JP2012231116A - 液処理方法、液処理装置および記憶媒体 - Google Patents
液処理方法、液処理装置および記憶媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012231116A JP2012231116A JP2011277159A JP2011277159A JP2012231116A JP 2012231116 A JP2012231116 A JP 2012231116A JP 2011277159 A JP2011277159 A JP 2011277159A JP 2011277159 A JP2011277159 A JP 2011277159A JP 2012231116 A JP2012231116 A JP 2012231116A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- chemical
- diw
- substrate
- organic solvent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 160
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 24
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims description 14
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 145
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 101
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 77
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims abstract description 72
- 238000009736 wetting Methods 0.000 claims abstract description 18
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical group CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 252
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 70
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 61
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 29
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 28
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 7
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000008096 xylene Substances 0.000 claims description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 238000007865 diluting Methods 0.000 claims description 3
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910017855 NH 4 F Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 70
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 39
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 13
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 7
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000008155 medical solution Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000724291 Tobacco streak virus Species 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
- H01L21/02052—Wet cleaning only
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/50—Solvents
- C11D7/5004—Organic solvents
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
- H01L21/02046—Dry cleaning only
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02057—Cleaning during device manufacture
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/67034—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D2111/00—Cleaning compositions characterised by the objects to be cleaned; Cleaning compositions characterised by non-standard cleaning or washing processes
- C11D2111/10—Objects to be cleaned
- C11D2111/14—Hard surfaces
- C11D2111/22—Electronic devices, e.g. PCBs or semiconductors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76898—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics formed through a semiconductor substrate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】液処理方法は、薬液より表面張力が小さい有機溶剤を基板に供給して凹部の内部を濡らすプリウエット工程と、その後、薬液からなる洗浄液を基板に供給して、凹部の内部の液体を薬液で置換して、この薬液によって前記凹部の内部を洗浄する薬液洗浄工程と、を備えている。
