JP5148690B2 - 半導体試験装置および試験方法 - Google Patents
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Description
1. 直流(DC)利得を低下させ、相対的に交流(AC)利得を持ち上げる方式
2. ピーキング回路としてパッシブ素子で構成する方式
3. ビット単位(ユニットインターバル単位)でのフィードバック加算制御をデジタル信号処理により行う方式
(1)トランスミッタからパターンシーケンスに応じた信号を出力させる。
(2)信号に応じたデータをラッチ回路によりクロックのエッジでラッチする。
(3)ラッチ回路によりラッチされたデータを、パターンシーケンスに応じた期待値と比較する。
(4)マトリクス状に取得された比較結果を示す比較データにもとづいて、第1デバイスの良否を判定する。
この態様によると、マトリクス状の比較データを用いることにより、イコライザ回路の機能にもとづいて第1デバイスの良否を判定することができる。
シミュレーションや、予め選定された良品デバイスの測定結果から、マトリクスと対応する期待値データを生成することができる。これを期待値とすることにより、第1デバイスの良否を好適に判定できる。
(5)トランスミッタからパターンシーケンスに応じた信号を出力させる。
(6)信号に応じたデータをラッチ回路によりクロックのエッジでラッチする。
(7)ラッチ回路によりラッチされたデータを、パターンシーケンスに応じた期待値と比較する。
(8)マトリクス状に取得された比較結果を示す比較データにもとづいて、第2デバイスの良否を判定する。
(態様2) 同一品種、別サンプルに搭載されるトランスミッタとレシーバを接続するバックトゥバック試験(つまり第1デバイス200および第2デバイス220は別のデバイス)
(態様3) 別品種、別サンプルに搭載されるトランスミッタとレシーバを接続するバックトゥバック試験(つまり第1デバイス200および第2デバイス220は別のデバイス)
制御部16は、試験時における第1デバイス200および第2デバイス220の動作を制御する。制御部16は、第1デバイス200のトランスミッタからパターンシーケンスS1に応じた差動信号S4を出力させ、その状態で、第2デバイス220のラッチ回路230に差動信号S5に応じたデータS7をラッチさせる。その結果、ラッチされたデータS9と期待値データS10の比較結果を示す比較データS11が、期待値比較回路236によってパターンシーケンスS1のビットごとに順次生成される。
この場合、第1デバイス200がDUTとなり、第2デバイス220が基準デバイスとなる。制御部16は、第2デバイス220側のイコライジング回路224の機能をオフさせ、あるいは、実使用時において標準となるゲインに設定する。
1. 第1デバイス200のイコライザ回路210のゲイン
2. ラッチ回路230に供給されるクロックCLKのエッジのタイミング
の2つのパラメータをマトリクス状に変化させる。その結果、比較データS11は、2つのパラメータの組み合わせごとにマトリクス状に取得される。なお、クロックCLKのタイミングとイコライザ回路210のゲインの制御は、第1デバイス200および第2デバイス220に実装されるBIST(Built-In Self-Test)機能によって自動的に実行されてもよい。この場合、制御部16はBISTの開始タイミングを制御することになる。
この場合、第2デバイス220がDUTとなり、第1デバイス200が基準デバイスとなる。制御部16は第1デバイス200側のイコライザ回路210の機能をオフさせ、あるいは実使用時において標準となるゲインに設定する。そして(1)の場合と同様に、第2デバイス220のイコライジング回路224のゲインおよびラッチ回路230に供給されるクロックCLKのエッジのタイミングをマトリクス状に変化させる。この場合も、図3と同様のマトリクス比較データが取得でき、このデータにもとづいてイコライジング回路224の性能を検証し、あるいは第2デバイス220の良否を判定することができる。
図4(a)、(b)は、イコライジング機能付きドライバ回路の構成例を示す回路図である。数Gbps以上の高速スイッチングを実現するために、いずれのドライバ回路206a、206bも、CML(Current Mode Logic)形式で構成される。図4(a)、(b)のドライバ回路206a、206bは、図1のドライバ回路206およびイコライザ回路210をCML形式で一体形成したものである。
Claims (10)
- 信号を送信するトランスミッタを備える第1デバイスと、前記トランスミッタから送信される信号を受信するレシーバを備える第2デバイスを接続し、前記第1デバイスを被試験デバイスとして試験を行う方法であって、
前記トランスミッタは、送信する前記信号の波形を整形するイコライザ回路を含み、
前記レシーバは、受信した前記信号に応じたデータをタイミング可変のクロックを用いてラッチするラッチ回路を含み、
当該試験方法は、前記レシーバに含まれるイコライザ回路の機能をオフさせ、または実使用時において標準となるゲインに設定した状態において、
前記トランスミッタからパターンシーケンスに応じた信号を出力するステップと、
前記ラッチ回路により前記信号に応じたデータを前記クロックのエッジでラッチするステップと、
前記ラッチ回路によりラッチされたデータを、前記パターンシーケンスに応じた期待値と比較するステップと、
