CN203616268U - 放射线图像取得装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种放射线图像取得装置。放射线图像取得装置具备出射放射线的放射线源、对应于从放射线源出射并透过了对象物的放射线的入射而产生闪烁光的平板状的波长变换构件、对从波长变换构件的放射线的入射面沿着入射面的法线方向出射的闪烁光进行聚光并摄像的第1摄像机构、以及对从波长变换构件的入射面的相反侧的面沿着相反侧的面的法线方向出射的闪烁光进行聚光并摄像的第2摄像机构。

Description

放射线图像取得装置
技术领域
本实用新型涉及一种放射线图像取得装置。
背景技术
一直以来，已知有如下述专利文献1所记载的那样，将从X射线源产生并透过了摄像对象物的X射线照射到平板状的闪烁器，由层叠在闪烁器的两面的固体光检测器检测由闪烁器发光的可见光（闪烁光），使从各固体光检测器输出的图像信号重叠而取得放射线图像的装置。在该装置中，使光检测元件耦合于闪烁器的X射线的入射面及其背面，在入射面侧的光检测元件与背面侧的光检测元件的各个中检测可见光，由此提高可见光的检测效率。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平7-27866号公报
实用新型内容
实用新型所要解决的技术问题
如上述那样在闪烁器的两面检测闪烁光的装置中，能够在入射面侧及其背面侧取得不同能量带的放射线图像，并可以取得所谓的双能（dual-energy）的图像。
然而，在上述的现有的装置中，透过了对象物的放射线透过入射面侧的光检测元件而到达闪烁器，因而比较低能量带的放射线会被入射面侧的光检测元件吸收。例如，在对象物由轻原子形成的情况下，透过了对象物的放射线有时会被入射面侧的光检测元件吸收。这样，存在透过了对象物的放射线会受到入射面侧的光检测元件的影响这样的问题。
因此，本实用新型的目的在于，提供一种放射线图像取得装置，其能够取得不同能量带的放射线图像，而且能够减小对透过了对象物的放射线产生的影响。
解决问题的技术手段
本实用新型的一个方式所涉及的放射线图像取得装置，其特征在于，具备：出射放射线的放射线源；对应于从放射线源出射并透过了对象物的放射线的入射而产生闪烁光的平板状的波长变换构件；对从波长变换构件的放射线的入射面沿着入射面的法线方向出射的闪烁光进行聚光并摄像的第1摄像机构；以及对从波长变换构件的入射面的相反侧的面沿着相反侧的面的法线方向出射的闪烁光进行聚光并摄像的第2摄像机构。
根据本实用新型的一个方式所涉及的放射线图像取得装置，从波长变换构件的放射线的入射面及其相反侧的面出射的闪烁光分别由第1摄像机构和第2摄像机构而被聚光并被摄像。由此，实现了取得不同能量带的放射线图像的双能摄像。这里，第1摄像机构由于对从入射面出射的闪烁光进行聚光，因此配置在从波长变换构件相分离的位置。因此，能够做成摄像机构不介于对象物与波长变换构件之间的结构，能够避免摄像机构对透过了对象物的放射线产生影响那样的情形。因此，能够减小对透过了对象物的放射线产生的影响。此外，第1摄像机构和第2摄像机构对分别从入射面及其相反侧的面沿着法线方向出射的闪烁光进行聚光，因而均能够取得无透视倾斜（perspective（透视））的放射线图像，使入射面侧和相反侧的面侧的图像间的运算变得容易。
另外，也可以是第1摄像机构和第2摄像机构分别具有对从波长变换构件出射的闪烁光进行聚光的聚光透镜部、以及对被聚光了的闪烁光进行摄像的摄像部的方式。在这种情况下，以焦点对准波长变换构件的入射面和相反侧的面的各面上的方式进行聚光，由此能够取得能量区别性良好且明亮的放射线图像。
另外，也可以是放射线源以放射线源的光轴与入射面所成的角度大于0度且小于90度的方式配置，并且第1摄像机构配置在入射面的法线上的方式。在这种情况下，能够通过第1摄像机构直接对入射面的法线方向的闪烁光进行聚光，并且能够使第1摄像机构从放射线源的光轴上偏离而配置。因此，能够容易地实现上述的作用效果，此外，能够抑制放射线所引起的第1摄像机构的被曝光，能够抑制第1摄像机构的内部的噪声的产生。
另外，也可以是放射线源配置在入射面的法线上，并且第1摄像机构配置在从入射面的法线偏离的位置，经由配置在波长变换构件与放射线源之间的反射镜而对闪烁光进行聚光的方式。在这种情况下，放射线源配置在入射面的法线上，因而在向波长变换构件的投影像中不产生透视倾斜，不需要用于对投影像的透视倾斜进行补正的运算。此外，能够抑制放射线所引起的第1摄像机构的被曝光，能够抑制第1摄像机构的内部的噪声的产生。
另外，也可以是第2摄像机构配置在从相反侧的面的法线偏离的位置，经由配置在相反侧的面的法线上的反射镜而对闪烁光进行聚光的方式。在这种情况下，能够抑制放射线所引起的第2摄像机构的被曝光，能够抑制第2摄像机构的内部的噪声的产生。此外，能够调整从波长变换构件到第1和第2摄像机构为止的光路长，第1和第2摄像机构的定位变得容易。作为其结果，容易匹配第1和第2摄像机构的摄像条件（摄像时机的同时性或摄像位置的同一性等）。
另外，也可以是在波长变换构件的相反侧的面与第2摄像机构之间，与相反侧的面相面对面地配置有锥形光纤（tapered fiber）的方式。在这种情况下，通过锥形光纤，能够以高的聚光效率对相反侧的面侧的闪烁光进行聚光。此外，放射线被锥形光纤阻断，能够防止第2摄像机构的被曝光。
另外，也可以是对象物是半导体器件，上述放射线图像取得装置应用于以该半导体器件为检查对象的半导体故障检查装置中的方式。在这种情况下，透过了成为检查对象的半导体器件的放射线不被摄像部（图像取得用的摄像元件）切断（cut），因而能够精度高地检测半导体器件的故障等。
实用新型的效果
根据本实用新型的一个方式，能够取得不同能量带的放射线图像，并且能够减小对透过了对象物的放射线产生的影响。
附图说明
图1是本实用新型的第1实施方式所涉及的放射线图像取得装置的正面图。
图2是图1的放射线图像取得装置中的投影像的透视倾斜的说明图。
图3是本实用新型的第2实施方式所涉及的放射线图像取得装置的正面图。
图4是图3的放射线图像取得装置中的投影像的说明图。
图5是本实用新型的第3实施方式所涉及的放射线图像取得装置的正面图。
图6是本实用新型的第4实施方式所涉及的放射线图像取得装置的正面图。
图7（a）和（b）是作为本实用新型的变形例的放射线图像取得装置的正面图。
图8（a）～（c）是作为本实用新型的变形例的放射线图像取得装置的正面图。
具体实施方式
以下，一边参照附图一边说明本实用新型的实施方式。再有，附图的说明中对相同或相当部分赋予相同符号，省略重复的说明。另外，各附图是为了说明用而制作的，以特别强调说明的对象部位的方式描述。因此，附图中的各构件的尺寸比率不必与实际的情况一致。
如图1所示，放射线图像取得装置1是用于取得半导体器件等的电子部件或食品等这样的对象物A的放射线图像的装置。放射线图像取得装置1具备朝向对象物A出射白色X射线等的放射线的放射线源2、对应于从放射线源2出射并透过了对象物A的放射线的入射而产生闪烁光的波长变换板6、对从波长变换板6的放射线的入射面6a出射的闪烁光进行聚光并摄像的表面观察用光检测器3、以及对从入射面6a的相反侧的面即背面6b出射的闪烁光进行聚光并摄像的背面观察用光检测器4。这些放射线源2、波长变换板6、表面观察用光检测器3、以及背面观察用光检测器4被未图示的筐体收纳，并被固定在筐体内。
波长变换板6是平板状的波长变换构件，例如是Gd2O2S:Tb、Gd2O2S:Pr、CsI:Tl、CdWO4、CaWO4、Gd2SiO5:Ce、Lu0.4Gd1.6SiO5、Bi4Ge3O12、Lu2SiO5:Ce、Y2SiO5、YAlO3:Ce、Y2O2S:Tb、YTaO4:Tm等的闪烁器。波长变换板6的厚度根据在数μm～数mm的范围所检测的放射线的能量带而设定为适当的值。
表面观察用光检测器3（以下，称为“表面检测器3”）是从波长变换板6的入射面6a侧对投影到波长变换板6的对象物A的投影像（放射线透过像）进行摄像的间接变换方式的摄像机构。表面检测器3是具有对从波长变换板6的入射面6a出射的闪烁光进行聚光的聚光透镜部3a、以及对被聚光透镜部3a聚光的闪烁光进行摄像的摄像部3b的透镜耦合型的检测器。聚光透镜部3a对表面检测器视野13的闪烁光进行聚光。作为摄像部3b，可以使用例如CMOS传感器、CCD传感器等。再有，摄像部3b的受光面可以做成与入射面6a大致平行。
背面观察用光检测器4（以下，称为“背面检测器4”）是从波长变换板6的背面6b侧对投影到波长变换板6的对象物A的投影像（放射线透过像）进行摄像的间接变换方式的摄像机构。背面检测器4是具有对从波长变换板6的背面6b出射的闪烁光进行聚光的聚光透镜部4a、以及对被聚光透镜部4a聚光的闪烁光进行摄像的摄像部4b的透镜耦合型的检测器，具有与上述的表面检测器3同样的结构。聚光透镜部4a对背面检测器视野14的闪烁光进行聚光。作为摄像部4b，可以使用例如CMOS传感器、CCD传感器等。再有，摄像部4b的受光面可以做成与背面6b大致平行。
此外，放射线图像取得装置1具备控制表面检测器3和背面检测器4中的摄像时机的时机控制部7、输入从表面检测器3和背面检测器4输出的图像信号并基于所输入的各图像信号来执行图像处理等的规定的处理的图像处理装置8、以及输入从图像处理装置8输出的图像信号并显示放射线图像的显示装置9。时机控制部7和图像处理装置8由具有CPU（Central Processing Unit，中央处理器）、ROM（Read OnlyMemory，只读存储器）、RAM（Random Access Memory，随机存储器）和输入输出界面等的计算机所构成。作为显示装置9，可以使用公知的显示器。再有，时机控制部7和图像处理装置8可以构成为由单一的计算机执行的程序，也可以构成为分别设置的单元。
接着，对上述的放射线源2、波长变换板6、表面检测器3、以及背面检测器4的位置关系进行说明。如图1所示，放射线源2以放射线的光轴X相对于波长变换板6的入射面6a的法线B成规定的角度θ的方式配置。即，放射线源2与对象物A和入射面6a相对，并且配置在从入射面6a的法线B偏离的位置。换言之，放射线源2以光轴X与入射面6a所成的角度大于0度且小于90度的方式配置。这里，所谓放射线的光轴X，是指连结放射线源2的放射线出射点与波长变换板6的入射面6a上的任意的点γ的直线。在本实施方式中，以任意的点γ成为入射面6a的中心点的方式设定，在这种情况下，会比较均匀地照射放射线。另外，所谓法线B，是指从入射面6a上的任意的点α延伸的相对于入射面6a垂直的直线。在本实施方式中，以任意的点α成为入射面6a的中心点的方式设定，放射线的光轴X与法线B在入射面6a的任意的点γ（任意的点α）相交。当然，任意的点γ和任意的点α不必要是入射面6a的中心点，也不必要是相同的点。
表面检测器3以可以对从波长变换板6的入射面6a出射的闪烁光进行摄像的方式且以内置的聚光透镜部3a的光轴相对于入射面6a正交的方式配置。这里，聚光透镜部3a的光轴与入射面6a的法线一致。即，表面检测器3与入射面6a相对，并且配置在入射面6a的法线B上。因此，表面检测器3可以对沿着入射面6a的法线B方向出射的闪烁光进行摄像，因而容易取得透视倾斜少的图像。聚光透镜部3a将焦点对准入射面6a上，并将从入射面6a沿着法线B出射的闪烁光朝向摄像部3b聚光。
如上所述，表面检测器3从放射线源2的光轴X上偏离而配置。即，表面检测器3以从来自放射线源2的放射线的出射区域（放射线束12存在的区域）相分离的方式配置。由此，防止了来自放射线源2的放射线所引起的表面检测器3的被曝光，并防止了在表面检测器3的内部产生放射线的直接变换信号而产生噪声。另外，表面检测器3以从聚光透镜部3a的中心向下到波长变换板6的入射面6a的垂线在入射面6a的范围内的方式配置，并且配置在波长变换板6的入射面6a上方。由此，可以检测比较多的闪烁光。
背面检测器4以可以对从波长变换板6的背面6b出射的闪烁光进行摄像的方式且以内置的聚光透镜部4a的光轴相对于背面6b正交的方式配置。这里，聚光透镜部4a的光轴与背面6b的法线C相一致。即，背面检测器4与背面6b相对，并且配置在背面6b的法线C上。因此，背面检测器4可以对沿着背面6b的法线C方向出射的闪烁光进行摄像，因而容易取得透视倾斜少的图像。这里，所谓法线C，是指从背面6b上的任意的点β延伸且相对于背面6b垂直的直线。特别地，在本实施方式中，任意的点β设定为背面6b的中心点，入射面6a上的任意的点α与背面6b上的任意的点β位于同一直线上，该直线与法线B和法线C相一致。聚光透镜部4a将焦点对准背面6b，并将从背面6b沿着法线C方向出射的闪烁光朝向摄像部4b聚光。
在放射线图像取得装置1中，从波长变换板6的入射面6a到表面检测器3为止的光路长与从波长变换板6的背面6b到背面检测器4为止的光路长相等。再有，从波长变换板6的入射面6a到表面检测器3为止的光路长与从波长变换板6的背面6到背面检测器4为止的光路长也可以不同，但在这种情况下，有必要通过图像处理等来匹配图像的大小等。
接着，对具有上述的结构的放射线图像取得装置1的动作进行说明。首先，由时机控制部7进行控制，以同时进行由表面检测器3和背面检测器4所进行的摄像。通过时机控制部7的摄像时机控制，可以在不同的能量带将对象物A的放射线透过像图像化。详细而言，比较低的能量带的放射线透过像被表面检测器3图像化，另外，比较高能量带的放射线透过像被背面检测器4图像化。由此，实现了双能摄像。再有，在放射线图像取得装置1中，可以将表面检测器3与背面检测器4的摄像时机以分别不同的方式进行控制。另外，也可以以表面检测器3与背面检测器4各自的曝光时间或摄影枚数不同的方式控制。
关于表面检测器3和背面检测器4的功能，换言之，在相对入射面6a侧变换的荧光（闪烁光）被表面检测器3检测。在入射面6a侧变换的荧光的检测具有荧光的模糊（blur）少，另外，荧光的亮度高这样的特长。这是因为，在表面观察中，能够减小波长变换板6的内部的扩散或自身吸收的影响。另一方面，在背面检测器4，检测在波长变换板6的相对背面6b侧变换的荧光。即使在这种情况下，也能够减小波长变换板6的内部的扩散或自身吸收的影响。
接着，通过表面检测器3和背面检测器4的各个，与表背两面的放射线图像相对应的图像信号被输出到图像处理装置8。当从表面检测器3和背面检测器4的各个输出的图像信号被输入到图像处理装置8时，通过图像处理装置8，基于所输入的图像信号来执行差分运算或加法运算这样的图像间运算等的规定的处理，图像处理后的图像信号被输出到显示装置9。然后，当从图像处理装置8输出的图像处理后的图像信号被输入到显示装置9时，对应于所输入的图像处理后的图像信号的放射线图像被显示装置9显示。
图2（a）是表示放射线图像取得装置1的放射线源2、对象物A、以及波长变换板6的位置关系的立体图，图2（b）是表示放射线源2、对象物A、以及波长变换板6的位置关系的正面图，图2（c）是表示投影到波长变换板6的对象物A的投影像D的平面图。在图2中，为了容易理解，表示对象物A是立方体形状的情况。若如图2（a）所示，放射线源2配置在从入射面6a的法线B偏离的位置，放射线的光轴X相对于入射面6a的法线B成规定的角度θ，则如图2（c）所示，在向入射面6a上的投影像D中会产生透视倾斜。再者，在表面检测器3和背面检测器4中，分别从法线B、C方向对投影像D进行摄像，因而在图像中不产生透视倾斜，图像处理装置8中的两图像间的运算变得容易。再有，投影像D的透视倾斜由图象处理装置8，根据需要而被补正。再有，在图2（a）中，为了便于说明，以放射线源2的主体相对于光轴X平行的方式进行图示，但配置放射线源2的方向可以根据装置的布局（layout）来适当地设定。
根据以上说明的本实施方式的放射线图像取得装置1，从波长变换板6的入射面6a和背面6b出射的闪烁光分别被表面检测器3和背面检测器4聚光并摄像，实现了取得不同能量带的放射线图像的双能摄像。这里，表面检测器3配置在从波长变换板6相分离的位置，检测器完全不介于对象物A与波长变换板6之间。因此，避免了摄像机构对透过了对象物A的放射线产生影响那样的情形。因此，减小了对透过了对象物A的放射线产生的影响，很好地检测出低能量带的放射线。换言之，由于检测器的影不会映入到放射线透过像，因此抑制了噪声成分的产生，并且由于也不会产生检测器所引起的放射线的衰减，因此抑制了信号成分的减少。作为其结果，能够增大双能摄像中的低能量带与高能量带之差，能够发挥高精度的能量分辨率，能够谋求高对比化。该优点在对象物A由硅或比硅更轻的原子形成的情况下，发挥得特别显著。即，即使在对象物A由轻原子形成的情况下，由于透过了对象物A的低能量带的放射线不被吸收或衰减而变换成闪烁光，该光被表面检测器3摄像，因此，能够精度高地取得低能量带的放射线图像。此外，通过一次摄像能够同时取得低能量图像和高能量图像，从而谋求了同时性的确保、被曝光量的减少、以及像素错位（位置不正（misregistration））的消除。另外，即使由1块波长变换板6也能够实现双能化。而且，表面检测器3和背面检测器4对分别从入射面6a和背面6b沿着法线B、C方向出射的闪烁光进行聚光，因而均能够取得无透视倾斜的放射线图像，入射面6a侧和背面6b侧的图像间的运算变得容易。
另外，即使在使用白色X射线作为放射线的情况下，通过白色X射线的一次摄像能够同时取得低能量图像和高能量图像，从而谋求了同时性的确保、被曝光量的减少、以及像素错位（位置不正）的消除。
另外，以焦点对准波长变换板6的入射面6a和背面6b的各面上的方式，被聚光透镜部3a和聚光透镜部4a聚光，由此能够取得能量区别性良好且明亮的放射线图像。
另外，通过表面检测器3直接对入射面6a的法线B方向的闪烁光聚光，并且使表面检测器3从放射线源2的光轴X上偏离而配置，因而容易实现上述的作用效果，此外，防止了放射线所引起的表面检测器3的被曝光，抑制了表面检测器3的内部的噪声的产生。
图3是第2实施方式所涉及的放射线图像取得装置的正面图。图3所示的放射线图像取得装置1A与图1所示的第1实施方式的放射线图像取得装置1的不同点在于，放射线源2配置在入射面6a的法线B上，以及，表面检测器3配置在从入射面6a的法线B偏离的位置，经由在波长变换板6与放射线源2之间配置在法线B（光轴X）上的反射镜15对闪烁光进行聚光。再有，在图3中，省略了时机控制部7、图像处理装置8、以及显示装置9的图示。在图5～图8中，也同样地省略这些结构的图示。
与放射线图像取得装置1A的结构相关，更具体而言，放射线源2以放射线的光轴X与入射面6a的法线B相一致的方式配置。另外，反射镜15以其反射面15a相对于法线B方向成规定的角度（例如45度）的方式配置，使从入射面6a沿着法线B方向出射的闪烁光相对于法线B向规定的方向反射。作为反射镜15，例如可以使用透过放射线的光学镜。表面检测器3以内置的聚光透镜部3a的光轴和反射面15a所成的角与法线B和反射面15a所成的角相等的方式配置。该聚光透镜部3a将从入射面6a沿着法线B方向出射并通过反射镜15而相对于法线B向规定的方向反射的闪烁光朝向摄像部3b进行聚光。
如上所述，表面检测器3以从来自放射线源2的放射线的出射区域（放射线束12存在的区域）相分离的方式配置。由此，防止了来自放射线源2的放射线所引起的表面检测器3的被曝光，并防止了在表面检测器3的内部产生放射线的直接变换信号而产生噪声。另外，从波长变换板6的入射面6a到表面检测器3的光路长与从波长变换板6的背面6b到背面检测器4为止的光路长也可以相等。
图4（a）是表示放射线图像取得装置1A的放射线源2、对象物A、以及波长变换板6的位置关系的立体图，图4（b）是表示放射线源2、对象物A、以及波长变换板6的位置关系的正面图，图4（c）是表示投影到波长变换板6的对象物A的投影像E的平面图。在图4中，为了容易理解，表示对象物A是立方体形状的情况。若如图4（a）所示，放射线源2配置在入射面6a的法线B上，放射线的光轴X与入射面6a的法线B相一致，则如图4（c）所示，在向入射面6a上的投影像E中不产生透视倾斜。再者，在表面检测器3，经由反射镜15从法线B方向对投影像E进行摄像，并且在背面检测器4，从法线C方向对投影像E进行摄像，因而图像不产生透视倾斜，图像处理装置8中的两图像间的运算变得容易。另外，由于投影像E中无透视倾斜，因此不需要利用图像处理装置8的透视倾斜补正。再有，在放射线图像取得装置1A中，反射镜15配置在放射线源2的光轴X上，因而产生反射镜15所引起的放射线的吸收。
根据放射线图像取得装置1A，起到了与放射线图像取得装置1同样的作用效果。另外，由于放射线源2配置在入射面6a的法线B上，因此，向波长变换板6的投影像E中不产生透视倾斜，不需要用于对投影像E的透视倾斜进行补正的运算。此外，防止了放射线所引起的表面检测器3的被曝光，并防止了表面检测器3的内部的噪声的产生。
