JP2012154734A - 放射線画像取得装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の放射線画像取得装置1では、表面検出器3および裏面検出器4によって、異なるエネルギー帯の放射線画像を取得するデュアルエナジー撮像が実現される。ここで、対象物Aと波長変換板6との間には撮像手段が何ら介在していないため、対象物Aを透過した放射線に与える影響が低減され、低エネルギー帯の放射線が好適に検出される。しかも、裏面検出器4は、裏面6bの法線C方向に出射されるシンチレーション光を集光するため、あおりの無い裏面側画像Pbを取得することができ、この裏面側画像Pbを基準画像として表面側画像Paのあおりを適正に補正することができる。
【選択図】図1
Description
Claims (8)
- 放射線を出射する放射線源と、
前記放射線源から出射され、対象物を透過した前記放射線の入射に応じてシンチレーション光を発生させる平板状の波長変換部材と、
前記波長変換部材の前記放射線の入射面から出射されるシンチレーション光を集光して撮像する第1の撮像手段と、
前記波長変換部材の前記入射面とは反対側の面から出射されるシンチレーション光を集光して撮像する第2の撮像手段と、
を備え、
前記第1の撮像手段および前記第2の撮像手段の一方は、前記入射面または前記反対側の面からその法線方向に出射されるシンチレーション光を集光し、
前記第1の撮像手段および前記第2の撮像手段の他方は、前記入射面または前記反対側の面からその法線方向に対して傾斜した方向に出射されるシンチレーション光を集光する
ことを特徴とする放射線画像取得装置。 - 前記第1の撮像手段および前記第2の撮像手段のそれぞれは、
前記波長変換部材から出射される前記シンチレーション光を集光する集光レンズ部と、
集光された前記シンチレーション光を撮像する撮像部と、
を有することを特徴とする請求項1記載の放射線画像取得装置。 - 前記第1の撮像手段は、前記入射面の法線方向に出射されるシンチレーション光を集光すると共に、
前記第2の撮像手段は、前記反対側の面の法線方向に対して傾斜した方向に出射されるシンチレーション光を集光する
ことを特徴とする請求項1又は2記載の放射線画像取得装置。 - 前記放射線源は、前記入射面の法線上に配置されると共に、
前記第1の撮像手段は、前記入射面の法線から外れた位置に配置され、前記波長変換部材と前記放射線源との間に配置された反射ミラーを介してシンチレーション光を集光する
ことを特徴とする請求項3記載の放射線画像取得装置。 - 前記第2の撮像手段は、前記反対側の面の法線から外れた位置に配置され、前記反対側の面の法線上に配置された反射ミラーを介して前記反対側の面の法線方向に出射されるシンチレーション光を集光する
ことを特徴とする請求項1又は2記載の放射線画像取得装置。 - 前記波長変換部材の前記反対側の面と前記第2の撮像手段との間には、前記反対側の面に対面させてテーパファイバが配置されている
ことを特徴とする請求項1又は2記載の放射線画像取得装置。 - 前記一方の撮像手段によって撮像された画像を基準画像として、前記他方の撮像手段によって撮像された画像を補正する補正手段を更に備える
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の放射線画像取得装置。 - 前記対象物は半導体デバイスであり、
当該半導体デバイスを検査対象とする半導体故障検査装置に適用される
ことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の放射線画像取得装置。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011013195A JP5792472B2 (ja) | 2011-01-25 | 2011-01-25 | 放射線画像取得装置 |
DE202011110809.4U DE202011110809U1 (de) | 2011-01-25 | 2011-10-21 | Strahlungsbilderfassungsvorrichtung |
PCT/JP2011/074330 WO2012101880A1 (ja) | 2011-01-25 | 2011-10-21 | 放射線画像取得装置 |
EP11856980.5A EP2669664A4 (en) | 2011-01-25 | 2011-10-21 | Radiation image acquisition device |
CN201190001003.7U CN203396723U (zh) | 2011-01-25 | 2011-10-21 | 放射线图像取得装置 |
US13/981,372 US9255996B2 (en) | 2011-01-25 | 2011-10-21 | Radiation image acquisition device |
US14/974,975 US10101469B2 (en) | 2011-01-25 | 2015-12-18 | Radiation image acquisition device |
US16/101,967 US10746884B2 (en) | 2011-01-25 | 2018-08-13 | Radiation image acquisition device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011013195A JP5792472B2 (ja) | 2011-01-25 | 2011-01-25 | 放射線画像取得装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015156065A Division JP5973040B2 (ja) | 2015-08-06 | 2015-08-06 | 放射線画像取得装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012154734A true JP2012154734A (ja) | 2012-08-16 |
JP2012154734A5 JP2012154734A5 (ja) | 2014-03-06 |
JP5792472B2 JP5792472B2 (ja) | 2015-10-14 |
Family
ID=46580467
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011013195A Active JP5792472B2 (ja) | 2011-01-25 | 2011-01-25 | 放射線画像取得装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US9255996B2 (ja) |
EP (1) | EP2669664A4 (ja) |
JP (1) | JP5792472B2 (ja) |
CN (1) | CN203396723U (ja) |
DE (1) | DE202011110809U1 (ja) |
WO (1) | WO2012101880A1 (ja) |
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- 2011-01-25 JP JP2011013195A patent/JP5792472B2/ja active Active
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- 2011-10-21 EP EP11856980.5A patent/EP2669664A4/en not_active Withdrawn
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- 2011-10-21 WO PCT/JP2011/074330 patent/WO2012101880A1/ja active Application Filing
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JP7250891B2 (ja) | 2020-07-17 | 2023-04-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | 画像取得システムおよび画像取得方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5792472B2 (ja) | 2015-10-14 |
CN203396723U (zh) | 2014-01-15 |
US10746884B2 (en) | 2020-08-18 |
US20140016752A1 (en) | 2014-01-16 |
EP2669664A1 (en) | 2013-12-04 |
US20190086558A1 (en) | 2019-03-21 |
DE202011110809U1 (de) | 2016-07-14 |
WO2012101880A1 (ja) | 2012-08-02 |
US20160103231A1 (en) | 2016-04-14 |
US10101469B2 (en) | 2018-10-16 |
EP2669664A4 (en) | 2017-07-12 |
US9255996B2 (en) | 2016-02-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140120 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150714 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150806 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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