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DE102009058796.9 2009-12-18
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Families Citing this family (67)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5864089B2 (ja) 2010-08-25 2016-02-17 日亜化学工業株式会社 発光装置の製造方法
DE102011016935A1 (de) * 2011-04-13 2012-10-18 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Licht emittierenden Halbleiterbauelements und Licht emittierendes Halbleiterbauelement
US8794501B2 (en) 2011-11-18 2014-08-05 LuxVue Technology Corporation Method of transferring a light emitting diode
US8573469B2 (en) 2011-11-18 2013-11-05 LuxVue Technology Corporation Method of forming a micro LED structure and array of micro LED structures with an electrically insulating layer
US8349116B1 (en) 2011-11-18 2013-01-08 LuxVue Technology Corporation Micro device transfer head heater assembly and method of transferring a micro device
US8646505B2 (en) 2011-11-18 2014-02-11 LuxVue Technology Corporation Micro device transfer head
CN103165742B (zh) * 2011-12-16 2016-06-08 清华大学 太阳能电池的制备方法
TWI455332B (zh) * 2011-12-29 2014-10-01 Advanced Wireless Semiconductor Company Solar cell and its manufacturing method
US8791551B2 (en) * 2012-03-13 2014-07-29 Formosa Microsemi Co., Ltd. Well-through type diode element/component and manufacturing method for them
US8867582B2 (en) 2012-04-04 2014-10-21 Osram Opto Semiconductors Gmbh Laser diode assembly
US8737445B2 (en) 2012-04-04 2014-05-27 Osram Opto Semiconductors Gmbh Laser diode assembly
US9008138B2 (en) 2012-04-12 2015-04-14 Osram Opto Semiconductors Gmbh Laser diode device
DE102012103160A1 (de) 2012-04-12 2013-10-17 Osram Opto Semiconductors Gmbh Laserdiodenvorrichtung
JP2013258234A (ja) 2012-06-12 2013-12-26 Disco Abrasive Syst Ltd 光デバイスの加工方法
JP2013258231A (ja) * 2012-06-12 2013-12-26 Disco Abrasive Syst Ltd 光デバイスの加工方法
JP6025410B2 (ja) 2012-06-12 2016-11-16 株式会社ディスコ 光デバイスの加工方法
JP6029338B2 (ja) 2012-06-12 2016-11-24 株式会社ディスコ 光デバイスの加工方法
DE102012107409B4 (de) * 2012-08-13 2022-06-15 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Verfahren zur Herstellung eines Halbleiter-Laserelements
DE102012220909A1 (de) 2012-09-27 2014-05-15 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zum Vereinzeln von Bereichen einer Halbleiterschicht
DE102012111512B4 (de) 2012-11-28 2021-11-04 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Halbleiterstreifenlaser
DE102012112531A1 (de) * 2012-12-18 2014-06-18 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zur Herstellung von Halbleiter-Laserelementen und Halbleiter-Laserelement
DE102013100818B4 (de) * 2013-01-28 2023-07-27 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Optoelektronischer Halbleiterchip und Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterchips
KR102103421B1 (ko) * 2013-02-07 2020-04-23 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
DE102013202906A1 (de) * 2013-02-22 2014-08-28 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelements
DE102013107971A1 (de) * 2013-07-25 2015-01-29 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelektronischer Halbleiterchip, Halbleiterbauelement und Verfahren zur Herstellung von optoelektronischen Halbleiterchips
