JPH10282018A - Ｘ線透視装置 - Google Patents
Ｘ線透視装置Info
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- JPH10282018A JPH10282018A JP9084880A JP8488097A JPH10282018A JP H10282018 A JPH10282018 A JP H10282018A JP 9084880 A JP9084880 A JP 9084880A JP 8488097 A JP8488097 A JP 8488097A JP H10282018 A JPH10282018 A JP H10282018A
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-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
- A61B6/54—Control of apparatus or devices for radiation diagnosis
- A61B6/548—Remote control of the apparatus or devices
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】狭隘部或いは高所でも容易に被検査物のＸ線撮
影ができ、かつ、Ｘ線透視画像情報を画像として表示で
きるＸ線透視装置を提供する。 【解決手段】Ｘ線が通過するスリット２１を設けた遮蔽
板１３と、スリット２１と同等の位置に配置されスリッ
ト２１を通過したＸ線を検出して発光する螢光膜１０
と、該螢光膜１０の後方に配置され発光した光を電気信
号に変換するフォトダイオードアレイ１５とを有するＸ
線検出器を、スリット２１の幅だけ、順次移動しながら
Ｘ線を検出する。これにより、Ｘ線検出器の薄型化、小
型化が図れ、狭隘部或いは高所でも容易に被検査物のＸ
線撮影ができ、かつ、Ｘ線透視画像情報を画像として表
示できるＸ線透視装置を提供することができる。
影ができ、かつ、Ｘ線透視画像情報を画像として表示で
きるＸ線透視装置を提供する。 【解決手段】Ｘ線が通過するスリット２１を設けた遮蔽
板１３と、スリット２１と同等の位置に配置されスリッ
ト２１を通過したＸ線を検出して発光する螢光膜１０
と、該螢光膜１０の後方に配置され発光した光を電気信
号に変換するフォトダイオードアレイ１５とを有するＸ
線検出器を、スリット２１の幅だけ、順次移動しながら
Ｘ線を検出する。これにより、Ｘ線検出器の薄型化、小
型化が図れ、狭隘部或いは高所でも容易に被検査物のＸ
線撮影ができ、かつ、Ｘ線透視画像情報を画像として表
示できるＸ線透視装置を提供することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、非破壊で機器の内
部を検査、診断するためのＸ線透視装置に関するもので
ある。
部を検査、診断するためのＸ線透視装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】機器の内部を非破壊で検査するためにＸ
線透視画像をイメージインテンシファイヤ等で、画像情
報としてコンピュータに取り込み、画像処理技術を用い
て解析することが行われている。この公知の技術は、特
開平４−１０９９３４号公報に開示されている。
線透視画像をイメージインテンシファイヤ等で、画像情
報としてコンピュータに取り込み、画像処理技術を用い
て解析することが行われている。この公知の技術は、特
開平４−１０９９３４号公報に開示されている。
【０００３】Ｘ線を用いたコンピュータラジオグラフィ
での非破壊検査において、例えば原子力発電所の既設配
管の非破壊検査をする場合、配管が配置されている場所
が狭隘部であることが多く、Ｘ線発生器やＸ線検出器が
狭隘部に入らないため、診断できない場合が多かった。