【選択図】図1
Description
IPAノズル22をウエハ中心の真上に位置させ、ウエハWを所定回転数例えば200〜2000rpmで回転させ、IPAノズル22からプリウエット液として常温のIPAを所定流量例えば10〜500ml/minの流量で所定時間例えば30〜180secの間吐出する。ウエハW中心に供給されたIPAは遠心力により拡散し、ウエハ表面全体を均一に濡らす。ここで、IPAの表面張力は約21.7dyne/cm(21.7×10−3N/m)と小さいため、細く深い穴の底まで容易に侵入し、当該穴の内部を満たすとともに、当該穴の全内表面を濡らす。
次に、DIWノズル24をウエハ中心の真上に位置させ、ウエハWを所定回転数例えば100〜2000rpmで回転させ、DIWノズル24からDIWを所定流量例えば300〜1500ml/minの流量で所定時間例えば30〜180secの間吐出する。これにより、ウエハ表面(上面)にあるIPAはDIWに追い出される。また、DIW(水)はIPAとよく混ざりあうため、穴内のIPAもDIWに置換されてゆく。なお、プリウエット工程(第1プリウエット工程)とDIW置換工程(第2プリウエット工程)とを交互に複数回行ってもよい。
次に、薬液ノズル20をウエハ中心の真上に位置させ、ウエハWを所定回転数例えば200〜2000rpmで回転させ、薬液ノズル20から無機系洗浄液(本例ではDHF)を所定流量例えば10〜500ml/minの流量で所定時間例えば30〜900secの間吐出する。これにより、ウエハ表面(上面)にあるDIWは無機系洗浄液に追い出される。また、水溶液である無機系洗浄液は、水とよく混ざりあうため、穴内のDIWも無機系洗浄液に置換されてゆく。そして、置換された無機系洗浄液により、穴の内表面に付着したポリマーが除去される。
次に、DIWノズル24をウエハ中心の真上に位置させ、ウエハWを所定回転数例えば200〜1500rpmで回転させ、DIWノズル24からDIWを所定流量例えば500〜1500L(リットル)/minの流量で所定時間例えば30〜180secの間吐出する。これにより、ウエハWの表面および穴内にある無機系洗浄液が、DIWにより洗い流される。
次に、IPAノズル22をウエハ中心の真上に位置させ、ウエハWを所定回転数例えば200〜2000rpmで回転させ、IPAノズル22からIPAを所定流量例えば10〜100L/minの流量で所定時間例えば30〜120secの間吐出する。これにより、ウエハWの表面および穴内にあるDIWが、IPAに置換される。
次に、IPAノズル22からのIPAの吐出を停止し、ウエハの回転速度を所定回転数例えば200〜2000rpmとし、所定時間例えば10〜60secの間振り切り乾燥を行う。IPAは揮発性が高いため、ウエハ表面だけでなく穴内も容易に乾燥する。このとき、乾燥を促進するため、N2ガス、ドライエアをウエアWに吹き付けてもよい。この場合には、N2ガスまたはドライエアを吹き付けるためのノズル(図示せず)が設けられる。
次に、第1実施形態のプリウエット工程(第1プリウエット工程)と同様の手順で、ウエハWにIPAを供給し、穴の内部をIPAで満たすとともに当該穴の全内表面を濡らす。
次に、DIW置換工程(第2プリウエット工程)を行うことなく、薬液洗浄工程を実行する。薬液洗浄工程は第1実施形態の薬液洗浄工程と同じ手順で行うことができる。前述した有機系洗浄液がウエハWに供給され、これによってウエハ表面(上面)にあるIPAは薬液に追い出される。また、有機系洗浄液はIPAとよく混ざりあうため、穴内のIPAも有機系洗浄液に置換され、置換された有機系洗浄液により穴の内表面に付着したポリマーが除去される。
次に、IPAノズル22をウエハ中心の真上に位置させ、ウエハWを所定回転数例えば200〜1500rpmで回転させ、IPAノズル22からIPAを所定流量例えば50〜500ml/minの流量で所定時間例えば30〜180secの間吐出する。これにより、ウエハWの表面および穴内にある薬液が、IPAにより置換される。なお、この第1リンス工程で用いるリンス液はIPAに限定されるものではなく、薬液洗浄工程で用いた有機系洗浄液および第2リンス工程で用いるDIWと混和性を有している他の有機溶剤を用いることもできる。
次に、DIWノズル24をウエハ中心の真上に位置させ、ウエハWを所定回転数例えば200〜1500rpmで回転させ、DIWノズル24からDIWを所定流量例えば500〜1500L(リットル)/minの流量で所定時間例えば30〜180secの間吐出する。これにより、ウエハWの表面および穴内にあるIPAが、DIWにより洗い流される。
次に、第1実施形態の乾燥用IPA置換工程と同様の手順で、ウエハWにIPAを供給し、ウエハWの表面および穴内にあるDIWをIPAに置換する。
次に、第1実施形態のスピン乾燥工程と同様の手順で、ウエハの乾燥を行う。以上により第2実施形態に係る一連の工程が終了する。
以下にプリウエットの効果を調べた試験結果について説明する。
直径10μm(穴の入口で測定)、深さ100μmの有底の穴をドライエッチングにより形成したシリコンウエハを用意し、これに対して薬液洗浄を行った。実施例として、IPAによるプリウエット工程(第1プリウエット工程)、DIWによるDIW置換工程(第2プリウエット工程)を行った後、DHFによる薬液洗浄工程を実施した。第1プリウエット工程は、ウエハ回転数を300rpm、IPA温度を常温、IPA流量を35ml/minとして、60sec行った。第2プリウエット工程は、ウエハ回転数を300rpm、DIW温度を常温、DIW流量を1000ml/minとして60sec行った。薬液洗浄工程は、ウエハ回転数を300rpm、DHF流量を1500ml/minとして60sec行った。薬液洗浄工程の後、上記のリンス工程、IPA置換工程およびスピン乾燥工程を行った。また、上記一連の工程から第1プリウエット工程および第2プリウエット工程を省いたものを比較例とし、薬液洗浄工程の時間が60secのものを比較例1、薬液洗浄工程の時間が180secのものを比較例2とした。
実施例として、上述した第1試験における実施例と同じ条件で、IPAによる第1プリウエット工程、DIWによる第2プリウエット工程、DHFによる薬液洗浄工程、リンス工程、IPA置換工程およびスピン乾燥工程を順次行った。また、上記一連の工程からIPA置換工程を省いたものを比較例とした。実施例および比較例のウエハに対して、CVD法により絶縁膜を成膜した。
20 薬液ノズル
22 有機溶剤ノズル
24 DIWノズル
20a,20b,20c 薬液供給機構
22a,22b,22c 有機溶剤供給機構
24a,24b,24c DIW供給機構
100 制御部
101 記憶媒体
Claims (20)
- 基板の表面に形成された凹部の内部を薬液からなる洗浄液により洗浄する液処理方法であって、