FI20135967A7 (fi) * 2013-09-27 2015-03-28 Lumichip Oy Asennustason monitoiminen kapselointikerros ja menetelmä sen valmistamiseksi
US9406564B2 (en) * 2013-11-21 2016-08-02 Infineon Technologies Ag Singulation through a masking structure surrounding expitaxial regions
US9300112B2 (en) 2013-12-18 2016-03-29 Lumentum Operations Llc Packaged laser diode and method of packaging a laser diode
DE102014102292A1 (de) * 2014-02-21 2015-08-27 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelements
DE102014102360A1 (de) 2014-02-24 2015-08-27 Osram Opto Semiconductors Gmbh Laserdiodenchip
US9502614B2 (en) * 2014-06-04 2016-11-22 Formosa Epitaxy Incorporation Light emitting diode chip, light emitting device, and wafer-level structure of light emitting diode
DE102014108368A1 (de) * 2014-06-13 2015-12-17 Osram Opto Semiconductors Gmbh Oberflächenmontierbares Halbleiterbauelement und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102014116141B4 (de) * 2014-11-05 2022-07-28 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Verfahren zur Herstellung zumindest eines optoelektronischen Halbleiterchips, optoelektronischer Halbleiterchip sowie optoelektronisches Halbleiterbauelement
TWI513012B (zh) * 2014-12-02 2015-12-11 Neo Solar Power Corp 異質接面太陽能電池及其製造方法
JP6557970B2 (ja) * 2014-12-26 2019-08-14 日亜化学工業株式会社 発光装置
DE102015100686A1 (de) * 2015-01-19 2016-07-21 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von Halbleiterchips und Halbleiterchip
CN104766913A (zh) * 2015-03-30 2015-07-08 映瑞光电科技(上海)有限公司 Led结构及其制造方法
DE102015108736A1 (de) 2015-06-02 2016-12-08 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelektronisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelements
JP6237826B2 (ja) * 2015-09-30 2017-11-29 日亜化学工業株式会社 パッケージ及び発光装置、並びにそれらの製造方法
US9865779B2 (en) 2015-09-30 2018-01-09 Nichia Corporation Methods of manufacturing the package and light-emitting device
DE102015118041A1 (de) 2015-10-22 2017-04-27 Osram Opto Semiconductors Gmbh Leuchtdiodenchip und Verfahren zur Herstellung eines Leuchtdiodenchips
US9893239B2 (en) 2015-12-08 2018-02-13 Nichia Corporation Method of manufacturing light emitting device
CN107403724A (zh) * 2016-05-20 2017-11-28 稳懋半导体股份有限公司 化合物半导体集成电路的抗湿气结构
KR102492134B1 (ko) * 2016-07-29 2023-01-27 트리나미엑스 게엠베하 광학 센서 및 광학적 검출용 검출기
WO2018079907A1 (ko) * 2016-10-27 2018-05-03 주식회사 엘에스텍 플렉서블 솔라셀 모듈의 제조방법 및 그 솔라셀 모듈
DE102017108435A1 (de) * 2017-04-20 2018-10-25 Osram Opto Semiconductors Gmbh Halbleiterlaserdiode und Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterlaserdiode
DE102017112223A1 (de) 2017-06-02 2018-12-06 Osram Opto Semiconductors Gmbh Halbleiterlaser-Bauteil und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterlaser-Bauteils
DE102017117135A1 (de) 2017-07-28 2019-01-31 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von Laserdioden und Laserdiode
CN107731758B (zh) * 2017-09-13 2019-12-06 厦门市三安光电科技有限公司 一种半导体元件的固晶方法及半导体元件
US11955574B2 (en) * 2017-10-05 2024-04-09 International Business Machines Corporation Photovoltaic cell form ultra-small IOT device with multi-level voltage output
CN111933771B (zh) * 2018-07-28 2023-02-17 厦门三安光电有限公司 微发光二极管及其显示装置
JP6981492B2 (ja) * 2018-08-20 2021-12-15 三菱電機株式会社 半導体レーザ装置の製造方法
