JP2012154733A - 放射線画像取得装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の放射線画像取得装置1では、表面検出器3および裏面検出器4によって、異なるエネルギー帯の放射線画像を取得するデュアルエナジー撮像が実現される。ここで、対象物Aと波長変換板6との間には撮像手段が何ら介在していないため、対象物Aを透過した放射線に与える影響が低減され、低エネルギー帯の放射線が好適に検出される。しかも、表面検出器3および裏面検出器4は、入射面6aおよび裏面6bからそれぞれ法線B,C方向に出射されるシンチレーション光を集光するため、いずれもあおりがない放射線画像を取得することができ、入射面6a側および裏面6b側の画像間における演算が容易になる。
【選択図】図1
Description
Claims (7)
- 放射線を出射する放射線源と、
前記放射線源から出射され、対象物を透過した前記放射線の入射に応じてシンチレーション光を発生させる平板状の波長変換部材と、
前記波長変換部材の前記放射線の入射面から前記入射面の法線方向に出射されるシンチレーション光を集光して撮像する第1の撮像手段と、
前記波長変換部材の前記入射面とは反対側の面から前記反対側の面の法線方向に出射されるシンチレーション光を集光して撮像する第2の撮像手段と、
を備えることを特徴とする放射線画像取得装置。 - 前記第1の撮像手段および前記第2の撮像手段のそれぞれは、
前記波長変換部材から出射される前記シンチレーション光を集光する集光レンズ部と、
集光された前記シンチレーション光を撮像する撮像部と、
を有することを特徴とする請求項1記載の放射線画像取得装置。 - 前記放射線源は、前記放射線源の光軸と前記入射面とのなす角度が0度より大きく90度より小さくなるように配置されると共に、
前記第1の撮像手段は、前記入射面の法線上に配置される
ことを特徴とする請求項1又は2記載の放射線画像取得装置。 - 前記放射線源は、前記入射面の法線上に配置されると共に、
前記第1の撮像手段は、前記入射面の法線から外れた位置に配置され、前記波長変換部材と前記放射線源との間に配置された反射ミラーを介して前記シンチレーション光を集光する
ことを特徴とする請求項1又は2記載の放射線画像取得装置。 - 前記第2の撮像手段は、前記反対側の面の法線から外れた位置に配置され、前記反対側の面の法線上に配置された反射ミラーを介して前記シンチレーション光を集光する
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の放射線画像取得装置。 - 前記波長変換部材の前記反対側の面と前記第2の撮像手段との間には、前記反対側の面に対面させてテーパファイバが配置されている
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の放射線画像取得装置。 - 前記対象物は半導体デバイスであり、
当該半導体デバイスを検査対象とする半導体故障検査装置に適用される
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の放射線画像取得装置。
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