含む。
回路#1は、回路#1内の機能回路を構成する2つのフリップフロップFF0,FF1間のルートの分岐ルートに設けられる機能不全事前検出回路12−1を含む。
電源B回路群82は、チェック用のCPUコア3と、比較器36と、回路#2とを備える。
回路#2は、回路#2内の機能回路を構成する2つのフリップフロップFF0,FF1間のルートの分岐ルートに設けられる機能不全事前検出回路12−2を含む。
チェック用のCPUコア3は、割込コントローラ35、およびシステムレジスタ34を含む。
電源C回路群83は、回路#3と、回路#4とを備える。
回路#3は、回路#3内の機能回路を構成する2つのフリップフロップFF0,FF1間のルートの分岐ルートに設けられる機能不全事前検出回路12−3を含む。回路#4は、回路#4内の機能回路を構成する2つのフリップフロップFF0,FF1間のルートの分岐ルートに設けられる機能不全事前検出回路12−4を含む。
レギュレータ37は、外部から供給する電源電圧から電源A回路群81への電源電圧を生成して、生成した電源電圧を電源Aスイッチ42を介して電源A回路群81へ供給する。レギュレータ37は、外部から供給する電源電圧から電源B回路群82への電源電圧を生成して、生成した電源電圧を電源Bスイッチ43を介して電源B回路群82へ供給する。レギュレータ37は、外部から供給する電源電圧から電源C回路群83への電源電圧を生成して、生成した電源電圧を電源Cスイッチ44を介して電源C回路群83へ供給する。
メインのCPUコア2とチェック用のCPUコア3は、同一の処理を実行する。メインのCPUコア2の処理結果を表わす信号と、チェック用のCPUコア3の処理結果を表わす信号は、比較器36へ送られる。比較器36は、2つのCPUコア2,3の処理結果を表わす信号を比較して、比較結果を表わす信号を端子PDを通じてマイコン1の外部のシステムへ送る。
回路#1の機能不全事前検出回路12−1、回路#2の機能不全事前検出回路12−2、回路#3の機能不全事前検出回路12−3、および回路#4の機能不全事前検出回路12−4のそれぞれの比較結果信号DSは、メインのCPUコア2内の割込コントローラ32およびチェック用のCPUコア3内の割込コントローラ35に送られる。割込コントローラ32および割込コントローラ35は、比較結果信号DSが「L」レベルとなったときに、機能不全のリスクを知らせる割込みが通知されたと認識する。
システムレジスタ33からテストモード信号tm、テストデータtv1、およびテストデータtv2が、回路#1の機能不全事前検出回路12−1、回路#2の機能不全事前検出回路12−2、回路#3の機能不全事前検出回路12−3および回路#4の機能不全事前検出回路12−4のうちのいずかれかに送られる。
メインのCPUコア2は、システムレジスタ31から電源Cスイッチ44、電源Bスイッチ43の各々に切り換え信号を送る。電源Cスイッチ44への切り換え信号が「L」レベルの場合には、電源Cスイッチ44はオフとなり、電源Cスイッチ44への切り換え信号が「H」レベルの場合には、電源Cスイッチ44はオンとなる。電源Bスイッチ43への切り換え信号が「L」レベルの場合には、電源Bスイッチ43はオフとなり、電源Bスイッチ43への切り換え信号が「H」レベルの場合には、電源Bスイッチ43はオンとなる。
また、メインのCPUコア2は、システムレジスタ31から制御回路41に切り換え信号を送る。また、チェック用のCPUコア3も、システムレジスタ34から制御回路41に切り換え信号を送る。制御回路41の切り換え信号が「L」レベルの場合には、制御回路41は、電源Aスイッチ42をオフにし、制御回路41への切り換え信号が「H」レベルの場合には、制御回路41は、電源Aスイッチ42をオンとする。
メインのCPUコア2は、割込コントローラ32が機能不全事前検出回路12−1から機能不全のリスクを知らせる割込を受信した場合には、制御回路41への切り替え信号を「L」レベルに設定する。メインのCPUコア2は、割込コントローラ32が機能不全事前検出回路12−2から機能不全のリスクを知らせる割込を受信した場合には、電源Bスイッチ43への切り替え信号を「L」レベルに設定する。メインのCPUコア2は、割込コントローラ32が機能不全事前検出回路12−3から機能不全のリスクを知らせる割込を受信した場合には、電源Cスイッチ44への切り替え信号を「L」レベルに設定する。メインのCPUコア2は、割込コントローラ32が機能不全事前検出回路12−4から機能不全のリスクを知らせる割込を受信した場合には、電源Cスイッチ44への切り替え信号を「L」レベルに設定する。
また、メインのCPUコア2は、割込コントローラ32が機能不全のリスクを知らせる割込みを受信した場合には、システムレジスタ31から端子PSを通じてマイコン1の外部のシステムへ機能不全のリスクの発生を知らせる信号を出力する。
図5は、マイコン1による機能不全事前検出の手順を表わすフローチャートである。
マイコン1が搭載されるシステムの電源がオンとなる。また、電源Aスイッチ42、電源Bスイッチ43、および電源Cスイッチ44がオンとなり、レギュレータ37から電源A回路群81の回路、電源B回路群82の回路、電源C回路群83の回路に電源電圧が供給される(ステップS201)。
