JP2009076896A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】貫通転移などの欠陥が少ない柱状構造体を用いて、放熱特性を改善できる半導体発光素子を提供する。
【解決手段】半導体発光素子100は、基板1と、基板1側から第1導電型の半導体領域11、半導体発光領域12、第2導電型の半導体領域13をこの順に含み、基板1の主面上に立設している複数の柱状構造体20と、少なくとも半導体発光領域12の側面12Sを覆い、酸化シリコンよりも大きな熱伝導率を有している被覆材料からなる被覆膜5と、複数の柱状構造体20の第1導電型の半導体領域11と電気的に接続された第1電極4と、複数の柱状構造体20の第2導電型の半導体領域13と電気的に接続された第2電極3と、を備える。
【選択図】図1
【解決手段】半導体発光素子100は、基板1と、基板1側から第1導電型の半導体領域11、半導体発光領域12、第2導電型の半導体領域13をこの順に含み、基板1の主面上に立設している複数の柱状構造体20と、少なくとも半導体発光領域12の側面12Sを覆い、酸化シリコンよりも大きな熱伝導率を有している被覆材料からなる被覆膜5と、複数の柱状構造体20の第1導電型の半導体領域11と電気的に接続された第1電極4と、複数の柱状構造体20の第2導電型の半導体領域13と電気的に接続された第2電極3と、を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体発光素子に係り、詳しくは、半導体発光領域を有している複数の柱状構造体を用いた半導体発光素子の改良に関する。
窒化ガリウム(GaN)系材料は、紫外域から可視域に亘る幅広い範囲で発光可能な半導体材料として、様々な分野への応用が期待されている。一般に、サファイア基板上にGaN層を結晶成長させる手法が用いられるが、サファイア基板とGaNとの間には大きな格子不整合が存在する。これにより、GaN層に貫通転移などの欠陥が発生するという問題が発生する。
このような貫通転移の発生に対処する手法として、窒化物半導体からなるナノサイズの柱状結晶構造体(以下、必要に応じて「ナノワイヤ」という)の開発が有望視されている。このようなナノワイヤには、貫通転移などの欠陥が極めて少ないことに加えて、シリコン(Si)基板上にも結晶成長が可能という上述の一般的な手法によるGaN層に比較した有利な特徴がある。
図9は、窒化物半導体ナノワイヤを用いた従来の発光ダイオード(Light Emitting Diode;以下、必要に応じて「ナノワイヤLED」と略す)の構造例を示した断面図である(例えば、特許文献1および特許文献2参照)。
図9のナノワイヤLED300によれば、n型Si基板61の主面上に、n型GaN領域51、InGaN多重量子井戸52、および、p型GaN領域53からなる窒化物半導体ナノワイヤ50が複数個配置されている。窒化物半導体ナノワイヤ50のそれぞれの周辺には、透明なSOG(Spin On Glass)材料やSiO2などのシリコン酸
化膜62が埋め込まれ、p型GaN領域53の先端部が、p型電極63により共通に接続されている。n型Si基板51の裏面には、n型電極64が形成されている。
特開2005−228936号公報
特開2007−27298号公報
化膜62が埋め込まれ、p型GaN領域53の先端部が、p型電極63により共通に接続されている。n型Si基板51の裏面には、n型電極64が形成されている。
しかし、従来のナノワイヤLED300では、例えば、ナノワイヤLED300の高出力化を考慮すると、以下の不都合が生じる。
ナノワイヤLED300においては、窒化物半導体ナノワイヤ50の周囲が酸化シリコンを主とする熱伝導性に劣るシリコン酸化膜62によって覆われているので、ナノワイヤLED300の放熱性が極めて悪い。この場合は、ナノワイヤLED300の高出力化に重大な支障をきたす。
また、ナノワイヤLED300の上面50Uに配されたp型電極63が光を吸収あるいは反射すると、ナノワイヤLED300内部に熱を蓄えてしまう。この場合、上述のナノワイヤLED300の熱問題はより顕著になる。
また、従来のナノワイヤLED300では、発光効率の観点、および、上面50Uからの光取り出し効率の観点において未だ改善の余地がある。
例えば、窒化物半導体ナノワイヤ50の表面を適切に被覆しないと、その表面にダングリングボンドなどの欠陥が発生する。ダングリングボンドは、バンドギャップ内に再結合準位(表面準位)を発生させ、電子あるいは正孔の捕獲中心となる。これにより、ナノワイヤLED300は発光効率の低下を招く。なお、ダングリングボンドにおける光吸収が、ナノワイヤLED300の光損傷をもたらす場合もある。
一方、上述の如く、ナノワイヤLED300の上面50Uに配された電極が光を吸収あるいは反射すると、ナノワイヤLED300の上面50Uからの光取り出し効率が低下する。LEDの電極として通用されている極薄膜のNi/Au電極の光透過率は40〜50%程度であり、ITO電極などの透明電極の光透過率は60〜80%程度である。よって、窒化物半導体ナノワイヤ50の上面50Uに電極を配するという特異な構造を採用する限りは、これらの電極の光透過率の多少に、ナノワイヤLED300の上面50Uからの光取り出し効率の最大値は律則されてしまう。
また、従来のナノワイヤLED300では、電極との間のコンタクト抵抗についても、以下の不都合がある。
例えば、上述の特異な構造においては、p型電極63とp型GaN領域53との間のコンタクト面積は、窒化物半導体ナノワイヤ50の断面積に制約される。つまり、従来のナノワイヤLED300では、窒化物半導体のp型電極との間のコンタクト抵抗が高めであるにも拘らず、このコンタクト面積を充分に確保できない。また、個々の窒化物半導体ナノワイヤ50の直径や長さのばらつきにより、p型電極63とp型GaN領域53との間のコンタクト面積が変動する場合もある。そして、このことが、ナノワイヤLED300の発光特性のばらつきを与える一要因となる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、貫通転移などの欠陥が少ない柱状構造体を用いて、放熱特性を改善できる半導体発光素子を提供することを目的とする。
また、本発明は、上述の柱状構造体を用いて、発光効率および上面からの光取り出し効率を向上できる半導体発光素子を提供することも目的とする。
また、本発明は、上述の柱状構造体を用いて、電極とのコンタクト特性を改善できる半導体発光素子を提供することも目的とする。
