JP2021061272A - 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付すものとし、適宜重複した説明は省略する。図1は、第1実施形態に係る半導体発光素子10を示す模式図であり、図1(a)は全体を示し、図1(b)は柱状半導体層部分の構造を拡大して示している。
次に、本発明の第2実施形態について図4を用いて説明する。第1実施形態と重複する内容は説明を省略する。図4は、第2実施形態に係る半導体発光素子30の柱状半導体層部分の構造を拡大して示す模式図である。本実施形態では、n型ナノワイヤ層14をGaNで構成する代わりに、内側表面保護層35をナノワイヤ形状に形成する点が第1実施形態と異なっている。
次に、本発明の第3実施形態について図5を用いて説明する。第1実施形態と重複する内容は説明を省略する。図5は、第3実施形態に係る半導体発光素子40の柱状半導体層部分の構造を拡大して示す模式図である。本実施形態では、内側表面保護層45がn型ナノワイヤ層14の底部に設けられている点が第1実施形態と異なっている。
次に、本発明の第4実施形態について図6を用いて説明する。第1実施形態と重複する内容は説明を省略する。図6は、第4実施形態に係る半導体発光素子50の柱状半導体層部分の構造を拡大して示す模式図である。本実施形態では、活性層16の内側に内側表面保護層15を設けることに加えて、活性層16の外周に外側表面保護55が形成されている点が第1実施形態と異なっている。
次に、本発明の第5実施形態について図7を用いて説明する。第1実施形態と重複する内容は説明を省略する。図7は、第5実施形態に係る半導体発光素子60の柱状半導体層部分の構造を拡大して示す模式図である。本実施形態では、活性層16の内側に内側表面保護層15を設けることに加えて、トンネル接合層18の外周に外側表面保護層65が形成されている点が第1実施形態と異なっている。
11…成長基板
12…下地層
13…マスク
14…n型ナノワイヤ層
15,35,45…内側表面保護層
16…活性層
17…p型半導体層
18…トンネル接合層
19…埋込半導体層
20,21…カソード電極
22,23…アノード電極
55,65…外側表面保護
Claims (10)
- 成長基板と、前記成長基板上に形成された柱状半導体層とを備える半導体発光素子であって、
前記柱状半導体層は、中心にn型ナノワイヤ層が形成され、前記n型ナノワイヤ層よりも外周に活性層が形成され、前記活性層よりも外周にp型半導体層が形成されており、
Alを含む窒化物半導体材料からなる内側表面保護層が、活性層よりn側に設けられていることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1に記載の半導体発光素子であって
前記内側表面保護層は、前記n型ナノワイヤ層の外周を覆って設けられて、前記活性層に接して設けられていることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1または2に記載の半導体発光素子であって、
前記内側表面保護層に少なくともAlが含まれており、Alの組成比が最大0.06mol%以下であることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1から3の何れか一つに記載の半導体発光素子であって、
前記内側表面保護層の膜厚が1nm以上100nm以下であることを特徴とする半導体発光素子。 - 成長基板と、前記成長基板上に形成された柱状半導体層とを備える半導体発光素子であって、
前記柱状半導体層は、中心にn型ナノワイヤ層が形成され、前記n型ナノワイヤ層よりも外周に活性層が形成され、前記活性層よりも外周にp型半導体層が形成されており、
Alを含む窒化物半導体材料からなる外側表面保護層が、前記活性層の外周を覆って設けられていることを特徴とする半導体発光素子。 - 成長基板と、前記成長基板上に形成された柱状半導体層とを備える半導体発光素子であって、
前記柱状半導体層は、中心にn型ナノワイヤ層が形成され、前記n型ナノワイヤ層よりも外周に活性層が形成され、前記活性層よりも外周にp型半導体層が形成されており、
Alを含む窒化物半導体材料からなる外側表面保護層が、前記トンネル接合層の外周を覆って設けられていることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1から3の何れか一つに記載の半導体発光素子であって、
前記内側表面保護層は、前記n型ナノワイヤ層の底部に設けられていることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1から7の何れか一つに記載の半導体発光素子であって、
前記柱状半導体層を覆う埋込半導体層をさらに備えることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1から8の何れか一つに記載の半導体発光素子であって、
前記p型半導体層よりも外周にトンネル接合層が形成されていることを特徴とする半導体発光素子。 - 成長基板上に開口部を有するマスク層を形成するマスク工程と、選択成長を用いて前記開口部に柱状半導体層を形成する成長工程とを有し、
前記成長工程は、
n型ナノワイヤ層を形成する工程と、前記n型ナノワイヤ層よりも外側に活性層を形成する工程と、
前記n型ナノワイヤ層と前記活性層の下側に接してAlを含む窒化物半導体材料からなる内側表面保護層を形成する工程と、
前記活性層よりも外側にp型半導体層を形成する工程を含むことを特徴とする半導体発光素子の成長方法。
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