或いは、Ｘ線発生器は設置できるが、Ｘ線検出器が設置
できず、Ｘ線検出側をＸ線フィルムによって撮影する場
合が多かった。
での非破壊検査において、例えば原子力発電所の既設配
管の非破壊検査をする場合、配管が配置されている場所
が狭隘部であることが多く、Ｘ線発生器やＸ線検出器が
狭隘部に入らないため、診断できない場合が多かった。
或いは、Ｘ線発生器は設置できるが、Ｘ線検出器が設置
できず、Ｘ線検出側をＸ線フィルムによって撮影する場
合が多かった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
技術において、検出器のスペースが小さくなるＸ線フィ
ルムを用いるものにあっては、撮像をオンラインで視る
ことができず、コンピュータを用いた画像処理を行うた
めのデータの取り込みに難点があった。一方、イメージ
インテンシファイヤ等で画像情報を電気信号に変換し
て、コンピュータに取り組むものにあっては、Ｘ線検出
器の厚さ（奥行き）寸法が大きくなって、狭い個所での
撮像ができないという問題があった。
技術において、検出器のスペースが小さくなるＸ線フィ
ルムを用いるものにあっては、撮像をオンラインで視る
ことができず、コンピュータを用いた画像処理を行うた
めのデータの取り込みに難点があった。一方、イメージ
インテンシファイヤ等で画像情報を電気信号に変換し
て、コンピュータに取り組むものにあっては、Ｘ線検出
器の厚さ（奥行き）寸法が大きくなって、狭い個所での
撮像ができないという問題があった。
【０００５】本発明の目的は、狭隘部或いは高所でも容
易に被検査物のＸ線撮影ができ、かつ、Ｘ線透視画像情
報を画像として表示できるＸ線透視装置を提供すること
にある。
易に被検査物のＸ線撮影ができ、かつ、Ｘ線透視画像情
報を画像として表示できるＸ線透視装置を提供すること
にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、Ｘ線を発生し被検査物に照射するＸ線発
生器と、前記被検査物を透過した前記Ｘ線を検出して電
気信号に変換するＸ線検出器と、前記変換された前記電
気信号を画像情報として処理する画像処理装置と、前記
処理された前記画像情報を画像として表示する表示装置
とを有するＸ線透視装置において、前記Ｘ線検出器は、
前記Ｘ線が入射する側に配置され前記Ｘ線を検出して発
光する螢光膜と、該螢光膜の後方に配置され前記発光し
た光を前記電気信号に変換するフォトダイオードアレイ
とを有し、前記Ｘ線をライン状に検出するように構成さ
れていることを特徴とする。
に、本発明は、Ｘ線を発生し被検査物に照射するＸ線発
生器と、前記被検査物を透過した前記Ｘ線を検出して電
気信号に変換するＸ線検出器と、前記変換された前記電
気信号を画像情報として処理する画像処理装置と、前記
処理された前記画像情報を画像として表示する表示装置
とを有するＸ線透視装置において、前記Ｘ線検出器は、
前記Ｘ線が入射する側に配置され前記Ｘ線を検出して発
光する螢光膜と、該螢光膜の後方に配置され前記発光し
た光を前記電気信号に変換するフォトダイオードアレイ
とを有し、前記Ｘ線をライン状に検出するように構成さ
れていることを特徴とする。
【０００７】また、本発明の他の特徴は、前記Ｘ線検出
器に、該Ｘ線検出器を前記フォトダイオードアレイの長
手方向に対し直角の方向に走査させる機構を設けること
にある。
器に、該Ｘ線検出器を前記フォトダイオードアレイの長
手方向に対し直角の方向に走査させる機構を設けること
にある。
【０００８】また、本発明の他の特徴は、Ｘ線を発生し
被検査物に照射するＸ線発生器と、前記被検査物を挟ん
で前記Ｘ線発生器と対峙し、前記被検査物を透過した前
記Ｘ線を検出して電気信号に変換するＸ線検出器と、前
記変換された前記電気信号を画像情報として処理する画
像処理装置と、前記処理された前記画像情報を画像とし
て表示する表示装置とを有するＸ線透視装置において、
前記Ｘ線検出器は、前記Ｘ線が通過するスリットを設け