上記課題を解決するため、本発明は、基板と、基板側から第1導電型の半導体領域と、半導体発光領域と、第2導電型の半導体領域とをこの順に含み、前記基板の主面上に立設している複数の柱状構造体と、少なくとも前記半導体発光領域の側面を覆い、酸化シリコンよりも大きな熱伝導率を有している被覆材料からなる被覆膜と、前記複数の柱状構造体の前記第1導電型の半導体領域と電気的に接続された第1電極と、前記複数の柱状構造体の前記第2導電型の半導体領域と電気的に接続された第2電極と、を備えた半導体発光素子を提供する。
上述の被覆材料は、酸化シリコンよりも大きな熱伝導率を有しているので、被覆膜は、熱伝導層として機能でき、半導体発光領域の内部で発生した熱を、被覆膜を通して基板側に効率的に逃がすことができる。
よって、本発明の半導体発光素子では、半導体発光素子に伴う様々な熱問題に適切に対処でき、例えば、半導体発光素子の高出力化が容易になる。
ここで、前記被覆材料の一例として、アルミニウムナイトライド、アルミニウムガリウムナイトライド、および、アルミオキサイドのうちの何れかを用いることができる。
アルミニウムナイトライドおよびアルミニウムガリウムナイトライドは、酸化シリコンよりも2桁程度も熱伝導率が高く、熱伝導層を構成する材料として極めて好都合である。同様に、アルミオキサイドは、酸化シリコンよりも1桁程度も熱伝導率が高く、熱伝導層を構成する材料として極めて好都合である。
また、上記柱状構造体を窒化物半導体により構成する場合には、これらの被覆材料の屈折率は、窒化物半導体(例えば窒化ガリウム)の屈折率よりも小さいので、被覆膜は、光閉じ込め層として機能できる。つまり、柱状構造体をコア部とし、このコア部の周囲を覆う被覆膜をクラッド部とする光導波路を形成することができる。よって、柱状構造体および被覆膜の中に光を閉じ込めることにより、柱状構造体の上面に光を適切に導くことができる。その結果、柱状構造体の上面からの光取り出し効率が改善する。
また、上記柱状構造体を窒化物半導体により構成する場合には、被覆膜の被覆材料として、アルミニウムナイトライド、または、アルミニウムガリウムナイトライドを用いることが望ましい。アルミニウムナイトライド、または、アルミニウムガリウムナイトライドは、MOCVD法やMBE法などを用いて窒化物半導体ナノワイヤ20の周囲に結晶成長することが可能である。従って、窒化物半導体発光領域と被覆膜との界面は、窒化物半導体同士のヘテロ接合の形成が可能になる。このため、この界面においてダングリングボンドなどの欠陥の発生は殆どなくなり、窒化物半導体発光領域の表面の発光に寄与しない表面再結合を抑制できる。
また、この場合、被覆膜の被覆材料として、アルミオキサイドを用いても、窒化物半導体発光領域と被覆膜の界面においてダングリングボンドなどの欠陥の発生を少なくできる。これにより、窒化物半導体発光領域の表面の発光に寄与しない表面再結合を抑制できる。アルミオキサイドは、原子層成長(ALD法)などを利用することで緻密な膜の形成が可能であり、アルミニウムナイトライドやアルミニウムガリウムナイトライドよりも絶縁性が高いという利点がある。
このようにして、本発明の半導体発光素子では、上述の表面再結合の抑制により、半導体発光素子の発光効率の向上が図れる。
また、バンドギャップ内に表面準位における光吸収が抑制され、これにより、半導体発光素子の光損傷による信頼性低下を抑制できる。
なお、本発明の半導体発光素子は、前記柱状構造体間の隙間に配された酸化シリコンを主材料としている絶縁層を備え、前記第2電極が、前記第2導電型の半導体領域の上面に配されてもよい。
また、ここで、前記第2電極は、前記第2導電型の半導体領域のうちの前記被覆膜により被覆された被覆面以外の側面にも配されてもよい。
これにより、第2導電型の半導体領域と第2電極との間のコンタクト面積を従来よりも大きくすることができる。つまり、上記構成により、充分なコンタクト面積が確保できる。よって、極小面積の柱状構造体の上面に第2電極が形成された場合であっても、第2導電型の半導体領域の側面において充分なコンタクト面積が確保されている。このため、柱状構造体の断面形状の変化(ばらつき)に基づく、柱状構造体の第2電極との間におけるコンタクト抵抗のばらつきを適切に抑えることができる。その結果、半導体発光素子の発光特性のばらつきが抑制できる。
また、本発明の半導体発光素子は、前記柱状構造体間の隙間に配された酸化シリコンを主材料としている絶縁層を備え、前記第2電極が、前記第2導電型の窒化物半導体領域のうちの前記被覆膜により被覆された被覆面以外の側面のみに配されてもよい。
これにより、柱状構造体の上面から光を取り出す際の第2電極による光の吸収や反射を無くすことができる。よって、柱状構造体の上面からの光取り出し効率が向上するとともに、第2電極の光吸収あるいは光反射に起因する半導体発光素子の内部の蓄熱を適切に防止できる。
また、前記柱状構造体は、前記基板の主面からの延在方向に先細りのテーパ形状にしてもよい。
これにより、半導体発光領域から発光された光を散乱させ易くなり、柱状構造体の上面からの光取り出し効率が向上する。
また、前記絶縁層の内部に蛍光体を配してもよい。
これにより、半導体発光領域から発光された光によって、蛍光体を励起発光させることができ、半導体発光素子の発光色を蛍光体で制御することができる。
また、本発明は、基板の主面上に、前記基板側から第1導電型の半導体領域、半導体発光領域、および、第2導電型の半導体領域をこの順に成長させ、これらの領域を含む複数の柱状構造体を形成する工程と、前記柱状構造体のそれぞれの表面全域を覆うように、酸化シリコンよりも大きな被覆材料からなる被覆膜を形成する工程と、前記被覆膜の形成工程の後、前記柱状構造体間の隙間に酸化シリコンを主材料とする絶縁層を埋め込む工程と、前記柱状構造体を被覆している被覆膜の一部を除去して、前記第2導電型の半導体領域の少なくとも上面を露出させる工程と、露出された前記第2導電型の半導体領域の上面に接触する電極を形成する工程と、を含んでいる半導体発光素子の製造方法を提供する。
このように、柱状構造体を形成した後、柱状構造体の表面が被覆膜により包まれて保護されているので、その後工程において、柱状構造体(特に半導体発光領域)への電極材料などの不純物混入を適切に防止できる。よって、この場合、被覆膜は、柱状構造体を保護する保護層としての機能を果たす。