次に、メインのCPUコア2は、マイコン1内に設けられた1個以上の機能不全事前検出回路12自体が故障しているか否かが判定する。機能不全事前検出回路12自体の故障判定はシステムの電源オン直後に限定されず、機能不全のリスク検出した際等に機能不全事前検出回路12が故障していないことを確認するための故障判定を行うのであっても良い。判定方式については後述する。
故障と判定された場合には(ステップS202でYES)、メインのCPUコア2は、故障が発生したことを表わす信号を端子PSを通じてシステムへ送る(ステップS203)。
故障と判定されなかった場合には(ステップS202でNO)、メインのCPUコア2は、マイコン1全体を通常動作させる(ステップS204)。
機能不全事前検出回路12が、機能不全のリスク(つまり、前段のフリップフロップから後段のフリップフロップへの信号の伝送遅延が増大)を検出しなかった場合には、図2に示すように、機能不全事前検出回路12から出力される比較結果信号DSは「H」レベルとなる。
機能不全事前検出回路12が、機能不全のリスクを検出した場合には(ステップS205でYES)、機能不全事前検出回路12から出力される比較結果信号DSがCLKの周期Tの整数倍以上の期間だけ「L」レベルとなる(ステップS206)。
メインのCPUコア2の割込コントローラ32およびチェック用のCPUコア3の割込コントローラ35は、比較結果信号DSが「L」レベルとなったときに、機能不全のリスクを知らせる割込みが通知されたと認識する(ステップS207)。
メインのCPUコア2は、割込みを検知すると、機能不全事前検出回路12および機能不全のリスクが検出された機能回路(フリップフロップFF1およびフリップフロップFF2)が含まれる回路群への電源供給を停止する。すなわち、メインのCPUコア2は、機能不全事前検出回路12および機能不全のリスクが検出された機能回路が電源A回路群81の場合は、制御回路41を指示して電源Aスイッチ42をオフにさせる。メインのCPUコア2は、機能不全事前検出回路12および機能不全のリスクが検出された機能回路が電源B回路群82の場合は、電源Bスイッチ43をオフにする。メインのCPUコア2は、機能不全事前検出回路12および機能不全のリスクが検出された機能回路が電源C回路群83の場合は、電源Cスイッチ44をオフにする(ステップS208)。
次に、メインのCPUコア2は、システムレジスタ31から端子PSを通じてマイコン1の外部のシステムへ機能不全のリスクの発生を知らせる信号を出力する(ステップS209)。
図6は、図5のステップS202における機能不全事前検出回路12自体の故障を検出する手順を表わすフローチャートである。
図6を参照して、メインのCPUコア2は、回路X(図4の回路#1〜回路#4のいずれか)へのテストモード信号tmを活性化する(ステップS101)。
次に、メインのCPUコア2は、回路Xへのテストデータtv1を「L」レベルに設定し、回路Xへのテストデータtv2を「L」レベルに設定する(ステップS102)。
メインのCPUコア2は、テストデータの不一致を検知した(つまり、比較結果信号DSが「L」レベルとなった)ときには(ステップS103でNO)、回路X内の機能不全事前検出回路12が故障していると判定する(ステップS112)。
メインのCPUコア2は、テストデータの不一致を検知しなかった(つまり、比較結果信号DSが「H」レベルを維持した)ときには(ステップS103でYES)、テストデータtv1を「L」レベルに設定し、テストデータtv2を「H」レベルに設定する(ステップS104)。
メインのCPUコア2は、テストデータの不一致を検知しなかった(つまり、比較結果信号DSが「H」レベルを維持した)ときには(ステップS105でNO)、回路X内の機能不全事前検出回路12が故障していると判定する(ステップS112)。
メインのCPUコア2は、テストデータの不一致を検知した(つまり、比較結果信号DSが「L」レベルとなった)ときには(ステップS105でYES)、テストデータtv1を「H」レベルに設定し、テストデータtv2を「H」レベルに設定する(ステップS106)。
メインのCPUコア2は、テストデータの不一致を検知した(つまり、比較結果信号DSが「L」レベルとなった)ときには(ステップS107でNO)、回路X内の機能不全事前検出回路12が故障していると判定する(ステップS112)。
メインのCPUコア2は、テストデータの不一致を検知しなかった(つまり、比較結果信号DSが「H」レベルを維持した)ときには(ステップS107でYES)、テストデータtv1を「H」レベルに設定し、テストデータtv2を「L」レベルに設定する(ステップS108)。
メインのCPUコア2は、テストデータの不一致を検知しなかった(つまり、比較結果信号DSが「H」レベルを維持した)ときには(ステップS109でNO)、回路X内の機能不全事前検出回路12が故障していると判定する(ステップS112)。
メインのCPUコア2は、テストデータの不一致を検知した(つまり、比較結果信号DSが「L」レベルとなった)ときには(ステップS109でYES)、回路X内の機能不全事前検出回路12が正常動作していると判定する(ステップS110)。
次に、メインのCPUコア2は、回路Xへのテストモード信号tmを非活性化する(ステップS111)。
図7は、テスト動作時における機能不全事前検出回路12が故障しているか否かの判定方式を説明するための図である。
図7を参照して、メインのCPUコア2は、テストデータtv1を「H」レベルに設定し、テストデータtv2を「H」レベルに設定する。