た遮蔽板と、前記スリットと同等の位置に配置され前記
スリットを通過した前記Ｘ線を検出して発光する螢光膜
と、該螢光膜の後方に配置され前記発光した光を前記電
気信号に変換するフォトダイオードアレイとを有し、前
記スリットの幅だけ、順次移動しながら前記Ｘ線を検出
することにある。
被検査物に照射するＸ線発生器と、前記被検査物を挟ん
で前記Ｘ線発生器と対峙し、前記被検査物を透過した前
記Ｘ線を検出して電気信号に変換するＸ線検出器と、前
記変換された前記電気信号を画像情報として処理する画
像処理装置と、前記処理された前記画像情報を画像とし
て表示する表示装置とを有するＸ線透視装置において、
前記Ｘ線検出器は、前記Ｘ線が通過するスリットを設け
た遮蔽板と、前記スリットと同等の位置に配置され前記
スリットを通過した前記Ｘ線を検出して発光する螢光膜
と、該螢光膜の後方に配置され前記発光した光を前記電
気信号に変換するフォトダイオードアレイとを有し、前
記スリットの幅だけ、順次移動しながら前記Ｘ線を検出
することにある。
【０００９】また、本発明の他の特徴は、Ｘ線発生器か
ら照射され被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出
方法において、前記Ｘ線を検出して発光する螢光膜を前
記Ｘ線が入射する側に配置し、前記発光した光を電気信
号に変換するフォトダイオードアレイを、前記螢光膜の
後方に配置し、前記Ｘ線をライン状に検出することにあ
る。
ら照射され被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出
方法において、前記Ｘ線を検出して発光する螢光膜を前
記Ｘ線が入射する側に配置し、前記発光した光を電気信
号に変換するフォトダイオードアレイを、前記螢光膜の
後方に配置し、前記Ｘ線をライン状に検出することにあ
る。
【００１０】本発明によれば、Ｘ線検出器の螢光膜は、
Ｘ線が入射する側に配置されＸ線を検出する。フォトダ
イオードアレイは、螢光膜の後方に配置され前記発光し
た光を前記電気信号に変換する。
Ｘ線が入射する側に配置されＸ線を検出する。フォトダ
イオードアレイは、螢光膜の後方に配置され前記発光し
た光を前記電気信号に変換する。
【００１１】このように、Ｘ線検出器を、螢光膜とフォ
トダイオードアレイを組み合わせたラインセンサ型と
し、Ｘ線をライン状に検出できる構成とすることによ
り、Ｘ線検出器の薄型化、かつ小型化が図れ、狭隘部や
高所での被検査物の診断が容易になる。
トダイオードアレイを組み合わせたラインセンサ型と
し、Ｘ線をライン状に検出できる構成とすることによ
り、Ｘ線検出器の薄型化、かつ小型化が図れ、狭隘部や
高所での被検査物の診断が容易になる。
【００１２】また、Ｘ線検出器にフォトダイオードアレ
イの長手方向に対して直角の方向に走査する機構を追加
することによって、Ｘ線透視画像をより容易に得ること
が可能となる。
イの長手方向に対して直角の方向に走査する機構を追加
することによって、Ｘ線透視画像をより容易に得ること
が可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例に係るＸ
線透視装置を、図を用いて説明する。図１は本発明の一
実施例に係るＸ線透視装置の全体構成を示す。図１に示
すように、Ｘ線透視装置は、Ｘ線発生器１、Ｘ線検出器
３、移動装置４ａ，４ｂ、画像処理装置５、表示装置
６、およびコンピュータ２０で構成されている。
線透視装置を、図を用いて説明する。図１は本発明の一
実施例に係るＸ線透視装置の全体構成を示す。図１に示
すように、Ｘ線透視装置は、Ｘ線発生器１、Ｘ線検出器
３、移動装置４ａ，４ｂ、画像処理装置５、表示装置
６、およびコンピュータ２０で構成されている。
【００１４】Ｘ線検出器２は、被検査物２を挟んでＸ線
発生器１と同一光軸上に対峙している。Ｘ線発生器１か
ら照射されたＸ線は、被検査物を透過してＸ線検出器３
に達し、Ｘ線検出器３で検出される。