また、本発明の半導体発光素子の製造方法では、柱状構造体間に存在する隙間が絶縁層によって埋め込まれているので、柱状構造体と基板との密着性、および、柱状構造体の機械的強度を向上することができる。よって、柱状構造体を被覆している被覆膜の一部を除去(例えばCMP研磨技術により被覆膜を除去)しても、柱状構造体が基板から剥離するといった問題を適切に回避できる。また、柱状構造体間に存在する隙間が絶縁増により埋め込まれているので、電極のリソグラフィ工程において、当該隙間へのレジスト吸い込みも適切に抑制できる。更に、絶縁性の被覆膜および絶縁層によって、第2導電型の半導体領域と基板とを完全に分離できるので、電極による両者間の短絡などの問題が適切に回避できる。
また、上記半導体発光素子の製造方法において、前記柱状構造体を被覆している被覆膜の一部を除去する際に、前記第2導電型の半導体領域の上面の他、その側面も露出させ、露出された前記第2導電型の半導体領域の上面および側面に前記電極を形成してもよい。
また、上記半導体発光素子の製造方法において、前記電極を形成する工程の後、前記上面に形成された前記電極を除去する工程を含んでもよい。
なお、この場合、上述のとおり、柱状構造体間に存在する隙間が絶縁層によって埋め込まれているので、柱状構造体の上面に形成された電極を、例えば、CMP研磨技術などで除去しても、柱状構造体が基板から剥離するといった問題を適切に回避できる。
本発明によれば、貫通転移などの欠陥が少ない柱状構造体を用いて、放熱特性を改善できる半導体発光素子が得られる。
また、本発明によれば、上述の柱状構造体を用いて、発光効率および上面からの光取り出し効率を向上できる半導体発光素子も得られる。
また、本発明によれば、上述の柱状構造体を用いて、電極とのコンタクト特性を改善できる半導体発光素子も得られる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態による窒化物半導体ナノワイヤを用いた発光ダイオードの構造例を示した断面図である。
図1は、本発明の第1実施形態による窒化物半導体ナノワイヤを用いた発光ダイオードの構造例を示した断面図である。
本実施形態のナノワイヤLED100では、図1に示すように、n型Si基板1の表面(主面)から立設するようにして、n型GaN領域11(n型窒化物半導体領域)、InGaN多重量子井戸12(窒化物半導体発光領域)、および、p型GaN領域13(p型窒化物半導体領域)をこの順に有している柱状(例えば円柱状)の窒化物半導体ナノワイヤ20(柱状結晶構造体)が複数配置されている。n型GaN領域11、InGaN多重量子井戸12、および、p型GaN領域12はダブルへテロ構造を成している。
このn型Si基板1を平面視(図示せず)すると、窒化物半導体ナノワイヤ20が、n型Si基板1上に面状に多数敷き詰められている。そして、窒化物半導体ナノワイヤ20の敷き詰め度(面積占有率)に応じて形成される、隣接する窒化物半導体ナノワイヤ20間の隙間が、後述するシリコン酸化膜2を埋め込む空間に対応する。
窒化物半導体ナノワイヤ20が円柱状であれば、窒化物半導体ナノワイヤ20の直径は、30nm〜200nm程度に設定され、窒化物半導体ナノワイヤ20の長さ(高さ)は、1μm〜3μm程度に設定されている。
ナノワイヤLED100の基板として、上述のn型Si基板1以外にも、n型GaN基板、n型SiC基板などを用いることができる。また、サファイア基板上のn型GaN層を基板として用いてもよい。但し、この場合、サファイア基板上のn型GaN層に電極を形成する必要がある。
また、上述のn型GaN領域11に代えて、n型AlGaNを用いることもでき、上述のp型GaN領域13に代えて、p型AlGaNを用いることもできる。
また、InGaN多重量子井戸12中のIn組成を調整することにより、InGaN多重量子井戸12は、可視波長域を含む様々な波長の光を発光できる。更に、紫外波長域の発光であれば、AlGaN多重量子井戸を発光層として用いてもよい。
また、図1に示すように、ナノワイヤLED100では、窒化物半導体ナノワイヤ20の側面の全域を覆うようにして、筒状(例えば、窒化物半導体ナノワイヤ20が円柱状であれば円筒状)の被覆膜5が配されている。この被覆膜5に熱伝導層および光閉じ込め層の機能を持たせたい場合には、下記表1の被覆材料を用いて被覆膜5を形成すればよい。
表1の被覆材料の熱伝導率は何れも、酸化シリコンの熱伝導率(1W/mK)よりも大きい。よって、当該被覆材料からなる被覆膜5によれば、窒化物半導体ナノワイヤ20の内部で発生した熱を、被覆膜5を通してn型Si基板1側に効率的に逃がすことができる。例えば、被覆膜5が少なくともInGaN多重量子井戸12の側面12Sを覆うことにより、InGaN多重量子井戸12の内部で発生した熱を、被覆膜5を通してn型Si基板1側に効率的に逃がすことができる。
更に、表1の被覆材料の屈折率は何れも、窒化ガリウム(GaN)の屈折率(2.5)よりも小さい。よって、当該被覆材料からなる被覆膜5によれば、窒化物半導体ナノワイヤ20をコア部とし、このコア部の周囲を覆う被覆膜5をクラッド部とする光導波路を形成することができる。これにより、窒化物半導体ナノワイヤ20および被覆膜5の中に光が閉じ込められることになり、窒化物半導体ナノワイヤ20の上面20Uに適切に光を導くことができる。その結果、窒化物半導体ナノワイヤ20の上面20Uからの光取り出し効率が改善する。
なお、アルミニウムガリウムナイトライド(AlGaN)の熱伝導率および屈折率は、Alの組成によって異なるので、表1には、AlGaNの熱伝導率および屈折率の数値を記載していない。具体的には、AlGaN中のAl組成を高めると、AlGaNの熱伝導率は大きくなり、AlGaNの屈折率は小さくなる。ここで、GaNの熱伝導率は130W/mKであり、AlNの熱伝導率は160〜250W/mK(表1参照)であることから、AlGaNの熱伝導率は、酸化シリコンの熱伝導率(1W/mK)よりも2桁程度高くなると理解できる。また、GaNの屈折率は2.5であり、AlNの屈折率は2.15(表1参照)であることから、AlGaNにおいてAl組成を高くすると、AlGaNの屈折率は、GaNの屈折率よりも小さくなると理解できる。
一方、この被覆膜5に熱伝導層の機能のみを持たせたい場合には、上述の表1の被覆材料に加え、下記表2の被覆材料を用いることもできる。
表2の被覆材料の熱伝導率は何れも、酸化シリコンの熱伝導率(1W/mK)よりも大きい。よって、当該被覆材料からなる被覆膜5によれば、窒化物半導体ナノワイヤ20の内部で発生した熱を、被覆膜5を通してn型Si基板1側に効率的に逃がすことができる。
ここでは、被覆膜5の材料の一例として、表1および表2に示された被覆材料群のうち、アルミオキサイド(Al2O3)、アルミニウムナイトライド(AlN)、および、アルミニウムガリウムナイトライド(AlGaN)を代表的に選び、以下、これらの被覆材料を用いた被覆膜5について説明する。
