JP2007309733A - 半導体集積回路および半導体集積回路の検査方法 - Google Patents

半導体集積回路および半導体集積回路の検査方法 Download PDF

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Abstract

【課題】複数の半導体集積回路を搭載した実装基板において半導体集積回路の接続状態の検査を行う場合、バウンダリスキャンなどの検査方法では前段・後段の半導体集積回路を介して実施する必要があり、設定が複雑なためコストが増大する問題がある。
【解決手段】内部回路7が出力する基準信号S1を出力バッファ9を介して外部に出力する出力端子5における外部側の信号と出力バッファ9の入力側の信号との不一致を検出する不一致検出回路(排他的論理和回路)12と、不一致検出回路12による不一致検出信号S3を保持する不一致検出信号保持回路(レジスタ)14とを含んで構成された外部故障検出回路11を備える。実装基板上で半導体集積回路を実動作モードで動作させ、出力端子の状態を外部故障検出回路11で検査し、不一致検出信号保持回路14の値を読み出し判断すれば、前段・後段の半導体集積回路の介在を必要とすることなく、容易に検査可能となる。
【選択図】図1

Description

本発明は半導体集積回路にかかわり、基板上に実装された半導体集積回路の出力端子または入力端子における電源・GND、隣接端子間のショート等の不具合の検出の技術に関する。
近年、車載カメラ・携帯カメラ・デジタルスチルカメラ等の機器の小型化・システムの高機能化に伴い、半導体基板への半導体搭載数の増加・高密度化が進んでいる。また、半導体集積回路自体も1チップ化に伴って端子数が増加しているのが現状である。また、パッケージ形状も小型化され、チップサイズパッケージ(CSP)のように端子が裏面に存在し、実装後はモニターが困難なパッケージも多く使用されるようになっている。その結果、実装基板上の実装不良による故障の発見は非常に困難となっている。
従来より、実装基板の検査の容易化を目指したIEEE1149.1標準のバウンダリスキャンが知られている。
また、特許文献1に開示の半導体集積回路は、前段の半導体集積回路を経由して特定パターン信号を入力し、半導体集積回路内部にて入力信号の一部から比較検出信号を生成し、特定パターン信号と比較検出信号との比較を実施して基板上での配線不具合の確認を可能としている。
特開平5−188117号公報(第3−4頁、第1図)
しかし、チェックに必ず前段・後段の半導体集積回路を必要とすることから、各々の半導体集積回路の設定が非常に複雑となり、チェックするまでに時間がかかる。また、広く普及していないのが現状である。また、基板上において判定が必要な入力信号が全て“L”レベルに固定されていた場合には、検査がパスしてしまうという問題がある。
本発明は上記の問題点を解決するためになされたもので、実装基板に複数搭載された半導体集積回路のそれぞれにおいて、自身のみで入力・出力端子の基板上の電源・GND、隣接端子間のショート等の不具合を容易に検出できるようにすることを目的としている。
(1)本発明による半導体集積回路は、内部回路が出力する信号を出力バッファを介して外部に出力する出力端子における外部側の信号と前記出力バッファの入力側の信号との不一致を検出する不一致検出回路と、前記不一致検出回路による不一致検出信号を保持する不一致検出信号保持回路とを含んで構成された外部故障検出回路を備えたものである。なお、前記不一致検出回路は排他的論理和回路で構成することができ、前記不一致検出信号保持回路はレジスタで構成することができる。これは、出力端子における基板上の電源・GND、隣接端子間のショート等の不具合を検出するものである。これに対応する半導体集積回路の検査方法は、実装基板上の半導体集積回路における内部回路を実動作モードで動作させ、前記外部故障検出回路における前記不一致検出信号保持回路が保持している前記不一致検出信号の値を読み出すことにより、前記実装基板上の出力端子の状態を判断するものである。
この構成において、内部回路が動作して出力した信号が出力バッファの入力側から不一致検出回路に入力されるとともに、出力バッファの出力側に接続された出力端子に現れている信号が不一致検出回路に入力され、これら両信号が外部故障検出回路における不一致検出回路で比較され、不一致か否かを判定される。不一致が検出されたときは、不一致検出回路から不一致検出信号が出力され、不一致検出信号保持回路において不一致検出信号が保持される。出力端子において基板上の電源・GND、隣接端子間のショート等の不具合が生じていない正常時には、両信号は一致するので、不一致検出回路による不一致検出信号はインアクティブのままであるが、ショート等が生じている異常時には、出力バッファの入力側信号の遷移が出力バッファの出力側に正しく伝播せず、両信号が不一致となるので、不一致検出回路による不一致検出信号はアクティブとなる。このようにして、出力端子における異常の有無の検出を、内蔵の外部故障検出回路において自己検査することができる。そして、当該の半導体集積回路の前後に搭載されている半導体集積回路を介在させる必要がなく、容易に異常判定を実現することができる。