フリップフロップFFTのデータ入力端子には、テストデータtv2が入力される。フリップフロップFFTは、クロックCLKの立ち上りエッジ#0に同期して、出力(B′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
比較器CMPは、テストデータtv1とB′点のデータとを比較する。テストデータtv1とB′点のデータとは、クロックCLKの立ち上りエッジ#0以降において一致し、比較結果信号DSは「H」レベルとなる。
図8は、テスト動作時における機能不全事前検出回路12が故障しているか否かの判定方式を説明するための図である。
図8を参照して、メインのCPUコアは、テストデータtv1を「H」レベルに設定し、テストデータtv2を「L」レベルに設定する。
フリップフロップFFTのデータ入力端子には、テストデータtv2が入力される。テストデータtv2が「L」レベルなので、フリップフロップFFTの出力(B′点のデータ)は「L」レベルのまま変化しない。
比較器CMPは、テストデータtv1とB′点のデータとを比較する。テストデータtv1とB′点のデータとは、不一致なので、比較結果信号DSは「L」レベルとなる。
図9は、テスト動作時における機能不全事前検出回路12が故障しているか否かの判定方式を説明するための図である。
図8を参照して、メインのCPUコアは、テストデータtv1を「L」レベルに設定し、テストデータtv2を「H」レベルに設定する。
フリップフロップFFTのデータ入力端子には、テストデータtv2が入力される。フリップフロップFFTは、クロックCLKの立ち上りエッジ#0に同期して、出力(B′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
比較器CMPは、テストデータtv1とB′点のデータとを比較する。テストデータtv1とB′点のデータとは、クロックCLKの立ち上りエッジ#0以降において不一致となり、比較結果信号DSは「L」レベルとなる。
図10は、テスト動作時における機能不全事前検出回路12が故障しているか否かの判定方式を説明するための図である。
図10を参照して、メインのCPUコアは、テストデータtv1を「L」レベルに設定し、テストデータtv2を「L」レベルに設定する。
フリップフロップFFTのデータ入力端子には、テストデータtv2が入力される。テストデータtv2が「L」レベルなので、フリップフロップFFTの出力(B′点のデータ)は「L」レベルのまま変化しない。
比較器CMPは、テストデータtv1とB′点のデータとを比較する。テストデータtv1とB′点のデータとは、一致するので、比較結果信号DSは「H」レベルとなる。
以上のように、本実施の形態によれば、半導体装置内の任意の箇所に機能不全事前検出回路を設けて、低抵抗性ショートを早期に検出することができ、半導体装置の機能回路内に不良が発現する前に対処することができる。また、本実施の形態によれば、機能不全事前検出回路自体の故障を検出することができるので、温度異常などによる信号の遅延を正しく検出することができる。また、温度上昇を検知した回路群への電源供給を直ちに停止するので、故障の影響範囲を電源とグランドがショートした電源プレーン(回路群)にとどめることができるので、他の回路群へ発熱が伝搬せず、他の回路群は温度上昇せず動作不良にならない。
なお、本実施の形態とは別の方法として、温度異常による動作不全を検出するために、チェック用のCPUコア3の1箇所以上の動作マージンの少ないパスの遅延を故意に悪化させて動作マージンを無くしてインプリするという方式が考えられる。このように故意に一方の遅延を悪化させ、動作マージンをなくさせることによって、動作保証温度から動作温度が少しはずれて該パスの遅延が少し劣化したときに、動作エラーとなる規定の遅延を超えて、チェック用のCPUコア3の動作不良が起こり、メインのCPUコア2側と動作が異なることにより、メインのCPUコア2側の機能不全を事前に検出できる。
しかしながら、この方法には以下のような欠点がある。
(1) デュアルロックステップ方式自体の動作マージンを下げることで、機能不全を事前に検出できるが、この方法は、機能不全を発生しやすくさせる機構であり、機能安全の観点では本末転倒の技術である。
(2)デュアルロックステップの機構をそのまま用いるため、遅延劣化させるフリップフロップの出力と比較器とが接続されるとは限らない。したがって、遅延劣化により動作不全が発生しても直後にエラーを検出されるとは限らない。
(3) デュアルロックステップ方式の機構をそのまま用いており、動作不良を検出した場合、α線などによるソフトエラーによる動作不良と、発熱による動作不良とが区別ができず、対処を正常にできないという問題がある。
(4) CPUコア2そのものの機能不全を検出するために、エラーを検出した場合にCPUコア2そのものの信頼性に疑義があり、半導体装置内部での判断はできないため、半導体装置の外部のシステムへ通知することしかできない。
(5) チェック用のCPUコア3側の一部のパスを使用するため、チェック用のCPUコア3側の内部温度上昇の検出が限定される。仮に半導体装置内の特定個所が低抵抗性ショートを起こし発熱しても、上記限定された個所まで発熱が伝搬するまで検知することができない。この熱伝搬するまでの間に他の回路が動作不良を起こすような場合へも適用できない。