これらの被覆材料は何れも、窒化ガリウムより充分に低い屈折率および酸化シリコンよりも充分に高い熱伝導率を有している。また、これらの被覆材料は、後述のとおり、窒化物半導体ナノワイヤ20の表面のダングリングボンド低減にも適切に対応可能であると考えられる。
なお、被覆膜5の材料にAlGaNを用いる場合には、窒化物半導体ナノワイヤ20で用いる場合のAlGaN中のAl組成よりも、被覆膜5中のAl組成を高めに設定する方が好ましい。上述のとおり、AlGaNでは、Al組成を高くすると屈折率が小さくなる。したがって、被覆膜5のAl組成を、窒化物半導体ナノワイヤ20で用いる場合のAlGaN中のAl組成よりも高く設定することにより、被覆膜5を光閉じ込め層として機能させることができる。
被覆膜5の膜厚(正確には円筒状の被覆膜5の動径方向の厚み)の好適な範囲は、略5nm以上、略200nm以下の範囲である。更に、この被覆膜5に光閉じ込め機能を持たせることにより、被覆膜5をクラッド部とする光導波路を形成する場合には、被覆膜5の膜厚の範囲を、略50nm以上、略200nm以下の範囲に設定する方がより好ましい。
また、図1に示すように、ナノワイヤLED100では、窒化物半導体ナノワイヤ20間の隙間にシリコン酸化膜2が埋め込まれている。この場合、被覆膜5は、窒化物半導体ナノワイヤ20の側面とシリコン酸化膜2との間に介在している。シリコン酸化膜2を埋め込むことにより、窒化物半導体ナノワイヤ20とn型Si基板1との間の密着性を向上でき、および、窒化物半導体ナノワイヤ20の機械的強度を向上できる。
シリコン酸化膜2の高さ方向(窒化物半導体ナノワイヤ20の延在方向)の厚みは、その上面2Uが、InGaN多重量子井戸12の上面12Uよりも高い位置にくるように設計されている。こうすると、ナノワイヤLED100の製造において、InGaN多重量子井戸12の保護の観点、および、レジスト吸い込み抑制の観点から好適であるが、詳細は後述する。
なお、このシリコン酸化膜2以外にも、埋め込み絶縁層として、例えば、シリコン窒化膜(SiN膜)を用いることもできる。
また、図1に示すように、ナノワイヤLED100では、全てのp型GaN領域13の上面13Uに共通に接触することにより、p型GaN領域13と電気的に接続されたp型電極3(第2電極)が配されている。p型電極3には、Ni/Au電極やITO電極などの透明電極を用いればよい。また、n型Si基板1の裏面全域には、n型GaN領域11と電気的に接続されたn型電極4(第1電極)が配されている。n型電極4には、Ti/Al電極などを用いればよい。
次に、本発明の第1実施形態によるナノワイヤLED100の製造方法について説明する。
図2は、本発明の第1実施形態によるナノワイヤLEDの製造方法を説明するための図である。図2(a)〜図2(f)には、ナノワイヤLED100の各製造工程における断面図が示されている。
図2(a)に示すように、n型Si基板1の主面上に、有機金属気相成長法(MOCVD法)を用いて、窒化物半導体ナノワイヤ20を成長させる。この場合、上述のとおり、n型Si基板1に代えて、n型GaN基板やn型SiC基板などを用いることもできる。
Ga原料として、トリメチルガリウム(TMG)を用い、N原料として、アンモニアを用い、In原料として、トリメチルインジウム(TMI)を用いればよい。また、GaNに代えて、AlGaNを成長させる場合には、Al原料として、トリメチルアルミニウム(TMAl)を用いることができる。
n型不純物元素として、シリコン(Si)を用いることができ、この場合のSi原料として、SiH4を用いればよい。p型不純物元素として、マグネシウム(Mg)を用いる
ことができ、この場合のMg原料として、Cp2Mg(Bis cyclopenta
dienylmagnesium)を用いればよい。
ことができ、この場合のMg原料として、Cp2Mg(Bis cyclopenta
dienylmagnesium)を用いればよい。
窒化物半導体ナノワイヤ20の成長温度を800〜1100℃程度に設定し、各領域11、12、13に対応する原料を順次供給すると、n型GaN領域11、InGaN多重量子井戸12、および、p型GaN領域13が、この順番に柱状に成長する。なお、ここでは、個々の窒化物半導体ナノワイヤ20の直径が30〜200nm程度になり、その長さが1〜3μm程度になるように、温度や圧力などの成長条件が設定されている。
MOCVD法よりも、さらに好ましい成長方法として、分子線エピタキシー(MBE)法について説明する。III族原料には、クヌードセンセル(Kセル)によって発生させたG
aビーム、Alビーム、Inビームを用いる。V族原料には、窒素ラジカルセルによって
発生させた窒素ラジカルを用いる。まず、500〜600℃程度に加熱したn型Si基板1にGaビームを照射する。ここで、n型Si基板1には(111)面を用いることが好ましい。照射されたGaは表面張力が小さくなるようにn型Si基板上1に堆積するため、n型Si基板上1の主面上には、金属Gaのドットが点在化して堆積することになる(図示せず)。
aビーム、Alビーム、Inビームを用いる。V族原料には、窒素ラジカルセルによって
発生させた窒素ラジカルを用いる。まず、500〜600℃程度に加熱したn型Si基板1にGaビームを照射する。ここで、n型Si基板1には(111)面を用いることが好ましい。照射されたGaは表面張力が小さくなるようにn型Si基板上1に堆積するため、n型Si基板上1の主面上には、金属Gaのドットが点在化して堆積することになる(図示せず)。
次に、窒素ラジカルを照射することでGaドットを窒化し、GaNドットを形成する(図示せず)。このGaNドットは窒化物半導体ナノワイヤ20が結晶成長する際の結晶成長核となるため、窒化物半導体ナノワイヤ20の密度は、GaNドットの密度で制御することができる。
次に、基板を800〜900℃程度に加熱した後、III族原料のビームと窒素ラジカルを
照射する。この際、前述の点在化したGaNドットが結晶核となるため、結晶成長が点在化して進行することになる。結果として図2(a)に示す窒化物半導体ナノワイヤ20の形成が可能となる。
照射する。この際、前述の点在化したGaNドットが結晶核となるため、結晶成長が点在化して進行することになる。結果として図2(a)に示す窒化物半導体ナノワイヤ20の形成が可能となる。
次に、図2(b)に示すように、窒化物半導体ナノワイヤ20の表面全域を覆うように、被覆膜5が形成される。被覆膜5の材料として、AlN、AlGaN、または、Al2
O3を用いることができる。
O3を用いることができる。
