DE202011110809U1

DE202011110809U1 - Strahlungsbilderfassungsvorrichtung

Info

Publication number: DE202011110809U1
Application number: DE202011110809.4U
Authority: DE
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 2011-01-25
Filing date: 2011-10-21
Publication date: 2016-07-14
Anticipated expiration: 2021-10-22
Also published as: CN203396723U; WO2012101880A1; US20140016752A1; JP5792472B2; EP2669664A4; US10101469B2; US9255996B2; US20160103231A1; JP2012154734A; EP2669664A1; US10746884B2; US20190086558A1

Abstract

Eine Strahlungsbilderfassungsvorrichtung, umfassend: eine Strahlungsquelle zum Emittieren von Strahlung; ein Wellenlängenkonversionselement zum Erzeugen von Szintillatonslicht entsprechend einem Einfall der Strahlung, welche von der Strahlungsquelle emittiert und durch ein Objekt transmittiert wird; ein erstes Abbildungsmittel zum Abbilden des Szintillationslichts, welches von einer Eintrittsoberfläche in dem Wellenlängenkonversionselement emittiert wird.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Strahlungsbilderfassungsvorrichtung.
Stand der Technik
Konventionell ist eine Vorrichtung bekannt zum Anwenden von Röntgenstrahlung, welche von einer Röntgenstrahlungsquelle emittiert und durch ein abzubildendes Objekt transmittiert wird, auf einen Szintillator in Form einer flachen Platte, um durch Festkörperfotodetektoren, welche auf beiden Oberflächen des Szintillators aufgelegt sind, sichtbares Licht (Szintillationslicht), welches in dem Szintillator erzeugt wird, zu detektieren, und zum Überlagern von Bildsignalen aus den jeweiligen Festkörperfotodetektoren übereinander, um ein Strahlungsbild zu erfassen, wie in der unten genannten Patentliteratur 1 beschrieben. In dieser Vorrichtung sind die Fotodetektorelement auf der Röntgenstrahl-Eintrittsoberfläche und auf der dahinter liegenden rückwertigen Oberfläche in dem Szintillator gekoppelt, und das sichtbare Licht wird jeweils durch das Fotodetektorelement auf der Eintrittsoberflächenseite und das Fotodetektorelement auf der Seite der rückwärtigen Oberfläche detektiert, wodurch die Effizienz der Detektion des sichtbaren Lichts erhöht wird.
Literaturliste
Patentliteratur

Patentliteratur 1: japanische Patentanmeldungsoffenlegungsschrift Nr. H07-27866

Zusammenfassung der Erfindung
Technische Aufgabe
Die Vorrichtung zum Detektieren des Szintillationslichts auf beiden Oberflächen des oben beschriebenen Szintillators kann Strahlungsbilder in unterschiedlichen Energiebändern auf der Eintrittsoberflächenseite und auf der Seite der dahinter liegenden rückwärtigen Oberfläche erfassen, um ein Erfassen von sogenannten Dual-Energiebildern zu ermöglichen.
In der vorstehenden konventionellen Vorrichtung, allerdings, tritt die durch das Objekt transmittierte Strahlung durch das Fotodetektorelement auf der Eintrittsoberflächenseite hindurch, um den Szintillator zu erreichen, und aus diesem Grund wird Strahlung in einem relativ niedrigen Energieband durch das Fotodetektorelement auf der Eintrittsoberflächenseite absorbiert. Beispielsweise, wenn das Objekt aus einem leichtgewichtigen Atom gebildet ist, kann die durch das Objekt transmittierte Strahlung durch das Fotodetektorelement auf der Eintrittsoberflächenseite absorbiert werden. Wie oben beschrieben, weist die konventionelle Vorrichtung das Problem auf, dass die durch das Objekt transmittierte Strahlung durch das Fotodetektorelement auf der Eintrittsoberflächenseite beeinflusst wird.
Daher ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Strahlungsbilderfassungsvorrichtung bereitzustellen, welche geeignet ist zum Erfassen von Strahlungsbildern in unterschiedlichen Energiebändern, während der Einfluss auf die durch das Objekt transmittierte Strahlung reduziert wird.
Lösung des Problems
Eine Strahlungsbilderfassungsvorrichtung entsprechend einem Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst: eine Strahlungsquelle, welche eine Strahlung emittiert; ein Wellenlängenkonversionselement in Form einer flachen Platte, welches Szintillationslicht entsprechend einem Einfall der von der Strahlungsquelle emittierten und durch ein Objekt transmittierten Strahlung erzeugt; ein erstes Abbildungsmittel, welches das Szintillationslicht konzentriert und abbildet, welches von einer Eintrittsoberfläche für die Strahlung in dem Wellenlängenkonversionselement emittiert wird; und ein zweites Abbildungsmittel, welches das Szintillationslicht konzentriert und abbildet, welches von einer Oberfläche entgegengesetzt zu der Eintrittsoberfläche in dem Wellenlängenkonversionselement emittiert wird, wobei eines aus der Gruppe des ersten Abbildungsmittels und des zweiten Abbildungsmittels das Szintillationslicht konzentriert, welches von der Eintrittsoberfläche oder der entgegengesetzten Oberfläche in einer Richtung einer Normalen dazu emittiert wird, und wobei das andere aus der Gruppe des ersten Abbildungsmittels und des zweiten Abbildungsmittels das Szintillationslicht konzentriert, welches von der Eintrittsoberfläche oder der entgegengesetzten Oberfläche in einer Richtung geneigt bezüglich einer Richtung einer Normalen dazu emittiert wird.
In der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung entsprechend einem Aspekt der vorliegenden Erfindung konzentrieren das erste Abbildungsmittel und das zweite Abbildungsmittel die jeweiligen Szintillationslichtstrahlen und bilden diese ab, welche von der Eintrittsoberfläche für die Strahlung und von der dahinter entgegengesetzten Oberfläche in dem Wellenlängenkonversionselement emittiert wird. Dies realisiert eine Dual-Energie-Bildgebung zum Erfassen von Strahlungsbildern in unterschiedlichen Energiebändern. In dieser Verbindung sind das erste Abbildungsmittel an einer Position beabstandet von dem Wellenlängenkonversionselement angeordnet, um das Szintillationslicht zu konzentrieren, welches von der Eintrittsoberfläche emittiert wird. Daher kann die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung die Konfiguration aufweisen, wobei keine Abbildungsmittel zwischen dem Objekt und dem Wellenlängenkonversionselement dazwischen gestellt sind, wodurch ein Fall vermieden wird, bei dem das Abbildungsmittel die durch das Objekt transmittierte Strahlung beeinflusst. Entsprechend ist es durchführbar, den Einfluss auf die durch das Objekt transmittierte Strahlung zu reduzieren. Weiter, da eines aus der Gruppe des ersten Abbildungsmittels und des zweiten Abbildungsmittels das Szintillationslicht konzentriert, welches von der Eintrittsoberfläche oder von der dahinter entgegengesetzten Oberfläche in der Richtung der Normalen dazu emittiert wird, kann diese ein Strahlungsbild ohne eine Perspektive erfassen. Daher kann eine Perspektive des durch das andere Abbildungsmittel erfassten Strahlungsbilds geeignet unter Verwendung des durch das eine Abbildungsmittel erfassten Strahlungsbilds ohne Perspektive, als ein Referenzbild, korrigiert werden.
Die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung kann in einem solchen Modus ausgebildet sein, dass das erste Abbildungsmittel und das zweite Abbildungsmittel jeweils aufweisen: eine Kondensor-Linseneinheit zur Konzentration des Szintillationslichts, welches von dem Wellenlängenkonversionselement emittiert wird; und eine Abbildungseinheit zum Abbilden des so konzentrierten Szintillationslichts. In diesem Fall wird das Szintillationslicht mit einem Fokus jeweils auf die Eintrittsoberfläche und die entgegengesetzte Oberfläche des Wellenlängenkonversionselements konzentriert, was eine Erfassung von hellen Strahlungsbildern mit einer guten Energieauflösung erleichtert.
Die Strahlungsquellenerfassungsvorrichtung kann in einem solchen Modus ausgebildet sein, dass das erste Abbildungsmittel das Szintillationslicht konzentriert, welches in der Richtung der Normalen zu der Eintrittsoberfläche emittiert wird, und dass das zweite Abbildungsmittel das Szintillationslicht konzentriert, welches in der Richtung geneigt bezüglich der Richtung der Normalen zu der entgegengesetzten Oberfläche emittiert wird. In diesem Fall, da das durch das erste Abbildungsmittel erfasste Strahlungsbild ein Bild des Szintillationslichts ist, welches aus einer Konversion in der Nähe der Eintrittsoberfläche des Wellenlängenkonversionselements resultiert, ist dieses weniger durch eine Unschärfe beeinflusst, welche innerhalb des Wellenlängenkonversionselements auftritt, und so wird ein klareres Bild ohne eine signifikante Unschärfe erhalten. Daher kann das Strahlungsbild ohne Perspektive und ohne signifikante Unschärfe als das Referenzbild verwendet werden, wobei das bessere Referenzbild zum Korrigieren für die Perspektive des durch das zweite Abbildungsmittel erfassten Strahlungsbilds verwendet werden kann.
Die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung kann in einem solchen Modus ausgebildet sein, dass die Strahlungsquelle auf der Normalen zu der Eintrittsoberfläche angeordnet ist, und dass das erste Abbildungsmittel angeordnet ist an einer Position abseits der Normalen zu der Eintrittsoberfläche, um das Szintillationslicht über einen zwischen dem Wellenlängenkonversionselement und der Strahlungsquelle angeordneten Reflektorspiegel zu konzentrieren. In diesem Fall kann das Strahlungsbild ohne Perspektive und ohne signifikante Unschärfe als das Referenzbild, wie oben beschrieben, verwendet werden. Zusätzlich, da die Strahlungsquelle auf der Normalen zu der Eintrittsoberfläche angeordnet ist, wird keine Perspektive in einem Projektionsbild auf das Wellenlängenkonversionselement erzeugt, was die Notwendigkeit für eine Operation zum Korrigieren für eine Perspektive des Projektionsbilds aufhebt. Weiter kann verhindert werden, dass das erste Abbildungsmittel der Strahlung ausgesetzt wird, was eine Erzeugung von Rauschen innerhalb des ersten Abbildungsmittels unterdrücken kann.
Die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung kann in einem solchen Modus ausgebildet sein, dass das zweite Abbildungsmittel an einer Position abseits der Normalen zu der entgegengesetzten Oberfläche angeordnet ist, um das Szintillationslicht zu konzentrieren, welches in der Richtung der Normalen zu der entgegengesetzten Oberfläche über einen auf der Normalen zu der entgegengesetzten Oberfläche angeordneten Reflektorspiegel emittiert wird. In diesem Fall kann verhindert werden, dass das zweite Abbildungsmittel der Strahlung ausgesetzt wird, was eine Erzeugung von Rauschen innerhalb des zweiten Abbildungsmittels unterdrücken kann. Daher, wenn das durch das zweite Abbildungsmittel erfasste Strahlungsbild als das Referenzbild verwendet wird, ist ebenso ein gutes Referenzbild verfügbar. Weiterhin erlaubt diese Konfiguration eine Einstellung von optischen Pfadlängen von dem Wellenlängenkonversionselement zu dem ersten und dem zweiten Abbildungsmittel, was eine Positionsanordnung des ersten und des zweiten Abbildungsmittels erleichtert. Als eine Konsequenz davon wird es einfacher Abbildungsbedingungen der ersten und zweiten Abbildungsmittel (z.B. Gleichzeitigkeit von Aufnahmezeiten und Identität von Aufnahmepositionen) anzupassen.
Die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung kann in einem solchen Modus ausgebildet sein, dass eine sich verjüngende Faser zwischen der entgegengesetzten Oberfläche des Wellenlängenkonversionselements und der zweiten Abbildungsmittel angeordnet ist, um der entgegengesetzten Oberfläche gegenüber zu liegen. In diesem Fall kann die sich verjüngende Faser das Szintillationslicht auf der entgegengesetzten Oberflächenseite mit einer hohen Lichtkonzentrationseffizienz konzentrieren. Weiterhin blockiert die sich verjüngende Faser die Strahlung, wodurch verhindert wird, dass das zweite Abbildungsmittel der Strahlung ausgesetzt wird. Weiter, wenn das durch das zweite Abbildungsmittel erfasste Strahlungsbild als das Referenzbild verwendet wird, ist ebenso ein gutes Referenzbild verfügbar.
Die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung kann in einem solchen Modus ausgebildet sein, dass die Vorrichtung weiter umfasst: Korrekturmittel zum Korrigieren eines Bildes, welches durch das andere Abbildungsmittel aufgenommen ist, unter Verwendung eines Bildes, welches durch das eine Abbildungsmittel aufgenommen ist, als ein Referenzbild.
Die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung kann in einem Modus so ausgebildet sein, dass das Objekt eine Halbleitervorrichtung ist und dass die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung auf eine Halbleiterausfallinspektionsvorrichtung angewendet ist, dessen Inspektionsziel die Halbleitervorrichtung ist. In diesem Fall, da die durch die Halbleitervorrichtung, als das Inspektionsziel, transmittierte Strahlung nicht durch die Abbildungseinheit (Abbildungsvorrichtung zum Erfassen eines Bildes) geschnitten wird, kann die Inspektionsvorrichtung einen Ausfall oder etwas Ähnliches der Halbleitervorrichtung mit einer hohen Genauigkeit detektieren.
Vorteilhafte Effekte der Erfindung
Dieser Aspekt der vorliegenden Erfindung erleichtert die Erfassung von Strahlungsbildern in unterschiedlichen Energiebändern und die Reduktion des Einflusses auf die durch das Objekt transmittierte Strahlung.
Kurzbeschreibung der Figuren
1 ist eine Frontansicht der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung entsprechend der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
2 ist eine erläuternde Zeichnung zum Erläutern eines Projektionsbilds in der in 1 gezeigten Strahlungsbilderfassungsvorrichtung.
3 ist eine erläuternde Zeichnung zum Erläutern einer Korrektur für eine Perspektive eines Bilds in der in 1 gezeigten Strahlungsbilderfassungsvorrichtung.
4 ist eine Frontansicht der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung entsprechend der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
5 ist eine erläuternde Zeichnung zur Erläuterung einer Korrektur für eine Perspektive eines Bilds in der in 4 gezeigten Strahlungsbilderfassungsvorrichtung.
6 ist eine Frontansicht der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung entsprechend der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
7 ist eine erläuternde Zeichnung zur Erläuterung einer Perspektive eines Projektionsbilds in der in 6 gezeigten Strahlungsbilderfassungsvorrichtung.
8 ist eine Frontansicht der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung entsprechend der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
9 ist eine Frontansicht der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung entsprechend der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
10 ist eine Frontansicht der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung, welches ein Modifikationsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist.
11(a) und (b) sind Frontansichten der Strahlungsbilderfassungsvorrichtungen, welche Modifikationsbeispiele der vorliegenden Erfindung sind.
12(a) bis (c) sind Frontansichten der Strahlungsbilderfassungsvorrichtungen, welche Modifikationsbeispiele der vorliegenden Erfindung sind.
13 ist eine erläuternde Zeichnung eines Modifikationsbeispiels der Korrektur für eine Perspektive eines Bildes.
Beschreibung von Ausführungsformen
Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die Figuren ausführlich beschrieben. Identische oder äquivalente Teile werden mit denselben Bezugszeichen in der Beschreibung der Figuren bezeichnet, ohne eine redundante Beschreibung. Es wird drauf hingewiesen, dass jede Figur nur zur Veranschaulichung erstellt wurde, und dargestellt ist, um jeweils einen Teil als ein besonderes Objekt der Beschreibung hervorzuheben. Aus diesem Grund stimmen die Abmessungsverhältnisse der jeweiligen Elemente in den Figuren nicht immer mit den tatsächlichen überein.
Wie in 1 gezeigt, ist die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1 eine Vorrichtung zum Erfassen eines Strahlungsbilds eines Objekts A, z.B. eine elektronische Komponente wie beispielsweise eine Halbleitervorrichtung oder ein Lebensmittel. Die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1 ist versehen mit einer Strahlungsquelle 2, welche eine Strahlung wie beispielsweise eine weiße Röntgenstrahlung zu dem Objekt A emittiert, mit einer Wellenlängenkonversionsplatte 6, welche ein Szintillationslicht entsprechend einem Einfall der durch das Objekt A transmittierten Strahlung erzeugt, nachdem diese von der Strahlungsquelle 2 emittiert wird, mit einem Frontobservationsfotodetektor 3, welcher das Szintillationslicht konzentriert und abbildet, welches von einer Eintrittsoberfläche 6a für die Strahlung in der Wellenlängenkonversionsplatte 6 emittiert wird, und einem Rückobservationsfotodetektor 4, welcher das Szintillationslicht konzentriert und abbildet, welches von einer Rückoberfläche 6b, was eine Oberfläche entgegengesetzt zu der Eintrittsoberfläche 6a ist, emittiert wird. Diese Strahlungsquelle 2, Wellenlängenkonversionsplatte 6, Frontobservationsfotodetektor 3 und Rückobservationsfotodetektor 4 sind in einem nicht gezeigten Gehäuse untergebracht und in dem Gehäuse fixiert.
Die Wellenlängenkonversionsplatte 6 ist ein Wellenlängenkonversionselement in Form einer flachen Platte, z.B. ein Szintillator aus der Gruppe von Gd₂O₂S:Tb, Gd₂O₂S:Pr, CsI:Tl, CdWO₄, CaWO₄, Gd₂SiO₅:Ce, Lu_0.4Gd_1.6SiO₅, Bi₄Ge₃O₁₂, Lu₂SiO₅:Ce, Y₂SiO₅, YAlO₃:Ce, Y₂O₂S:Tb, YTaO₄:Tm, und so weiter. Die Dicke der Wellenlängenversionsplatte 6 ist auf einen geeigneten Wert eingestellt, in Abhängigkeit von einem detektierten Strahlungsenergieband, in dem Bereich von mehreren Mikrometern bis einige Millimeter.
Der Frontobservationsfotodetektor 3 (welcher nachfolgend als „Frontdetektor 3“ bezeichnet wird) ist ein Abbildungsmittel eines indirekten Konversionsverfahrens, welches ein Projektionsbild (Strahlungstransmissionsbild) des auf die Wellenlängenkonversionsplatte 6 projizierten Objekts A von der Eintrittsoberflächenseite 6a der Wellenlängenkonversionsplatte 6 fotografiert. Der Frontdetektor 3 ist ein Detektor eines Linsenkopplungstyps mit einer Kondensor-Linseneinheit 3a zur Konzentration des Szintillationslichts, welches von der Eintrittsoberfläche 6a der Wellenlängenkonversionsplatte 6 emittiert wird, und einer Abbildungseinheit 3b zum Abbilden des Szintillationslichts, welches durch die Kondensor-Linseneinheit 3a konzentriert ist. Die Kondensor-Linseneinheit 3a konzentriert das Szintillationslicht in einem Frontdetektorfeld 13. Die Abbildungseinheit 3b, welche hierin zu verwenden ist, ist beispielsweise ein CMOS-Sensor, ein CCD-Sensor oder etwas Ähnliches. Wenn der Frontdetektor 3 zu dem nachfolgend beschriebenen Abbildungsmittel korrespondiert, kann eine Lichtempfangsoberfläche der Abbildungseinheit 3b ungefähr parallel zu der Eintrittsoberfläche 6a angeordnet sein.
Der Rückobservationsfotodetektor 4 (welcher nachfolgend als „Rückdetektor 4“ bezeichnet wird) ist ein Abbildungsmittel des indirekten Konversionsverfahrens, welches ein Projektionsbild (Strahlungstransmissionsbild) des auf die Wellenlängenkonversionsplatte 6 projizierten Objekts A fotografiert von der Seite der rückwärtigen Oberfläche 6b der Wellenlängenkonversionsplatte 6. Der Rückdetektor 4 ist ein Detektor des Linsenkopplungstyps mit einer Kondensor-Linseneinheit 4a zur Konzentration des Szintillationslichts, welches von der rückwärtigen Oberfläche 6b der Wellenlängenkonversionsplatte 6 emittiert wird, und einer Abbildungseinheit 4b zum Abbilden des Szintillationslichts, welches durch die Kondensor-Linseneinheit 4a konzentriert ist, und somit weist diese dieselbe Konfiguration wie der oben genannte Frontdetektor 3 auf. Die Kondensor-Linseneinheit 4a konzentriert das Szintillationslicht in einem Rückdetektorfeld 14. Die Abbildungseinhheit 4b, welche hierin zu verwenden ist, ist beispielsweise ein CMOS-Sensor, ein CCD-Sensor oder etwas Ähnliches. Wenn der Rückdetektor 4 zu dem nachfolgend beschriebenen Abbildungsmittel korrespondiert, kann eine Lichtempfangsoberfläche der Abbildungseinheit 4b ungefähr parallel zu der rückwärtigen Oberfläche 6b angeordnet sein.
Weiterhin ist die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1 mit einer Timing-Steuereinheit 7 zum Steuern eines Abbildungstimings bei dem Frontdetektor 3 und bei dem Rückdetektor 4, einer Abbildungsverarbeitungsvorrichtung 8 zum Empfangen von Eingangsbildsignalen von dem Frontdetektor 3 und dem Rückdetektor 4 und zum Ausführen einer vorbestimmten Verarbeitungsprozedur wie beispielsweise eine Verarbeitung basierend auf den Eingangsbildsignalen und einer Anzeigevorrichtung 9 zum Empfangen von Eingangsbildsignalen von der Bildverarbeitungsvorrichtung 8 und zum Anzeigen eines Strahlungsbilds versehen. Die Timing-Steuereinheit 7 und die Bildverarbeitungsvorrichtung 8 werden durch einen Computer gebildet, welcher eine CPU (zentrale Prozessoreinheit), einen ROM (Nur-Lesespeicher), einen RAM (Speicher mit wahlfreiem Zugriff), Eingabe-/Ausgabeschnittstellen und so weiter aufweist. Die Anzeigevorrichtung 9, welche hierin zu verwenden ist, ist eine bekannte Anzeige. Die Timing-Steuereinheit 7 und die Bildverarbeitungsvorrichtung 8 können als ein Programm, welches durch einen einzigen Computer ausgeführt wird, oder als jeweilige einzig vorgesehene Einheiten ausgebildet sein.
Das Nachfolgende wird die Positionsbeziehung zwischen der oben genannten Strahlungsquelle 2, Wellenlängenkonversionsplatte 6, Frontdetektor 3 und Rückdetektor 4 beschreiben. Wie in 1 gezeigt, ist die Strahlungsquelle so angeordnet, dass eine optische Achse der Strahlung mit einer Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a der Wellenlängenkonversionsplatte 6 zusammenfällt. Die Strahlungsquelle 2 liegt nämlich dem Objekt A und der Eintrittsoberfläche 6a gegenüber und ist auf der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a angeordnet. Die optische Achse X der Strahlung ist hierbei eine gerade Linie, welche einen Strahlungsemissionspunkt der Strahlungsquelle 2 und einen beliebigen Punkt γ auf der Eintrittsoberfläche 6a der Wellenlängenkonversionsplatte 6 verbindet. In der vorliegenden Ausführungsform ist der beliebige Punkt γ eingestellt, um ein Zentralpunkt der Eintrittsoberfläche 6a zu sein und in diesem Fall wird die Strahlung mit einer geringen relativen Unebenheit abgestrahlt. Die Normale B ist hierbei eine gerade Linie, welche normal zu der Eintrittsoberfläche 6a von einem beliebigen Punkt α auf der Eintrittsoberfläche 6a verläuft. In der vorliegenden Ausführungsform ist der beliebige Punkt α als der Zentralpunkt der Eintrittsoberfläche 6a eingestellt und somit fallen die optische Achse X der Strahlung und die Normale B miteinander zusammen. Es versteht sich natürlich, dass der beliebige Punkt γ und der beliebige Punkt α nicht mit dem Zentralpunkt der Eintrittsoberfläche 6a zusammenfallen müssen.
Der Frontdetektor 3 ist so angeordnet, so dass eine optische Achse F der eingebetteten Kondensor-Linseneinheit 3a einen vorbestimmten Winkel θ₁ bezüglich der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a bildet, um geeignet zu sein, das Szintillationslicht abzubilden, welches von der Eintrittsoberfläche 6a der Wellenlängenkonversionsplatte 6 emittiert wird. Der Frontdetektor 3 liegt nämlich der Eintrittsoberfläche 6a gegenüber und ist an einer Position abseits der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a angeordnet. Die Kondensor-Linseneinheit 3a fokussiert auf die Eintrittsoberfläche 6a und konzentriert das Szintillationslicht, welches in einer Richtung bei dem Winkel θ₁ zu der Normalen B von der Eintrittsoberfläche 6a emittiert wird, zu der Abbildungseinheit 3b. Die Kondensor-Linseneinheit 3a, welche hierin zu verwenden ist, kann eine Verschiebungslinse oder eine Kipplinse sein. Dieser Frontdetektor 3 korrespondiert zu dem anderen Abbildungsmittel zur Konzentration des Szintillationslichts, welches in der Richtung emittiert wird, welche bezüglich der Richtung der Normalen B von der Eintrittsoberfläche 6a geneigt ist.
Wie oben beschrieben, ist der Frontdetektor 3 abseits von der optischen Achse X der Strahlungsquelle 2 angeordnet. Der Frontdetektor 3 ist nämlich angeordnet, um beabstandet von einem Emissionsbereich der Strahlung der Strahlungsquelle 2 (was ein Bereich ist, in welchem ein Strahlungsstrahl 12 auftritt) positioniert zu sein. Diese Anordnung verhindert, dass der Frontdetektor 3 der Strahlung der Strahlungsquelle 2 ausgesetzt wird, und unterdrückt, dass ein direktes Konversionssignal der Strahlung innerhalb des Frontdetektors 3 zur Erzeugung von Rauschen verursacht wird.
Der Rückdetektor 4 ist so angeordnet, dass eine optische Achse G der eingebetteten Kondensor-Linseneinheit 4a senkrecht zu der rückwärtigen Oberfläche 6b ist, um geeignet zu sein, das Szintillationslicht abzubilden, welches von der rückwärtigen Oberfläche 6b der Wellenlängenkonversionsplatte 6 emittiert wird. In dieser Konfiguration fällt die optische Achse G der Kondensor-Linseneinheit 4a mit einer Normalen zu der rückwärtigen Oberfläche 6b zusammen. Der Rückdetektor liegt nämlich gegenüber der rückwärtigen Oberfläche 6b und ist auf der Normalen C zu der rückwärtigen Oberfläche 6b angeordnet. Daher kann der Rückdetektor 4 das Szintillationslicht abbilden, welches in der Richtung der Normalen B zu der rückwärtigen Oberfläche 6b emittiert wird, und kann somit ein Bild ohne eine signifikante Perspektive erfassen. Die Normale C ist eine gerade Linie, welche normal zu der rückwärtigen Oberfläche 6b von einem beliebigen Punkt β auf der rückwärtigen Oberfläche 6b verläuft. Insbesondere ist in dieser Ausführungsform der beliebige Punkt β bei einem Zentralpunkt der rückwärtigen Oberfläche 6b eingestellt, der beliebige Punkt α auf der Eintrittsoberfläche 6a und der beliebige Punkt β auf der rückwärtigen Oberfläche 6b sind auf derselben geraden Linie positioniert und diese gerade Linie fällt mit der Normalen B und der Normalen C zusammen. Die Kondensor-Linseneinheit 4a fokussiert auf die Rückoberfläche 6b und konzentriert das Szintillationslicht, welches in der Richtung der Normalen C von der rückwärtigen Oberfläche 6b emittiert wird, auf die Abbildungseinheit 4b. Dieser Rückdetektor 4 korrespondiert zu dem Abbildungsmittel zur Konzentration des Szintillationslichts, welches in der Richtung der Normalen C von der rückwärtigen Oberfläche 6b emittiert wird.