上記の構成において、さらに、テストデータを格納するテストデータ格納手段と、前記内部回路が出力する信号と前記テストデータ格納手段からの前記テストデータとを選択して前記出力バッファに出力する選択手段とを備えているという態様がある。なお、前記テストデータ格納手段はレジスタで構成することができ、前記選択手段はセレクタとこのセレクタを切り替えるレジスタで構成することができる。これに対応する半導体集積回路の検査方法は、実装基板上の半導体集積回路において、前記テストデータ格納手段からのテストデータを選択入力し、前記外部故障検出回路における前記不一致検出信号保持回路が保持している前記不一致検出信号の値を読み出すことにより、前記実装基板上の出力端子の状態を判断するものである。
このように構成しておけば、内部回路からの出力信号とは論理を異にするテストデータをテストデータ格納手段に格納しておき、そのテストデータを選択手段によって選択して、外部故障検出回路で判定することが可能となる。また、ひいては、複数の出力端子についての異常判定においても、テストデータの設定により、きめの細かい対応を容易にとりやすくなる。
より具体的には、複数の端子に適用した場合に複数の実動作モードがある場合には、チェック対象の出力端子が一度に動作しない状況が起こり得る。このような場合に動作モードを選択しながら必要回数テストするのでは多大な時間がかかる。そこで、上記の構成を端子ごとに設置すれば、同時に複数の出力端子の基準データを動作モードによらずに一度に設定し、一度で判別することが可能となる。また、隣接端子が同様の信号を出力している場合には、端子間でショートしていてもショート検出ができない。そこで、隣接する端子のテストデータを“1”,“0”逆相とすれば、容易に判別可能となる。
また、本発明による半導体集積回路は、テストデータを格納するテストデータ格納手段と、入力端子と内部回路との間に挿入された入力バッファの出力側の信号と前記テストデータ格納手段からの前記テストデータとの不一致検出を検出する不一致検出回路と、前記不一致検出回路による不一致検出信号を保持する不一致検出信号保持回路と、前記テストデータ格納手段からの前記テストデータを前記入力バッファの入力側に伝達するスイッチ手段とを備えたものである。なお、前記テストデータ格納手段はレジスタで構成することができ、前記不一致検出回路は排他的論理和回路で構成することができ、前記スイッチ手段はトライステートバッファとこのトライステートバッファを導通制御するレジスタで構成することができる。これは、入力端子における基板上の電源・GND、隣接端子間のショート等の不具合を検出するものである。これに対応する半導体集積回路の検査方法は、実装基板上の半導体集積回路において、前記テストデータ格納手段からのテストデータを選択入力し、前記外部故障検出回路における前記不一致検出信号保持回路が保持している前記不一致検出信号の値を読み出すことにより、前記実装基板上の入力端子の状態を判断するものである。
この構成において、テストデータ格納手段からのテストデータを不一致検出回路に入力するとともに、スイッチ手段を介してテストデータを入力バッファの入力側(入力バッファと入力端子との接続ライン)に伝播させ、さらに入力バッファから不一致検出回路に入力させる。このようにテストデータ格納手段からの直接のテストデータと入力端子を通したテストデータとが外部故障検出回路における不一致検出回路で比較され、不一致か否かを判定される。不一致が検出されたときは、不一致検出回路から不一致検出信号が出力され、不一致検出信号保持回路において不一致検出信号が保持される。入力端子において基板上の電源・GND、隣接端子間のショート等の不具合が生じていない正常時には、両テストデータは一致するので、不一致検出回路による不一致検出信号はインアクティブのままであるが、ショート等が生じている異常時には、テストデータの遷移が入力バッファの出力側に正しく伝播せず、両テストデータが不一致となるので、不一致検出回路による不一致検出信号はアクティブとなる。このようにして、入力端子における異常の有無の検出を、内蔵の外部故障検出回路において自己検査することができる。そして、当該の半導体集積回路の前後に搭載されている半導体集積回路を介在させる必要がなく、容易に異常判定を実現することができる。