被覆膜5の材料としてAlNやAlGaNを使用する場合には、被覆膜5の形成にMOCVD法を用いればよく、被覆膜5の膜厚は5〜200nm程度に設定すればよい。また、窒化物半導体ナノワイヤ20の成長に使用した同一反応炉内において、連続的に当該被覆膜5を形成することもできる。
一方、被覆膜5の材料としてAl2O3を使用する場合には、被覆膜5の形成にPVD法やCVD法を用いればよく、被覆膜5の膜厚は5〜200nm程度に設定すればよい。
次に、図2(c)に示すように、被覆膜5に被覆された窒化物半導体ナノワイヤ20間の隙間に、シリコン酸化膜2が堆積される。シリコン酸化膜2の堆積には、CVD法を用いればよい。また、SOG(Spin On Glass)材料をn型Si基板1上に塗布することにより、シリコン酸化膜2を形成することもできる。
次に、図2(d)に示すように、シリコン酸化膜2をエッチングすることにより、窒化物半導体ナノワイヤ20の先端部分の被覆膜5が露出される。
シリコン酸化膜2をウェットエッチングする場合には、BHFを用いてシリコン酸化膜2を選択的にエッチングすればよい。シリコン酸化膜2をドライエッチングする場合には、CHF3、CF4などのガスを用いてシリコン酸化膜2を選択的にエッチングすればよい。シリコン酸化膜2のエッチング深さは、被覆膜5の膜厚の2〜5倍程度に設定すればよい。但し、このエッチング深さの上限は、シリコン酸化膜2の上面2Uが、InGaN多重量子井戸12の上面12Uに到達しないように設計されている。これにより、InGaN多重量子井戸12はシリコン酸化膜2により適切に保護される。
なお、p型電極3のリソグラフィ工程(図示および詳細な説明を省略)において、窒化物半導体ナノワイヤ20間の隙間へのレジスト吸い込みが懸念される。しかしながら、本実施形態では、窒化物半導体ナノワイヤ20間の隙間にシリコン酸化膜2を埋め込み、上述の如く、エッチング深さを適切に設計しているので、この隙間へのレジスト吸い込みを抑制できる効果もある。
次に、図2(e)に示すように、CMP(Chemical Mechanical Polishing:化学機械研磨)研磨パッドCを用いて、窒化物半導体ナノワイヤ20の上面20U(p型GaN領域
13の上面13U)を被覆している被覆膜5が研磨されて取り除かれる。
13の上面13U)を被覆している被覆膜5が研磨されて取り除かれる。
なお、この場合、p型GaN領域13の上面13Uも研磨により平坦化処理するとさらによい。窒化物半導体ナノワイヤ20の結晶成長時に、その長さがばらついたとしても、CMP研摩により、窒化物半導体ナノワイヤ20の長さを揃えることが可能となり、ナノワイヤLED100の発光特性のばらつきを抑制できる。
最後に、図2(f)に示すように、各窒化物半導体ナノワイヤ20に共通して電圧を印加できるように、各窒化物半導体ナノワイヤ20のp型GaN領域13の上面13Uに接触するp型電極3が、蒸着などにより形成される。このp型電極3は、例えば、Ni/Au電極やITO電極である。また、n型Si基板1の裏面全域に接触するn型電極4が蒸着などにより形成される。このn型電極4は、例えば、Ti/Al電極である。このようにして、第1実施形態のナノワイヤLED100を製造できる。
以上に述べたように、本実施形態のナノワイヤLED100は、n型Si基板1からn型GaN領域11、InGaN多重量子井戸12、および、p型GaN領域13をこの順に含み、n型Si基板1の主面上に立設している複数の窒化物半導体ナノワイヤ20と、少なくともInGaN多重量子井戸12の側面12Sを覆っている被覆膜5と、を備える。そして、このナノワイヤLED100では、全てのp型GaN領域13の上面13Uに共通に接触することにより、p型GaN領域13と電気的に接続されたp型電極3が配されている。また、n型Si基板1の裏面全域には、n型GaN領域11と電気的に接続されたn型電極4が配されている。更に、隣接する窒化物半導体ナノワイヤ20間の隙間には、シリコン酸化膜2が埋め込まれている。被覆膜5の被覆材料として、例えば、アルミオキサイド(Al2O3)、アルミニウムナイトライド(AlN)、アルミニウムガリウムナイトライド(AlGaN)を用いることができる。
これらの被覆材料は、酸化シリコンよりも大きな熱伝導率を有しているので、被覆膜5は、熱伝導層として機能でき、InGaN多重量子井戸12の内部で発生した熱を、被覆膜5を通してn型Si基板1側に効率的に逃がすことができる。つまり、AlNおよびAlGaNは、酸化シリコンよりも2桁程度も熱伝導率が高く、熱伝導層を構成する材料として極めて好都合である。同様に、Al2O3は、酸化シリコンよりも1桁程度も熱伝導率が高く、熱伝導層を構成する材料として極めて好都合である。
このようにして、本実施形態のナノワイヤLED100では、ナノワイヤLED100に伴う様々な熱問題に適切に対処でき、例えば、ナノワイヤLED100の高出力化が容易になる。
また、これらの被覆材料の屈折率は、窒化ガリウムの屈折率よりも小さいので、被覆膜5は、光閉じ込め層として機能できる。つまり、窒化物半導体ナノワイヤ20をコア部とし、このコア部の周囲を覆う被覆膜5をクラッド部とする光導波路を形成することができる。よって、窒化物半導体ナノワイヤ20および被覆膜5の中に光を閉じ込めることにより、窒化物半導体ナノワイヤ20の上面20Uに光を適切に導くことができる。その結果、窒化物半導体ナノワイヤ20の上面20Uからの光取り出し効率が改善する。
また、被覆膜5の被覆材料として、アルミニウムナイトライド(AlN)、アルミニウムガリウムナイトライド(AlGaN)を用いると、InGaN多重量子井戸12(窒化物半導体発光領域)と被覆膜5との界面は、窒化物半導体同士のヘテロ接合の形成が可能になる。このため、この界面においてダングリングボンドなどの欠陥の発生は殆どなくなり、InGaN多重量子井戸12の表面の発光に寄与しない表面再結合を抑制できる。
また、被覆膜5の被覆材料として、アルミオキサイド(Al2O3)を用いても、InGaN多重量子井戸12(窒化物半導体発光領域)と被覆膜5との界面においてダングリングボンドなどの欠陥の発生を少なくでき、InGaN多重量子井戸12の表面の発光に寄与しない表面再結合を抑制できる。
このようにして、本実施形態のナノワイヤLED100では、上述の表面再結合の抑制により、ナノワイヤLED100の発光効率の向上が図れる。また、バンドギャップ内に表面準位における光吸収が抑制され、これにより、ナノワイヤLED100の光損傷による信頼性低下を抑制できる。