発生器１と同一光軸上に対峙している。Ｘ線発生器１か
ら照射されたＸ線は、被検査物を透過してＸ線検出器３
に達し、Ｘ線検出器３で検出される。
【００１５】また、Ｘ線発生器１とＸ線検出器２は、被
検査物２の任意の個所が撮影できるように、移動装置４
ａおよび４ｂに支持されている。そして、移動装置４ａ
および４ｂは、それぞれ、コンピュータ２０によって遠
隔操作ができるようになっている。Ｘ線発生器１とＸ線
検出器２の光軸合わせは、予め被検査物２がないところ
で合わせてから平行移動するものとする。
検査物２の任意の個所が撮影できるように、移動装置４
ａおよび４ｂに支持されている。そして、移動装置４ａ
および４ｂは、それぞれ、コンピュータ２０によって遠
隔操作ができるようになっている。Ｘ線発生器１とＸ線
検出器２の光軸合わせは、予め被検査物２がないところ
で合わせてから平行移動するものとする。
【００１６】Ｘ線検出器３で検出されたＸ線は、電気信
号に変換され、Ｘ線透視画像情報として画像処理装置５
に取り込まれて処理され、表示装置６で画像として表示
される。
号に変換され、Ｘ線透視画像情報として画像処理装置５
に取り込まれて処理され、表示装置６で画像として表示
される。
【００１７】図２は、図１のＸ線検出器３の内部構成を
示す。図２に示すように、Ｘ線検出器３は、Ｘ線ライン
センサ７、一軸可動ステージ８、および筐体９で構成さ
れている。
示す。図２に示すように、Ｘ線検出器３は、Ｘ線ライン
センサ７、一軸可動ステージ８、および筐体９で構成さ
れている。
【００１８】Ｘ線ラインセンサ７は、一軸可動ステージ
８によって上下、左右方向に移動できる。一軸可動ステ
ージ８は、コンピュータ２０制御で、例えば０.５ｍｍ
ピッチで走査できる。このピッチは、後述するフォトダ
イオードの幅に合わせる。筐体９は、Ｘ線の透過率が高
く軽量なアルミニウム材をベースとした材料で作られて
いる。
８によって上下、左右方向に移動できる。一軸可動ステ
ージ８は、コンピュータ２０制御で、例えば０.５ｍｍ
ピッチで走査できる。このピッチは、後述するフォトダ
イオードの幅に合わせる。筐体９は、Ｘ線の透過率が高
く軽量なアルミニウム材をベースとした材料で作られて
いる。
【００１９】図３および図４に、図２のＸ線ラインセン
サ７の構造を示す。図３は、Ｘ線ラインセンサ７の断面
を示し、図４はＸ線ラインセンサ７の正面を示す。図
３、図４に示すように、内部には、Ｘ線を検出する螢光
膜１０と、コリメータ１１と、フォトダイオードアレイ
１５とが組み込まれたフォトダイオードアレイボード１
２が設置されており、外側は筐体１４で覆われ、Ｘ線が
入射する筐体１４前面の内側に遮蔽板１３が取り付けら
れている。
サ７の構造を示す。図３は、Ｘ線ラインセンサ７の断面
を示し、図４はＸ線ラインセンサ７の正面を示す。図
３、図４に示すように、内部には、Ｘ線を検出する螢光
膜１０と、コリメータ１１と、フォトダイオードアレイ
１５とが組み込まれたフォトダイオードアレイボード１
２が設置されており、外側は筐体１４で覆われ、Ｘ線が
入射する筐体１４前面の内側に遮蔽板１３が取り付けら
れている。
【００２０】遮蔽板１３には、フォトダイオードアレイ
ボード１２上にあるＩＣ素子をＸ線の直接照射から保護
するために、Ｘ線の透過率が低い硬質鉛板が用いられて
いる。また、遮蔽版１３には、螢光膜１０が設置されて
いる位置と同等の位置に、Ｘ線が通過するスリット２１
が設けられている。
ボード１２上にあるＩＣ素子をＸ線の直接照射から保護
するために、Ｘ線の透過率が低い硬質鉛板が用いられて
いる。また、遮蔽版１３には、螢光膜１０が設置されて
いる位置と同等の位置に、Ｘ線が通過するスリット２１
が設けられている。
【００２１】コリメータ１１は、螢光膜１０から受光す
るＸ線の強度によっては、フォトダイオードアレイ１５
のフォトダイオード１５ａをＸ線から保護するために鉛
入りガラスを使用する。筐体１４はＸ線の透過率が高く
軽量なアルミニウム材をベースとし、可視光がフォトダ
イオード１５ａに入らない構造とする。
るＸ線の強度によっては、フォトダイオードアレイ１５
のフォトダイオード１５ａをＸ線から保護するために鉛
入りガラスを使用する。筐体１４はＸ線の透過率が高く
軽量なアルミニウム材をベースとし、可視光がフォトダ
イオード１５ａに入らない構造とする。
【００２２】フォトダイオードアレイボード１２は、筐
体１４により、可視光が当たらないように構成されてい
るが、図３に示すように、Ｘ線が前面から入射すると、
遮蔽板１３のスリット２１を通過したＸ線により螢光膜
１０が発光し、その光量に応じてフォトダイオード１５
ａの電気的な出力が得られる。螢光膜１０の発光強度
は、入射するＸ線の強度と相関があるので、フォトダイ
オード１５ａの電気出力も、また、Ｘ線強度に応じたも
のとなる。
体１４により、可視光が当たらないように構成されてい
るが、図３に示すように、Ｘ線が前面から入射すると、
遮蔽板１３のスリット２１を通過したＸ線により螢光膜
１０が発光し、その光量に応じてフォトダイオード１５
ａの電気的な出力が得られる。螢光膜１０の発光強度
は、入射するＸ線の強度と相関があるので、フォトダイ
オード１５ａの電気出力も、また、Ｘ線強度に応じたも
のとなる。
【００２３】図３および図４に示すＸ線ラインセンサ７
は、筐体１４内に、遮蔽板１３、螢光膜１０、コリメー
タ１１、フォトダイオードアレイ１５、フォトダイオー
ドアレイボード１２を順に積み重ねたように構成されて
いるが、前記構成部品は、いずれも薄板状であるため、
Ｘ線ラインセンサ７全体の厚さ（奥行き）も薄くするこ
とができる。本発明者等の検討結果によれば、Ｘ線ライ
ンセンサ７全体の厚みは６０ｍｍ程度まで薄くすること
ができる。
は、筐体１４内に、遮蔽板１３、螢光膜１０、コリメー
タ１１、フォトダイオードアレイ１５、フォトダイオー
ドアレイボード１２を順に積み重ねたように構成されて
いるが、前記構成部品は、いずれも薄板状であるため、
Ｘ線ラインセンサ７全体の厚さ（奥行き）も薄くするこ
とができる。本発明者等の検討結果によれば、Ｘ線ライ
ンセンサ７全体の厚みは６０ｍｍ程度まで薄くすること
ができる。
【００２４】図５は、図３のフォトダイオードアレイボ
ード１２の正面を示す。図５に示すように、フォトダイ
オードアレイボード１２上には、図３に示すスリット２
１を通過したＸ線を検出する位置に、螢光膜１０、コリ
メータ１１、フォトダイオードアレイ１５が積み重ねて
配置され、その近くに、積算アンプ回路１６、クランプ
回路１７、ホールド回路１８、シフトレジスタ１９が配
置されている。
ード１２の正面を示す。図５に示すように、フォトダイ
オードアレイボード１２上には、図３に示すスリット２
１を通過したＸ線を検出する位置に、螢光膜１０、コリ
メータ１１、フォトダイオードアレイ１５が積み重ねて
配置され、その近くに、積算アンプ回路１６、クランプ
回路１７、ホールド回路１８、シフトレジスタ１９が配
置されている。
【００２５】また、フォトダイオードアレイボード１２
の端部に、外部接続コネクタ２２が設けられている。
の端部に、外部接続コネクタ２２が設けられている。
【００２６】図６に、Ｘ線ラインセンサ７の信号取り込
みを説明するためのブロック図を示す。螢光膜１０はＸ
線を検出し、光に変換する。螢光膜１０は、例えば紙状
の螢光紙をコリメータ１１に張り付けた構造とする。
みを説明するためのブロック図を示す。螢光膜１０はＸ
線を検出し、光に変換する。螢光膜１０は、例えば紙状
の螢光紙をコリメータ１１に張り付けた構造とする。
【００２７】変換した光の強度をアレイ状に並んだフォ
トダイオード１５ａが各々電圧値に変換し、積算アンプ
回路１６で各々積算し、クランプ回路１７及びホールド
回路１８でその電圧値を各々保持し、最後にシフトレジ
スタ１９で各々の電圧データをシーケンシャルに画像処
理装置５に転送する。
トダイオード１５ａが各々電圧値に変換し、積算アンプ
回路１６で各々積算し、クランプ回路１７及びホールド
回路１８でその電圧値を各々保持し、最後にシフトレジ
スタ１９で各々の電圧データをシーケンシャルに画像処
理装置５に転送する。
【００２８】画像処理装置５に取り込まれたデータは、
公知の方法で処理され、表示装置６のＣＲＴ等の画面に
画像として表示する。
公知の方法で処理され、表示装置６のＣＲＴ等の画面に
画像として表示する。
【００２９】なお、フォトダイオードアレイ１５から得
られるデータは、遮蔽板１３のスリット２１の幅と長さ
を乗算した細長いライン状或いは矩形の画面データにす
ぎないので、Ｘ線ラインセンサ７をスリット２１の幅だ
け、順次送りながら画像データを取り込み、画像処理装
置５によって所望の大きさの画面を作成する。
られるデータは、遮蔽板１３のスリット２１の幅と長さ
を乗算した細長いライン状或いは矩形の画面データにす
ぎないので、Ｘ線ラインセンサ７をスリット２１の幅だ
け、順次送りながら画像データを取り込み、画像処理装
置５によって所望の大きさの画面を作成する。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、Ｘ線検出器を薄型でか
つ小型にすることができるので、従来診断できなかった
狭隘部や高所での被検査物の診断が容易になる。また、
Ｘ線検出器の位置制御が容易になり、自動制御や遠隔操
作が容易になる。また、オンラインで、Ｘ線透視画像情
報を画像として視ることができる。
つ小型にすることができるので、従来診断できなかった
狭隘部や高所での被検査物の診断が容易になる。また、
Ｘ線検出器の位置制御が容易になり、自動制御や遠隔操
作が容易になる。また、オンラインで、Ｘ線透視画像情
報を画像として視ることができる。
【図１】本発明の一実施例に係るＸ線透視装置の全体構
成図である。
成図である。
【図２】図１のＸ線検出器の内部構成図である。
【図３】図２のＸ線ラインセンサの縦断面図である。
【図４】図２のＸ線ラインセンサの正面図である。
【図５】図３のフォトダイオードアレイボードの正面図
である。
である。
【図６】図２のＸ線ラインセンサの信号取り込みのブロ
ック図である。
ック図である。
１…Ｘ線発生器、２…被検査物、３…Ｘ線検出器、４
ａ，４ｂ…移動装置、５…画像処理装置、６…表示装
置、７…Ｘ線ラインセンサ、８…一軸可動ステージ、９
…筐体、１０…螢光膜、１１…コリメータ１１、１２…
フォトダイオードアレイボード、１３…遮蔽板、１４…
筐体、１５…フォトダイオードアレイ、１５ａ…フォト
ダイオード、１６…積算アンプ回路、１７…クランプ回
路、１８…ホールド回路、１９…シフトレジスタ、２０
…コンピュータ、２１…スリット、２２…外部接続コネ
クタ
ａ，４ｂ…移動装置、５…画像処理装置、６…表示装
置、７…Ｘ線ラインセンサ、８…一軸可動ステージ、９
…筐体、１０…螢光膜、１１…コリメータ１１、１２…
フォトダイオードアレイボード、１３…遮蔽板、１４…
筐体、１５…フォトダイオードアレイ、１５ａ…フォト
ダイオード、１６…積算アンプ回路、１７…クランプ回
路、１８…ホールド回路、１９…シフトレジスタ、２０
…コンピュータ、２１…スリット、２２…外部接続コネ
クタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ２１Ｋ 5/02 Ａ６１Ｂ 6/00 ３０３Ｅ
Claims (4)
- 【請求項１】Ｘ線を発生し被検査物に照射するＸ線発生
器と、前記被検査物を透過した前記Ｘ線を検出して電気
信号に変換するＸ線検出器と、前記変換された前記電気
信号を画像情報として処理する画像処理装置と、前記処
理された前記画像情報を画像として表示する表示装置と
を有するＸ線透視装置において、 前記Ｘ線検出器は、前記Ｘ線が入射する側に配置され前
記Ｘ線を検出して発光する螢光膜と、該螢光膜の後方に
配置され前記発光した光を前記電気信号に変換するフォ
トダイオードアレイとを有し、前記Ｘ線をライン状に検
出するように構成されていることを特徴とするＸ線透視