上記のいずれかの半導体集積回路において、さらに、前記不一致検出回路と前記不一致検出信号保持回路との間に、前記不一致検出回路による不一致検出信号の不正規パルスを除去するための不正規パルス除去手段を備えているという態様がある。このように構成すれば、不一致検出回路に入力される両信号または両テストデータにタイムラグがあって、不一致検出信号にごく短時間の不正規パルスが生じても、これを不正規パルス除去手段によって除去し、正しい波形の不一致検出信号を不一致検出信号保持回路に伝えることができる。したがって、電源・GND、隣接端子間のショート等の不具合の検出において誤検出を防止することができる。
また、本発明による半導体集積回路は、出力端子の電位をモニターするモニター手段と、前記モニター手段で得られた前記出力端子における外部側のパルスの有無を検出するパルス検出手段と、パルス検出手段によるパルス検出信号を保持するパルス検出信号保持手段とを含んで構成された外部故障検出回路とを備えたものである。なお、前記モニター手段は入力バッファで構成することができ、前記パルス検出手段は前記入力バッファの出力信号と前記出力信号をフリップフロップに通しかつ反転させた信号とを入力に持つAND回路で構成することができ、前記パルス検出信号保持手段はレジスタで構成することができる。これに対応する半導体集積回路の検査方法は、実装基板上の半導体集積回路における内部回路を実動作モードで動作させ、前記外部故障検出回路における前記パルス検出信号保持手段が保持している前記パルス検出手段の値を読み出すことにより、前記実装基板上の出力端子の状態を判断するものである。
この構成において、出力端子に対して外部からパルスが印加されていると、これをモニター手段でとらえ、パルス検出手段で検出し、パルス検出信号保持手段で保持する。このようにして、出力端子に対する外部パルスの有無の検出を、内蔵の外部故障検出回路において自己検査することができる。そして、当該の半導体集積回路の前後に搭載されている半導体集積回路を介在させる必要がなく、容易に異常判定を実現することができる。
本発明によれば、実装基板に搭載した半導体集積回路の出力端子、入力端子の基板上の電源・GND、隣接端子間のショート等の不具合の検出を、前後に搭載された半導体集積回路の介在を必要とすることなく容易に実現することができる。
以下、本発明にかかわる半導体集積回路および半導体集積回路の検査方法の実施の形態について図面に基づいて詳細に説明する。以下の実施の形態では、半導体集積回路に存在する出力端子、または入力端子1本について例を挙げて説明する。それぞれ2端子以上にも適用可能である。なお、図中同一符号は同一または相当する要素を指す。
(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1における半導体集積回路の構成を示すブロック回路図である。
図1において、Aは半導体集積回路、1はクロックCKの入力端子、2はリセット信号RSTの入力端子、3はシリアルI/F用のシリアル信号SSの入力端子、4はk本の入力端子群、5は検査対象の出力端子、6はm本の出力端子群、7は内部回路、8はシリアルIFのレジスタリード・ライト回路、9は内部回路7の出力端子と半導体集積回路Aの出力端子5との間に挿入された出力バッファ、10は出力バッファ9と出力端子5との接続ラインから分岐された入力バッファ、11は外部故障検出回路、12はEXOR回路を用いた不一致検出回路、13は不一致検出回路12による不一致検出信号S3に現れる不正規パルスを除去するための不正規パルス除去手段としてのフリップフロップ、14は不一致検出回路12による不一致検出信号S3を保持するためのレジスタである。
半導体集積回路Aは、実動作回路としての内部回路7と、内部回路7のレジスタをリード・ライトするレジスタリード・ライト回路8を備えている。内部回路7は、入力端子群4とクロックCKとリセット信号RSTを入力にもち、出力端子群6と、出力バッファ9を通した検査対象の出力端子5を出力をもっている。レジスタリード・ライト回路8は、クロックCKとリセット信号RSTを入力にもち、シリアル信号SSの情報を基に内部回路7のレジスタ値のリード・ライトを行うように構成されている。なお、入力端子群4、出力端子群6、クロックCK、リセット信号RSTのI/Oバッファについては、図示を省略している。