また、以上に述べたように、本実施形態のナノワイヤLED100の製造方法は、n型Si基板1の主面上に、n型Si基板1側からn型GaN領域11、InGaN多重量子井戸12、および、p型GaN領域13をこの順に成長させ、これらの領域11、12、13を含む複数の窒化物半導体ナノワイヤ20を形成する工程と、窒化物半導体ナノワイヤ20のそれぞれの表面全域を覆うように、酸化シリコンよりも大きな被覆材料からなる被覆膜5を形成する工程と、窒化物半導体ナノワイヤ20間の隙間に、シリコン酸化膜2を埋め込む工程と、窒化物半導体ナノワイヤ20を被覆している被覆膜5の一部を除去して、p型GaN領域13の少なくとも上面13Uを露出させる工程と、露出されたp型GaN領域13の上面13Uに接触するp型電極3を形成する工程と、含んでいる。
このように、本実施形態のナノワイヤLED100の製造方法では、窒化物半導体ナノワイヤ20を形成した後、直ちに、窒化物半導体ナノワイヤ20の表面が被覆膜5により包まれて保護されているので、その後工程において、窒化物半導体ナノワイヤ20(特にInGaN多重量子井戸12)への電極材料などの不純物混入を適切に防止できる。よって、この場合、被覆膜5は、窒化物半導体ナノワイヤ20を保護する保護層としての機能を果たす。例えば、被覆膜5の被覆材料として、アルミニウムナイトライド(AlN)、アルミニウムガリウムナイトライド(AlGaN)を用いると、窒化物半導体ナノワイヤ20の成長に使用した同一反応炉内において、連続的に当該被覆膜5を形成することができるので、窒化物半導体ナノワイヤ20への不純物混入を根本的に排除できる。
また、本実施形態のナノワイヤLED100の製造方法では、窒化物半導体ナノワイヤ20間に存在する隙間がシリコン酸化膜2によって埋め込まれているので、柱状の窒化物半導体ナノワイヤ20とn型Si基板1との密着性、および、窒化物半導体ナノワイヤ20の機械的強度を向上することができる。よって、例えば、窒化物半導体ナノワイヤ20を被覆している被覆膜5の一部(ここでは、p型GaN領域13の上面13Uを覆う被覆膜5)をCMP研磨技術で除去しても、窒化物半導体ナノワイヤ20がn型Si基板1から剥離するといった問題を適切に回避できる。また、窒化物半導体ナノワイヤ20間に存在する隙間がシリコン酸化膜2により埋め込まれているので、p型電極3のリソグラフィ工程において、当該隙間へのレジスト吸い込みも適切に抑制できる。更に、絶縁性の被覆膜5およびシリコン酸化膜2によって、p型GaN領域13とn型Si基板1とを完全に分離できる。これにより、p型電極3による両者間の短絡などの問題も適切に回避できる。
なお、本実施形態では、n型Si基板1を用い、n型Si基板1から順に、n型GaN領域11、InGaN多重量子井戸12、および、p型GaN領域13を有している窒化物半導体ナノワイヤ20を成長させる例を述べたが、n型Si基板1に代えて、p型の基板を用いることもできる。この場合、p型の基板側から順に、p型GaN領域、InGaN多重量子井戸、n型GaN領域を有するように窒化物半導体ナノワイヤを成長させればよい。
(第1変形例)
図3は、第1実施形態の第1変形例による窒化物半導体ナノワイヤを用いた発光ダイオードの構造例を示した断面図である。
(第1変形例)
図3は、第1実施形態の第1変形例による窒化物半導体ナノワイヤを用いた発光ダイオードの構造例を示した断面図である。
本変形例のナノワイヤLED110では、図3に示すように、n型GaN領域31、InGaN多重量子井戸32、および、p型GaN領域33を有している窒化物半導体ナノワイヤ30が、n型Si基板1の主面からの延在方向に先細りのテーパ形状になっている。このようなテーパ形状の窒化物半導体ナノワイヤ30を用いることで、InGaN多重量子井戸32から発光された光を散乱させ易くなり、窒化物半導体ナノワイヤ30の上面30Uからの光取り出し効率を向上できる。
なお、上述の図2(a)の工程において、窒化物半導体ナノワイヤ30がテーパ形状になるように成長条件を調整すれば、ナノワイヤLED110を製造できるが、このような成長条件はすでに公知であり(例えば、特許文献2参照)、ここでは、ナノワイヤLED110の製造方法の詳細な説明は省略する。
(第2変形例)
図4は、第1実施形態の第2変形例による窒化物半導体ナノワイヤを用いた発光ダイオードの構造例を示した断面図である。
(第2変形例)
図4は、第1実施形態の第2変形例による窒化物半導体ナノワイヤを用いた発光ダイオードの構造例を示した断面図である。
本変形例のナノワイヤLED120では、図4に示すように、シリコン酸化膜2の内部に蛍光体が配されている。これにより、InGaN多重量子井戸12から発光された光によって、蛍光体14を励起発光させることができ、ナノワイヤLED120の発光色を蛍光体14で制御することができる。
また、本変形例では、被覆膜5によってInGaN多重量子井戸12を保護しているので、蛍光体14によるInGaN多重量子井戸12への悪影響を適切に防止できる。この場合、被覆膜5の膜厚は5〜30nm程度に薄く設定する方が好ましい。被覆膜5を薄くすれば、窒化物半導体ナノワイヤ20を覆っている被覆膜5から染み出した光により、シリコン酸化膜2の内部の蛍光体を効率的に励起することができる。
シリコン酸化膜2への蛍光体14の混入方法としては、上述の図2(c)の工程において、SOG材料中に適宜の濃度の蛍光体14を混ぜ込み、蛍光体14が含有されたSOG材料をn型Si基板1に塗布すればよい。
(第2実施形態)
図5は、本発明の第2実施形態による窒化物半導体ナノワイヤを用いた発光ダイオードの構造例を示した断面図である。
(第2実施形態)
図5は、本発明の第2実施形態による窒化物半導体ナノワイヤを用いた発光ダイオードの構造例を示した断面図である。
本実施形態のナノワイヤLED130の構成要素のうち、第1実施形態で述べたナノワイヤLED100と同じものについては、ナノワイヤLED100において用いた参照符号と同一の参照符号を付しており、両者に共通する構成の説明については、適宜省略する。
本実施形態のナノワイヤLED130では、図5に示すように、筒状の被覆膜45が、窒化物半導体ナノワイヤ20の側面全域ではなくて、n型GaN領域11の側面、InGaN多重量子井戸12の側面、および、p型GaN領域13の側面の一部を被覆している。被覆膜45の材料には、Al2O3、AlN、AlGaNなどを用いることができる。
窒化物半導体ナノワイヤ20間の隙間にシリコン酸化膜42が埋め込まれているが、シリコン酸化膜42のn型Si基板1からの高さ方向の寸法は、被覆膜45のn型Si基板1からの高さ方向の寸法とほぼ同程度である。