前記薬液より表面張力が小さい有機溶剤を前記基板に供給して前記凹部の内部を前記有機溶剤で濡らすプリウエット工程と、
前記プリウエット工程の後に、前記薬液を前記基板に供給して、前記凹部の内部を濡らしている液体を前記薬液で置換して、前記薬液によって前記凹部の内部を洗浄する薬液洗浄工程と、
を備えた液処理方法。 - 前記有機溶剤は、IPA(イソプロピルアルコール)、キシレン、またはIPAとHFE(ハイドロフルオロエーテール)との混合物である、請求項1に記載の液処理方法。
- 前記薬液が無機系洗浄液である、請求項1または2に記載の液処理方法。
- 前記プリウエット工程の後であって前記薬液洗浄工程の前に、DIW(純水)を基板に供給して、前記凹部の内部を濡らしている前記有機溶剤をDIWで置換するDIW置換工程を更に備え、前記薬液洗浄工程において、前記凹部の内部を濡らしているDIWが前記薬液により置換される、請求項3に記載の液処理方法。
- 前記DIW置換工程において加熱したDIWが供給される、請求項4に記載の液処理方法。
- 前記無機系洗浄液が、
− DHF(希フッ酸)液、
− SC−1液、
− SC−2液、または
− HF液、NH4F液およびNH4HF2液からなる群から選択された1つの液あるいは2以上の液の混合液をDIWで希釈したHF系薬液、
のうちのいずれかである、請求項4または5に記載の液処理方法。 - 前記薬液が有機系洗浄液である、請求項1または2に記載の液処理方法。
- 前記薬液洗浄工程において、前記凹部の内部を濡らしている前記有機溶剤が直接的に前記有機系洗浄液で置換される、請求項7に記載の液処理方法。
- 前記有機系洗浄液は、ジメチルスルホキシドと、ジメチルスルホキシドと混和可能な有機溶剤とを含む混和物からなる、請求項7または8に記載の液処理方法。
- 前記ジメチルスルホキシドと混和可能な有機溶剤として、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチルピロドリン、N,N−ジメチルイミダゾリジノンからなる群から選択される少なくとも1つが用いられる、請求項9に記載の液処理方法。
- 前記プリウエット工程において加熱した有機溶剤が供給される、請求項8〜10のいずれか一項に記載の液処理方法。
- 前記薬液洗浄工程の後に、有機溶剤からなる第1リンス液を前記基板に供給して、前記凹部の内部の前記薬液を前記第1リンス液で置換する第1リンス工程と、
前記第1リンス工程の後、DIWからなる第2リンス液を前記基板に供給して、前記凹部の内部の前記第1リンス液を前記第2リンス液で置換する第2リンス工程と、
前記第2リンス工程の後、前記基板を乾燥させる乾燥工程と、
をさらに備えた、請求項7〜11のいずれか一項に記載の液処理方法。 - 前記乾燥工程においてIPAが前記基板に供給される、請求項12に記載の液処理方法。
- 前記薬液洗浄工程の後に、リンス液を前記基板に供給して、前記凹部の内部の前記薬液を前記リンス液で置換するリンス工程と、
前記リンス工程の後、前記基板を乾燥させる乾燥工程と、
をさらに備え、
前記乾燥工程においてIPAが前記基板に供給される、請求項1〜11のいずれか一項に記載の液処理方法。 - 基板を保持する基板保持部と、
薬液からなる洗浄液を吐出する薬液ノズルと、
前記薬液より表面張力が小さい有機溶剤を吐出する有機溶剤ノズルと、
前記有機溶剤ノズルに有機溶剤を供給する有機溶剤供給機構と、
前記薬液ノズルに薬液を供給する薬液供給機構と、
前記有機溶剤供給機構および前記薬液供給機構の動作を制御して、前記有機溶剤を前記基板保持部により保持された前記基板に供給するプリウエット工程と、その後、前記薬液を前記基板に供給する薬液洗浄工程とを実施させる制御部と、
を備えた液処理装置。 - DIW(純水)を吐出するDIWノズルと、
前記DIWノズルにDIWを供給するDIW供給機構と、
を更に備え、
前記制御部は、DIW供給機構の動作を制御して、前記プリウエット工程と前記薬液洗浄工程の間に、前記基板にDIWを供給して前記基板上にある前記有機溶剤をDIWで置換するDIW置換工程を更に実施させるように構成されている、請求項15に記載の液処理装置。 - 前記制御部は、薬液洗浄工程において前記薬液を前記基板に供給することによって前記基板上にある前記有機溶剤が直接的に前記薬液で置換されるように、前記薬液洗浄工程を実施させるように構成されている、請求項15に記載の液処理装置。
- 液処理装置の制御部をなすコンピュータにより読み取り可能なプログラムを記録する記憶媒体であって、前記液処理装置は、薬液からなる洗浄液より表面張力が小さい有機溶剤を吐出する有機溶剤ノズルと、薬液を吐出する薬液ノズルと、前記有機溶剤ノズルに前記有機溶剤を供給する有機溶剤供給機構と、前記薬液ノズルに前記薬液を供給する薬液供給機構とを備えており、前記コンピュータが前記プログラムを実行すると前記制御部が前記液処理装置を制御して、前記有機溶剤を基板に供給して前記凹部の内部を濡らすプリウエット工程と、その後、前記薬液を基板に供給して、前記凹部の内部の液体を前記薬液で置換して、前記薬液によって前記凹部の内部を洗浄する薬液洗浄工程と、を実行させる記憶媒体。
- 前記液処理装置が、DIW(純水)を吐出するDIWノズルと、前記DIWノズルにDIWを供給するDIW供給機構と、を更に備えており、前記記憶媒体は、前記コンピュータが前記プログラムを実行すると前記制御部が前記液処理装置を制御して、前記プリウエット工程と前記薬液洗浄工程の間に、前記基板にDIWを供給して前記基板上にある前記有機溶剤をDIWで置換するDIW置換工程を更に実施させる、請求項18に記載の記憶媒体。
- 前記コンピュータが前記プログラムを実行すると前記制御部が前記液処理装置を制御して、薬液洗浄工程において前記薬液を前記基板に供給することによって前記基板上にある前記有機溶剤が直接的に前記薬液で置換されるように、前記薬液洗浄工程を実施させる、請求項19に記載の記憶媒体。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011277159A JP5813495B2 (ja) | 2011-04-15 | 2011-12-19 | 液処理方法、液処理装置および記憶媒体 |
TW101113226A TWI524453B (zh) | 2011-04-15 | 2012-04-13 | 液體處理方法、液體處理裝置及記憶媒體 |
KR1020120038520A KR101678248B1 (ko) | 2011-04-15 | 2012-04-13 | 액 처리 방법, 액 처리 장치 및 기억 매체 |
US13/446,255 US9111967B2 (en) | 2011-04-15 | 2012-04-13 | Liquid processing method, liquid processing apparatus and storage medium |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011091295 | 2011-04-15 | ||
