JP5173750B2 - スピントルク発振子、磁気記録ヘッド、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録装置 - Google Patents
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Description
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比係数などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比係数が異なって表される場合もある。
また、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るスピントルク発振子の構成を例示する模式的断面図である。
図1に表したように、本発明の第1の実施形態に係るスピントルク発振子10は、発振層(第1磁性層)10aと、スピン注入層(第2磁性層)30と、発振層10aとスピン注入層30との間に設けられ非磁性層からなる中間層22(第1非磁性層)を有する積層構造体25を備える。
ただし、後述するように、発振層10aの一部に体心立方構造を有する磁性体からなる磁性膜が設けられ、その体心立方構造の(110)面が発振層10aの主面10fに略平行となるように配向していても良い。以下では、説明を簡単にするために、発振層10aの厚みの全体に渡って、発振層10aが体心立方構造を有する磁性体からなる磁性膜であり、その体心立方構造の(110)の面方位が主面10fと略平行となるように配向している場合について説明する。
そして、発振層10aとスピン注入層30との間に中間層22が挟まれている。すなわち、中間層22は、発振層10aとスピン注入層30との間に積層されている。
すなわち、Ta膜とRu膜の積層膜からなる下地層の上に、bcc合金磁性層であるFe50Co50層をbcc(110)方向に成膜し、試料1とした。
なお、ダンピングファクタαは、強磁性共鳴測定(FMR)により見積もった。
表1において、平行ダンピングファクタα1は、FMRを測定する際に試料に印加する磁場が試料の膜面に対して平行方向である場合に測定されるダンピングファクタである。そして、垂直ダンピングファクタα2は、試料に印加する磁場が試料の膜面に対して垂直方向である場合に測定されるダンピングファクタである。この磁界の方向を、図1に例示した磁界H1の方向に対応させることで、実際にスピントルク発振子10を駆動するときの電流密度に相関するダンピングファクタの値を求めることができる。
なお、表1における垂直ダンピングファクタα2は、図1に示す磁界H1の向きの場合に相当する。
ここで、以下では、{110}面が主面10fに対して略平行となるように配向した体心立方構造の磁性体からなる磁性膜を、「bcc(110)磁性層」と呼ぶことにする。
このとき、また発振層10aは必ずしも1種類のbcc(110)磁性層により形成されている必要はなく、複数の種類のbcc(110)磁性層で形成されていても良い。具体的には、例えばFeを含むbcc合金において、Feの組成比が異なる層を積層しても良い。
例えば、発振層10aの磁気膜厚(磁化×膜厚:nm・Tesla)を調整するために、発振層10aのbcc(110)磁性層が、fcc合金や、アモルファス合金と積層されていても良い。具体的には、bcc(110)磁性層が、Niを含むfcc(面心立方格子)合金やCoを含むhcp(六方細密格子)合金と積層されていても良い。この時、bcc(110)磁性層と積層される別の磁性層の数は任意である。
本発明の第1の実施例に係るスピントルク発振子101(図示しない)は、発振層10aにbcc(110)配向のFe50Co50膜を用いて作製したスピントルク発振子である。すなわち、発振層10aとして、Ta膜とRu膜の積層膜である厚さ10nmの下地層の上に、bcc(110)配向のFe50Co50膜を5nmの厚さで成膜した層を用い、中間層22には厚さ20nmのCu膜を用い、スピン注入層30にはCoPt膜を用いた。
図2は、本発明の実施形態に係るスピントルク発振子における駆動電流の測定方法を例示する模式図である。
すなわち、同図は、スピントルク発振子における電流と抵抗の関係を表す模式的グラフ図であり、横軸が電流Iであり縦軸が抵抗Rである。
表2に表したように、第1の実施例のスピントルク発振子101の駆動電流Jは、比較例のスピントルク発振子101cと比べて低減することができた。