被覆膜45の膜厚(正確には円筒状の被覆膜45の動径方向の厚み)の好適な範囲は、略5nm以上、略200nm以下の範囲である。更に、この被覆膜45に光閉じ込め機能を持たせることにより、被覆膜45をクラッド部とする光導波路を形成する場合には、被覆膜45の膜厚の範囲を、略50nm以上、略200nm以下の範囲に設定する方が好ましい。
また、図5に示すように、p型電極43は、全てのp型GaN領域13の平面状の上面13Uに共通に接触しつつ、これらのp型GaN領域13の環状の側面13Sにも共通に接触するようにして延びている。つまり、本実施形態のナノワイヤLED130では、p型電極43は、p型GaN領域13の上面13Uに配されているとともに、p型GaN領域13のうち、被覆膜45により被覆された被覆面以外の側面13Sに配されている。p型電極43には、Ni/Au電極やITO電極などの透明電極を用いればよい。
次に、本発明の第2実施形態によるナノワイヤLED130の製造方法について説明する。
図6は、本発明の第2実施形態によるナノワイヤLEDの製造方法を説明するための図である。図6(a)〜図6(f)には、ナノワイヤLED130の各製造工程における断面図が示されている。
なお、図6(a)〜図6(c)に示された製造方法は、第1実施形態で述べた図2(a)〜図2(c)の製造方法と同じであるので、これらの製造方法の説明は省略する。
図6(d)に示すように、シリコン酸化膜42をエッチングすることにより、窒化物半導体ナノワイヤ20の先端部分の被覆膜45が露出される。
シリコン酸化膜42をウェットエッチングする場合には、BHFを用いてシリコン酸化膜42を選択的にエッチングすればよい。シリコン酸化膜42をドライエッチングする場合には、CHF3、CF4などのガスを用いてシリコン酸化膜42を選択的にエッチングすればよい。
この場合、シリコン酸化膜42のエッチング深さは、p型GaN領域13とp型電極43との間のコンタクト面積を決定する重要なパラメータとなる。エッチング深さの一例としては、窒化物半導体ナノワイヤ20を円柱状と仮定すると、窒化物半導体ナノワイヤ20の上面20Uおよびシリコン酸化膜42の上面42U間の距離が、ナノワイヤの直径の1〜5倍程度になるようにエッチング深さを設計するとよい。
例えば、p型電極43を設ける予定のp型GaN領域13の側面13Sの長さを、窒化物半導体ナノワイヤ20の直径と同じ長さにすると、従来のナノワイヤの上面のみに電極を配するという特異な構造に比べて、コンタクト面積を5倍程度まで大きくすることができる。また、p型GaN領域13の側面13Sの長さを、窒化物半導体ナノワイヤ20の直径の2倍の長さにすると、コンタクト面積を従来の10倍程度まで大きくすることができる。
なお、シリコン酸化膜42の上面42UがInGaN多重量子井戸12の上面12Uに到達しないように、エッチング深さの上限が設計されている。これにより、InGaN多重量子井戸12はシリコン酸化膜42により適切に保護される。
次に、図6(e)に示すように、シリコン酸化膜42の上面42Uを基準面にして、この基準面より上方の被覆膜45の部分(表面が露出された部分)が除去される。
被覆膜45の材料としてAl2O3を使用する場合には、水酸化ナトリウムなどのアルカリ性水溶液を用いたウェットエッチングによって、被覆膜45を除去できる。一方、被覆膜45の材料として、AlNやAlGaNを使用する場合には、HClや塩素ガスを用いたドライエッチングによって、被覆膜45を除去できる。
このようにして、被覆膜45を除去することにより、図6(e)に示す如く、p型GaN領域13の表面のうちの、その上面13Uおよび側面13Sの一部が露出される。
最後に、図6(f)に示すように、各窒化物半導体ナノワイヤ20に共通して電圧を印加できるように、p型GaN領域13の上面13Uおよび側面13Sの一部に接触するp型電極43が、蒸着などにより形成される。より好ましくは、ロングスロースパッタやイオン化スパッタなどのPVD(Pysical Vapor Deposition)法を用いてp型電極43を形成することで、p型GaN領域13の側面13Sにも、高い被覆率で電極を形成することが可能となる。このp型電極43は、例えば、Ni/Au電極やITO電極である。また、n型Si基板1の裏面全域に接触するn型電極4が蒸着などにより形成される。このn型電極4は、例えば、Ti/Al電極である。このようにして、第2実施形態のナノワイヤLED130を製造できる。
以上に述べた本実施形態のナノワイヤLED130およびその製造方法によれば、第1実施形態のナノワイヤLED100およびその製造方法により発揮される様々な効果と同様の効果を奏するが、ここでは、これらの効果の説明は省略する。
以下、本実施形態のナノワイヤLED130およびその製造方法により発揮される特有の効果について述べる。
本実施形態のナノワイヤLED130では、p型電極43が、p型GaN領域13の上面13Uに配されているとともに、p型GaN領域13のうちの被覆膜45により被覆された被覆面以外の、p型GaN領域13の側面13Sにも配されている。このため、p型GaN領域13とp型電極43との間のコンタクト面積を従来よりも大きくすることができる。窒化物半導体のp型電極43との間のコンタクト抵抗(以下、「p型コンタクト抵抗」と略す)は、通常、高めであることが知られているが、上記構成により、充分なコンタクト面積を確保できる。
また、極小面積の窒化物半導体ナノワイヤ20の上面20Uにp型電極43が形成された場合であっても、p型GaN領域13の側面13Sにおいて充分なコンタクト面積が確保されている。このため、窒化物半導体ナノワイヤ20の断面形状の変化(ばらつき)に基づく、個々の窒化物半導体ナノワイヤ20のp型コンタクト抵抗のばらつきを適切に抑えることができる。その結果、ナノワイヤLED130の発光特性のばらつきを抑制できる。
また、本実施形態のナノワイヤLED130の製造方法では、シリコン酸化膜42のエッチング深さを適切に設計することにより、窒化物半導体ナノワイヤ20の先端部分の被覆膜45を露出させているので(図6(d)参照)、シリコン酸化膜42のエッチング深さを基準にして、被覆膜45を除去する後工程(図6(e)参照)において、p型電極43を配するためのp型GaN領域13の露出長さを制御性良く調整できる。
また、上述のシリコン酸化膜42は、塩素系のドライエッチングに対する高い耐性、および、水酸化ナトリウムなどのアルカリ溶液に対する高い耐性を有しているので、被覆膜45を除去する後工程(図6(e)参照)において、塩素系のドライエッチングプロセスや水酸化ナトリウムなどのアルカリ溶液によるウェットエッチングを用いることができる。
