JP2013200931A - 磁気ヘッド、磁気ヘッドアセンブリ、磁気記録再生装置及び磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態によれば、磁気記録媒体に記録された媒体磁界を検出する再生部を含む磁気ヘッドが提供される。再生部は、第1磁気シールドと、第2磁気シールドと、積層体と、側壁膜と、を含む。積層体は、第1磁気シールドと第2磁気シールドとの間に設けられる。積層体は、第1磁性層と、第2磁性層と、第1磁性層と第2磁性層との間に設けられた中間層と、を含む。側壁膜は、積層体の側壁の少なくとも一部を覆う。側壁膜は、Fe及びCoの少なくともいずれかを含み、第1磁性層の組成とは異なり第2磁性層の組成とは異なる組成を有する。
【選択図】図1
Description
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)及び図1(b)は、第1の実施形態に係る磁気ヘッドの構成を例示する模式図である。
図2は、第1の実施形態に係る磁気ヘッドの構成を例示する模式的斜視図である。
図3は、第1の実施形態に係る磁気ヘッドを搭載するヘッドスライダの構成を例示する模式的斜視図である。
本実施形態に係る磁気ヘッドの構成の概要と動作の概要について、図2及び図3を用いて説明する。
図1(a)及び図1(b)に表したように、再生部70は、第1磁気シールド72aと、第2磁気シールド72bと、積層体71と、側壁膜40と、を含む。再生部70において、第2磁気シールド72bは、第1磁気シールド72aとX軸に沿って対向する。
図4(a)及び図4(b)は、それぞれ、第1試料SP1及び第2試料SP2に対応する。第1試料SP1においては、積層膜の加工におけるエッチング時間が、第2試料SP2よりも相対的に短い。第2試料SP2においては、エッチング時間が長く、CoFe層がオーバーエッチングされた。第1試料SP1においては、CeFe層は、実質的にオーバーエッチングされていない。
下地層11には、例えば、Ta、RuまたはCuなどの非磁性金属が用いられる。下地層11には、複数の材料の層を積層した構成を有しても良い。下地層11は、例えば、Ta膜とCu膜との積層膜を用いることができる。
図5(a)は、積層体71へハードバイアス磁界が印加されていない状態に対応し、図5(b)は、ハードバイアス磁界が印加されている状態に対応する。これらのグラフの横軸は、磁気記録媒体80の媒体磁界Hである。縦軸は、積層体71の抵抗Rである。
図6(a)は、実施形態に係る磁気ヘッド110の特性に対応する。図6(b)は、参考例の磁気ヘッド119の特性に対応する。磁気ヘッド119においては、側壁膜40が設けられていない。磁気ヘッド119は、例えば、積層体71の加工の際のエッチング時間が短く、第1磁気シールド72aがオーバーエッチングされていない場合に対応する。これらの図の横軸は、媒体磁界Hである。縦軸は、積層体71の抵抗Rである。抵抗Rは、再生信号に対応する。
図7(a)は、再生部70を媒体対向面70sから見たときの平面図である。図7(b)は、図7(a)のA1−A2線断面を例示する模式的断面図である。
図7(a)及び図7(b)に表したように、実施形態に係る磁気ヘッド111においては、第1磁気シールド72aの積層体71に対向しない面上に、被覆膜42が設けられている。磁気ヘッド111においても、積層体71の側壁を覆う側壁膜40が設けられている。また、裏側側壁膜41が設けられている。被覆膜42は、側壁膜40及び裏側側壁膜41と連続しており、一体的である。これ以外は、磁気ヘッド111と同様なので説明を省略する。
磁気ヘッド111においても、高感度の磁気ヘッドが提供できる。
図8(a)は、再生部70を媒体対向面70sから見たときの平面図である。図8(b)は、図8(a)のA1−A2線断面を例示する模式的断面図である。
図8(a)及び図8(b)に表したように、本実施形態に係る磁気ヘッド112においては、積層体71は、反強磁性層12をさらに含む。反強磁性層12と中間層30との間に第1磁性層10が配置される。すなわち、下地層11と第1磁性層10との間に反強磁性層12が配置される。この例では、Ru層23は設けられていない。これ以外は、磁気ヘッド110と同様なので説明を省略する。
図10(a)〜図10(c)は、第1の実施形態に係る磁気ヘッドの製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
図9及び図10(a)に表したように、本製造方法においては、積層膜71fを第1磁気シールド72aの上に形成する(ステップS110)。積層膜71fは、積層体71となる。積層体71は、第1磁性層10と、第2磁性層20と、第1磁性層10と第2磁性層20との間に設けられた中間層30と、を含む。この例では、第1磁気シールド72aの上に、下地層11となる下地膜11fを形成し、下地膜11fの上に、第1磁性層10となる第1磁性膜10fを形成し、第1磁性膜10fの上に、中間層30となる中間膜30fを形成し、中間膜30fの上に、第2磁性層20となる第2磁性膜20fを形成し、第2磁性膜20fの上にキャップ層21となるキャップ膜21fを形成する。第1磁気シールド72aは、Fe及びCoの少なくともいずれかを含む。
上記で説明した第1の実施形態に係る磁気ヘッドは、例えば、記録再生一体型の磁気ヘッドアセンブリに組み込まれ、磁気記録再生装置に搭載することができる。なお、実施形態に係る磁気記録再生装置は、再生機能のみを有することもできるし、記録機能と再生機能の両方を有することもできる。
図12(a)及び図12(b)は、第3の実施形態に係る磁気記録装置の一部の構成を例示する模式的斜視図である。
図11に表したように、本実施形態に係る磁気記録再生装置150は、ロータリーアクチュエータを用いた形式の装置である。記録用媒体ディスク180は、スピンドルモータ4に装着される。記録用媒体ディスク180は、図示しないモータにより矢印Aの方向に回転する。このモータは、例えば図示しない駆動装置制御部からの制御信号に応答する。本実施形態に係る磁気記録再生装置150は、複数の記録用媒体ディスク180を備えても良い。
また、図12(b)は、ヘッドスタックアセンブリ160の一部となる磁気ヘッドアセンブリ(ヘッドジンバルアセンブリ:HGA)158を例示する斜視図である。
磁気記録媒体80に記録された媒体磁界に応じた、磁気ヘッドの積層体71の抵抗の変化は、例えば、信号処理部190により検出される。
また、上記の位置制御部は、ヘッドジンバルアセンブリ158を含むことができる。
Claims (7)
- 磁気記録媒体に記録された媒体磁界を検出する再生部を備え、
前記再生部は、
第1磁気シールドと、
第2磁気シールドと、
第1磁気シールドと前記第2磁気シールドとの間に設けられた積層体であって、第1磁性層と、前記第2磁性層と、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた中間層と、を含む積層体と、
前記積層体の側壁の少なくとも一部を覆い、Fe及びCoの少なくともいずれかを含み前記第1磁性層の組成とは異なり前記第2磁性層の組成とは異なる組成を有する側壁膜と、
を含む磁気ヘッド。 - 前記側壁膜は、酸素、窒素及び炭素の少なくともいずれかを含む請求項1記載の磁気ヘッド。
- 前記第1磁性層の磁化の方向及び前記第2磁性層の磁化の方向は、前記媒体磁界に応じて変化する請求項1または2に記載の磁気ヘッド。
- 請求項1〜3のいずれか1つに記載の磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドを一端に搭載するサスペンションと、
前記サスペンションの他端に接続されたアクチュエータアームと、
を備えた磁気ヘッドアセンブリ。 - 請求項4記載の磁気ヘッドアセンブリと、
前記磁気ヘッドアセンブリに搭載された前記磁気ヘッドを用いて情報が再生される前記磁気記録媒体と、
を備えた磁気記録再生装置。 - 第1磁性層と、第2磁性層と、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた中間層と、を含む積層体となる積層膜を、Fe及びCoの少なくともいずれかを含む第1磁気シールドの上に形成し、
前記積層膜の一部をエッチングにより除去して前記積層体を形成し、
前記第1磁気シールドをオーバーエッチングして前記第1磁気シールドに含まれる材料を前記積層体の側壁に付着させて、Fe及びCoの少なくともいずれかを含み前記第1磁性層の組成とは異なり前記第2磁性層の組成とは異なる組成を有する側壁膜を形成し、
前記積層体の上に第2磁気シールドを形成して、磁気記録媒体に記録された媒体磁界を検出する再生部を形成する工程を備えた磁気ヘッドの製造方法。 - 第1磁性層と、第2磁性層と、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた中間層と、を含む積層体となる積層膜を第1磁気シールドの上に形成し、
前記積層膜の一部をエッチングにより除去して前記積層体を形成しつつ、前記積層膜に含まれる材料を前記積層体の側壁に付着させて、Fe及びCoの少なくともいずれかを含み前記第1磁性層の組成とは異なり前記第2磁性層の組成とは異なる組成を有する側壁膜を形成し、
前記積層体の上に第2磁気シールドを形成して、磁気記録媒体に記録された媒体磁界を検出する再生部を形成する工程を備えた磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012069974A JP5606482B2 (ja) | 2012-03-26 | 2012-03-26 | 磁気ヘッド、磁気ヘッドアセンブリ、磁気記録再生装置及び磁気ヘッドの製造方法 |
US13/850,458 US20130279046A1 (en) | 2012-03-26 | 2013-03-26 | Magnetic head, magnetic head assembly, magnetic recording and reproducing apparatus, and method for manufacturing magnetic head |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012069974A JP5606482B2 (ja) | 2012-03-26 | 2012-03-26 | 磁気ヘッド、磁気ヘッドアセンブリ、磁気記録再生装置及び磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013200931A true JP2013200931A (ja) | 2013-10-03 |
JP5606482B2 JP5606482B2 (ja) | 2014-10-15 |
Family
ID=49379890
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012069974A Expired - Fee Related JP5606482B2 (ja) | 2012-03-26 | 2012-03-26 | 磁気ヘッド、磁気ヘッドアセンブリ、磁気記録再生装置及び磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20130279046A1 (ja) |
JP (1) | JP5606482B2 (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130918 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140611 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140714 |
|
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