(6) メインのCPUコア2側の動作マージンを稼ぐという観点で、メインのCPUコア2側にはこの機構を入れることができない。したがって、チェック用のCPUコア3側で正常動作していても、メインのCPUコア2側の温度上昇が激しい場合は、メインのCPUコア2側の速度不良が先に発現し、この方法では動作不良を先に検出することができない場合がある。
(7) メインのCPUコア2とチェック用のCPUコア3側とで、物理的に異なり、それぞれ別々にレイアウトを実施する必要がある。
(8) 半導体装置内の電源系統が複数ある場合に、どこで機能不全(低抵抗性ショート)が発生しているのか判別できなく、電源系統毎の対策が打てない。
これに対して、本実施の形態によれば、上記の問題を発生することがないという特徴を有する。
[第2の実施形態]
図11は、第2の実施形態のマイコンの一部の構成を表わす図である。
図11を参照して、マイコンは、機能回路として、フリップフロップFF0と、論理回路11と、フリップフロップFF1と、フリップフロップFF2とを備える。
マイコン1は、フリップフロップFF0とフリップフロップFF1との間のルートと分岐するルートに設けられた機能不全事前検出回路52を備える。機能不全事前検出回路52は、セレクタSL2と、遅延回路DL1,DL2,DL3と、フリップフロップFFT1,FFT2,FFT3と、セレクタSL1と、比較器CMP1,CMP2,CMP3とを備える。
フリップフロップFF0は、通常動作時に実データが入力されるデータ入力端子と、
クロックCLKが入力される入力端子と、出力端子とを有する。
論理回路11は、フリップフロップFF0の出力端子から出力されるデータを受けて、データの論理演算などを行なう。
論理回路11の出力は2つに分岐し、一方がフリップフロップFF1と接続し、他方が機能不全事前検出回路52のセレクタSL2と接続する。
フリップフロップFF1は、通常動作時に論理回路11の出力を受けるデータ入力端子と、クロックCLKが入力されるクロック端子と、出力端子とを有する。
フリップフロップFF1の出力は2つに分岐し、一方がフリップフロップFF2と接続し、他方が機能不全事前検出回路52のセレクタSL1と接続する。
フリップフロップFF2は、通常動作時にフリップフロップFF1の出力を受けるデータ入力端子と、クロックCLKが入力されるクロック端子と、出力端子とを有する。
セレクタSL2は、論理回路11から出力されるデータと、テストデータtv2とを受ける。セレクタSL2は、テストモード信号tmが活性化されている場合には、テストデータtv2を遅延回路DL1へ出力する。セレクタSL2は、テストモード信号tmが非活性化されている場合には、論理回路11から出力されるデータを遅延回路DL1へ出力する。
遅延回路DL1は、セレクタSL2の出力信号を遅延させる。遅延回路DL2は、遅延回路DL1の出力を遅延させる。遅延回路DL3は、遅延回路DL2の出力を遅延させる。
フリップフロップFFT1は、遅延回路DL1の出力を受けるデータ入力端子と、クロックCLKが入力されるクロック端子と、出力端子とを有する。
フリップフロップFFT2は、遅延回路DL2の出力を受けるデータ入力端子と、クロックCLKが入力されるクロック端子と、出力端子とを有する。
フリップフロップFFT3は、遅延回路DL3の出力を受けるデータ入力端子と、クロックCLKが入力されるクロック端子と、出力端子とを有する。
セレクタSL1は、フリップフロップFF1から出力されるデータと、テストデータtv1とを受ける。セレクタSL1は、テストモード信号tmが活性化されている場合には、テストデータtv1を比較器CMP1,CMP2,CMP3へ出力する。セレクタSL1は、テストモード信号tmが非活性化されている場合には、フリップフロップFF1から出力されるデータを比較器CMP1,CMP2,CMP3へ出力する。
比較器CMP1は、セレクタSL1の出力信号と、フリップフロップFFT1の出力信号とが一致したときには、比較結果信号DS1を「H」レベルに設定し、不一致のときには、比較結果信号DS1を「L」レベルに設定する。
すなわち、比較器CMP1は、テスト動作時には、テストデータtv1と、遅延回路DL1およびフリップフロップFFT1を経由したテストデータtv2とが一致したときには、比較結果信号DS1を「H」レベルに設定し、不一致のときには、比較結果信号DS1を「L」レベルに設定する。
比較器CMP1は、通常動作時には、フリップフロップFF1を経由した実データと、遅延回路DL1およびフリップフロップFFT1を経由した実データとが一致したときには、比較結果信号DS1を「H」レベルに設定し、不一致のときには、比較結果信号DS1を「L」レベルに設定する。
比較器CMP2は、セレクタSL1の出力信号と、フリップフロップFFT2の出力信号とが一致したときには、比較結果信号DS2を「H」レベルに設定し、不一致のときには、比較結果信号DS2を「L」レベルに設定する。
すなわち、比較器CMP2は、テスト動作時には、テストデータtv1と、遅延回路DL1,DL2およびフリップフロップFFT2を経由したテストデータtv2とが一致したときには、比較結果信号DS2を「H」レベルに設定し、不一致のときには、比較結果信号DS2を「L」レベルに設定する。