なお、本実施形態では、n型Si基板1を用い、n型Si基板1から順に、n型GaN領域11、InGaN多重量子井戸12、および、p型GaN領域13を有している窒化物半導体ナノワイヤ20を成長させる例を述べたが、n型Si基板1に代えて、p型の基板を用いることもできる。この場合、p型の基板側から順に、p型GaN領域、InGaN多重量子井戸、n型GaN領域を有するように窒化物半導体ナノワイヤを成長させればよい。
(第1変形例)
図7は、第2実施形態の第1変形例による窒化物半導体ナノワイヤを用いた発光ダイオードの構造例を示した断面図である。
(第1変形例)
図7は、第2実施形態の第1変形例による窒化物半導体ナノワイヤを用いた発光ダイオードの構造例を示した断面図である。
本変形例のナノワイヤLED140では、図7に示すように、窒化物半導体ナノワイヤ20の上面20Uに形成されたp型電極43が、CMP研磨パッドCを用いて取り除かれている。
上記構成により、窒化物半導体ナノワイヤ20の上面20Uから光を取り出す際のp型電極43による光の吸収や反射を無くすことができる。よって、窒化物半導体ナノワイヤ20の上面20Uからの光取り出し効率が向上するとともに、p型電極43の光吸収あるいは光反射に起因するナノワイヤLED140内部の蓄熱を適切に防止できる。
なお、本変形例のナノワイヤLED140の製造方法では、上述のとおり、窒化物半導体ナノワイヤ20間に存在する隙間がシリコン酸化膜42によって埋め込まれているので、窒化物半導体ナノワイヤ20の上面20Uに形成されたp型電極43をCMP研磨技術で除去しても、窒化物半導体ナノワイヤ20がn型Si基板1から剥離するといった問題を適切に回避できる。
(第2変形例)
図8は、第2実施形態の第2変形例による窒化物半導体ナノワイヤを用いた発光ダイオードの構造例を示した断面図である。
(第2変形例)
図8は、第2実施形態の第2変形例による窒化物半導体ナノワイヤを用いた発光ダイオードの構造例を示した断面図である。
本変形例のナノワイヤLED150では、図8に示すように、窒化物半導体ナノワイヤ20の上面20Uに形成されたp型電極43が、CMP研磨パッドCを用いて取り除かれている。また、本変形例のナノワイヤLED150では、窒化物半導体ナノワイヤ20の側面に配していた筒状の被覆膜45(例えば図5参照)を無くして、シリコン酸化膜142が、直接、窒化物半導体ナノワイヤ20の側面を覆っている。
よって、本変形例のナノワイヤLED150は、上述の被覆膜45により得られる効果を犠牲にしても、簡易的に窒化物半導体ナノワイヤ20の上面20Uからの光取り出し効率を向上させたい場合に有益である。
なお、図示を省略するが、第1実施形態の第1変形例(図3)で述べた窒化物半導体ナノワイヤ20をテーパ形状にする技術は、本実施形態(図5)および本実施形態の第1および第2変形例(図7、図8)の各ナノワイヤLED130、140、150においても適用可能である。この場合、ナノワイヤLED130、140、150は、図3のナノワイヤLED110において、窒化物半導体ナノワイヤ20をテーパ形状にすることにより得られる効果と同様の効果を奏する。
また、第1実施形態の第2変形例(図4)で述べたシリコン酸化膜2の内部に蛍光体14を混ぜ込む技術は、本実施形態(図5)および本実施形態の第1および第2変形例(図7、図8)の各ナノワイヤLED130、140、150においても適用可能である。この場合、ナノワイヤLED130、140、150は、図4のナノワイヤLED120において、シリコン酸化膜2の内部に蛍光体14を混ぜ込むことにより得られる効果と同様の効果を奏する。但し、ナノワイヤLED150では、被覆膜を取り除いているので、蛍光体14によるInGaN多重量子井戸12への悪影響を防止する別途の対策が必要である。
本発明の半導体発光素子は、放熱性、発光効率、上面からの光取り出し効率などにおいて優れた効果を発揮する。よって、本発明は、照明装置、電飾、車両のヘッドライト、屋外照明、液晶表示装置のバックライト、プロジェクタ用光源などの様々な用途に利用できる。
1 n型Si基板
2、42、142 シリコン酸化膜
3、43 p型電極
4 n型電極
5、45 被覆膜
11 n型GaN領域
12 InGaN多重量子井戸
13 p型GaN領域
14 蛍光体
20、30 窒化物半導体ナノワイヤ
100、110、120、130、140、150 ナノワイヤLED
C CMP研磨パッド
2、42、142 シリコン酸化膜
3、43 p型電極
4 n型電極
5、45 被覆膜
11 n型GaN領域
12 InGaN多重量子井戸
13 p型GaN領域
14 蛍光体
20、30 窒化物半導体ナノワイヤ
100、110、120、130、140、150 ナノワイヤLED
C CMP研磨パッド
Claims (7)
- 基板と、
前記基板側から第1導電型の半導体領域と、半導体発光領域と、第2導電型の半導体領域とをこの順に含み、前記基板の主面上に立設している複数の柱状構造体と、
少なくとも前記半導体発光領域の側面を覆い、酸化シリコンよりも大きな熱伝導率を有している被覆材料からなる被覆膜と、
前記複数の柱状構造体の前記第1導電型の半導体領域と電気的に接続された第1電極と、
前記複数の柱状構造体の前記第2導電型の半導体領域と電気的に接続された第2電極と、
を備えた半導体発光素子。 - 前記柱状構造体間の隙間に配された酸化シリコンを主材料としている絶縁層を備え、
前記第2電極が、前記第2導電型の半導体領域の上面に配されている、請求項1記載の半導体発光素子。 - 前記第2電極は、前記第2導電型の半導体領域のうちの前記被覆膜により被覆された被覆面以外の側面にも配されている、請求項2記載の半導体発光素子。
- 前記柱状構造体間の隙間に配された酸化シリコンを主材料としている絶縁層を備え、
前記第2電極が、前記第2導電型の窒化物半導体領域のうちの前記被覆膜により被覆された被覆面以外の側面のみに配されている、請求項1記載の半導体発光素子。 - 前記柱状構造体が窒化物半導体により構成されており、
前記被覆材料は、アルミニウムナイトライド、アルミニウムガリウムナイトライド、および、アルミオキサイドのうちの何れかである、請求項1乃至4の何れかに記載の半導体発光素子。 - 前記柱状構造体が、前記基板の主面からの延在方向に先細りのテーパ形状になっている請求項1乃至4の何れかに記載の半導体発光素子。
- 前記絶縁層の内部に蛍光体が配されている請求項2乃至4の何れかに記載の半導体発光素子。
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