装置。 - 【請求項２】請求項１において、前記Ｘ線検出器に、該
Ｘ線検出器を前記フォトダイオードアレイの長手方向に
対し直角の方向に走査させる機構を設けることを特徴と
するＸ線透視装置。 - 【請求項３】Ｘ線を発生し被検査物に照射するＸ線発生
器と、前記被検査物を挟んで前記Ｘ線発生器と対峙し、
前記被検査物を透過した前記Ｘ線を検出して電気信号に
変換するＸ線検出器と、前記変換された前記電気信号を
画像情報として処理する画像処理装置と、前記処理され
た前記画像情報を画像として表示する表示装置とを有す
るＸ線透視装置において、 前記Ｘ線検出器は、前記Ｘ線が通過するスリットを設け
た遮蔽板と、前記スリットと同等の位置に配置され前記
スリットを通過した前記Ｘ線を検出して発光する螢光膜
と、該螢光膜の後方に配置され前記発光した光を前記電
気信号に変換するフォトダイオードアレイとを有し、前
記スリットの幅だけ、順次移動しながら前記Ｘ線を検出
することを特徴とするＸ線透視装置。 - 【請求項４】Ｘ線発生器から照射され被検査物を透過し
たＸ線を検出するＸ線検出方法において、 前記Ｘ線を検出して発光する螢光膜を前記Ｘ線が入射す
る側に配置し、前記発光した光を電気信号に変換するフ
ォトダイオードアレイを、前記螢光膜の後方に配置し、
前記Ｘ線をライン状に検出することを特徴とするＸ線検
出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9084880A JPH10282018A (ja) | 1997-04-03 | 1997-04-03 | Ｘ線透視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9084880A JPH10282018A (ja) | 1997-04-03 | 1997-04-03 | Ｘ線透視装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10282018A true JPH10282018A (ja) | 1998-10-23 |
Family
ID=13843097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9084880A Pending JPH10282018A (ja) | 1997-04-03 | 1997-04-03 | Ｘ線透視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10282018A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004093443A (ja) * | 2002-09-02 | 2004-03-25 | Katsuhiko Ogiso | 多層構造容器の寸法測定法 |
| JP2009047441A (ja) * | 2007-08-13 | 2009-03-05 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 放射線センサ及びそれを備えた非破壊検査装置 |
-
1997
- 1997-04-03 JP JP9084880A patent/JPH10282018A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004093443A (ja) * | 2002-09-02 | 2004-03-25 | Katsuhiko Ogiso | 多層構造容器の寸法測定法 |
| JP2009047441A (ja) * | 2007-08-13 | 2009-03-05 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 放射線センサ及びそれを備えた非破壊検査装置 |
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