JP2011091295 | 2011-04-15 | ||
JP2011277159A JP5813495B2 (ja) | 2011-04-15 | 2011-12-19 | 液処理方法、液処理装置および記憶媒体 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012231116A true JP2012231116A (ja) | 2012-11-22 |
JP2012231116A5 JP2012231116A5 (ja) | 2014-04-10 |
JP5813495B2 JP5813495B2 (ja) | 2015-11-17 |
Family
ID=47005472
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011277159A Active JP5813495B2 (ja) | 2011-04-15 | 2011-12-19 | 液処理方法、液処理装置および記憶媒体 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9111967B2 (ja) |
JP (1) | JP5813495B2 (ja) |
KR (1) | KR101678248B1 (ja) |
TW (1) | TWI524453B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018037691A1 (ja) * | 2016-08-22 | 2018-03-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布方法、塗布装置及び記憶媒体 |
WO2020235438A1 (ja) * | 2019-05-23 | 2020-11-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法 |
JP2021150331A (ja) * | 2020-03-16 | 2021-09-27 | 栗田工業株式会社 | ウエハの洗浄方法 |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5783971B2 (ja) * | 2012-08-10 | 2015-09-24 | 株式会社東芝 | 塗布装置および塗布方法 |
US9870933B2 (en) * | 2013-02-08 | 2018-01-16 | Lam Research Ag | Process and apparatus for treating surfaces of wafer-shaped articles |
KR20150000548A (ko) * | 2013-06-24 | 2015-01-05 | 삼성전자주식회사 | 기판 처리 장치 |
TWI539515B (zh) * | 2013-11-13 | 2016-06-21 | 弘塑科技股份有限公司 | 晶片堆疊結構之洗淨方法及洗淨設備 |
JP6308910B2 (ja) * | 2013-11-13 | 2018-04-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄方法、基板洗浄システムおよび記憶媒体 |
CN104979236B (zh) * | 2014-04-11 | 2017-09-26 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 一种化学液供给装置及其供给方法 |
KR102347975B1 (ko) * | 2014-07-14 | 2022-01-07 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
JP6449097B2 (ja) * | 2014-07-24 | 2019-01-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置並びに基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
JP6440111B2 (ja) * | 2014-08-14 | 2018-12-19 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法 |
CN105047529A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-11-11 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 改善小尺寸高深宽比结构的湿法工艺润湿性的方法 |
KR101736871B1 (ko) | 2015-05-29 | 2017-05-18 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
JP6552931B2 (ja) * | 2015-09-18 | 2019-07-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2017157800A (ja) * | 2016-03-04 | 2017-09-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理方法、基板処理装置、及び記憶媒体 |
JP6623943B2 (ja) | 2016-06-14 | 2019-12-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体装置の製造方法、熱処理装置及び記憶媒体。 |
EP3282474B1 (en) * | 2016-08-11 | 2021-08-04 | IMEC vzw | Method for performing a wet treatment of a substrate |
JP6979826B2 (ja) * | 2017-08-04 | 2021-12-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法および基板処理装置 |
KR102029127B1 (ko) * | 2019-02-08 | 2019-10-07 | 영창케미칼 주식회사 | 반도체 제조 공정에 있어서 실리콘 또는 실리콘 화합물 패턴을 형성하기 위한 신규 방법 |
JP7250566B2 (ja) * | 2019-02-26 | 2023-04-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2022023732A (ja) | 2020-07-27 | 2022-02-08 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法、基板処理装置、および、処理液、 |
JP2022023730A (ja) | 2020-07-27 | 2022-02-08 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2022023733A (ja) * | 2020-07-27 | 2022-02-08 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法、基板処理装置および処理液 |
CN112185857A (zh) * | 2020-09-29 | 2021-01-05 | 王健 | 一种晶圆电镀前处理用摇摆喷淋工艺 |
KR102597005B1 (ko) * | 2020-12-29 | 2023-11-02 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 방법 |
JP2022110505A (ja) * | 2021-01-18 | 2022-07-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法および基板処理装置 |
US11925963B2 (en) | 2022-05-27 | 2024-03-12 | Semes Co., Ltd. | Method for treating a substrate |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1187290A (ja) * | 1997-09-10 | 1999-03-30 | Hitachi Ltd | 半導体基板の洗浄方法及びそれを用いた半導体装置の製造方法 |
JPH11176791A (ja) * | 1997-12-08 | 1999-07-02 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 |
JPH11340184A (ja) * | 1998-05-22 | 1999-12-10 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2003124316A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-04-25 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法及び処理液 |
JP2003151951A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-05-23 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2008047831A (ja) * | 2006-08-21 | 2008-02-28 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | ドライエッチング残渣用洗浄液および洗浄法 |
JP2009212301A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2011035128A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置、液処理方法、プログラムおよびプログラム記録媒体 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001015480A (ja) | 1999-06-29 | 2001-01-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板の処理方法 |
US6890864B2 (en) * | 2001-07-12 | 2005-05-10 | Nec Electronics Corporation | Semiconductor device fabricating method and treating liquid |
US7838425B2 (en) | 2008-06-16 | 2010-11-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of treating surface of semiconductor substrate |
JP5305331B2 (ja) * | 2008-06-17 | 2013-10-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像処理方法及び現像処理装置 |
JP5298762B2 (ja) | 2008-10-21 | 2013-09-25 | 株式会社ニコン | 積層型半導体装置、積層型半導体装置の製造方法及び半導体基板 |
US8950414B2 (en) * | 2009-07-31 | 2015-02-10 | Tokyo Electron Limited | Liquid processing apparatus, liquid processing method, and storage medium |
-
2011
- 2011-12-19 JP JP2011277159A patent/JP5813495B2/ja active Active
-
2012
- 2012-04-13 KR KR1020120038520A patent/KR101678248B1/ko active IP Right Grant
- 2012-04-13 US US13/446,255 patent/US9111967B2/en active Active
- 2012-04-13 TW TW101113226A patent/TWI524453B/zh active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1187290A (ja) * | 1997-09-10 | 1999-03-30 | Hitachi Ltd | 半導体基板の洗浄方法及びそれを用いた半導体装置の製造方法 |
JPH11176791A (ja) * | 1997-12-08 | 1999-07-02 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 |
JPH11340184A (ja) * | 1998-05-22 | 1999-12-10 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2003124316A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-04-25 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法及び処理液 |
JP2003151951A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-05-23 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2008047831A (ja) * | 2006-08-21 | 2008-02-28 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | ドライエッチング残渣用洗浄液および洗浄法 |
JP2009212301A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2011035128A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置、液処理方法、プログラムおよびプログラム記録媒体 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018037691A1 (ja) * | 2016-08-22 | 2018-03-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布方法、塗布装置及び記憶媒体 |
WO2020235438A1 (ja) * | 2019-05-23 | 2020-11-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法 |
JP7191216B2 (ja) | 2019-05-23 | 2022-12-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法 |
JP2021150331A (ja) * | 2020-03-16 | 2021-09-27 | 栗田工業株式会社 | ウエハの洗浄方法 |
JP7419896B2 (ja) | 2020-03-16 | 2024-01-23 | 栗田工業株式会社 | ウエハの洗浄方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20120117678A (ko) | 2012-10-24 |
US9111967B2 (en) | 2015-08-18 |
TW201306151A (zh) | 2013-02-01 |
KR101678248B1 (ko) | 2016-11-21 |
US20120260949A1 (en) | 2012-10-18 |
TWI524453B (zh) | 2016-03-01 |
JP5813495B2 (ja) | 2015-11-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5813495B2 (ja) | 液処理方法、液処理装置および記憶媒体 | |
KR102068443B1 (ko) | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 | |
KR101810748B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP6013289B2 (ja) | 半導体基板の洗浄方法および半導体基板の洗浄装置 | |
JP2012231116A5 (ja) | ||
TWI525679B (zh) | Liquid treatment methods, liquid treatment devices and memory media | |
JP2008027931A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2007227467A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP2017168699A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP5852871B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP2016072489A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
KR20180054598A (ko) | 기판 처리 방법, 기판 처리 장치 및 기억 매체 | |
JP5716696B2 (ja) | 液処理装置、液処理方法及びコンピュータ読取可能な記憶媒体 | |
JP6404174B2 (ja) | めっき処理方法、記憶媒体およびめっき処理システム | |
KR101941214B1 (ko) | 기판의 건조 방법 | |
US20080053486A1 (en) | Semiconductor substrate cleaning apparatus | |
JP2005268308A (ja) | レジスト剥離方法およびレジスト剥離装置 | |
JP6948840B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
US9922835B2 (en) | Plating method, plating apparatus, and storage medium | |
KR20190004224A (ko) | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 | |
TWI754130B (zh) | 半導體晶圓清潔方法與設備 | |
JP2017130694A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP2005327936A (ja) | 基板の洗浄方法及びその製造方法 | |
WO2024048269A1 (ja) | 基板処理方法、および基板処理装置 | |
TW202418385A (zh) | 基板處理方法、及基板處理裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140226 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150204 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150413 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150821 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150916 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5813495 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |