JPH05152391A - Ｘ線検査装置 - Google Patents
Ｘ線検査装置Info
- Publication number
- JPH05152391A JPH05152391A JP31771891A JP31771891A JPH05152391A JP H05152391 A JPH05152391 A JP H05152391A JP 31771891 A JP31771891 A JP 31771891A JP 31771891 A JP31771891 A JP 31771891A JP H05152391 A JPH05152391 A JP H05152391A
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- fiber
- fibers
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明はＸ線検査装置に関し、小型で且つ分
解能が高いＸ線検査装置を実現することを目的とする。 【構成】 Ｘ線源１０とファイバーテーパ１１とを具備
して成り、該ファイバーテーパ１１はＸ線蛍光材を添加
した多数本のファイバー１５を束ね、Ｘ線入射面１１ａ
側よりＸ線源１０を発散中心とした放射状となるような
角錐台状又は円錐台状に形成し、光出力面１１ｂ側はフ
ァイバー１５を変形して各ファイバー１５を平行とし、
その各端面が同一平面となるように構成する。
解能が高いＸ線検査装置を実現することを目的とする。 【構成】 Ｘ線源１０とファイバーテーパ１１とを具備
して成り、該ファイバーテーパ１１はＸ線蛍光材を添加
した多数本のファイバー１５を束ね、Ｘ線入射面１１ａ
側よりＸ線源１０を発散中心とした放射状となるような
角錐台状又は円錐台状に形成し、光出力面１１ｂ側はフ
ァイバー１５を変形して各ファイバー１５を平行とし、
その各端面が同一平面となるように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＸ線検査装置に関する。
詳しくはファイバーテーパを用いた小型・高分解能なＸ
線検査装置に関する。
詳しくはファイバーテーパを用いた小型・高分解能なＸ
線検査装置に関する。
【０００２】電子回路の実装基板、プリント板の製造に
おいては、電子部品の微小化、高密度実装が進んできて
いる。これに伴い、外観検査では検査不可能な部分が多
くなってきている。例えばＬＳＩ−基板の接続部は、多
端子化のために、半径２００μｍ程度の微小なマイクロ
バンプがＬＳＩの裏面全体に形成されることがある。こ
の部分は、ＬＳＩパッケージ部分の陰に隠れているた
め、光学的な検査手法では検査することができない。マ
イクロフォーカスＸ線を用いた透視検査は、このような
部分の検査に有効な検査方法である。
おいては、電子部品の微小化、高密度実装が進んできて
いる。これに伴い、外観検査では検査不可能な部分が多
くなってきている。例えばＬＳＩ−基板の接続部は、多
端子化のために、半径２００μｍ程度の微小なマイクロ
バンプがＬＳＩの裏面全体に形成されることがある。こ
の部分は、ＬＳＩパッケージ部分の陰に隠れているた
め、光学的な検査手法では検査することができない。マ
イクロフォーカスＸ線を用いた透視検査は、このような
部分の検査に有効な検査方法である。
【０００３】
【従来の技術】従来、マイクロフォーカスＸ線源を用い
たＸ線透視検査で代表的なものとして、Ｘ線源とＸ線イ
メージインテンシファィアを用いた方法がある。この方
法は図４に示すように、マイクロフォーカスＸ線源１と
Ｘ線イメージインテンシファィア２との間に被検査体３
を置き、該被検査体３を透過したＸ線４をＸ線イメージ
インテンシファィア２で可視化し、増幅された透視画像
をビジコンカメラ５等で検知するのが一般的な方法であ
る。
たＸ線透視検査で代表的なものとして、Ｘ線源とＸ線イ
メージインテンシファィアを用いた方法がある。この方
法は図４に示すように、マイクロフォーカスＸ線源１と
Ｘ線イメージインテンシファィア２との間に被検査体３
を置き、該被検査体３を透過したＸ線４をＸ線イメージ
インテンシファィア２で可視化し、増幅された透視画像
をビジコンカメラ５等で検知するのが一般的な方法であ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のＸ線透視検
査方法では、Ｘ線イメージインテンシファィア２の分解
能がイメージインテンシファィア前部の蛍光板により決
定され、その値は約２５０μｍと大きいものであった。
しかし検査対象が微細化するにつれ、分解能の要求も数
μｍ以下となってきており、従来のＸ線イメージインテ
ンシファィアでは要求を満足できないという問題が生じ
ている。また、従来のＸ線イメージインテンシファィア
の大きさは管面で６インチから１２インチ程度と大き
く、装置の小型化も困難であった。
査方法では、Ｘ線イメージインテンシファィア２の分解
能がイメージインテンシファィア前部の蛍光板により決
定され、その値は約２５０μｍと大きいものであった。
しかし検査対象が微細化するにつれ、分解能の要求も数
μｍ以下となってきており、従来のＸ線イメージインテ
ンシファィアでは要求を満足できないという問題が生じ
ている。また、従来のＸ線イメージインテンシファィア
の大きさは管面で６インチから１２インチ程度と大き
く、装置の小型化も困難であった。
【０００５】本発明は、小型で且つ分解能が高いＸ線検
査装置を実現しようとする。
査装置を実現しようとする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のＸ線検査装置に
於いては、Ｘ線源１０とファイバーテーパ１１とを具備
して成り、該ファイバーテーパ１１はＸ線蛍光材を添加
した多数本のファイバー１５を束ね、Ｘ線入射面１１ａ
側よりＸ線源１０を発散中心とした放射状となるような
角錐台状又は円錐台状に形成し、光出力面１１ｂ側はフ
ァイバー１５を変形して各ファイバー１５を平行とし、
その各端面が同一平面となるように構成したことを特徴
とする。
於いては、Ｘ線源１０とファイバーテーパ１１とを具備
して成り、該ファイバーテーパ１１はＸ線蛍光材を添加
した多数本のファイバー１５を束ね、Ｘ線入射面１１ａ
側よりＸ線源１０を発散中心とした放射状となるような
角錐台状又は円錐台状に形成し、光出力面１１ｂ側はフ
ァイバー１５を変形して各ファイバー１５を平行とし、
その各端面が同一平面となるように構成したことを特徴
とする。
【０００７】また、それに加えて、上記ファイバー１５
はＸ線蛍光材としてＴｅ又はＣａＷＯ4 又はＧｄＯ2 Ｓ
又はＺｎＳ：Ａｇを添加したことを特徴とする。また、
それに加えて、上記Ｘ線源１０にマイクロフォーカスＸ
線源１７を用いたことを特徴とする。この構成を採るこ
とにより、小型で且つ分解能の高いＸ線検査装置が得ら
れる。
はＸ線蛍光材としてＴｅ又はＣａＷＯ4 又はＧｄＯ2 Ｓ
又はＺｎＳ：Ａｇを添加したことを特徴とする。また、
それに加えて、上記Ｘ線源１０にマイクロフォーカスＸ
線源１７を用いたことを特徴とする。この構成を採るこ
とにより、小型で且つ分解能の高いＸ線検査装置が得ら
れる。
【０００８】
【作用】ファイバーテーパ１１の放射焦点をＸ線源焦点
に一致させ、該Ｘ線源１０とファイバーテーパ１１との
間に被検査体１４を配置することにより、該被検査体１
４を透過したＸ線はファイバーテーパ１１の各ファイバ
ー１５の光軸方向に入射する。各ファイバー１５に入射
したＸ線はファイバー中のＸ線蛍光材を励起して蛍光を
発生させ、光出力面１１ｂに可視像を作ることができ
る。分解能はファイバーテーパのファイバーを細くする
ことで向上させることができる。
に一致させ、該Ｘ線源１０とファイバーテーパ１１との
間に被検査体１４を配置することにより、該被検査体１
４を透過したＸ線はファイバーテーパ１１の各ファイバ
ー１５の光軸方向に入射する。各ファイバー１５に入射
したＸ線はファイバー中のＸ線蛍光材を励起して蛍光を
発生させ、光出力面１１ｂに可視像を作ることができ
る。分解能はファイバーテーパのファイバーを細くする
ことで向上させることができる。
【０００９】
【実施例】図１は本発明の実施例を示す図である。本実
施例はＸ線源１０、ファイバーテーパ１１、レンズ１
２、ビジコンカメラ１３が順次配列されている。なお１
４は被検査体であり、Ｘ線源１０とファイバーテーパ１
１との間に挿入される。そして、ファイバーテーパ１１
は図２に示すように、Ｘ線蛍光材として、Ｔｅ又はＣａ
ＷＯ4 又はＧｄＯ2 Ｓ又はＺｎＳ：Ａｇ等のテルビウム
系又は希土類系などを添加した多数本のファイバー１５
を束ねて角錐台状（又は円錐台状でも良い）に形成され
ている。この時ファイバー１５のＸ線源１０に対向する
Ｘ線入射面１１ａ側は、Ｘ線源の焦点１０′を発散中心
とする放射状に配置され、Ｘ線透過率が十分低くなった
ところでテーパー面を屈曲させ、光出力面１１ｂ側では
各ファイバー１５が平行となり、各端面が同一面となる
ようにしている。従ってテーパ部分のファイバ１５もテ
ーパとなっている。このようにすることで、Ｘ線入力側
では放射中心を決定し、出力面では接続による光ロスを
防ぐ。なお各ファイバー１５間には例えば不透光性ガラ
ス粉末等の遮光層１６が設けられている。またＸ線入力
端でのファイバー径は数μｍとする。
施例はＸ線源１０、ファイバーテーパ１１、レンズ１
２、ビジコンカメラ１３が順次配列されている。なお１
４は被検査体であり、Ｘ線源１０とファイバーテーパ１
１との間に挿入される。そして、ファイバーテーパ１１
は図２に示すように、Ｘ線蛍光材として、Ｔｅ又はＣａ
ＷＯ4 又はＧｄＯ2 Ｓ又はＺｎＳ：Ａｇ等のテルビウム
系又は希土類系などを添加した多数本のファイバー１５
を束ねて角錐台状（又は円錐台状でも良い）に形成され
ている。この時ファイバー１５のＸ線源１０に対向する
Ｘ線入射面１１ａ側は、Ｘ線源の焦点１０′を発散中心
とする放射状に配置され、Ｘ線透過率が十分低くなった
ところでテーパー面を屈曲させ、光出力面１１ｂ側では
各ファイバー１５が平行となり、各端面が同一面となる
ようにしている。従ってテーパ部分のファイバ１５もテ
ーパとなっている。このようにすることで、Ｘ線入力側
では放射中心を決定し、出力面では接続による光ロスを
防ぐ。なお各ファイバー１５間には例えば不透光性ガラ
ス粉末等の遮光層１６が設けられている。またＸ線入力
端でのファイバー径は数μｍとする。
【００１０】Ｘ線源１０には焦点数μｍ以下のマイクロ
フォーカスＸ線源１７を使用し、その焦点をファイバー
テーパ１１の放射焦点に設置する。
フォーカスＸ線源１７を使用し、その焦点をファイバー
テーパ１１の放射焦点に設置する。
【００１１】このように構成された本実施例は、被検査
体１４をＸ線源１０とファイバーテーパ１１の間に配置
し、Ｘ線源１０からＸ線を照射することにより、Ｘ線は
Ｘ線源１０の焦点から放射状に出射し、被検査体１４を