CN109392253B (zh) * 2018-09-17 2020-05-19 珠海欧比特电子有限公司 一种改进型的三维立体封装方法
JP6994688B2 (ja) * 2018-09-18 2022-01-14 株式会社Ｕｓｋテクノロジー 流体殺菌装置
US11412207B2 (en) 2018-12-28 2022-08-09 Meta Platforms Technologies, Llc Planarization of overcoat layer on slanted surface-relief structures
US11307357B2 (en) * 2018-12-28 2022-04-19 Facebook Technologies, Llc Overcoating slanted surface-relief structures using atomic layer deposition
US10964905B2 (en) 2019-04-08 2021-03-30 Interdigital Ce Patent Holdings Organic light emitting diode cell comprising a set of right circular hollow cylinders
DE102020117238B4 (de) 2020-06-30 2025-03-27 First Sensor AG Anordnung für ein optoelektronisches Bauelement, Verfahren zum Herstellen und optoelektronisches Bauelement
US11597651B2 (en) * 2020-09-09 2023-03-07 Industry-Academic Cooperation Foundation, Yonsei University Layered group III-V compound and nanosheet containing phosphorus, and electrical device using the same
DE102020124258A1 (de) * 2020-09-17 2022-03-17 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Optoelektronisches halbleiterbauelement und verfahren zur herstellung zumindest eines optoelektronischen halbleiterbauelements
CN116325388B (zh) * 2020-10-07 2025-12-02 华为技术有限公司 用于非密封环境的半导体器件的形成
DE102020127014A1 (de) * 2020-10-14 2022-04-14 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Verfahren zur Herstellung eines Licht emittierenden Halbleiterbauelements und Licht emittierendes Halbleiterbauelement
JP7387978B2 (ja) 2021-04-20 2023-11-29 日亜化学工業株式会社 発光装置
CN116454726A (zh) * 2022-01-06 2023-07-18 武汉光迅科技股份有限公司 一种用于非气密封装的光组件及密封方法
CN116260041A (zh) * 2023-01-29 2023-06-13 潍坊华光光电子有限公司 一种降低激光器烧结爬铟的芯片结构及制备方法
TWI852634B (zh) * 2023-06-15 2024-08-11 台亞半導體股份有限公司 具紫外光感測功能之環境光感測器
CN118867836A (zh) * 2024-09-25 2024-10-29 深圳市柠檬光子科技有限公司 边发射激光器及其制备方法

Family Cites Families (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01286345A (ja) 1988-05-12 1989-11-17 Mitsubishi Electric Corp 樹脂封止半導体装置
US5187547A (en) 1988-05-18 1993-02-16 Sanyo Electric Co., Ltd. Light emitting diode device and method for producing same
JPH05318826A (ja) 1992-05-27 1993-12-03 Rohm Co Ltd Ｌｅｄアレイプリントヘッドの構造
GB2295722B (en) 1994-11-30 1997-12-17 Motorola Ltd Method of packaging integrated circuits
US5861636A (en) 1995-04-11 1999-01-19 Nec Corporation Surface emitting visible light emiting diode having ring-shaped electrode
BR9709998B1 (pt) * 1996-06-26 2010-04-20 elemento de construção semicondutor, irradiador de luz, com elemento de conversão de luminescência
DE19638667C2 (de) 1996-09-20 2001-05-17 Osram Opto Semiconductors Gmbh Mischfarbiges Licht abstrahlendes Halbleiterbauelement mit Lumineszenzkonversionselement
US5851849A (en) 1997-05-22 1998-12-22 Lucent Technologies Inc. Process for passivating semiconductor laser structures with severe steps in surface topography
DE19964252A1 (de) 1999-12-30 2002-06-06 Osram Opto Semiconductors Gmbh Oberflächenmontierbares Bauelement für eine LED-Weißlichtquelle
US6368899B1 (en) 2000-03-08 2002-04-09 Maxwell Electronic Components Group, Inc. Electronic device packaging
US20010052752A1 (en) * 2000-04-25 2001-12-20 Ghosh Amalkumar P. Thin film encapsulation of organic light emitting diode devices
US7476420B2 (en) 2000-10-23 2009-01-13 Asm International N.V. Process for producing metal oxide films at low temperatures
JP4545956B2 (ja) 2001-01-12 2010-09-15 ローム株式会社 半導体装置、およびその製造方法
US6841802B2 (en) * 2002-06-26 2005-01-11 Oriol, Inc. Thin film light emitting diode
JP2004095765A (ja) 2002-08-30 2004-03-25 Nichia Chem Ind Ltd 発光装置およびその製造方法
KR100523484B1 (ko) 2002-11-11 2005-10-24 한국전자통신연구원 전류 제한 구조를 갖는 반도체 광소자의 제조방법
US7294360B2 (en) * 2003-03-31 2007-11-13 Planar Systems, Inc. Conformal coatings for micro-optical elements, and method for making the same
US7405468B2 (en) * 2003-04-11 2008-07-29 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Plastic package and method of fabricating the same
JP2005019946A (ja) 2003-05-30 2005-01-20 Sanyo Electric Co Ltd メサ分離型モノリシック発光ダイオードアレイ及びその製造方法
JP4349032B2 (ja) 2003-08-05 2009-10-21 日亜化学工業株式会社 発光装置及びその製造方法
JP2005093649A (ja) 2003-09-17 2005-04-07 Oki Data Corp 半導体複合装置、ｌｅｄプリントヘッド、及び、それを用いた画像形成装置
DE102004050371A1 (de) 2004-09-30 2006-04-13 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelektronisches Bauelement mit einer drahtlosen Kontaktierung
US7348193B2 (en) * 2005-06-30 2008-03-25 Corning Incorporated Hermetic seals for micro-electromechanical system devices
JP4203087B2 (ja) 2006-07-25 2008-12-24 株式会社沖データ 半導体複合装置、ｌｅｄプリントヘッド及び画像形成装置
JP4172515B2 (ja) * 2006-10-18 2008-10-29 ソニー株式会社 発光素子の製造方法
TWI346395B (en) 2007-03-02 2011-08-01 Advanced Optoelectronic Tech Packaging structure of laser diode surface mount device and fabricating method thereof
GB2447091B8 (en) * 2007-03-02 2010-01-13 Photonstar Led Ltd Vertical light emitting diodes
TW200841393A (en) 2007-04-02 2008-10-16 Miin-Jang Chen Optoelectronic device and method of fabricating the same
US7939932B2 (en) * 2007-06-20 2011-05-10 Analog Devices, Inc. Packaged chip devices with atomic layer deposition protective films
JP5493252B2 (ja) 2007-06-28 2014-05-14 日亜化学工業株式会社 半導体発光素子
JP5245594B2 (ja) * 2007-07-27 2013-07-24 日亜化学工業株式会社 発光装置及びその製造方法
JP2009076896A (ja) 2007-08-31 2009-04-09 Panasonic Corp 半導体発光素子
EP2208239A1 (en) 2007-10-11 2010-07-21 Jie Yao Photo-detector array and semiconductor image intensifier
WO2009061704A2 (en) * 2007-11-06 2009-05-14 Hcf Partners, L.P. Atomic layer deposition encapsulation
DE102008019902A1 (de) 2007-12-21 2009-06-25 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelektronisches Bauelement und Herstellungsverfahren für ein optoelektronisches Bauelement
JP2009252798A (ja) * 2008-04-01 2009-10-29 Mitsumi Electric Co Ltd カーボンナノチューブ電界効果トランジスタおよびその製造方法
US20090289349A1 (en) 2008-05-21 2009-11-26 Spatial Photonics, Inc. Hermetic sealing of micro devices
US20100164083A1 (en) * 2008-12-29 2010-07-01 Numonyx B.V. Protective thin film coating in chip packaging
DE102009033686A1 (de) * 2009-07-17 2011-01-20 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelektronisches Halbleiterbauteil und Verfahren zur Herstellung eines anorganischen optoelektronischen Halbleiterbauteils
DE102009060749B4 (de) 2009-12-30 2021-12-30 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Optoelektronischer Halbleiterchip
JP5864089B2 (ja) 2010-08-25 2016-02-17 日亜化学工業株式会社 発光装置の製造方法

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