外部故障検出回路11は、不一致検出回路12、フリップフロップ13およびレジスタ14から構成されている。不一致検出回路12は、内部回路7から出力され出力バッファ9の入力側に印加される基準の信号S1と、この信号S1を出力バッファ9および入力バッファ10に通した結果の参照信号S2とを比較し、不一致の場合に不一致検出信号S3を“1”にして出力する。入力バッファ10は駆動能力をアップする。フリップフロップ13は、不一致検出回路12から出力される不一致検出信号S3についてその微小期間の不正規パルスを除去するものである。レジスタ14は、フリップフロップ13からの出力信号S4が“1”の場合に“1”レベルにセットされ、リセット信号RSTが入力されるまで“1”を保持する。フリップフロップ13もリセット信号RSTで“0”に初期化される。レジスタリード・ライト回路8は、シリアル信号SSの指示に従って、外部故障検出回路11におけるレジスタ14が保持している値S5を読み込んで、出力端子5における異常の有無を判定するようになっている。
次に、上記のように構成された本実施の形態の半導体集積回路Aの動作を説明する。
まず、正常時の動作を図2の波形図を用いて説明する。
図2において、S1は実動作において内部回路7で生成される信号、S2は出力端子5の状態をモニターする信号、S3は不一致検出回路12による不一致検出信号、S4はフリップフロップ13による不正規パルス除去信号、S5はレジスタ14に保持された値、P1はレジスタリードポイントである。
初期のリセット時に、リセット信号RSTの立ち下がりによって、フリップフロップ13およびレジスタ14が“0”にリセットされる。
実動作において、内部回路7から出力されて出力バッファ9の入力側に印加される基準となる信号S1の波形と、この基準信号S1が出力バッファ9および入力バッファ10を通した被検査信号である出力端子5での参照信号S2の波形が不一致検出回路12で比較される。正常時には、基準信号S1が立ち上がると、若干の遅延ののち、参照信号S2も立ち上がる。基準信号S1が立ち下がると、若干の遅延ののち、参照信号S2も立ち下がる。不一致検出回路12による比較結果は、不一致検出信号S3の波形で示される。不一致検出回路12における入力2信号S1,S2間に若干の遅延差があることから、不一致検出信号S3に不正規パルスがでている。しかし、この不正規パルスはクロックCKの周期に比べて時間幅の短いものであり、不正規パルス以外は不一致検出信号S3は“0”を保っているので、フリップフロップ13の状態を反転させることはなく、フリップフロップ13による不正規パルス除去信号S4はリセット時の“0”のままである。つまり、不正規パルスはフリップフロップ13で除去される。フリップフロップ13による不正規パルス除去信号S4が“0”レベルであるので、レジスタ14はセットされず、その値S5はリセット時の“0”のままとなっている。レジスタリードポイントP1でも、レジスタ14の値S5は“0”であり、これがシリアル信号SSの指示に従ってレジスタリード・ライト回路8によって読み込まれる。
次に、異常時(ショート時)の動作を図3の波形図を用いて説明する。ここでは、出力端子5がGNDにショートしている場合を想定する。したがって、出力端子5における参照信号S2の波形は“0”に固定されたものとなっている。
基準信号S1が立ち上がっても、GNDへのショットのために参照信号S2は“0”のままであるので、不一致検出回路12による不一致検出信号S3は、“1”に立ち上がる。基準信号S1が立ち下がると、不一致検出信号S3も“0”に立ち下がる。このとき、不一致検出信号S3の“1”の期間は、基準信号S1の“1”の期間に相当する。この期間は、クロックCKの周期に比べて充分な時間幅のものであり、不一致検出信号S3が“1”のまま1T遅れでクロックCKが立ち上がると、フリップフロップ13による不正規パルス除去信号S4が立ち上がる。不一致検出信号S3の“1”は不正規パルスではないので、フリップフロップ13の入力側から出力側に伝播されるのである。これにより、レジスタ14がセットされ、その値S5が“0”から“1”へ遷移する。このレジスタ14の“1”への遷移が出力端子5のGNDショートを検出したことに相当する。P2が不具合検出ポイントとなる。
次のクロックCKの立ち上がりで、不一致検出信号S3の立ち下がりが反映され、フリップフロップ13による不正規パルス除去信号S4も立ち下がるが、レジスタ14の値S5の“1”は保持される。レジスタ14は、リセット信号RSTの入力がない限り、状態が変化しないからである。レジスタリードポイントP1でも、レジスタ14の値S5=“1”が保持され、これがレジスタリード・ライト回路8によって読み込まれる。シリアル信号SSの情報を基に内部回路7のレジスタ値のリード・ライトを行うレジスタリード・ライト回路8は、レジスタリードポイントP1でレジスタ14からの“1”の入力を受けて、半導体集積回路Aの回路異常を検知することになる。