を、前記トランスミッタの前記イコライザ回路のパラメータおよび前記ラッチ回路に供給されるクロックのエッジのタイミングをマトリクス状に変化させて実行することを特徴とする試験方法。 - マトリクス状に取得された比較結果を示す比較データにもとづいて、前記第1デバイスの良否を判定するステップをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の試験方法。
- 前記判定するステップは、マトリクスと対応づけて規定される判定条件にもとづくことを特徴とする請求項2に記載の試験方法。
- 信号を送信するトランスミッタを備える第1デバイスと、前記トランスミッタから送信される信号を受信するレシーバを備える第2デバイスを接続し、前記第1デバイスを被試験デバイスとして試験を行う試験装置であって、
前記トランスミッタは、送信する前記信号の波形を整形するイコライザ回路を含み、
前記レシーバは、受信した前記信号に応じたデータをタイミング可変のクロックを用いてラッチするラッチ回路を含み、
当該試験装置は、
前記第1デバイスと前記第2デバイスが装着されるソケットボードと、
前記ソケットボード上に形成され、前記第1デバイスと前記第2デバイスを接続する伝送線路と、
前記第1、第2デバイスの動作を制御し、前記トランスミッタからパターンシーケンスに応じた信号を出力させた状態で、前記ラッチ回路に前記信号に応じたデータをラッチさせる制御部と、
前記第2デバイスから、ラッチされたデータと前記パターンシーケンスに応じた期待値との比較結果を示す比較データを取得するデータ取得部と、
を備え、
前記制御部は、前記レシーバに含まれるイコライザ回路の機能をオフさせ、または実使用時において標準となるゲインに設定した状態において、前記トランスミッタの前記イコライザ回路のパラメータおよび前記ラッチ回路に供給されるクロックのエッジのタイミングをマトリクス状に変化させることを特徴とする試験装置。 - マトリクス状に取得された前記比較データにもとづいて、前記第1デバイスの良否を判定する判定部と、
前記判定部が良否判定の際に参照すべき判定条件としてマトリクスと対応づけて規定される期待値データを保持する期待値保持部と、
をさらに備えることを特徴とする請求項4に記載の試験装置。 - 信号を送信するトランスミッタを備える第1デバイスと、前記トランスミッタから送信される信号を受信するレシーバを備える第2デバイスを接続し、前記第2デバイスを被試験デバイスとして試験を行う方法であって、
前記レシーバは、受信した前記信号の波形を整形するイコライジング回路と、受信した前記信号に応じたデータをタイミング可変のクロックを用いてラッチするラッチ回路と、を含み、
当該試験方法は、前記トランスミッタに含まれるイコライザ回路の機能をオフさせ、あるいは実使用時において標準となるゲインに設定した状態で、
前記トランスミッタからパターンシーケンスに応じた信号を出力するステップと、
前記信号に応じたデータを前記ラッチ回路により前記クロックのエッジでラッチするステップと、
前記ラッチ回路によりラッチされたデータを、前記パターンシーケンスに応じた期待値と比較するステップと、
を、前記レシーバの前記イコライジング回路のパラメータおよび前記ラッチ回路に供給されるクロックのエッジのタイミングをマトリクス状に変化させて実行することを特徴とする試験方法。 - マトリクス状に取得された比較結果を示す比較データにもとづいて、前記第2デバイスの良否を判定するステップをさらに備えることを特徴とする請求項6に記載の試験方法。
- 前記判定するステップは、マトリクスと対応づけて規定される判定条件にもとづくことを特徴とする請求項7に記載の試験方法。
- 信号を送信するトランスミッタを備える第1デバイスと、前記トランスミッタから送信される信号を受信するレシーバを備える第2デバイスを接続し、前記第2デバイスを被試験デバイスとして試験を行う試験装置であって、
前記レシーバは、受信した前記信号の波形を整形するイコライジング回路と、受信した前記信号に応じたデータをタイミング可変のクロックを用いてラッチするラッチ回路と、を含み、
当該試験装置は、
前記第1デバイスと前記第2デバイスが装着されるソケットボードと、
前記ソケットボード上に形成され、前記第1デバイスと前記第2デバイスを接続する伝送線路と、
前記第1、第2デバイスの動作を制御し、前記トランスミッタからパターンシーケンスに応じた信号を出力させた状態で、前記ラッチ回路に前記信号に応じたデータをラッチさせる制御部と、
前記第2デバイスから、ラッチされたデータと前記パターンシーケンスに応じた期待値との比較結果を示す比較データを取得するデータ取得部と、
を備え、
前記制御部は、前記トランスミッタに含まれるイコライザ回路の機能をオフさせ、または実使用時において標準となるゲインに設定した状態において、前記レシーバの前記イコライジング回路のパラメータおよび前記ラッチ回路に供給されるクロックのエッジのタイミングをマトリクス状に変化させることを特徴とする試験装置。 - マトリクス状に取得された前記比較データにもとづいて、前記第2デバイスの良否を判定する判定部と、
前記判定部が良否判定の際に参照すべき判定条件として、マトリクスと対応づけて規定される期待値データを保持する期待値保持部と、
をさらに備えることを特徴とする請求項9に記載の試験装置。
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