比較器CMP2は、通常動作時には、フリップフロップFF1を経由した実データと、遅延回路DL1,DL2およびフリップフロップFFT2を経由した実データとが一致したときには、比較結果信号DS2を「H」レベルに設定し、不一致のときには、比較結果信号DS2を「L」レベルに設定する。
比較器CMP3は、セレクタSL1の出力信号と、フリップフロップFFT3の出力信号とが一致したときには、比較結果信号DS3を「H」レベルに設定し、不一致のときには、比較結果信号DS3を「L」レベルに設定する。
すなわち、比較器CMP3は、テスト動作時には、テストデータtv1と、遅延回路DL1,DL2,DL3およびフリップフロップFFT3を経由したテストデータtv2とが一致したときには、比較結果信号DS3を「H」レベルに設定し、不一致のときには、比較結果信号DS3を「L」レベルに設定する。
比較器CMP3は、通常動作時には、フリップフロップFF1を経由した実データと、遅延回路DL1,DL2,DL3およびフリップフロップFFT3を経由した実データとが一致したときには、比較結果信号DS3を「H」レベルに設定し、不一致のときには、比較結果信号DS3を「L」レベルに設定する。
図12は、通常動作時における、正常時(保証動作温度の範囲)の動作を説明するための図である。
図12を参照して、フリップフロップFF1のデータ入力端子には、C点のデータが入力される。C点のデータは、クロックCLKの立ち上りエッジ#0に対して、d0の時間だけ遅れている。フリップフロップFF1は、クロックCLKの立ち上りエッジ#1に同期して、出力(C′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
フリップフロップFFT1のデータ入力端子には、B1点のデータが入力される。B1点のデータは、遅延回路DL1によってC点のデータよりもd1の時間だけ遅れている。フリップフロップFFT1は、クロックCLKの立ち上りエッジ#1に同期して、出力(B1′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
比較器CMP1は、C′点のデータとB1′点のデータとを比較する。C′点のデータとB1′点のデータとは常に一致するので、比較結果信号DS1は常に「H」レベルを維持する。
フリップフロップFFT2のデータ入力端子には、B2点のデータが入力される。B2点のデータは、遅延回路DL1およびDL2によってC点のデータよりもd2の時間だけ遅れている。フリップフロップFFT2は、クロックCLKの立ち上りエッジ#1に同期して、出力(B2′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
比較器CMP2は、C′点のデータとB2′点のデータとを比較する。C′点のデータとB2′点のデータとは常に一致するので、比較結果信号DS2は常に「H」レベルを維持する。
フリップフロップFFT3のデータ入力端子には、B3点のデータが入力される。B3点のデータは、遅延回路DL1、DL2およびDL3によってC点のデータよりもd3の時間だけ遅れている。フリップフロップFFT3は、クロックCLKの立ち上りエッジ#1に同期して、出力(B3′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
比較器CMP3は、C′点のデータとB3′点のデータとを比較する。C′点のデータとB3′点のデータとは常に一致するので、比較結果信号DS3は常に「H」レベルを維持する。
図13は、通常動作時における、機能不全事前検出時の動作の例(温度が第1段階だけ増加した場合)を説明するための図である。
図13を参照して、フリップフロップFF1のデータ入力端子には、C点のデータが入力される。C点のデータは、クロックCLKの立ち上りエッジ#0に対して、d0(1)の時間だけ遅れている。フリップフロップFF1は、クロックCLKの立ち上りエッジ#1に同期して、出力(C′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
フリップフロップFFT1のデータ入力端子には、B1点のデータが入力される。B1点のデータは、遅延回路DL1によってC点のデータよりもd1(1)の時間だけ遅れている。フリップフロップFFT1は、クロックCLKの立ち上りエッジ#1に同期して、出力(B1′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
比較器CMP1は、C′点のデータとB1′点のデータとを比較する。C′点のデータとB1′点のデータとは常に一致するので、比較結果信号DS1は常に「H」レベルを維持する。
フリップフロップFFT2のデータ入力端子には、B2点のデータが入力される。B2点のデータは、遅延回路DL1およびDL2によってC点のデータよりもd2(1)の時間だけ遅れている。フリップフロップFFT2は、クロックCLKの立ち上りエッジ#1に同期して、出力(B2′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
比較器CMP2は、C′点のデータとB2′点のデータとを比較する。 C′点のデータとB2′点のデータとは常に一致するので、比較結果信号DS2は常に「H」レベルを維持する。
フリップフロップFFT3のデータ入力端子には、B3点のデータが入力される。B3点のデータは、遅延回路DL1、DL2およびDL3によってC点のデータよりもd3(1)の時間だけ遅れている。フリップフロップFFT3は、クロックCLKの立ち上りエッジ#2に同期して、出力(B3′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
比較器CMP3は、C′点のデータとB3′点のデータとを比較する。C′点のデータとB3′点のデータとは、クロックCLKの立ち上りエッジ#1から立ち上りエッジ#2までの期間不一致となるので、この期間は、比較結果信号DS3が「L」レベルとなる。
図14は、通常動作時における、機能不全事前検出時の動作の別の例(温度が第2段階だけ増加した場合)を説明するための図である。
図14を参照して、フリップフロップFF1のデータ入力端子には、C点のデータが入力される。C点のデータは、クロックCLKの立ち上りエッジ#0に対して、d0(2)の時間だけ遅れている。フリップフロップFF1は、クロックCLKの立ち上りエッジ#1に同期して、出力(C′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
フリップフロップFFT1のデータ入力端子には、B1点のデータが入力される。B1点のデータは、遅延回路DL1によってC点のデータよりもd1(2)の時間だけ遅れている。フリップフロップFFT1は、クロックCLKの立ち上りエッジ#1に同期して、出力(B1′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
比較器CMP1は、C′点のデータとB1′点のデータとを比較する。C′点のデータとB1′点のデータとは常に一致するので、比較結果信号DS1は常に「H」レベルを維持する。
フリップフロップFFT2のデータ入力端子には、B2点のデータが入力される。B2点のデータは、遅延回路DL1およびDL2によってC点のデータよりもd2(2)の時間だけ遅れている。フリップフロップFFT2は、クロックCLKの立ち上りエッジ#2に同期して、出力(B2′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
比較器CMP2は、C′点のデータとB2′点のデータとを比較する。C′点のデータとB2′点のデータとは、クロックCLKの立ち上りエッジ#1から立ち上りエッジ#2までの期間不一致となるので、この期間は、比較結果信号DS2が「L」レベルとなる。
フリップフロップFFT3のデータ入力端子には、B3点のデータが入力される。B3点のデータは、遅延回路DL1、DL2およびDL3によってC点のデータよりもd3(2)の時間だけ遅れている。フリップフロップFFT3は、クロックCLKの立ち上りエッジ#2に同期して、出力(B3′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
比較器CMP3は、C′点のデータとB3′点のデータとを比較する。C′点のデータとB3′点のデータとは、クロックCLKの立ち上りエッジ#1から立ち上りエッジ#2までの期間不一致となるので、この期間は、比較結果信号DS3が「L」レベルとなる。
図15は、通常動作時における、機能不全事前検出時の動作の別の例(温度が第3段階だけ増加した例)を説明するための図である。
図15を参照して、フリップフロップFF1のデータ入力端子には、C点のデータが入力される。C点のデータは、クロックCLKの立ち上りエッジ#0に対して、d0(3)の時間だけ遅れている。フリップフロップFF1は、クロックCLKの立ち上りエッジ#1に同期して、出力(C′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
フリップフロップFFT1のデータ入力端子には、B1点のデータが入力される。B1点のデータは、遅延回路DL1によってC点のデータよりもd1(3)の時間だけ遅れている。フリップフロップFFT1は、クロックCLKの立ち上りエッジ#2に同期して、出力(B1′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
比較器CMP1は、C′点のデータとB1′点のデータとを比較する。C′点のデータとB1′点のデータとは、クロックCLKの立ち上りエッジ#1から立ち上りエッジ#2までの期間不一致となるので、この期間は、比較結果信号DS1が「L」レベルとなる。
フリップフロップFFT2のデータ入力端子には、B2点のデータが入力される。B2点のデータは、遅延回路DL1およびDL2によってC点のデータよりもd2(3)の時間だけ遅れている。フリップフロップFFT2は、クロックCLKの立ち上りエッジ#2に同期して、出力(B2′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
比較器CMP2は、C′点のデータとB2′点のデータとを比較する。C′点のデータとB2′点のデータとは、クロックCLKの立ち上りエッジ#1から立ち上りエッジ#2までの期間不一致となるので、この期間は、比較結果信号DS2が「L」レベルとなる。
フリップフロップFFT3のデータ入力端子には、B3点のデータが入力される。B3点のデータは、遅延回路DL1、DL2およびDL3によってC点のデータよりもd3(3)の時間だけ遅れている。フリップフロップFFT3は、クロックCLKの立ち上りエッジ#2に同期して、出力(B3′点のデータ)を「H」レベルに変化させる。
比較器CMP3は、C′点のデータとB3′点のデータとを比較する。C′点のデータとB3′点のデータとは、クロックCLKの立ち上りエッジ#1から立ち上りエッジ#2までの期間不一致となるので、この期間は、比較結果信号DS3が「L」レベルとなる。
以上のように、本実施の形態の半導体装置によれば、第1の実施形態と同様の効果を有する。
また、本実施の形態によれば、複数の遅延回路を設けることによって、機能不全の深刻度を検知できる。たとえば、比較器CMP1で不一致が検出されたときには、メインのCPUコアが、機能不全の可能性がある旨の警告をユーザに通知し、比較器CMP2で不一致が検出されたときには、メインのCPUコアが、機能不全の可能性が高い旨の警告をユーザに通知し、比較器CMP3で不一致が検出されたときには、メインのCPUコアが電源電圧の供給を停止するようにしてもよい。
[第3の実施形態]
図16は、第3の実施形態のマイコン51の構成を表わす図である。
図16のマイコン51が、図4のマイコン1と相違する点は以下である。
回路#1の機能不全事前検出回路12−1からの比較結果信号DSは、メインのCPUコア2内の割込コントローラ32およびチェック用のCPUコア3内の割込コントローラ35に送られるとともに、制御回路45に送られる。制御回路45は、比較結果信号DSが「L」レベルとなったときに、機能不全のリスクを知らせる割込みが通知されたと認識し、電源Aスイッチ42をオフにする。
回路#2の機能不全事前検出回路12−2からの比較結果信号DSは、メインのCPUコア2内の割込コントローラ32およびチェック用のCPUコア3内の割込コントローラ35に送られるとともに、制御回路46に送られる。制御回路46は、比較結果信号DSが「L」レベルとなったときに、機能不全のリスクを知らせる割込みが通知されたと認識し、電源Bスイッチ43をオフにする。
回路#3の機能不全事前検出回路12−3および回路#4の機能不全事前検出回路12−4からの比較結果信号DSは、メインのCPUコア2内の割込コントローラ32およびチェック用のCPUコア3内の割込コントローラ35に送られるとともに、制御回路47に送られる。制御回路47は、比較結果信号DSが「L」レベルとなったときに、機能不全のリスクを知らせる割込みが通知されたと認識し、電源Cスイッチ44をオフにする。
以上のように、本実施の形態の半導体装置によれば、第1の実施形態と同様の効果を有する。また、機能不全のリスクが発生した場合に、CPUコアを介さずに、制御回路によって電源スイッチをオフにするので、CPUコアが温度上昇などによって異常動作している場合でも、電源スイッチを適切に制御することができる。
[第4の実施形態]
図17は、第4の実施形態のマイコン181の構成を表わす図である。
図17のマイコン181が、図4のマイコン1と相違する点は以下である。
回路#1の機能不全事前検出回路12−1からの比較結果信号DSは、メインのCPUコア2内の割込コントローラ32およびチェック用のCPUコア3内の割込コントローラ35に送られるとともに、端子P1を通じてマイコン181の外部のシステムに送られる。
回路#2の機能不全事前検出回路12−2からの比較結果信号DSは、メインのCPUコア2内の割込コントローラ32およびチェック用のCPUコア3内の割込コントローラ35に送られるとともに、端子P2を通じてマイコン181の外部のシステムに送られる。
回路#3の機能不全事前検出回路12−3からの比較結果信号DSは、メインのCPUコア2内の割込コントローラ32およびチェック用のCPUコア3内の割込コントローラ35に送られるとともに、端子P3を通じてマイコン181の外部のシステムに送られる。
回路#4の機能不全事前検出回路12−4からの比較結果信号DSは、メインのCPUコア2内の割込コントローラ32およびチェック用のCPUコア3内の割込コントローラ35に送られるとともに、端子P4を通じてマイコン181の外部のシステムに送られる。
マイコン181の外部のシステムは、回路#1の機能不全事前検出回路12−1からの比較結果信号DSが「L」レベルとなったときに、機能不全のリスクを知らせる割込みが通知されたと認識し、端子PAを通じて制御回路45に切り換え信号を送る。制御回路45の切り換え信号が「L」レベルの場合には、制御回路45は、電源Aスイッチ42をオフにし、制御回路45への切り換え信号が「H」レベルの場合には、制御回路45は、電源Aスイッチ42をオンとする。
マイコン181の外部のシステムは、回路#2の機能不全事前検出回路12−2からの比較結果信号DSが「L」レベルとなったときに、機能不全のリスクを知らせる割込みが通知されたと認識し、端子PBを通じて制御回路46に切り換え信号を送る。制御回路46の切り換え信号が「L」レベルの場合には、制御回路46は、電源Bスイッチ43をオフにし、制御回路46への切り換え信号が「H」レベルの場合には、制御回路46は、電源Bスイッチ43をオンとする。
マイコン181の外部のシステムは、回路#3の機能不全事前検出回路12−3からの比較結果信号DSが「L」レベルとなったとき、または回路#4の機能不全事前検出回路12−4からの比較結果信号DSが「L」レベルとなったとき、機能不全のリスクを知らせる割込みが通知されたと認識し、端子PCを通じて制御回路47に切り換え信号を送る。制御回路47の切り換え信号が「L」レベルの場合には、制御回路47は、電源Cスイッチ44をオフにし、制御回路47への切り換え信号が「H」レベルの場合には、制御回路47は、電源Cスイッチ44をオンとする。