In der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1 ist eine optische Pfadlänge von der Eintrittsoberfläche 6a der Wellenlängenkonversionsplatte 6 zu dem Frontdetektor 3 gleich einer optischen Pfadlänge von der rückwärtigen Oberfläche 6b der Wellenlängenkonversionsplatte 6 zu dem Rückdetektor 4. Die optische Pfadlänge von der Eintrittsoberfläche 6a der Wellenlängenkonversionsplatte 6 zu dem Frontdetektor 3 kann unterschiedlich zu der optischen Pfadlänge von der rückwärtigen Oberfläche 6b der Wellenlängenkonversionsplatte 6 zu dem Rückdetektor 4 sein, allerdings müssen in diesem Fall die Größen der Bilder durch eine Bildverarbeitung oder etwas Ähnliches abgestimmt werden.
Das Nachfolgende beschreibt den Betrieb der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1, welche die oben beschriebene Konfiguration aufweist. Zuerst führt die Timing-Steuereinheit 7 eine Steuerung aus zum Veranlassen, dass der Frontdetektor 3 und der Rückdetektor 4 deren jeweilige Abbildungsoperationen gleichzeitig ausführen. Die Abbildungen der Strahlungstransmissionsbilder des Objekts A in unterschiedlichen Energiebändern kann basierend auf der Abbildungstiming-Steuerung durch die Timing-Steuereinheit 7 umgesetzt werden, genauer gesagt erfasst der Frontdetektor 3 das Strahlungstransmissionsbild in einem relativ niedrigen Energieband und der Rückdetektor 4 das Strahlungstransmissionsbild in einem relativ hohen Energieband. Diese Operation realisiert eine Dual-Energie-Bildgebung. Es wird darauf hingewiesen, dass die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1 ausgebildet ist, um eine Steuerung zu ermöglichen, wobei die Aufnahmezeiten des Frontdetektors 3 und des Rückdetektors 4 unterschiedlich zueinander eingestellt werden. Die Vorrichtung kann ebenso ausgebildet sein, den Frontdetektor 3 und den Rückdetektor 4 bei unterschiedlichen Belichtungszeiten und/oder unterschiedlichen Anzahlen von dadurch aufgenommenen Fotos zu steuern.
Die Funktionen des Frontdetektors 3 und des Rückdetektors 4 werden in größerer Ausführlichkeit beschrieben. Der Frontdetektor 3 detektiert eine Fluoreszenz (Szintillationslicht), welche aus einer Konversion auf der Seite relativ nahe zu der Eintrittsoberfläche 6a resultiert. Die Detektion der Fluoreszenz, welche aus der Konversion auf der Eintrittsoberflächenseite 6a resultiert, ist durch eine geringe Fluoreszenz-Unschärfe und eine hohe Lichtstärke einer Fluoreszenz gekennzeichnet. Dies liegt daran, dass die Frontobservation weniger durch eine Diffusion und Selbstabsorption innerhalb der Wellenlängenkonversionsplatte 6 beeinflusst werden kann. Andererseits detektiert der Rückdetektor 4 eine Fluoreszenz, welche aus einer Konversion auf der Seite relativ nahe zu der rückwärtigen Oberfläche 6b der Wellenlängenkonversionsplatte 6 resultiert. In diesem Fall kann die Observation ebenso gering durch eine Diffusion und eine Selbstabsorption innerhalb der Wellenlängenkonversionsplatte 6 beeinflusst werden.
Als Nächstes geben der Frontdetektor 3 und der Rückdetektor 4 deren jeweilige Bildsignale, welche zu den Strahlungsbildern sowohl auf der Front- als auch auf der rückwärtigen Oberfläche korrespondieren, an die Bildverarbeitungsvorrichtung 8 aus. Wenn die Bildverarbeitungsvorrichtung 8 die jeweiligen Eingabebildsignale von dem Frontdetektor 3 und dem Rückdetektor 4 empfängt, führt die Bildverarbeitungsvorrichtung 8 die vorbestimmte Verarbeitung wie beispielsweise eine Zwischenbildoperation, z.B. eine Perspektivenkorrektur, eine Differenzialoperation oder eine Additionsoperation basierend auf den Eingangsbildsignalen aus und gibt ein Bildsignal nach der Bildverarbeitung an die Anzeigevorrichtung 9 aus. Wenn die Anzeigevorrichtung 9 das Eingangsbildsignal nach der Bildverarbeitung von der Bildverarbeitungsvorrichtung 8 empfängt, zeigt die Anzeigevorrichtung 9 ein Strahlungsbild entsprechend dem Eingangsbildsignal nach der Bildverarbeitung an.
2(a) ist eine perspektivische Ansicht, welches die Positionsbeziehung zwischen der Strahlungsquelle 2, dem Objekt A und der Wellenlängenkonversionsplatte 6 in der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1 zeigt, 2(b) ist eine Frontansicht, welches die Positionsbeziehung zwischen der Strahlungsquelle 2, dem Objekt A und der Wellenlängenkonversionsplatte 6 zeigt, und 2(c) ist eine Planansicht, welche ein Projektionsbild D des auf die Wellenlängenkonversionsplatte 6 projizierten Objekts A zeigt. 2 zeigt eine Situation zum einfacheren Verständnis, bei welcher das Objekt A eine 3D-Form aufweist. Wenn die Strahlungsquelle 2 auf der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a angeordnet ist und die optische Achse X der Strahlung mit der Normalen B auf die Eintrittsoberfläche 6a zusammenfällt, wie in 2(a) gezeigt, wird keine Perspektive in dem Projektionsbild D auf die Eintrittsoberfläche 6a erzeugt, wie in 2(c) gezeigt.
3(a) ist eine perspektivische Ansicht, welche die Positionsbeziehung zwischen dem Frontdetektor 3, dem Rückdetektor 4 und der Wellenlängenkonversionsplatte 6 in der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1 zeigt, 3(b) ist eine Figur, welche ein Frontseitenbild Pa zeigt, welches durch den Frontdetektor 3 erfasst ist und an die Bildverarbeitungsvorrichtung 8 zugeführt wird, und 3(c) ist eine Figur, welche ein Rückseitenbild Pb zeigt, welches durch den Rückdetektor 4 erfasst ist und an die Bildverarbeitungsvorrichtung 8 zugeführt wird.
Wenn der Frontdetektor 3 bei der Position abseits der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a angeordnet ist und die optische Achse F den vorbestimmten Winkel θ₁ bezüglich der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a, wie in 3(a) zeigt, bildet, wird eine Perspektive in dem Frontseitenbild erzeugt, wie in 3(b) gezeigt. Andererseits, wenn der Rückdetektor 4 auf der Normalen C zu der rückwärtigen Oberfläche 6b angeordnet ist und die optische Achse G mit der Normalen C zusammenfällt, wird keine Perspektive in dem Rückseitenbild Pb erzeugt, wie in 3(c) gezeigt.
Die Bildverarbeitungsvorrichtung 8 erkennt einen Teil des Projektionsbilds D auf der Wellenlängenkonversionsplatte 6 als einen Merkmalsteil d (einen farbigen Teil, welcher zu einer Seitenoberfläche des Objekts A in dem Beispiel aus 3 gehört). Die Perspektive tritt gleichförmig in einem Frontseiten-Wellenlängenkonversionsplattenbild 20a auf, welches ein fotografisches Bild der Wellenlängenkonversionsplatte 6 ist, in einem Frontseitenobjektbild Ha auf, welches ein fotografisches Bild des Objekts A ist, und in einem Frontseiten-Merkmalsteilbild ha auf, welches ein Teil des Frontseitenobjektbilds Ha ist, und in einem fotografischen Bild des Merkmalsteils d in dem Frontseitenbild Pa.
Dann fungiert die Bildverarbeitungsvorrichtung 8 als ein Korrekturmittel zum Korrigieren der Perspektive des Frontseitenbilds Pa unter Verwendung des Rückseitenbilds Pb als ein Referenzbild. Im Ergebnis, wie in 3(b) gezeigt, erfasst die Vorrichtung ein korrigiertes Frontseitenbild Pc ohne eine Perspektive, welches mit dem Rückseitenbild Pb ungefähr abgestimmt ist, und erzeugt ein Bildsignal korrespondierend zu dem Frontseitenbild Pc. Dieser Perspektiven-Korrekturprozess erzeugt nämlich ein Frontseitenwellenlängen-Konversionsplattenbild 20c, ein korrigiertes Frontseitenobjektbild Hc und ein Frontseiten-Merkmalsteilbild hc, welches in dem korrigierten Frontseitenbild Pc umfasst ist, ungefähr identisch in Position, Größe und Form zu einem Rückseitenwellenlängen-Konversionsplattenbild 20b, einem Rückseitenobjektbild Hb und einem in dem Rückseitenbild Pb umfassten Rückseitenmerkmalsteilbild hb als das Referenzbild.
In der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1 der oben beschriebenen vorliegenden Ausführungsform konzentrieren der Frontdetektor 3 und der Rückdetektor 4 die jeweiligen Szintillationslichtstrahlen und bilden diese ab, welche von der Eintrittsoberfläche 6a und der rückwärtigen Oberfläche 6b der Wellenlängenkonversionsplatte 6 emittiert werden, wodurch die Dual-Energie-Bildgebung zum Erfassen von Strahlungsbildern in unterschiedlichen Energiebändern realisiert wird. In dieser Konfiguration ist der Frontdetektor 3 an der Position beabstandet von der Wellenlängenkonversionsplatte 6 ohne irgendeinen Detektor zwischen dem Objekt A und der Wellenlängenkonversionsplatte 6 angeordnet. Diese Konfiguration ermöglicht es, dass die Vorrichtung den Fall verhindert, dass das Abbildungsmittel die durch das Objekt A transmittierte Strahlung beeinflusst. Daher wird der Einfluss auf die durch das Objekt A transmittierte Strahlung reduziert und die Strahlung in einem Niedrigenergieband wird geeignet detektiert. Mit anderen Worten wird kein Schatten des Detektors auf die Strahlungstransmissionsbilder geworfen, um eine Erzeugung einer Rauschkomponente zu unterdrücken und keine Dämpfung von Strahlung aufgrund des Detektors zu verursachen, somit wird eine Reduktion von Signalkomponenten verhindert. Im Ergebnis wird es einfacher, einen Unterschied zwischen dem Niedrigenergieband und dem Hochenergieband in der Dual-Energie-Bildgebung zu vergrößern und eine hohe Energieauflösung aufzuweisen, was ein Erzielen eines höheren Kontrasts erlaubt. Dieser Vorteil wird hauptsächlich im Besonderen wiedergegeben, falls das Objekt A aus Silizium oder einem Atom leichter in Gewicht als Silizium gebildet ist. Falls das Objekt A aus einem leichtgewichtigen Atom gebildet ist, wird nämlich die Strahlung in dem durch das Objekt A transmittierten Niedrigenergieband in Szintillationslicht umgewandelt, ohne absorbiert oder gedämpft zu werden, und dieses Licht wird durch den Frontdetektor 3 abgebildet; dadurch kann das Strahlungsbild in dem Niedrigenergieband genau erfasst werden. Weiterhin können das Niedrigenergiebild und das Hochenergiebild gleichzeitig durch eine einzige Abbildungsoperation erfasst werden, um eine Gleichzeitigkeit sicherzustellen, eine Belichtungsdosis zu reduzieren und Pixelverschiebungen (Fehlregistrierung) zu vermeiden. Die Dual-Energieabbildung kann selbst mittels der einzigen Wellenlängenkonversionsplatte 6 realisiert werden. Zusätzlich, da der Rückdetektor 4 das Szintillationslicht konzentriert, welches in der Richtung der Normalen C zu der rückwärtigen Oberfläche 6b emittiert wird, kann diese das Rückseitenbild Pb ohne eine Perspektive erfassen und die Perspektive des Frontseitenbilds Pa kann geeignet unter Verwendung dieses Rückseitenbilds Pb als ein Referenzbild korrigiert werden.
Wenn weiße Röntgenstrahlung als Strahlung verwendet wird, kann das Niedrigenergiebild und das Hochenergiebild ebenso gleichzeitig durch eine einzige Abbildungsoperation von weißer Röntgenstrahlung erfasst werden, um eine Gleichzeitigkeit sicherzustellen, eine Belichtungsdosis zu reduzieren und Pixelverschiebungen (Fehlregistrierung) zu vermeiden.
Wenn die Kondensor-Linseneinheit 3a und die Kondensor-Linseneinheit 4a das Licht mit einem Fokus auf jeweils die Eintrittsoberfläche 6a und die Rückoberfläche 6b der Wellenkonversionsplatte 6 konzentrieren, können helle Strahlungsbilder mit einer guten Energieauflösung erfasst werden.
4 ist eine Frontansicht der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung entsprechend der zweiten Ausführungsform. Die in 4 gezeigte Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1A unterscheidet sich von der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1 der in 1 gezeigten ersten Ausführungsform darin, dass der Frontdetektor 3 an einer Position abseits der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a angeordnet ist, um das Szintillationslicht über einen Reflektorspiegel 15 zu konzentrieren, welcher auf der Normalen B (optischen Achse X zwischen der Wellenlängenkonversionsplatte 6 und der Strahlungsquelle 2 angeordnet ist, und zum Transmittieren der Strahlung, und darin, dass der Rückdetektor 4 so angeordnet ist, dass die optische Achse G der Kondensor-Linseneinheit 4a einen vorbestimmten Winkel θ₂ bezüglich der Normalen C zu der rückwärtigen Oberfläche 6b bildet. 4 ist ohne eine Darstellung der Timing-Steuereinheit 7, der Abbildungsverarbeitungsvorrichtung 8 und der Anzeigevorrichtung 9 dargestellt. Die 6 und 8 bis 12 sind ähnlich ebenso ohne eine Darstellung dieser Komponenten dargestellt.
Die Konfiguration der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1A wird im Besonderen beschrieben. Der Reflektorspiegel 15 ist so angeordnet, dass dessen Reflektoroberfläche 15a einen vorbestimmten Winkel (z.B. 45 Grad) bezüglich der Richtung der Normalen B annimmt, um das Szintillationslicht zu reflektieren, welches in Richtung der Normalen B von der Eintrittsoberfläche 6a in eine vorbestimmte Richtung relativ zu der Normalen B emittiert wird. Der Reflektorspiegel 15, welcher hierbei zu verwenden ist, ist beispielsweise ein optischer Spiegel. Der Frontdetektor 3 ist so angeordnet, dass ein Winkel zwischen der optischen Achse F der eingebetteten Kondensor-Linseneinheit 3a und der Reflektoroberfläche 15a gleich dem Winkel zwischen der Normalen B und der Reflektoroberfläche 15a ist. Diese Kondensor-Linseneinheit 3a konzentriert das Szintillationslicht, welches in der Richtung der Normalen B von der Eintrittsoberfläche 6a emittiert wird und in die vorbestimmte Richtung relativ zu der Normalen B durch den Reflektorspiegel 15 reflektiert wird, auf die Abbildungseinheit 3b. Dieser Frontdetektor 3 korrespondiert zu dem Abbildungsmittel zur Konzentration des Szintillationslichts, welches in der Richtung der Normalen B von Eintrittsoberfläche 6a emittiert wird.
Der Rückdetektor 4 liegt der rückwärtigen Oberfläche 6b gegenüber und ist an einer Position abseits der Normalen C zu der rückwärtigen Oberfläche 6b angeordnet. Diese Kondensor-Linseneinheit 4a konzentriert das Szintillatonslicht, welches von der rückwärtigen Oberfläche 6b in eine Richtung bei dem Winkel θ₂ zu der Normalen C emittiert wird, zu der Abbildungseinheit 4b. Die Kondensor-Linseneinheit 4a, welche hierin zu verwenden ist, kann eine Verschiebungslinse oder eine Neigungslinse sein. Dieser Rückdetektor 4 korrespondiert zu dem anderen Abbildungsmittel zur Konzentration des Szintillationslichts, welches von der rückwärtigen Oberfläche 6b in der Richtung, geneigt bezüglich der Richtung der Normalen C, emittiert wird.
Wie oben beschrieben, ist der Frontdetektor 3 so angeordnet, um von dem Strahlungsemissionsbereich von der Strahlungsquelle 2 (der Bereich, in welchem der Strahlungsstrahl 12 auftritt) beabstandet zu sein. Diese Anordnung verhindert, dass der Frontdetektor 3 der Strahlung der Strahlungsquelle 2 ausgesetzt wird, und verhindert somit, dass ein direktes Konversionssignal von Strahlung innerhalb des Frontdetektors 3 zur Erzeugungen von Rauschen verursacht wird. Weiterhin kann die optische Pfadlänge von der Eintrittsoberfläche 6a der Wellenlängenkonversionsplatte 6 zu dem Frontdetektor 3 gleich der optischen Pfadlänge von der rückwärtigen Oberfläche 6b der Wellenlängenkonversionsplatte 6 zu dem Rückdetektor 4 eingestellt sein.
In der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1A wird ebenso keine Perspektive in dem Projektionsbild D auf die Eintrittsoberfläche 6a (siehe 2) wie in der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 3 erzeugt.
5(a) ist eine perspektivische Ansicht, welche die Positionsbeziehung zwischen dem Frontdetektor 3, dem Rückdetektor 4 und der Wellenlängenkonversionsplatte 6 in der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1A zeigt, 5(b) ist eine Figur, welche das Frontseitenbild Pa zeigt, welches durch den Frontdetektor erfasst ist und durch die Bildverarbeitungsvorrichtung 8 zugeführt wird, und 5(c) ist eine Figur, welche das Rückseitenbild Pb zeigt, welches durch den Rückdetektor 4 erfasst ist und durch die Bildverarbeitungsvorrichtung 8 zugeführt wird.
Wenn der Frontdetektor 3 das Szintillationslicht konzentriert, welches in der Richtung der Normalen B von der Eintrittsoberfläche 6a emittiert wird und in der Richtung senkrecht zu der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a zu der Abbildungseinheit 3b reflektiert wird, wie in 5(a) gezeigt, wird keine Perspektive in dem Frontseitenbild Pa erzeugt, wie in 5(b) gezeigt. Andererseits, wenn der Rückdetektor 4 an der Position abseits der Normalen C zu der rückwärtigen Oberfläche 6b angeordnet ist, wobei die optische Achse G den vorbestimmten Winkel θ₂ relativ zu der Normalen C zu der rückwärtigen Oberfläche 6b annimmt, wie in 5(a) gezeigt, wird eine Perspektive in dem Rückseitenbild Pb erzeugt, wie in 5(c) gezeigt.
Dann erkennt die Bildverarbeitungsvorrichtung 8 einen Teil des Projektionsbilds D auf der Wellenlängenkonversionsplatte 6 als einen Merkmalsteil d (ein farbiger Teil, welcher zu einer Seitenfläche des Objekts A in dem Beispiel aus 5 gehört). Die Perspektive taucht gleichförmig in einem Rückseitenwellenlängenkonversionsplattenbild 20b, welches ein fotografisches Bild der Wellenlängenkonversionsplatte 6 ist, in einem Rückseitenobjektbild Hb, welches ein fotografisches Bild des Objekts A ist, und in einem Rückseitenmerkmalsteilbild hb, welches ein Teil des Rückseitenobjektbilds Hb und eines fotografischen Bildes des Merkmalsteils d in dem Rückseitenbild Pb ist, auf.
Dann fungiert die Bildverarbeitungsvorrichtung 8 als Korrekturmittel zum Korrigieren der Perspektive für das Rückseitenbild Pb unter Verwendung des Frontseitenbilds Pa als ein Referenzbild. Im Ergebnis, wie in 5(b) gezeigt, erfasst die Vorrichtung ein korrigiertes Rückseitenbild Pd ohne eine Perspektive, welches ungefähr mit dem Frontseitenbild Pa abgestimmt ist, und erzeugt ein Bildsignal, welches zu dem Rückseitenbild Pd gehört. Dieser Perspektivenkorrekturprozess erstellt nämlich ein Rückseitenwellenlängenkonversionsplattenbild 20d, ein Rückseitenobjektbild Hd und ein in dem korrigierten Rückseitenbild Pd umfasstes Rückseitenmerkmalsteilbild hd in etwa identisch in Position, Größe und Form zu einem Frontseitenwellenlängenkonversionsplattenbild 20a, einem Frontseitenobjektbild Ha und einem in dem Frontseitenbild Pa umfassten Frontseiten-Merkmalsteilbild ha als das Referenzbild.
Die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1A erzielt denselben betrieblichen Effekt wie die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1. Da das durch den Frontdetektor 3 erfasste Frontseitenbild Pa das Bild des Szintillationslichts ist, welches aus der Konversion in der Nähe der Eintrittsoberfläche 6a der Wellenlängenkonversionsplatte 6 resultiert, ist dieses weniger durch eine Unschärfe beeinflusst, welche innerhalb des Wellenlängenkonversionselements 6 verursacht wird, und so wird dieses ein klares Bild ohne eine signifikante Unschärfe. Daher kann das klare Frontseitenbild Pa ohne eine Perspektive und ohne eine signifikante Unschärfe als das Referenzbild verwendet werden, wodurch ein besseres Referenzbild für die Korrektur der Perspektive des durch den Rückdetektor 4 erfassten Rückseitenbilds Pb verfügbar ist.
Der Perspektivenkorrekturprozess durch die Bildverarbeitungsvorrichtung 8 wird zum Korrigieren des rückseitigen Bilds Pb auf der Basis des klaren Frontseitenbilds Pa ohne eine signifikante Unschärfe als das Referenzbild verwendet, wodurch ebenso ein klares tomographisches Bild als ein Bild erhalten wird, welches aus der Zwischenbildoperation zwischen dem Frontseitenbild Pa und dem Rückseitenbild Pb resultiert.
Zusätzlich, da die Strahlungsquelle auf der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a angeordnet ist, wird ebenso keine Perspektive in dem Projektionsbild D auf der Wellenlängenkonversionsplatte 6 erzeugt, was eine Notwendigkeit für eine Korrektur für eine Perspektive des Projektionsbilds D aufhebt. Weiter wird verhindert, dass der Frontdetektor 3 der Strahlung ausgesetzt wird, was eine Erzeugung von Rauschen innerhalb des Frontdirektors 3 verhindert.
6 ist eine Frontansicht der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform. Die in 6 gezeigte Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1B unterscheidet sich von der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1A der in 4 gezeigten zweiten Ausführungsform darin, dass die Strahlungsquelle 2 so angeordnet ist, dass die optische Achse X der Strahlung einen vorbestimmten Winkel θ bezüglich der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a bildet und darin, dass der Frontdetektor 3 auf der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a angeordnet ist. Insbesondere ist der Frontdetektor 3 so angeordnet, dass die optische Achse F der Kondensor-Linseneinheit 3a senkrecht zu der Eintrittsoberfläche 6a ist. In dieser Ausführungsform fällt die optische Achse F der Kondensor-Linseneinheit 3a mit der Normalen B auf der Eintrittsoberfläche 6a zusammen. Weiterhin ist der Rückdetektor 4 so angeordnet, dass die optische Achse G der Kondensor-Linseneinheit 4a und die optische Achse X der Strahlungsquelle 2 auf derselben Ebene und auf derselben Seite bezüglich den Normalen B, C positioniert sind. Es wird hierbei darauf hingewiesen, dass der beliebige Punkt γ und der beliebige Punkt α nicht der Zentralpunkt der Eintrittsoberfläche 6a sein müssen und ebenso kein identischer Punkt sein müssen.
Wie oben beschrieben, ist der Frontdetektor 3 abseits der optischen Achse X der Strahlungsquelle 2 angeordnet. Der Frontdetektor 3 ist nämlich beabstandet von dem Strahlungsemissionsbereich von der Strahlungsquelle 2 (dem Bereich, in welchem der Strahlungsstrahl 12 auftritt) angeordnet. Diese Anordnung verhindert, dass der Frontdetektor 3 der Strahlung der Strahlungsquelle 2 ausgesetzt wird, und verhindert somit, dass ein direktes Konversionssignal von Strahlung in dem Frontdetektor 3 zur Erzeugungen von Rauschen verursacht wird.
7(a) ist eine perspektivische Ansicht, welche die Positionsbeziehung zwischen der Strahlungsquelle 2, dem Objekt A und der Wellenlängenkonversionsplatte 6 in der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1B zeigt, 7(b) ist eine Frontansicht, welche die Positionsbeziehung zwischen der Strahlungsquelle 2, dem Objekt A und der Wellenlängenkonversionsplatte 6 zeigt, und 7(c) ist eine Draufsicht, welche ein Projektionsbild E des Objekts A zeigt, welches auf die Wellenlängenkonversionsplatte 6 projiziert ist. 7 zeigt eine Situation, wobei, zum einfacheren Verständnis, das Objekt A eine 3D-Form aufweist. Wenn die Strahlungsquelle 2 an der Position abseits der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a angeordnet ist und die optische Achse X der Strahlung den vorbestimmten Winkel θ mit der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a bildet, wie in 7(e) gezeigt, wird eine Perspektive in dem Projektionsbild E auf die Eintrittsoberfläche 6b erzeugt, wie in 7(c) gezeigt. Diese Perspektive des Projektionsbilds E wird entsprechend der Notwendigkeit durch die Bildverarbeitungsvorrichtung 8 korrigiert. Obwohl 7(a) zeigt, zum Zweck der Erläuterung, dass der Hauptkörper der Strahlungsquelle parallel zu der optischen Achse X ist, kann die Orientierung einer Anordnung der Strahlungsquelle 2 optional entsprechend dem Layout der Vorrichtung eingestellt werden.
Die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1B erzielt dieselben betrieblichen Effekte wie die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1 und 1A.
8 ist eine Frontansicht der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform. Die in 8 gezeigte Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1C unterscheidet sich von der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1 der in 1 gezeigten ersten Ausführungsform darin, dass der Rückdetektor 4 an einer Position abseits der Normalen C zu der rückwärtigen Oberfläche 6b angeordnet ist, um das Szintillationslicht über einen Reflektorspiegel 16 zu konzentrieren, welcher auf der Normalen C angeordnet ist. Insbesondere ist der Reflektorspiegel 16 so angeordnet, dass dessen Reflektoroberfläche 16a einen vorbestimmten Winkel (z.B. 45 Grad) bezüglich der Richtung der Normalen C bildet, und somit diese das Szintillationslicht, welches in der Richtung der Normalen C von der rückwärtigen Oberfläche 6b emittiert wird, in eine vorbestimmte Richtung bezüglich der Normalen C reflektiert. Der Reflektorspiegel 16, welcher hierbei zu verwenden ist, ist beispielsweise ein optischer Spiegel oder ein Prisma. Der Rückdetektor 4 ist so angeordnet, dass ein Winkel zwischen der optischen Achse G der eingebetteten Kondensor-Linseneinheit 4a und die Reflektoroberfläche 16a gleich dem Winkel zwischen der Normalen C und der Reflektoroberfläche 16a ist. Diese Kondensor-Linseneinheit 4a konzentriert das Szintillationslicht, welches in der Richtung der Normalen C von der rückwärtigen Oberfläche 6b emittiert wird und in der vorbestimmten Richtung relativ zu der Normalen C durch den Reflektorspiegel 16 reflektiert wird, auf die Abbildungseinheit 4b.
Wie oben beschrieben, ist der Rückdetektor 4 angeordnet, um von dem Strahlungsemissionsbereich von der Strahlungsquelle 2 beabstandet zu sein (der Bereich, in welchem der Strahlungsstrahl 12 auftritt). Diese Anordnung verhindert, dass der Rückdetektor 4 der Strahlung der Strahlungsquelle 2 ausgesetzt wird, und verhindert somit, dass ein direktes Konversionssignal von Strahlung in dem Rückdetektor 4 zur Erzeugung von Rauschen verursacht wird. Weiterhin kann die optische Pfadlänge von der Eintrittsoberfläche 6a der Wellenlängenkonversionsplatte 6 zu dem Frontdetektor 3 gleich der optischen Pfadlänge von der rückwärtigen Oberfläche 6b der Wellenlängenkonversionsplatte 6 zu dem Rückdetektor 4 eingestellt werden.
Die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1C erzielt dieselben betrieblichen Effekte wie die Strahlungsbilderfassungsvorrichtungen 1, 1A und 1B. Zusätzlich wird verhindert, dass der Rückdetektor 4 der Strahlung ausgesetzt wird, was eine Erzeugung von Rauschen in dem Rückdetektor 4 verhindert. Weiter sind die optischen Pfadlängen von der Wellenlängenkonversionsplatte 6 zu dem Frontdetektor 3 und dem Rückdetektor 4 einstellbar, was eine Positionsanordnung der ersten und zweiten Abbildungsmittel vereinfacht. Als eine Konsequenz davon wird es einfacher, die Abbildungsbedingungen der ersten und zweiten Abbildungsmittel abzustimmen (z.B. Gleichzeitigkeit von Aufnahmezeiten und Identität von Aufnahmepositionen).
9 ist eine Frontansicht der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung entsprechend der fünften Ausführungsform. Die in 9 gezeigte Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1B unterscheidet sich von der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1 der in 1 gezeigten ersten Ausführungsform darin, dass eine sich verjüngende Faser 17 angeordnet ist, um der rückwärtigen Oberfläche 6b zwischen der rückwärtigen Oberfläche 6b und dem Rückdetektor 4 gegenüber zu liegen. Insbesondere ist die sich verjüngende Faser 17 so angeordnet, dass deren Achse mit der Normalen C zu der rückwärtigen Oberfläche 6b zusammenfällt, um das in der Richtung der Normalen C von der rückwärtigen Oberfläche 6b emittierte Szintillationslicht zu der Kondensor-Linseneinheit des Rückdetektors 4 zu leiten. Diese sich verjüngende Faser 17 und der Rückdetektor 4 bilden einen Faserkopplungsdetektor 18.
Die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1D erzielt dieselben betrieblichen Effekte wie die Strahlungsbilderfassungsvorrichtungen 1 und 1A bis 1C. Die sich verjüngende Faser 17 konzentriert das Szintillationslicht auf der Seite der rückwärtigen Oberfläche 6b mit einer hohen Lichtkonzentrationseffizienz. Ein normales Fluoreszenzbild neigt dazu, auf der Seite der rückwärtigen Oberfläche 6b der Wellenlängenkonversionsplatte 6 dunkel zu werden. Allerdings kann ein Verlust in dem optischen System durch Aufnehmen des Faserkopplungsdetektors 18 reduziert werden. Weiterhin blockiert die sich verjüngende Faser 17 die Strahlung der Strahlungsquelle 2, um zu verhindern, dass der Rückdetektor 4 dieser ausgesetzt wird.
Das obige beschreibt die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung, allerdings ist die vorliegende Erfindung in keiner Weise dazu gedacht, durch die obigen Ausführungsformen beschränkt zu sein. Beispielsweise, wie in 10 gezeigt, kann die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1E so konfiguriert sein, dass die Strahlungsquelle abseits der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a angeordnet ist und dass der Reflektorspiegel 18 auf der Eintrittsoberflächenseite 6a angeordnet ist. In diesem Fall ist der Rückdetektor 4 so angeordnet, dass die optische Achse G der Kondensor-Linseneinheit 4a und die optische Achse X der Strahlungsquelle 2 auf derselben Ebene und auf derselben Seite bezüglich den Normalen B, C positioniert sind.
Weiter können auch verschiedene Modifikationen, wie sie in 11 gezeigt sind, an der Konfiguration vorgenommen werden, wobei die Strahlungsquelle 2 abseits der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a angeordnet ist. Insbesondere, wie in 11(a) gezeigt, kann die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1F so konfiguriert sein, dass der Frontdetektor 3 auf der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a angeordnet ist, und der Rückdetektor 4 so angeordnet ist, dass die optische Achse G der Kondensor-Linseneinheit 4a den vorbestimmten Winkel θ₂ bezüglich der Normalen C zu der rückwärtigen Oberfläche 6b bildet. In dieser Modifikation ist der Rückdetektor 4 so angeordnet, dass die optische Achse G der Kondensor-Linseneinheit 4a und die optische Achse X der Strahlungsquelle 2 auf derselben Ebene und zueinander gegenüber auf denselben Seiten bezüglich den Normalen B, C positioniert sind. Weiter, wie in 11(b) gezeigt, kann die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1G so konfiguriert sein, dass der Reflektorspiegel 15 auf der Eintrittsoberflächenseite 6a angeordnet ist, und der Rückdetektor 4 so angeordnet ist, dass die optische Achse G der Kondensor-Linseneinheit 4a den vorbestimmten Winkel θ₂ bezüglich der Normalen C zu der rückwärtigen Oberfläche 6b bildet. In diesem Fall ist ebenso der Rückdetektor 4 in derselben Weise wie in der Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1F angeordnet. In diesen Strahlungsbilderfassungsvorrichtungen 1F und 1G korrespondieren der Frontdetektor 3 zu dem einen Abbildungsmittel und der Rückdetektor 4 zu dem anderen Abbildungsmittel.
Verschiedene Modifikationen, wie in 12 gezeigt, können ebenso an der Konfiguration vorgenommen werden, wobei die Strahlungsquelle 2 abseits der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a angeordnet ist. Insbesondere, wie in 12(a) gezeigt, kann die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1H so ausgebildet sein, dass der Frontdetektor 3 so angeordnet ist, dass die optische Achse F der Kondensor-Linseneinheit 3a den vorbestimmten Winkel θ₁ bezüglich der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a bildet, und dass der Rückdetektor 4 auf der Normalen C zu der rückwärtigen Oberfläche 6b angeordnet ist. Darüber hinaus, wie in 12(b) gezeigt, kann die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1J so konfiguriert sein, dass der Frontdetektor 3 angeordnet ist, sodass die optische Achse F der Kondensor-Linseneinheit 3a den vorbestimmten Winkel θ₁ bezüglich der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a bildet, und dass der Reflektorspiegel 16 auf der Seite der rückwärtigen Oberfläche 6b angeordnet ist. Weiterhin, wie in 12(c) gezeigt, kann die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung 1K so konfiguriert sein, dass der Frontdetektor 3 so ausgebildet ist, dass die optische Achse F der Kondensor-Linseneinheit 3a den vorbestimmten Winkel θ₁ bezüglich der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a bildet, und dass der Phasenkopplungsdetektor 18 auf der Seite der rückwärtigen Oberfläche 6b angeordnet ist. In diesen Strahlungsbilderfassungsvorrichtungen 1H, 1J und 1K korrespondiert der Rückdetektor 4 zu dem einen Abbildungsmittel und der Frontdetektor 3 korrespondiert zu dem anderen Abbildungsmittel.
Die obigen Ausführungsformen beschreiben die Beispiele, wobei die Perspektivenkorrektur durch die Bildverarbeitungsvorrichtung 8 zum Korrigieren des Bildes mit einer Perspektive unter Verwendung des Bildes des Merkmalsteils d das Projektionsbild D ist, allerdings muss die Perspektivenkorrektur nicht auf diese Technik beschränkt sein. Beispielsweise kann die Perspektivenkorrektur gemacht werden, wie in 13 gezeigt, auf eine solche Weise, dass Korrekturkennzeichnungen (Zeichen) R an Ecken angegeben werden (zwei Ecken auf einer Diagonallinie auf der Wellenlängenkonversionsplatte 6 in dem Beispiel aus 13) auf der Eintrittsoberfläche 6a und auf der rückwärtigen Oberfläche 6b der Wellenlängenkonversionsplatte 6, und dass die Korrektur unter Verwendung von Frontseitenkorrekturkennzeichnungsbildern Sa und Rückseitenkorrekturkennzeichnungsbildern Sb gemacht wird, was Bilder der Korrekturkennzeichnungen R sind. In dem in 13 gezeigten Beispiel wird das Rückseitenbild Pb bezüglich dessen Perspektive unter Verwendung des Frontseitenbilds Pa als ein Referenzbild korrigiert, wodurch das korrigierte Rückseitenbild Pd erhalten wird. In dieser Operation wird die Perspektivenkorrektur ausgeführt, um die Abstände und Formen zwischen den Frontseitenkorrekturkennzeichnungsbildern Sa in dem Frontseitenbild Pa und den korrigierten Rückseitenkorrekturkennzeichnungsbildern Sd in dem Rückseitenbild Pd abzustimmen. Die Korrekturkennzeichnungen auf der Wellenlängenkonversionsplatte 6 können eine Vielzahl von Kennzeichnungen sein, welche an Positionen beabstandet zueinander angegeben sind, und eine einzige Kennzeichnung wird ebenso ausreichen.
In den Fällen, welche den Reflektorspiegel 15 oder 16 verwenden, beschreiben die obigen Ausführungsformen Beispiele, wobei der Reflektorspiegel 15, 16 bei dem Winkel von 45 Grad bezüglich der Normalen B, C angeordnet ist und wobei die optische Achse der Kondensor-Linseneinheit 3a, 4a senkrecht zu der Normalen B, C war, allerdings ohne auf diese Anordnung beschränkt zu sein, und der Winkel des Reflektorspiegels 15, 16 und der Anordnung des Frontdetektors 3 und des Rückdetektors 4 können optional entsprechend dem Layout in der Vorrichtung modifiziert werden.
Die Strahlungsquelle 2, der Frontdetektor 3 und der Rückdetektor 4 müssen nicht immer auf die Konfiguration beschränkt sein, bei welcher die optische Achse X, die optische Achse F und die optische Achse G auf derselben Ebene angeordnet sind, sondern können ebenso dreidimensional entsprechend den Umständen um die Achsen entlang den Richtungen der Normalen B, C angeordnet sein.
Die obigen Ausführungsformen beschreiben den Modus, bei welchem, wenn der Frontdetektor 3 das Szintillationslicht konzentriert, welches in der bezüglich der Richtung der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a geneigten Richtung emittiert wird, der Frontdetektor 3 so angeordnet ist, dass die optische Achse F der Kondensor-Linseneinheit 3a den vorbestimmten Winkel θ₁ bezüglich der Normalen B zu der Eintrittsoberfläche 6a bildet, allerdings ist die vorliegende Erfindung nicht auf diesen Modus beschränkt. Beispielsweise kann der Frontdetektor 3 so angeordnet sein, dass die optische Achse F der Kondensor-Linseneinheit 3a senkrecht zu der Eintrittsoberfläche 6a ist (das heißt parallel zu der Normalen B) und die optische Achse F außerhalb des Bereichs der Eintrittsoberfläche 6a positioniert ist. In diesem Fall kann der Frontdetektor 3 ebenso als das andere Abbildungsmittel zur Konzentration und zum Abbilden des Szintillationslichts fungieren, welches in eine bezüglich der Richtung der Normalen B von der Eintrittsoberfläche 6a geneigten Richtung emittiert wird.
Die obigen Ausführungsformen beschreiben den Modus, wobei, wenn der Rückdetektor 4 das Szintillationslicht konzentriert, welches in der bezüglich der Richtung der Normalen C zu der rückwärtigen Oberfläche 6b geneigten Richtung emittiert wird, der Rückdetektor 4 so angeordnet ist, dass die optische Achse G der Kondensor-Linseneinheit 4a den vorbestimmten Winkel θ₂ bezüglich der Normalen C zu der rückwärtigen Oberfläche 6b bildet, allerdings ist die vorliegende Erfindung nicht auf diesen Modus beschränkt. Beispielsweise kann der Rückdetektor 4 so angeordnet sein, dass die optische Achse G der Kondensor-Linseneinheit 4a senkrecht zu der rückwärtigen Oberfläche 6b ist (das heißt parallel zu der Normalen C) und die optische Achse G außerhalb des Bereichs der rückwärtigen Oberfläche 6b positioniert ist. In diesem Fall kann der Rückdetektor 4 als das andere Abbildungsmittel zur Konzentration und zum Abbilden des Szintillationslichts fungieren, welches in eine bezüglich der Richtung der Normalen C von der rückwärtigen Oberfläche 6b geneigten Richtung emittiert wird.
Die obigen Ausführungsformen verwenden die Detektoren eines Linsenkopplungstyps als Detektoren, allerdings können die Kondensor-Linseneinheit und die Abbildungseinheit als getrennte Elemente vorgesehen sein.
Eine effektive Anwendung ist derart, dass das Objekt A eine Halbleitervorrichtung ist und die Strahlungsbilderfassungsvorrichtung der obigen Ausführungsform auf eine Halbleiterauswahlinspektionsvorrichtung angewendet wird, dessen Inspektionsziel die Halbleitervorrichtung ist. In diesem Fall wird die durch die Halbleitervorrichtung als das Inspektionsziel transmittierte Strahlung nicht durch die Abbildungseinheit (Abbildungsvorrichtung zum Erfassen eines Bildes) geschnitten und so kann ein Ausfall oder etwas Ähnliches der Halbleitervorrichtung mit großer Genauigkeit detektiert werden.
Industrielle Anwendbarkeit
Der eine Aspekt der vorliegenden Erfindung ermöglicht die Erfassung von Strahlungsbildern in unterschiedlichen Energiebändern und die Reduktion des Einflusses auf die durch das Objekt transmittierte Strahlung.
Bezugszeichenliste

1, 1A–1H, 1J, 1K: Strahlungsbilderverfassungsvorrichtungen;
2: Strahlungsquelle;
3: Frontobservationsfotodetektor (erstes Abbildungsmittel);
3a: Kondensor-Linseneinheit;
3b: Abbildungseinheit;
4: Rückobservationsfotodetektor (zweites Abbildungsmittel);
4a: Kondensor-Linseneinheit;
4b: Abbildungseinheit;
6: Wellenlängenkonversionsplatte (Wellenlängenkonversionselement);
6a: Eintrittsoberfläche;
6b: Rückoberfläche (entgegengesetzte Oberfläche);
8: Bildverarbeitungsvorrichtung (Korrekturmittel);
15: Reflektorspiegel;
16: Reflektorspiegel;
17: sich verjüngende Faser;
A: Objekt;
B: Normale zur Eintrittsoberfläche;
C: Normale zur Rückoberfläche.

Claims

Eine Strahlungsbilderfassungsvorrichtung, umfassend: eine Strahlungsquelle zum Emittieren von Strahlung; ein Wellenlängenkonversionselement zum Erzeugen von Szintillatonslicht entsprechend einem Einfall der Strahlung, welche von der Strahlungsquelle emittiert und durch ein Objekt transmittiert wird; ein erstes Abbildungsmittel zum Abbilden des Szintillationslichts, welches von einer Eintrittsoberfläche in dem Wellenlängenkonversionselement emittiert wird.
Strahlungsbilderfassungsvorrichtung gemäß Anspruch 1, wobei das erste Abbildungsmittel eine erste Kondensor-Linseneinheit zum Konzentrieren des Szintillatonslichts aufweist, welches von der Eintrittsoberfläche emittiert wird, und wobei eine optische Achse der ersten Kondensor-Linseneinheit bezüglich einer Normalen zu der Eintrittsoberfläche geneigt ist.
Strahlungsbilderfassungsvorrichtung gemäß Anspruch 1, wobei das erste Abbildungsmittel eine erste Kondensor-Linseneinheit zum Konzentrieren des Szintillationslichts umfasst, welches von der Eintrittsoberfläche emittiert wird, und wobei eine optische Achse der ersten Kondensor-Linseneinheit senkrecht zu der Eintrittsoberfläche ist.
Strahlungsbilderfassungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, weiter umfassend: einen ersten Spiegel zum Reflektieren des von der Eintrittsoberfläche emittierten Szintillatonslichts, und wobei das erste Abbildungsmittel das reflektierte Szintillatonslicht durch den ersten Spiegel abbildet.
Strahlungsbilderfassungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei das erste Abbildungsmittel einen CMOS-Sensor umfasst.
Strahlungsbilderfassungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, weiter umfassend: ein zweites Abbildungsmittel zum Abbilden des Szintillatonslichts, welches von einer Rückoberfläche entgegengesetzt zu der Eintrittsoberfläche in dem Wellenlängenkonversionselement emittiert wird.
Strahlungsbilderfassungsvorrichtung gemäß Anspruch 6, wobei das zweite Abbildungsmittel eine zweite Kondensor-Linseneinheit zum Konzentrieren des Szintillatonslichts umfasst, welches von der Rückoberfläche emittiert wird, und wobei eine optische Achse der zweiten Kondensor-Linseneinheit bezüglich einer Normalen zu der Rückoberfläche geneigt ist.
Strahlungsbilderfassungsvorrichtung gemäß Anspruch 6, wobei das zweite Abbildungsmittel eine zweite Kondensor-Linseneinheit zum Konzentrieren des Szintillatonslichts aufweist, welches von der Rückoberfläche emittiert wird, und wobei eine optische Achse der zweiten Kondensor-Linseneinheit senkrecht zu der Rückoberfläche ist.
Strahlungsbilderfassungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 6 bis 8, weiter umfassend: einen zweiten Spiegel zum Reflektieren des von der Rückoberfläche emittierten Szintillatonslichts, und wobei das zweite Abbildungsmittel das reflektierte Szintillatonslicht über den zweiten Spiegel abbildet.
Strahlungsbilderfassungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 6 bis 9, wobei das zweite Abbildungsmittel einen CMOS-Sensor umfasst.
Strahlungsbilderfassungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 6 bis 10, wobei das erste Abbildungsmittel ein erstes Strahlungsbild des Objekts erzeugt, und wobei das zweite Abbildungsmittel ein zweites Strahlungsbild des Objekts erzeugt, und die Bestrahlungsbilderfassungsvorrichtung weiter umfasst: eine Bildverarbeitungsvorrichtung zum Abstimmen einer Größe des ersten Strahlungsbildes und einer Größe des zweiten Strahlungsbildes.
Strahlungsbilderfassungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 11, wobei das Wellenlängenkonversionselement ein Szintillator ist.