上記のように、ショートの有無によってレジスタリードポイントP1におけるレジスタ14の値が異なる。レジスタリードポイントP1にてシリアル信号SSでレジスタリード・ライト回路8によるレジスタ14のリード値が“0”であればOK判定を行い、リード値が“1”であればNG判定を行う。電源へのショートの場合も、同様に判定することができる。
なお、レジスタ14のリード方法については、シリアルIFのレジスタリード・ライト回路に代えて、マイコン(CPU)I/Fで構成した回路でも同様に実現可能である。また、複数の出力端子についても同様の回路構成とすれば、同様にチェック可能である。
本実施の形態によれば、上記に示した構成、検査方法により、実装基板上の前段・後段の半導体集積回路の介在を必要とすることなく、出力端子の基板上での電源・GND・隣接間ショート等の不具合が短時間で容易に検出可能となる。
(実施の形態2)
図4は本発明の実施の形態2における半導体集積回路の構成を示すブロック回路図である。
図4において、21はテストデータ設定用レジスタ、22はテストモード設定用レジスタ、23はセレクタである。テストモード設定用レジスタ22の値S6をセレクタ23にセットすることによって、出力バッファ9の手前において、内部回路7から出力される基準の信号S1とテストデータ設定用レジスタ21の値S7とを選択するようになっている。ここでは、テストモード設定用レジスタ22の値S6が“0”の場合は内部回路7からの信号S1が選択され、“1”の場合はテストデータ設定用レジスタ21の信号S7が選択される。テストデータ設定用レジスタ21がテストデータ格納手段に相当し、テストモード設定用レジスタ22とセレクタ23とが選択手段に相当する。
次に、上記のように構成された本実施の形態の半導体集積回路Aの動作を説明する。
まず、正常時の動作を図5の波形図を用いて説明する。
図5において、P3はテストモード切替ポイント、P4はテスト用データ切り替えポイントである。初期のリセット時に、テストデータ設定用レジスタ21、テストモード設定用レジスタ22は“0”にリセットされる。リセット解除後、テストモード切替ポイントP3において、レジスタリード・ライト回路8によってテストモード設定用レジスタ22の値S6を“1”にセットし、セレクタ23において、テストデータ設定用レジスタ21の値S7を選択する。このとき、テストデータ設定用レジスタ21の値S7は“0”であり、この“0”を基準信号S1として出力バッファ9に送出し、出力バッファ9を通った参照信号S2を外部故障検出回路11における不一致検出回路12で比較判定する。
その後、一定時間後にテスト用データ切り替えポイントP4にてテストデータ設定用レジスタ21に“1”をライトする。この“1”を基準信号S1として出力バッファ9に送出し、出力バッファ9を通った参照信号S2を外部故障検出回路11における不一致検出回路12で比較判定する。
このようにして、出力バッファ9の入力側にテストデータ設定用レジスタ21の値S7として“0”と“1”が順次に送出されることになる。その後のステップについては実施の形態1の場合と同様である。出力端子5においてGNDへのショートが生じていないため、外部故障検出回路11におけるレジスタ14の値S5は、リセットされた状態のままの“0”を保つことになる。
次に、異常時(ショート時)の動作を図6の波形図を用いて説明する。ここでは、出力端子5がGNDにショートしている場合を想定する。したがって、出力端子5における参照信号S2の波形は“0”に固定されたものとなっている。
上記と同様に、テストモード設定用レジスタ22の値S6を“1”にセットし、セレクタ23において、テストデータ設定用レジスタ21の値S7を選択する。この値S7は、テストモード切替ポイントP3の直後で“0”であり、テスト用データ切り替えポイントP4の直後で“1”である。
値S7が“0”のときは、出力端子5にGNDへのショートが生じていても、外部故障検出回路11におけるレジスタ14の値S5は初期値の“0”のままである。一方、値S7が“1”のときは、出力端子5にGNDへのショートが生じておれば、外部故障検出回路11におけるレジスタ14の値S5は“1”に反転する。
図4、図5の説明の通り、ショートの有無によってレジスタリードポイントP1におけるレジスタ14の値S5が互いに相違する。
上述の実施の形態1の場合には、複数の出力端子に適用して複数の実動作モードがあるとすると、チェック対象の出力端子が一度に動作していない場合が存在する。その場合は、モードをセレクトしながら必要回数テストする必要があるため時間がかかる。これに対して、本実施の形態においては、同時に複数の出力端子の基準データをモードによらずに一度に設定し、一度で判別することが可能となる。
また、隣接端子が同一論理の信号を出力している場合があり、実施の形態1の場合は、端子間でショートした時にはショートが検出できない。これに対して、本実施の形態によれば、隣接する端子のテストデータ用レジスタ21のデータを“1”,“0”逆相で入力することにより、判別することが可能になる。
(実施の形態3)
図7は本発明の実施の形態3における半導体集積回路の構成を示すブロック回路図である。これは、実施の形態2の技術を入力端子に適用した例である。実施の形態2との相違点を中心に説明する。
図7において、31は入力端子、32は入力バッファ、33はトライステートバッファである。入力端子31は入力バッファ32を介して内部回路7に接続されている。テストデータ設定用レジスタ21の出力端子は不一致検出回路12とトライステートバッファ33の入力側に接続されている。トライステートバッファ33の出力側は、入力端子31と入力バッファ32との接続ラインに接続され、モードセレクト用レジスタ22はトライステートバッファ33の制御端子に接続されている。さらに、入力バッファ32の出力側は不一致検出回路12の他端入力に接続されている。テストモード設定用レジスタ22とトライステートバッファ33とがスイッチ手段に相当する。
次に、上記のように構成された本実施の形態の半導体集積回路Aの動作を説明する。
検査時において、テストモード設定用レジスタ22を“1”に設定すると、トライステートバッファ33が導通状態となる。テストデータ設定用レジスタ21の値S7は、一方において直接に不一致検出回路12の一方の入力端子に印加される。他方において、値S7は、導通状態にあるトライステートバッファ33を介して入力端子31と入力バッファ32の接続点に伝播し、さらに入力バッファ32を介して不一致検出回路12の他方の入力端子に印加される。入力端子31において、GNDへのショートがなく正常であれば、不一致検出回路12において両信号は一致し、レジスタ14の値S5は“0”のままとなる。一方、入力端子31において、GNDへのショートが生じていれば、テストデータ設定用レジスタ21の値S7が“0”のときにはレジスタ14の値S5は“0”のままであるが、値S7が“1”のときは、入力バッファ32を通った値S8が“0”であるので、不一致検出回路12で両信号は不一致となり、レジスタ14の値S5が“1”に反転する。なお、実装基板上での前段の半導体集積回路の出力端子はハイインピーダンス状態に制御しておくものとする。
本実施の形態によれば、実施の形態2と同様に入力端子においても不具合を検出することが可能となる。
(実施の形態4)
図8は本発明の実施の形態4における半導体集積回路の構成を示すブロック回路図である。これは、実施の形態1,2の外部故障検出回路11の構成を変更したものの相当する。
図8において、41はトグル型のフリップフロップ、42はAND回路であり、入力バッファ10の出力がフリップフロップ41とAND回路42とに接続され、フリップフロップ41の出力はAND回路42に反転されて接続されている。さらにAND回路42の出力がトグル型のレジスタ43のセット入力に接続されている。入力バッファ10が出力端子5の電位をモニターするモニター手段に相当し、フリップフロップ41とAND回路42とがモニター手段で得られた出力端子5における外部側のパルスの有無を検出するパルス検出手段に相当し、レジスタ43がパルス検出手段によるパルス検出信号S10を保持するパルス検出信号保持手段に相当している。
次に、上記のように構成された本実施の形態の半導体集積回路Aの動作を説明する。
AND回路42に対して、入力バッファ10の出力信号S9と、この信号S9がフリップフロップ41で1T遅延され反転された信号とがに入力される。出力端子5においてGNDや電源へのショートがなく正常な場合には、出力端子5にパルスが現れたときは、そのパルスの立ち上がりがAND回路42で検出され、パルス検出信号S10が“1”となり、レジスタ43が“1”にセットされる。つまり、問題がない場合はトグル型のレジスタ43には“1”が書き込まれる。一方、実装基板上で出力端子5がGNDや電源へのショートを起こしているときには、AND回路42によるパルス検出信号S10が“0”となり、トグル型のレジスタ43は“0”にセットされる。このように、ショートのある場合とない場合とで、レジスタ43のセット値が異なるため、不具合の判別が可能となる。ただし、実施の形態1,2の場合とは逆に、レジスタリード・ライト回路8でレジスタ43の値をリードした場合に、“1”であればOKと判定し、“0”であればNGと判定する。
なお、出力端子5において、“H”,“L”の出力動作をしている隣接間同士の場合に例外とする。
本発明の半導体集積回路は、実装基板に複数搭載された場合に、入力・出力端子の電源ショート、GNDショート、隣接端子間ショート等の不具合の検出を、前段・後段の半導体集積回路の介在を必要とすることなく容易に実現する技術として有用である。
本発明の実施の形態1における半導体集積回路の構成を示すブロック回路図 本発明の実施の形態1における半導体集積回路の問題なし時の動作波形図 本発明の実施の形態1における半導体集積回路のショート時の動作波形図 本発明の実施の形態2における半導体集積回路の構成を示すブロック回路図 本発明の実施の形態2における半導体集積回路の問題なし時の動作波形図 本発明の実施の形態2における半導体集積回路のショート時の動作波形図 本発明の実施の形態3における半導体集積回路の構成を示すブロック回路図 本発明の実施の形態4における半導体集積回路の構成を示すブロック回路図
符号の説明
A 半導体集積回路
1 クロック入力端子
2 リセット信号入力端子
3 シリアル信号入力端子
4 入力端子群
5 出力端子
6 出力端子群
7 内部回路
8 シリアルIFのレジスタリード・ライト回路
9 出力バッファ
10 入力バッファ
11 外部故障検出回路
12 排他的論理和回路
13 フリップフロップ
14 レジスタ
21 テストデータ設定用レジスタ
22 テストモード設定用レジスタ
23 セレクタ
31 入力端子
32 入力バッファ
33 トライステートバッファ
41 フリップフロップ
42 AND回路
43 レジスタ
CK クロック
RST リセット信号

Claims (13)

  1. 内部回路が出力する信号を出力バッファを介して外部に出力する出力端子における外部側の信号と前記出力バッファの入力側の信号との不一致を検出する不一致検出回路と、前記不一致検出回路による不一致検出信号を保持する不一致検出信号保持回路とを含んで構成された外部故障検出回路を備えた半導体集積回路。
  2. 前記不一致検出回路は排他的論理和回路で構成され、前記不一致検出信号保持回路はレジスタで構成されている請求項1に記載の半導体集積回路。
  3. さらに、テストデータを格納するテストデータ格納手段と、前記内部回路が出力する信号と前記テストデータ格納手段からの前記テストデータとを選択して前記出力バッファに出力する選択手段とを備えた請求項1または請求項2に記載の半導体集積回路。
  4. 前記テストデータ格納手段はレジスタで構成され、前記選択手段はセレクタとこのセレクタを切り替えるレジスタで構成されている請求項3に記載の半導体集積回路。
  5. テストデータを格納するテストデータ格納手段と、入力端子と内部回路との間に挿入された入力バッファの出力側の信号と前記テストデータ格納手段からの前記テストデータとの不一致検出を検出する不一致検出回路と、前記不一致検出回路による不一致検出信号を保持する不一致検出信号保持回路と、前記テストデータ格納手段からの前記テストデータを前記入力バッファの入力側に伝達するスイッチ手段とを備えた半導体集積回路。
  6. 前記テストデータ格納手段はレジスタで構成され、前記不一致検出回路は排他的論理和回路で構成され、前記スイッチ手段はトライステートバッファとこのトライステートバッファを導通制御するレジスタで構成されている請求項5に記載の半導体集積回路。
  7. さらに、前記不一致検出回路と前記不一致検出信号保持回路との間に、前記不一致検出回路による不一致検出信号の不正規パルスを除去するための不正規パルス除去手段を備えた請求項1から請求項6までのいずれかに記載の半導体集積回路。
  8. 出力端子の電位をモニターするモニター手段と、前記モニター手段で得られた前記出力端子における外部側のパルスの有無を検出するパルス検出手段と、パルス検出手段によるパルス検出信号を保持するパルス検出信号保持手段とを含んで構成された外部故障検出回路とを備えた半導体集積回路。
  9. 前記モニター手段は入力バッファで構成され、前記パルス検出手段は前記入力バッファの出力信号と前記出力信号をフリップフロップに通しかつ反転させた信号とを入力に持つAND回路で構成され、前記パルス検出信号保持手段はレジスタで構成されている外部故障検出回路を有する請求項8に記載の半導体集積回路。
  10. 請求項1または請求項2に記載の実装基板上の半導体集積回路における内部回路を実動作モードで動作させ、前記外部故障検出回路における前記不一致検出信号保持回路が保持している前記不一致検出信号の値を読み出すことにより、前記実装基板上の出力端子の状態を判断する半導体集積回路の検査方法。
  11. 請求項3または請求項4に記載の実装基板上の半導体集積回路において、前記テストデータ格納手段からのテストデータを選択入力し、前記外部故障検出回路における前記不一致検出信号保持回路が保持している前記不一致検出信号の値を読み出すことにより、前記実装基板上の出力端子の状態を判断する半導体集積回路の検査方法。
  12. 請求項5または請求項6に記載の実装基板上の半導体集積回路において、前記テストデータ格納手段からのテストデータを選択入力し、前記外部故障検出回路における前記不一致検出信号保持回路が保持している前記不一致検出信号の値を読み出すことにより、前記実装基板上の入力端子の状態を判断する半導体集積回路の検査方法。
  13. 請求項8または請求項9に記載の実装基板上の半導体集積回路における内部回路を実動作モードで動作させ、前記外部故障検出回路における前記パルス検出信号保持手段が保持している前記パルス検出手段の値を読み出すことにより、前記実装基板上の出力端子の状態を判断する半導体集積回路の検査方法。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014109453A (ja) * 2012-11-30 2014-06-12 Renesas Electronics Corp 半導体装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6478176A (en) * 1987-09-21 1989-03-23 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor integrated circuit
JPH03263914A (ja) * 1990-03-14 1991-11-25 Fujitsu Ltd 信号整形回路
JPH06324119A (ja) * 1993-05-14 1994-11-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 出力パッド回路
JPH11248797A (ja) * 1998-02-27 1999-09-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体集積回路装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1339631A (en) * 1970-01-24 1973-12-05 Ricoh Kk Data processing arrangements
JP2654352B2 (ja) * 1994-07-29 1997-09-17 日本電気アイシーマイコンシステム株式会社 半導体集積回路
US6199182B1 (en) * 1997-03-27 2001-03-06 Texas Instruments Incorporated Probeless testing of pad buffers on wafer
KR20040101660A (ko) * 2003-05-26 2004-12-03 삼성전자주식회사 테스트용 신호 패스를 가지는 출력 버퍼 회로 및 이에대한 테스트 방법
US7609080B2 (en) * 2005-03-22 2009-10-27 Formfactor, Inc. Voltage fault detection and protection

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6478176A (en) * 1987-09-21 1989-03-23 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor integrated circuit
JPH03263914A (ja) * 1990-03-14 1991-11-25 Fujitsu Ltd 信号整形回路
JPH06324119A (ja) * 1993-05-14 1994-11-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 出力パッド回路
JPH11248797A (ja) * 1998-02-27 1999-09-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体集積回路装置

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