图5是第3实施方式所涉及的放射线图像取得装置的正面图。图5所示的放射线图像取得装置1B与图1所示的第1实施方式的放射线图像取得装置1的不同点在于，背面检测器4配置在从背面6b的法线C偏离的位置，经由配置在法线C上的反射镜16而对闪烁光进行聚光。更具体而言，反射镜16以其反射面16a相对于法线C方向成规定的角度（例如，45度）的方式配置，使从背面6b沿着法线C方向出射的闪烁光相对于法线C向规定的方向反射。作为反射镜16，例如可以使用光学镜或棱镜。背面检测器4以内置的聚光透镜部4a的光轴和反射面16a所成的角与法线C和反射面16a所成的角相等的方式配置。该聚光透镜部4a将从背面6b沿着法线C方向出射并通过反射镜16而相对于法线C向规定的方向反射的闪烁光朝向摄像部4b聚光。
如上所述，背面检测器4以从来自放射线源2的放射线的出射区域（放射线12存在的区域）相分离的方式配置。由此，防止了来自放射线源2的放射线所引起的背面检测器4的被曝光，并防止了在背面检测器4的内部产生放射线的直接变换信号而产生噪声。另外，从波长变换板6的入射面6a到表面检测器3的光路长与从波长变换板6的背面6b到背面检测器4为止的光路长也可以相等。
根据放射线图像取得装置1B，起到了与放射线图像取得装置1、1A同样的作用效果。另外，防止了放射线所引起的背面检测器4的被曝光，并防止了背面检测器4的内部的噪声的产生。此外，能够调整从波长变换板6到表面检测器3和背面检测器4为止的光路长，使第1和第2摄像机构的定位变得容易。作为其结果，使第1和第2摄像机构的摄像条件（摄像时机的同时性或摄像位置的同一性等）容易匹配。
图6是第4实施方式所涉及的放射线图像取得装置的正面图。图6所示的放射线图像取得装置1C与图1所示的第1实施方式的放射线图像取得装置1的不同点在于，在背面6b与背面检测器4之间与背面6b相面对面地配置有锥形光纤17。更具体而言，锥形光纤17以其轴线与背面6b的法线C相一致的方式配置，将从背面6b沿着法线C方向出射的闪烁光导光至背面检测器4的聚光透镜部。由该锥形光纤17与背面检测器4构成光纤耦合检测器18。
根据放射线图像取得装置1C，起到了与放射线图像取得装置1、1A、1B同样的作用效果。另外，背面6b侧的闪烁光以高的聚光效率被锥形光纤17聚光。通常，波长变换板6的背面6b侧的荧光像往往会变暗，但通过采用光纤耦合检测器18可以减少光学系统的损耗。此外，来自放射线源2的放射线被锥形光纤17阻断，防止了背面检测器4的被曝光。
以上，对本实用新型的实施方式进行了说明，但本实用新型不限于上述实施方式。例如，在放射线源2配置在入射面6a的法线B上的情况下，也可以采用图7所示的各种变形方式。即，如图7（a）所示，也可以为在入射面6a侧配置反射镜15并且在背面6b侧配置反射镜16的放射线图像取得装置1D。另外，如图7（b）所示，也可以为在入射面6a侧配置反射镜15并且在背面6b侧配置光纤耦合检测器18的放射线图像取得装置1E。
此外，在放射线源2配置在从入射面6a的法线B偏离的位置的情况下，也可以采用图8所示的各种变形方式。即，如图8（a）所示，也可以为在入射面6a侧配置反射镜15并且在背面6b的法线C上配置背面检测器4的放射线图像取得装置1F。另外，如图8（b）所示，也可以为在入射面6a侧配置反射镜15并且在背面6b侧配置反射镜16的放射线图像取得装置1G。此外，如图8（c）所示，也可以为在入射面6a侧配置反射镜15并且在背面6b侧配置光纤耦合检测器18的放射线图像取得装置1H。
另外，在上述实施方式中，在使用反射镜15、16的情况下，对于反射镜15、16以相对于法线B、C成45度的方式配置，聚光透镜部3a、4a的光轴相对于法线B、C正交的情况进行了说明，但不限于这样的配置，反射镜15、16的角度或表面检测器3和背面检测器4的配置可以根据装置内的布局来适当地变更。
另外，在上述实施方式中，对于任意的点γ和任意的点α在入射面6a上一致的情况进行了说明，但它们也可以处于入射面6a上的不同位置。在这种情况下，能够以光轴X相对于入射面6a正交的方式配置放射线源2，并且以聚光透镜部3a的光轴相对于入射面6a正交的方式配置表面检测器3。即，放射线源2的光轴X和聚光透镜部3a的光轴相互平行，这些光轴彼此的间隔距离等于点γ和点α的间隔距离。在这样的结构中，能够通过表面检测器3对沿着入射面6a的法线方向出射的闪烁光进行聚光并摄像。
另外，在上述实施方式中，使用透镜耦合型的检测器作为检测器，但也可以将聚光透镜部和摄像部分别作为不同的个体来具备。
另外，作为以对象物A为半导体器件且以该半导体器件为检查对象的半导体故障检查装置，如果应用上述实施方式的放射线图像取得装置的话是有效的。在这种情况下，由于透过了成为检查对象的半导体器件的放射线不被摄像部（图像取得用的摄像元件）切断，因此能够精度高地检测半导体器件的故障等。
产业上的可利用性
根据本实用新型的一个方式，能够取得不同的能量带的放射线图像，并且能够减小对透过了对象物的放射线产生的影响。
符号的说明
1、1A～1H…放射线图像取得装置，2…放射线源，3…表面观察用检测器（第1摄像机构），3a…聚光透镜部，3b…摄像部，4…背面观察用光检测器（第2摄像机构），4a…聚光透镜部，4b…摄像部，6…波长变换板（波长变换构件），6a…入射面，6b…背面（相反侧的面），15…反射镜，16…反射镜，17…锥形光纤，A…对象物，B…入射线的法线，C…背面的法线。

Claims (24)

1.一种放射线图像取得装置，其特征在于， 
具备： 
放射线源，出射放射线； 
平板状的波长变换构件，对应于从所述放射线源出射并透过了对象物的所述放射线的入射而产生闪烁光； 
第1摄像机构，对从所述波长变换构件的所述放射线的入射面沿着所述入射面的法线方向出射的闪烁光进行聚光并摄像；以及 
第2摄像机构，以与所述第1摄像机构为不同个体的方式设置，对从所述波长变换构件的所述入射面的相反侧的面沿着所述相反侧的面的法线方向出射的闪烁光进行聚光并摄像。 
2.如权利要求1所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述第1摄像机构和所述第2摄像机构分别具有： 
聚光透镜部，对从所述波长变换构件出射的所述闪烁光进行聚光；以及 
摄像部，对被聚光了的所述闪烁光进行摄像。 
3.如权利要求2所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述第1摄像机构的所述聚光透镜部的光轴相对于所述入射面正交。 
4.如权利要求2所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述第1摄像机构的所述聚光透镜部将焦点对准所述入射面上，并将从所述入射面沿着法线方向出射的闪烁光朝向所述摄像部进行聚光。 
5.如权利要求2所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述第1摄像机构以从所述第1摄像机构的所述聚光透镜部的中心向下到所述入射面的垂线在所述入射面的范围内的方式配置。 
6.如权利要求2所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述第2摄像机构的所述聚光透镜部的光轴相对于所述相反侧的面正交。 
7.如权利要求2所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述第2摄像机构的所述聚光透镜部将焦点对准所述相反侧的面上，并将从所述相反侧的面沿着法线方向出射的闪烁光朝向所述摄像部进行聚光。 
8.如权利要求1～7中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述放射线源以所述放射线源的光轴与所述入射面所成的角度大于0度且小于90度的方式配置，并且 
所述第1摄像机构配置在所述入射面的法线上。 
9.如权利要求1～7中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述放射线源配置在所述入射面的法线上，并且 
所述第1摄像机构配置在从所述入射面的法线偏离的位置上，经由配置在所述波长变换构件与所述放射线源之间的反射镜而对所述闪烁光进行聚光。 
10.如权利要求9所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述反射镜以其反射面相对于所述入射面的法线方向成规定的角度的方式配置，使从所述入射面沿着法线方向出射的闪烁光相对于所述入射面的法线向规定的方向反射。 
11.如权利要求9所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述第1摄像机构以所述第1摄像机构的聚光透镜部的光轴和所述反射镜的反射面所成的角与所述入射面的法线和所述反射面所成的角相等的方式配置。 
12.如权利要求1～7中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述第2摄像机构配置在从所述相反侧的面的法线偏离的位置上，经由配置在所述相反侧的面的法线上的反射镜而对所述闪烁光进行聚光。 
13.如权利要求12所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述反射镜以其反射面相对于所述相反侧的面的法线方向成规定的角度的方式配置，使从所述相反侧的面沿着法线方向出射的闪烁光相对于所述相反侧的面的法线向规定的方向反射。 
14.如权利要求12所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述第2摄像机构以所述第2摄像机构的聚光透镜部的光轴和所述反射镜的反射面所成的角与所述相反侧的面的法线和所述反射面所成的角相等的方式配置。 
15.如权利要求1～7中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
在所述波长变换构件的所述相反侧的面与所述第2摄像机构之间，与所述相反侧的面相面对面地配置有锥形光纤。 
16.如权利要求15所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述锥形光纤以其轴线与所述相反侧的面的法线相一致的方式配置，将从所述相反侧的面沿着所述相反侧的面的法线方向出射的闪烁光导光至所述第2摄像机构的聚光透镜部。 
17.如权利要求1～7中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述第1摄像机构的受光面与所述入射面平行。 
18.如权利要求1～7中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述第2摄像机构的受光面与所述相反侧的面平行。 
19.如权利要求1～7中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述第1摄像机构与所述入射面相对，并且配置在所述入射面的法线上。 
20.如权利要求1～7中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述第2摄像机构与所述相反侧的面相对，并且配置在所述相反侧的面的法线上。 
21.如权利要求1～7中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
从所述入射面到所述第1摄像机构为止的光路长与从所述相反侧的面到所述第2摄像机构为止的光路长相等。 
22.如权利要求1～7中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述第1摄像机构和所述第2摄像机构以同时进行摄像的方式构成。 
23.如权利要求1～7中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述对象物是半导体器件， 
所述放射线图像取得装置应用于以该半导体器件为检查对象的半导体故障检查装置中。 
24.如权利要求1～7中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 
所述对象物是电子部件。 
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