本発明の第2の実施形態に係るスピントルク発振子12(図示せず)は、第1の実施形態に係るスピントルク発振子10における発振層10aとして、Feを含むbcc合金であり、さらにAl、Si、Ga、Ge、P、Sn及びCuよりなる群から選択された少なくともいずれかの元素が5%以上の組成比で添加された材料が用いられているものである。これ以外は、スピントルク発振子10と同様とすることができるので説明を省略する。
すなわち、Ta膜とRu膜の積層膜からなる下地層の上に、bcc合金磁性層であるFe35Co35Al30層をbcc(110)方向に成膜し、試料2とした。
本発明の第2の実施例に係るスピントルク発振子102(図示しない)は、発振層10aにbcc(110)配向のFe35Co35Al30膜を用いて作製したスピントルク発振子である。すなわち、発振層10aとして、Ta膜とRu膜の積層膜である厚さ14nmの下地層の上に、bcc(110)配向のFe35Co35Al30膜を5nmの厚さで成膜した層を用い、中間層22には厚さ20nmのCu膜を用い、スピン注入層30にはCoPt膜を用いた。
表4に表したように、第2の実施例のスピントルク発振子102の駆動電流Jは、比較例のスピントルク発振子102cと比べて低減することができた。さらに、第2の実施例のスピントルク発振子102の駆動電流Jは、第1の実施例のスピントルク発振子101によりもさらに低減でき、それの60%程度にまで低減できた。このように、発振層10aにAlを添加した材料を用いることにより、さらに駆動電流を低減できる。
図3は、本発明の第3の実施形態に係るスピントルク発振子の構成を例示する模式的断面図である。
図3に表したように、本実施形態に係るスピントルク発振子13においては、積層構造体25は、発振層10aの中間層22とは反対の側に設けられた結晶性改善層(第2非磁性層)23をさらに有している。結晶性改善層23は、Ta、Mo、Nb、V、Cr及びWよりなる群から選択された少なくともいずれかを含む非磁性層である。
なお、結晶性改善層23は第1電極41と兼用されることができる。
第3の実施例に係るスピントルク発振子103(図示しない)は、第2の実施例に係るスピントルク発振子102において、発振層10aの中間層22とは反対の側に結晶性改善層23をさらに設けたものである。すなわち、スピントルク発振子103においては、Ta膜とRu膜の積層膜である厚さ5nmの下地層の上に、結晶性改善層23として厚さ14nmのCr膜が設けられ、この上に厚さ5nmのbcc(110)配向のFe35Co35Al30膜が設けられて発振層10aとされている。そして、その上に、中間層22として厚さ20nmのCu膜が設けられ、さらにその上にスピン注入層30としてCoPt膜が設けられている。
表5に表したように、結晶性改善層23をさらに設けたスピントルク発振子103においては駆動電流Jがさらに低減できた。
図4は、本発明の第4の実施形態に係る磁気記録ヘッドの構成を例示する模式図である。
図4に表したように、本発明の第4の実施形態に係る磁気記録ヘッド51は、主磁極61と、環流磁極62と、主磁極61に併置されたスピントルク発振子10と、を有する。
そして、主磁極61は、磁気記録媒体80に書き込み磁界を発する。そして、環流磁極62は、磁気記録媒体80から還流する書き込み磁界を主磁極61に還流させる。
図6は、本発明の第4の実施形態に係る別の磁気記録ヘッドが搭載されるヘッドスライダの構成を例示する模式的斜視図である。
図5に表したように、本発明の第4の実施形態に係る別の磁気記録ヘッド52は、書き込みヘッド部60と再生ヘッド部70とを有している。
磁気再生素子71としては、GMR素子やTMR(Tunnel Magneto-Resistive effect)素子などを利用することが可能である。なお、再生分解能をあげるために、磁気再生素子71は、2枚の磁気シールド層、すなわち、第1及び第2磁気シールド層72a、72bの間に設置される。
上記の再生ヘッド部70の各要素、及び、上記の書き込みヘッド部60の各要素は、図示しないアルミナ等の絶縁体により分離される。
また、例えば、図6に表したように、磁気記録ヘッド52は、ヘッドスライダ3に搭載される。ヘッドスライダ3は、Al2O3/TiCなどからなり、磁気ディスクなどの磁気記録媒体80の上を、浮上または接触しながら相対的に運動できるように設計され、製作される。
ヘッドスライダ3は、空気流入側3Aと空気流出側3Bとを有し、磁気記録ヘッド52は、空気流出側3Bの側面などに配置される。これにより、ヘッドスライダ3に搭載された磁気記録ヘッド52は、磁気記録媒体80の上を浮上または接触しながら相対的に運動する。
一方、再生ヘッド部70は、磁気記録層81の磁化の方向を読み取る。
以下、本発明の第5の実施の形態に係る磁気記録装置及び磁気ヘッドアセンブリについて説明する。
上記で説明した本発明の実施形態に係る磁気記録ヘッドは、例えば、記録再生一体型の磁気ヘッドアセンブリに組み込まれ、磁気記録装置に搭載することができる。なお、本実施形態に係る磁気記録装置は、記録機能のみを有することもできるし、記録機能と再生機能の両方を有することもできる。
図8は、本発明の第5の実施形態に係る磁気記録装置の一部の構成を例示する模式的斜視図である。
図7に表したように、本発明の第5の実施形態に係る磁気記録装置150は、ロータリーアクチュエータを用いた形式の装置である。同図において、記録用媒体ディスク180は、スピンドルモータ4に装着され、図示しない駆動装置制御部からの制御信号に応答する図示しないモータにより矢印Aの方向に回転する。本実施形態に係る磁気記録装置150は、複数の記録用媒体ディスク180を備えたものとしても良い。
図8(a)に表したように、ヘッドスタックアセンブリ160は、軸受部157と、この軸受部157から延出したヘッドジンバルアセンブリ158と、軸受部157からHGAと反対方向に延出しているとともにボイスコイルモータのコイル162を支持した支持フレーム161を有している。
上記の可動部は、ヘッドスライダ3を含むことができる。
また、上記の位置制御部は、ヘッドジンバルアセンブリ158を含むことができる。
図9は、本発明の実施形態に係る磁気記録装置の磁気記録媒体の構成を例示する模式的斜視図である。
図9に表したように、本発明の実施形態に係る磁気記録装置に用いられる磁気記録媒体80は、非磁性体(あるいは空気)87により互いに分離された垂直配向した多粒子系の磁性ディスクリートトラック(記録トラック)86を有する。この磁気記録媒体80がスピンドルモータ4により回転され、媒体移動方向85に向けて移動する際に、上記の実施形態に係る磁気記録ヘッドのいずれかが設けられ、これにより、記録磁化84を形成することができる。
このように、本発明の実施形態に係る磁気記録装置においては、磁気記録媒体80は、隣接し合う記録トラック同士が非磁性部材を介して形成されたディスクリートトラック媒体とすることができる。
本実施形態に係る磁気記録装置によれば、ディスクリート型の磁気記録媒体80において、高い保磁力を有する磁気記録層に対しても確実に記録することができ、高密度かつ高速の磁気記録が可能となる。
図10に表したように、本発明の実施形態に係る磁気記録装置に用いることができる別の磁気記録媒体80は、非磁性体87により互いに分離された磁性ディスクリートビット88を有する。この磁気記録媒体80がスピンドルモータ4により回転され、媒体移動方向85に向けて移動する際に、本発明の実施形態に係る磁気記録ヘッドにより、記録磁化84を形成することができる。
このように、本発明の実施形態に係る磁気記録装置においては、磁気記録媒体80は、非磁性部材を介して孤立した記録磁性ドットが規則的に配列形成されたディスクリートビット媒体とすることができる。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
3A 空気流入側
3B 空気流出側
4 スピンドルモータ
10、12、13、101、101c、102、102c、103 スピントルク発振子
10a 発振層
10f 主面
22 中間層
23 結晶性改善層(第2非磁性層)
25 積層構造体
30 スピン注入層
41 第1電極
42 第2電極
51、52 磁気記録ヘッド
60 書き込みヘッド部
61 主磁極
61A 磁極
61p 主磁極媒体対向部
61s 主磁極媒体対向面
62 環流磁極
62p 環流磁極媒体対向部
62s 環流磁極媒体対向面
63 コイル
70 再生ヘッド部
71 磁気再生素子
72a、72b 磁気シールド層
80 磁気記録媒体
81 磁気記録層
82 媒体基板
83 磁化
84 記録磁化
85 媒体移動方向
86 記録トラック
87 非磁性体
88 磁気ディスクリートビット
150 磁気記録装置
154 サスペンション
155 アクチュエータアーム
156 ボイスコイルモータ
157 軸受部
158 ヘッドジンバルアセンブリ(磁気ヘッドアセンブリ)
160 ヘッドスタックアセンブリ
161 支持フレーム
162 コイル
180 記録用媒体ディスク
190 信号処理部
Claims (16)
- {110}面が主面に対して略平行となるように配向した体心立方構造の磁性体からなる磁性膜を有し、磁気モーメントが前記主面に対して略垂直な方向を軸とする回転運動を行う第1磁性層と、
磁性体からなる第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に積層され、非磁性体からなる第1非磁性層と、
を備え、前記主面に対して実質的に垂直な方向の磁界が印加され、前記主面に対して垂直方向に電流が通電されることを特徴とするスピントルク発振子。 - 前記磁性膜は、Feを含み、さらに、Al、Si、Ga、Ge、P、Sn及びCuよりなる群から選択された少なくともいずれかの元素を5原子%以上の組成比で含むことを特徴とする請求項1記載のスピントルク発振子。
- 前記磁性膜の厚さは、前記第1磁性層の厚さの1/2倍以上1倍以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のスピントルク発振子。
- 前記磁性膜の厚さは、1nm以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のスピントルク発振子。
- 前記第2磁性層の磁化は、前記主面に対して垂直方向の結晶磁気異方性を持つことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載のスピントルク発振子。
- 前記第1磁性層の前記第1非磁性層とは反対の側に積層され、Ta、Mo、Nb、V、Cr及びWよりなる群から選択された少なくともいずれかを含む第2非磁性層をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載のスピントルク発振子。
- 磁気記録媒体に書き込み磁界を発する主磁極と、
前記磁気記録媒体から還流する書き込み磁界を前記主磁極に還流させる還流磁極と、
前記主磁極に併置された請求項1〜6のいずれか1つに記載のスピントルク発振子と、
を備えたことを特徴とする磁気記録ヘッド。 - 前記スピントルク発振子は、前記主磁極の前記磁気記録媒体に対向する主磁極媒体対向部と、前記還流磁極の前記主磁極媒体対向部に対向する環流磁極媒体対向部と、の間に設けられることを特徴とする請求項7記載の磁気記録ヘッド。
- 前記主磁極の前記磁気記録媒体に対向する主磁極媒体対向部と、前記還流磁極の前記主磁極媒体対向部に対向する環流磁極媒体対向部と、の間の距離は、10nm以上200nm以下であることを特徴とする請求項7または8に記載の磁気記録ヘッド。
- 磁気記録媒体に書き込み磁界を発する主磁極と、
前記主磁極に併置された請求項1〜6のいずれか1つに記載のスピントルク発振子と、
を備え、
前記第2磁性層は前記磁気記録媒体から還流する書き込み磁界を前記主磁極に還流させることを特徴とする磁気記録ヘッド。 - 前記第1磁性層は、前記主磁極と第2磁性層との間に設けられていることを特徴とする請求項7〜10のいずれか1つに記載の磁気記録ヘッド。
- 請求項7〜11のいずれか1つに記載の磁気記録ヘッドと、
前記磁気記録ヘッドが搭載されたヘッドスライダと、
前記ヘッドスライダを一端に搭載するサスペンションと、
前記サスペンションの他端に接続されたアクチュエータアームと、
を備えたことを特徴とする磁気ヘッドアセンブリ。 - 磁気記録媒体と、
請求項12記載の磁気ヘッドアセンブリと、
前記磁気ヘッドアセンブリに搭載された前記磁気記録ヘッドを用いて前記磁気記録媒体への信号の書き込みと読み出しを行う信号処理部と、
を備えたことを特徴とする磁気記録装置。 - 前記スピントルク発振子は、前記主磁極のトレーリング側に設けられたことを特徴とする請求項13記載の磁気記録装置。
- 前記磁気記録媒体は、隣接し合う記録トラック同士が非磁性部材を介して形成されたディスクリートトラック媒体であることを特徴とする請求項13または14に記載の磁気記録装置。
- 前記磁気記録媒体は、非磁性部材を介して孤立した記録磁性ドットが規則的に配列形成されたディスクリートビット媒体であることを特徴とする請求項13または14に記載の磁気記録装置。
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