以上のように、本実施の形態の半導体装置によれば、第1の実施形態と同様の効果を有する。また、機能不全のリスクが発生した場合に、外部からの制御で電源スイッチをオフにするので、CPUコアが温度上昇などによって異常動作している場合でも、電源スイッチを適切に制御することができる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
1,51,181 マイコン、2,3 CPUコア、11 論理回路、12,52 機能不全事前検出回路、31,33,34 システムレジスタ、32,35 割込コントローラ、37 レギュレータ、41,45,46,47 制御回路、42 電源Aスイッチ、43 電源Bスイッチ、44 電源Cスイッチ、81 電源A回路群、82 電源B回路群、83 電源C回路群、FF0,FF1,FFT,FFT1,FFT2,FFT3 フリップフロップ、SL1,SL2 セレクタ、36,CMP,CMP1,CMP2,CMP3 比較器、DL,DL1,DL2,DL3 遅延回路、PA,PB,PC,PD,PS,P1〜P4 端子。

Claims (9)

  1. 第1のフリップフロップと、
    前記第1のフリップフロップの後段に設けられる第2のフリップフロップと、
    前記第2のフリップフロップのデータ入力端子へのルートと分岐したルートに設けられた機能不全事前検出回路とを備え、
    前記機能不全事前検出回路は、
    前記第2のフリップフロップのデータ入力端子への入力データを遅延させる遅延素子と、
    前記遅延素子の出力を受ける第3のフリップフロップと、
    前記第2のフリップフロップの出力と前記第3のフリップフロップの出力とを比較する比較器とを含み、
    前記機能不全事前検出回路には、前記機能不全事前検出回路の動作テスト時には、第1のテストデータと、第2のテストデータが入力され、前記第2のテストデータは、前記遅延素子に入力され、
    前記比較器は、前記動作テスト時には、前記第1のテストデータと、前記第3のフリップフロップの出力とを比較する、半導体装置。
  2. 前記機能不全事前検出回路は、
    前記動作テスト時に、前記第2のテストデータを前記遅延素子へ出力し、通常動作時には、前記入力データを前記遅延素子へ出力する第1のセレクタと、
    前記動作テスト時に、前記第1のテストデータを前記比較器へ出力し、前記通常動作時には、前記第2のフリップフロップの出力を前記比較器へ出力する第2のセレクタとを含む、請求項1記載の半導体装置。
  3. 前記半導体装置は、
    前記比較器の比較結果が不一致の場合に、前記第1のフリップフロップおよび前記第2のフリップフロップへの電力供給を停止させるためのスイッチを備える、請求項2記載の半導体装置。
  4. 前記半導体装置は、各々が、別個の電源電圧で動作する複数個の回路ブロックを備え、
    前記スイッチは、前記比較器の比較結果が不一致の場合に、前記第1のフリップフロップおよび前記第2のフリップフロップを含む回路ブロックへの電力供給を停止させる、請求項3記載の半導体装置。
  5. 前記半導体装置は、デュアルロックステップ方式のマイクロコンピュータであり、
    第1のCPUコアと、
    第2のCPUコアと、
    前記第1のCPUコアの演算結果と前記第2のCPUコアの演算結果を比較する比較器とを備える、請求項4記載の半導体装置。
  6. 前記比較器の比較結果が不一致の場合、前記第1のCPUコアおよび前記第2のCPUコアに割込みが通知され、
    前記第1のCPUコアは、前記スイッチを制御して電力供給を停止させる、請求項5記載の半導体装置。
  7. 前記比較器の比較結果を表わす信号が、直接前記スイッチに送られて、前記電力供給が停止させる、請求項4記載の半導体装置。
  8. 前記比較器の比較結果を表わす信号が前記半導体装置の外部へ送られて、外部からの制御によって前記電源供給が停止させる、請求項4記載の半導体装置。
  9. 第1のフリップフロップと、
    前記第1のフリップフロップの後段に設けられる第2のフリップフロップと、
    前記第2のフリップフロップのデータ入力端子へのルートと分岐したルートに設けられた機能不全事前検出回路とを備え、
    前記機能不全事前検出回路は、
    前記第2のフリップフロップのデータ入力端子への入力データを遅延させる直列接続された複数段の遅延素子と、
    各々が、各遅延素子の出力を受ける複数の第3のフリップフロップと、
    各々が、前記第2のフリップフロップの出力と対応の第3のフリップフロップの出力とを比較する複数の比較器とを含み、
    前記機能不全事前検出回路には、前記機能不全事前検出回路の動作テスト時には、第1のテストデータと、第2のテストデータが入力され、前記第2のテストデータは、前記複数段の遅延素子の初段に入力され、
    前記比較器は、前記動作テスト時には、前記第1のテストデータと、前記対応の第3のフリップフロップの出力とを比較する、半導体装置。

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