透過する。被検査体１４を透過したＸ線はファイバーテ
ーパ１１の各ファイバー１５に入射し、その中のＸ線蛍
光材を励起して蛍光を生じさせる。この蛍光はファイバ
ー１５内を伝播し、出力面に可視像を形成する。この出
力光はビジコンカメラ１３等により検知し、モニタ観察
または画像処理系での検査処理を行なうことができる。
体１４をＸ線源１０とファイバーテーパ１１の間に配置
し、Ｘ線源１０からＸ線を照射することにより、Ｘ線は
Ｘ線源１０の焦点から放射状に出射し、被検査体１４を
透過する。被検査体１４を透過したＸ線はファイバーテ
ーパ１１の各ファイバー１５に入射し、その中のＸ線蛍
光材を励起して蛍光を生じさせる。この蛍光はファイバ
ー１５内を伝播し、出力面に可視像を形成する。この出
力光はビジコンカメラ１３等により検知し、モニタ観察
または画像処理系での検査処理を行なうことができる。
【００１２】以上の本実施例によれば、ファイバーテー
パ１１のＸ線入力端でのファイバー径を数μｍとするこ
とで高分解能化が可能となる。またファイバーテーパ１
１を小型化することでＸ線検査装置を小型化することが
できる。
パ１１のＸ線入力端でのファイバー径を数μｍとするこ
とで高分解能化が可能となる。またファイバーテーパ１
１を小型化することでＸ線検査装置を小型化することが
できる。
【００１３】図３は本発明の他の実施例を示す図であ
る。同図において、前実施例と同一部分は同一符号を付
して示した。本実施例は基本的には前実施例と同様であ
り、異なるところは、ファイバーテーパ１１を薄型化し
てライン状ファイバーテーパ１８としたこと、及びビジ
コンカメラ１３の代りにラインＣＣＤ１９を用いたこと
である。
る。同図において、前実施例と同一部分は同一符号を付
して示した。本実施例は基本的には前実施例と同様であ
り、異なるところは、ファイバーテーパ１１を薄型化し
てライン状ファイバーテーパ１８としたこと、及びビジ
コンカメラ１３の代りにラインＣＣＤ１９を用いたこと
である。
【００１４】このように構成された本実施例は、被検査
体１４を上下にスキャンすることにより、ラインＣＣＤ
１８を介して画像処理系での検査処理を行うことができ
る。また高分解能化及びＸ線装置を小型化できることは
前実施例と同様である。
体１４を上下にスキャンすることにより、ラインＣＣＤ
１８を介して画像処理系での検査処理を行うことができ
る。また高分解能化及びＸ線装置を小型化できることは
前実施例と同様である。
【００１５】
【発明の効果】本発明に依れば、Ｘ線蛍光材を添加した
ファイバーを用いたファイバーテーパを用いることによ
り、Ｘ線画像取込みの高分解能化、及びＸ線検査装置の
小型化が可能となり、ＬＳＩ等のＸ線検査の精度向上に
寄与することができる。
ファイバーを用いたファイバーテーパを用いることによ
り、Ｘ線画像取込みの高分解能化、及びＸ線検査装置の
小型化が可能となり、ＬＳＩ等のＸ線検査の精度向上に
寄与することができる。
【図１】本発明の実施例を示す図である。
【図２】本発明の実施例におけるファイバーテーパを示
す図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）図のｂ−ｂ線
における断面図である。
す図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）図のｂ−ｂ線
における断面図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す図である。
【図４】従来のＸ線検査装置の１例を示す図で、（ａ）
は斜視図、（ｂ）は（ａ）図のＢ部拡大断面図である。
は斜視図、（ｂ）は（ａ）図のＢ部拡大断面図である。
１０…Ｘ線源 １１…ファイバーテーパ １２…レンズ １３…ビジコンカメラ １４…被検査体 １５…ファイバ １６…遮光層 １７…マイクロフォーカスＸ線源 １８…ライン状ファイバーテーパ １９…ラインＣＣＤ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西山 陽二 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｘ線源（１０）とファイバーテーパ（１
１）とを具備して成り、該ファイバーテーパ（１１）は
Ｘ線蛍光材を添加した多数本のファイバー（１５）を束
ね、Ｘ線入射面（１１ａ）側よりＸ線源（１０）を発散
中心とした放射状となるような角錐台状又は円錐台状に
形成し、光出力面（１１ｂ）側はファイバー（１５）を
変形して各ファイバー（１５）を平行とし、その各端面
が同一平面となるように構成したことを特徴とするＸ線
検査装置。 - 【請求項２】 上記ファイバー（１５）はＸ線蛍光材と
してＴｅ又はＣａＷＯ4 又はＧｄＯ2 Ｓ又はＺｎＳ：Ａ
ｇを添加したことを特徴とする請求項１のＸ線検査装
置。 - 【請求項３】 上記Ｘ線源（１０）にマイクロフォーカ
スＸ線源（１７）を用いたことを特徴とする請求項１の
Ｘ線検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31771891A JPH05152391A (ja) | 1991-12-02 | 1991-12-02 | Ｘ線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31771891A JPH05152391A (ja) | 1991-12-02 | 1991-12-02 | Ｘ線検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05152391A true JPH05152391A (ja) | 1993-06-18 |
Family
ID=18091266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31771891A Withdrawn JPH05152391A (ja) | 1991-12-02 | 1991-12-02 | Ｘ線検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05152391A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012154734A (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 放射線画像取得装置 |
| JP2012154733A (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 放射線画像取得装置 |
| JP2012154735A (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 放射線画像取得装置 |
| US10234406B2 (en) | 2012-07-20 | 2019-03-19 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image acquisition system |
| US10859715B2 (en) | 2015-09-30 | 2020-12-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image acquisition system and radiation image acquisition method |
-
1991
- 1991-12-02 JP JP31771891A patent/JPH05152391A/ja not_active Withdrawn
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012154734A (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 放射線画像取得装置 |
| JP2012154733A (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 放射線画像取得装置 |
| JP2012154735A (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 放射線画像取得装置 |
| US9255996B2 (en) | 2011-01-25 | 2016-02-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image acquisition device |
| US9268039B2 (en) | 2011-01-25 | 2016-02-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image acquisition device |
| US9279890B2 (en) | 2011-01-25 | 2016-03-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image acquisition device |
| US10101469B2 (en) | 2011-01-25 | 2018-10-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image acquisition device |
| US10746884B2 (en) | 2011-01-25 | 2020-08-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image acquisition device |
| US10234406B2 (en) | 2012-07-20 | 2019-03-19 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image acquisition system |
| US10859715B2 (en) | 2015-09-30 | 2020-12-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image acquisition system and radiation image acquisition method |
| US11237278B2 (en) | 2015-09-30 | 2022-02-01 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image acquisition system and radiation image acquisition method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |