JP3850711B2

JP3850711B2 - 放射線利用検査装置

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Publication number: JP3850711B2
Application number: JP2001330690A
Authority: JP
Inventors: 延忠青木; 光一日塔
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2001-10-29
Filing date: 2001-10-29
Publication date: 2006-11-29
Anticipated expiration: 2021-10-29
Also published as: JP2003130819A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線やγ線によって被検体の内部状態の観察撮像、組成分析、非破壊検査等をおこなう放射線利用検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
各種対象物の内部観察等のためにＸ線が用いられているが、代表的なＸ線発生装置と言えるＸ線管は、装置構成が簡単で低コストである反面、発生点のサイズが大きく放出角が広いという短所があり、それによって対象物の撮像、診断、分析、照射等に利用する場合の性能限界が大きく制限されるものとなる。
【０００３】
図20は、Ｘ線透過撮像法における空間分解能（解像度）とコントラストについての説明を示したものである。この図に示すように、Ｘ線発生点のサイズが小さくなり点光源に近づくことによって撮像の解像度を向上することができ、その効果のみに着目すれば、電子ビームを極限サイズにまで集束してターゲットに入射してＸ線を発生させるマイクロフォーカスＸ線管を利用することが考えられるが、被検体内部での散乱成分によるコントラストの低下を防止するには至らない。
【０００４】
また、点光源であることと放射Ｘ線の発散角が小さいという特徴を備えたＸ線源として電子蓄積リング加速器からの放射光があるが、利用できるＸ線のエネルギーは最大20keV程度までにとどまることと設備コストが膨大となるので汎用的なものとしてしての適用は困難である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように理想的なＸ線源として汎用的なものは無く、また数10keV以上の高エネルギーＸ線については反射，屈折作用により自由にビームを集束，発散させるような光学素子が無いため、Ｘ線を利用した撮像装置、照射装置、その他の装置いずれにおいてもＸ線の放射方向や照射面積・体積を任意にコントロールする技術は非常に重要なものである。
【０００６】
そこで本発明は、Ｘ線やγ線の放射方向や照射面積と照射体積を容易にコントロールすることができ、高い解像度と高いコントラストの得られる放射線利用検査装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項１の発明の放射線利用検査装置は、Ｘ線またはγ線からなる放射線ビームを放出する放射線源と、前記放射線ビームから細いペンシル状ビームを形成する第１のコリメータと、前記ペンシル状ビームを被検体に入射したとき発生する所定のコンプトン散乱Ｘ線を通過させる回転子を備えた第２のコリメータと、この第２のコリメータを通過したコンプトン散乱Ｘ線を受けて発光するシンチレータと、このシンチレータの発光を反射するミラーと、この反射された発光を検出する光検出器と、前記第１のコリメータと前記第２のコリメータと前記シンチレータを収容する遮光箱とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明の放射線利用検査装置は、Ｘ線またはγ線からなる放射線ビームを放出する放射線源と、前記放射線ビームを被検体内の所定の一点に向けて集束する第１のコリメータと、前記放射線ビームによって被検体内で発生する所定のコンプトン散乱Ｘ線を通過させる回転子を備えた第２のコリメータと、この第２のコリメータを通過したコンプトン散乱Ｘ線を受けて発光するシンチレータと、このシンチレータの発光を反射するミラーと、この反射された発光を検出する光検出器と、前記第２のコリメータとシンチレータを収容する遮光箱とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
この請求項１及び２の発明によれば、解像度の低下をもたらす放射線源の発散成分と、コントラストの低下の要因となる散乱成分を取り除くことができるとともに、被検体内部の情報を持ったコンプトン散乱信号を有効にとらえて被検体内部の任意位置の状態の検査を行うことができる。
さらに、請求項２の発明によれば、より高強度の放射線ビームによるコンプトン散乱信号をとらえて被検体内部の検査を行うことができる。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、前記ミラーは、中心に放射線を透過する孔を有する放射線・可視光分割ミラーであることを特徴とする。
【００１１】
請求項４の発明は、請求項１乃至３の発明において、前記光検出器は、前記シンチレータの発光を集光レンズを介して受光する光電子増倍管と、この光電子増倍管から出力される電気信号の入力を受ける光子カウンタとを備えたことを特徴とする
【００１２】
請求項５の発明は、請求項４の発明において、前記光検出器は前記遮光箱の外部に設けられ、前記遮光箱の内外を連絡する光ファイバーをさらに備えたことを特徴とする。
【００２１】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施の形態の放射線利用検査装置を図１を参照して説明する。すなわち、本実施の形態の放射線利用検査装置は、Ｘ線源１と撮像装置14とモニタ15を備えている。Ｘ線源１は小さい表面積の点状線源１ａを備え、Ｘ線ビーム２を発生する。撮像装置14は、遮光箱14ａ内にコリメータ装置４とミラー11とCCDカメラ12を備えている。
【００２２】
コリメータ装置４は、ビーム通過孔４ｂを有する円柱状の回転コリメータ４ａと、この回転コリメータ４ａを保持するコリメータハウジング５と、このコリメータハウジング５に取付けられた回転子６を回転駆動するモータ７と、このモータ７等を収めコリメータハウジング５をベアリング８を介して支持する外部ハウジング９からなる。
【００２３】
コリメータ装置４には蛍光板からなるシンチレータ10が取付けられている。遮光箱14ａ内壁のＸ線源１側には開口を有するＸ線遮蔽板13が設けられている。被検体３はＸ線源１と撮像装置14の間に設置されている。
【００２４】
このように構成された本実施の形態の放射線利用検査装置においては、図２に示すように、Ｘ線源１の所定の領域以外から放出された発散Ｘ線である無効成分２ｂと被検体３の内部で散乱を受けた散乱成分２ｃを回転コリメータ４ａで除去して、有効成分２ａだけをシンチレータ10に導き、これによってこ解像度とコントラストの低下の要因を除去することが可能となり、鮮明な透過画像を得ることができる。
【００２５】
回転コリメータ４ａにほどこされたビーム通過孔４ｂは、回転コリメータ４ａが回転しなければ、１方向からだけ飛来するＸ線ビームを通過することになるので、シンチレータ10には点状の透過像を映すだけとなるが、回転コリメータ４ａが回転することにより被検体３を通過するＸ線を回転コリメータ４ａの全面積に対してまんべんなく通過させることができ、シンチレータ10に透過像を映すことが可能となる。
【００２６】
このように回転コリメータ４ａを通過できるＸ線ビームの有効成分２ａは、透過像の解像度とコントラストを低下させる成分を除去する一方で、シンチレータ10に到達するＸ線ビーム量を非常に小さなものとしてしまうので、シンチレータ10には特に使用するＸ線エネルギーに対して蛍光効率の高い素材を選んでつくられたもの、あるいは反応面積を大きくするような針状の表面構造を持った素材を用いる。
【００２７】
シンチレータ10に映し出された透過像は、CCDカメラ12で撮影し、外部に置かれたモニタ15に映すが、シンチレータ10を通過してCCDカメラ12に入射するＸ線成分による画像ノイズの発生を抑制するために、シンチレータ10の映像はミラー11を介して、透過Ｘ線が飛び込まない位置に置かれたCCDカメラ12に導く。コリメータ装置４やCCDカメラ12は、Ｘ線遮蔽板13を設けた遮光箱14ａの中に設置してあるので、散乱Ｘ線や外光の入射を防ぐことができる。
【００２８】
ここで本実施の形態の放射線利用検査装置に備えられる回転コリメータ４ａについて詳細に説明する。すなわち、回転コリメータ４ａは、多数本の微細なビーム通過孔４ｂが１点で集束するようにな方向で設けられていることが必要である。このような構成の回転コリメータ４ａをつくるために図３に示すように、Ｘ線の遮蔽材となる鉛、タングステンなどの高原子番号の金属、または合金のブロックを複数等配に分割し、それぞれの分割パーツの分割面にＸ線ビームが通過できる溝４ｃを、それぞれの溝４ｃが１点に集束するよう切削してつくり、再度、元のブロック形状となるように貼り合わせて組み上げた構成とする。
【００２９】
ここで切削形成するビーム通過孔４ｂのサイズ（幅、深さ）は、要求するＸ線透過像の解像度に合わせて調整するものとし、１面にできるだけ多数本の溝を形成することと、各面で溝の位相を少しずつずらせて形成することによって、回転コリメータ４ａが回転したときにＸ線ビームの不通過となる領域をなくすような構成とする。こうすることによって、回転コリメータ４ａを通過してシンチレータ10に映し出される像の中にＸ線不透過部分によって円形の影が生じることを防ぐことができる。
【００３０】
以上のように構成された回転コリメータ４ａは、図１に示したように、全ての分割ブロックに設けられたビーム通過孔４ｂが所定の焦点位置に向くように精度よくつくられたコリメータハウジング５に収納される。
【００３１】
このような方法で回転コリメータ４ａを構成すると、全てのビーム通過孔４ｂの集束点は任意に設定することができる。例えば、逆方向の集束点を持つ（発散）ケースや、中心軸に対して全てのビーム通過孔４ｂが平行に向いたようなケースにも自由に対応することができ、いろいろな形態の放射線利用検査装置に適用することができる。
【００３２】
次に本発明の第２の実施の形態の放射線利用検査装置を図４を参照して説明する。本実施の形態は、前記第１の実施の形態の放射線利用検査装置に対してそのＸ線源の部分と、回転コリメータの部分を以下のように変更した構成である。すなわち、Ｘ線源１は放出領域１ｃが大面積の大面積Ｘ線源１ｂを適用し、撮像装置14内のコリメータ装置４は、大面積Ｘ線源１ｂから放出されるＸ線ビーム２のうち、中心軸に対して平行に出射された成分で、被検体３内部で散乱を受けなかった成分だけを選別して透過できるように中心軸に対して平行にビーム通過孔４ｂを設けた構造を持つ回転コリメータ４ａを適用した構成とする。
【００３３】
この第２の実施の形態の放射線利用検査装置においては、面状のＸ線発生領域を持つ大面積Ｘ線源１ｂとして一般的には平板形状の同位体（RI）線源を適用することができ、また、Ｘ線管または電子ビーム源を用いたＸ線源でも、そのようなＸ線放出面となるように構成されたタイプのものを適用することができる。このような大面積Ｘ線源１ｂを適用することによって、一般的なＸ線管のような小サイズのＸ線放出面を持つＸ線源よりも結果的に高い強度のＸ線を利用した撮像をすることができ、撮像時間の短縮に効果的である。
【００３４】
次に本発明の第３の実施の形態の放射線利用検査装置を図５を参照して説明する。本実施の形態の放射線利用検査装置は、放出領域（Ｘ線放出領域）１ｃが大面積のＸ線管または同位体のような平板型Ｘ線源１ｄとし、Ｘ線出射口にコリメータ装置41を設置し、Ｘ線源１ｄから放出されるＸ線ビーム２のうち、中心軸に平行に出射される成分だけを選別して取り出す構成とする。コリメータ装置41は、撮像装置14に備えられるコリメータ装置４と同じ構成であり、その入射側には不要な低エネルギー成分を除去するＸ線フィルター18を備える。
【００３５】
本実施の形態の放射線利用検査装置においては、平板型Ｘ線源１ｄから出射するＸ線ビーム２を平行ビームとして保つことが可能となり、これによって撮像装置14の周辺に向けて照射されるＸ線成分を低減することができ、撮像系の遮蔽構造を簡略化し、ノイズを低減することができる。
【００３６】
ここで、上記第２および第３の実施の形態の放射線利用検査装置に備えられるコリメータ装置４，41を構成する回転コリメータ４ａについて図６を参照して説明する。
【００３７】
この回転コリメータ４ａは、多数本の微細なビーム通過孔４ｂが中心軸に対して平行な方向で設けられていることが必要である。このような回転コリメータ４ａは、先に図３に示した方法によってもつくることができるが、ここでは図６に示すように、重金属からなる遮蔽ロッド４ｃを多数本束ね、その隙間をビーム通過孔４ｂとする。これによって、図３の場合のように部品に高精度の加工を施すことをしなくても比較的容易に平行ビームの回転コリメータ４ａを構成することができる。
【００３８】
次に本発明の第４の実施の形態の放射線利用検査装置を図７を参照して説明する。本実施の形態は、CCDカメラ12を、コリメータ装置４とシンチレータ10を収容する遮光箱14ａの外部に設け、石英などの細線ロッドを束ねてつくられたフィバー光学系16と、同じように光ファイバーを多数本束ねてつくられたバンドルファイバー16ｂからなる画像伝送系を設ける。シンチレータ10に投影された透過像は、前記画像伝送系によって遮光箱14ａの外部に設置されたCCDカメラ12に送られ、モニタ15に映し出される。
本実施の形態によれば、耐久性の劣るCCDカメラ12をＸ線バックグランドの低い離れた場所に設置し、ノイズの少ない環境下でモニタすることができる。
【００３９】
次に本発明の第５の実施の形態の放射線利用検査装置を図８を参照して説明する。本実施の形態は、コリメータ装置４とシンチレータ10を収容する遮光箱14ａの中に、石英などの細線ロッドを束ねてつくられ90°屈曲したフィバー光学系16ａと、その端部にCCDチップ12ａを設けて、シンチレータ10に投影された透過像をこれらの画像伝送系によって遮光箱14ａの外部に設置されたモニタ15に伝送し映し出すものである。
【００４０】
本実施の形態によれば、コリメータ装置４を含む撮像装置14の中でCCDチップ12ａへＸ線が直接入射することを防止することができ、これによってCCDチップ12ａの耐久性を上げ、撮像装置14を小型化することができる。
【００４１】
次に本発明の第６の実施の形態の放射線利用検査装置を図９と図11を参照して説明する。本実施の形態の放射線利用検査装置は、Ｘ線源１と、光線処理装置17と、光子カウンタ22とを備えている。Ｘ線源１は表面積の小さい点状線源１ａを備えている。
【００４２】
光線処理装置17は遮光箱17ａの中に、それぞれ中心孔を有する固定コリメータ19とミラー11ｂとシンチレータ10ｂとコリメータ装置４を備え、また、レンズ20と光電子増倍管21を備えている。また遮光箱17ａの被検体３側の内壁には開口部を有するＸ線遮蔽板13が設けられている。コリメータ装置４において回転コリメータ４ａを保持し回転させるための構成は第１〜第５の実施の形態におけると同じである。
【００４３】
このような構成によって、Ｘ線源１内の点状線源１ａから放出されたＸ線は、固定コリメータ19の中心孔を通ることによってペンシル状のＸ線ビーム２ｄとなる。このペンシル状Ｘ線ビーム２ｄは、ミラー11ｂ、シンチレータ10ｂおよび回転コリメータ４ａの中心孔を通って被検体３に入射し、被検体３の所定の部分からコンプトン散乱Ｘ線２ｅを発生させる。
【００４４】
コンプトン散乱Ｘ線２ｅは、回転コリメータ４ａに設けられたビーム通過孔４ｂを通ってシンチレータ10ｂに当り発光を生じる。この発光は、ミラー11ｂで反射され、レンズ20で集光されて、光電子増倍管21に入り、増幅された電気信号となって光子カウンタ22へ伝送される。
【００４５】
図11の説明図に示すように、被検体内に入射したＸ線ビームは、その到達点において、その部分の物質の電子密度に比例したコンプトン散乱を起こすので、被検体内に欠陥などの欠損した部分があればコンプトン散乱Ｘ線は急減する。したがって、所定の位置におけるコンプトン散乱Ｘ線を測定することによって欠陥の有無を検知することができ、Ｘ線源と検査ヘッド（光線処理装置17）をスキャンニングすることによって被検体内部の欠陥の位置、形状をとらえた3次元断層画像を得ることができる。
【００４６】
この場合、コンプトン散乱を起こす散乱微分断面積は、非常に小さいオーダ（〜10^-27cm²／sterad／電子）であるため、小さい領域からの少量の散乱Ｘ線を効果的に集めることが重要なポイントとなる。
【００４７】
そのため、本実施の形態では、被検体内部の特定位置からの散乱成分を見込む角度でビーム通過孔４ｂを設けた回転コリメータ４ａを適用し、被検体３内部の所定の領域から放出されたコンプトン散乱Ｘ線２ｅを集めてシンチレータ10ｂを発光させる。これにより、被検体３内部の小さい領域からのコンプトン散乱Ｘ線を有効に集めて被検体３の内部状態を検査することができる。
【００４８】
次に本発明の第７の実施の形態の放射線利用検査装置を図10を参照して説明する。本実施の形態においては、回転コリメータ４ａのビーム通過孔４ｂはすべて、中心孔と一定の角度を有する構成とする。他の構成は上述の第６の実施の形態と同じである。
【００４９】
この構成によって、回転コリメータ４ａを通過してシンチレータ10ｂに入射するコンプトン散乱Ｘ線は、被検体３に入射するペンシル状Ｘ線ビーム２ｄの通過軌跡上に存在する部分から発せられた成分を集めたものとなる。したがって、得られる信号は、ペンシル状Ｘ線ビーム２ｄの入射した軌跡上の深さ方向の所定の範囲にわたるコンプトン散乱Ｘ線を積分したものとなるので、被検体３内部の深さ方向の欠陥情報を取得することができる。
【００５０】
次に本発明の第８の実施の形態の放射線利用検査装置を図12を参照して説明する。本実施の形態は、図９に示した第６の実施の形態において、Ｘ線源として面状線源１ｅを有する平板型Ｘ線源１ｄを備え、そこから放出されるＸ線ビームのうち、１点に集束する点集束Ｘ線ビーム２ｆを取り出すようにビーム通過孔を設けた回転コリメータ４ａ１を有するコリメータ装置41をＸ線源のＸ線放出口の前面に設置し、コリメータ装置41の入口側にＸ線エネルギーの不要な成分を除去するためのＸ線フィルター18を設置した構成とする。
【００５１】
この放射線利用検査装置において、Ｘ線源１ｄから出射されるＸ線ビームは、コリメータ装置41によってコーン状のものとなり、中心に穴を設けたミラー11ｂとシンチレータ10ｂを通過し、さらにもう１つのコリメータ装置４の中心の穴を通って被検体３の特定部位に集束して到達する。その集束点から放出されるコンプトン散乱Ｘ線２ｅは、回転コリメータ４ａに設けられたビーム通過孔を通ってシンチレータ10ｂに当たって蛍光を発し、その発光はミラー11ｂで反射され集束レンズ20を通して光電子増倍管21に集められて光子カウンタ22によってその量が検出される。
【００５２】
この実施の形態によれば、より大強度のＸ線を集束して入射してコンプトン散乱Ｘ線量を増加させることが可能となり、コンプトン散乱量の小さい低密度、低原子番号の被検体、または散乱Ｘ線の吸収の大きい高原子番号の材質で厚さのある被検体の深い部位の検査を効率よく行うことができる。
【００５３】
次に本発明の第９の実施の形態の放射線利用検査装置を図13を参照して説明する。本実施の形態は、図９，10，12に示した第６，７，８の実施の形態において、光電子増倍管21を光線処理装置17の外に設け、光線処理装置17と光電子増倍管21のあいだに光ファイバー23を設けて、レンズ20によって集められたシンチレータ10ｂでの発光を光ファイバー23で光線処理装置17の外に導き、外部に設置した光電子増倍管21と光子カウンタ22で検出する構成である。
【００５４】
この構成によれば、シンチレータ10ｂで発生された蛍光信号は光ファイバー23で外部に導かれるので、Ｘ線バックグラウンドの低い場所に光電子増倍管21を設置することによって、信号対ノイズ比率の高い検出を行うことができる。
【００５５】
次に本発明の第10の実施の形態の放射線利用検査装置を図14を参照して説明する。この実施の形態の放射線利用検査装置は、ステージ26ａ，26ｂに搭載され被検体３を挟んで配置されたＸ線源ユニット24および検出ユニット25と、ステージ26ａと26ｂを駆動するステージコントローラ27と、このステージコントローラ27および検出ユニット25から信号を受けて被検体３内のＸ線画像を処理表示する画像処理ユニット28とを備えている。Ｘ線源ユニット24はＸ線源１とコリメータ装置41を備え、検出ユニット25はコリメータ装置４およびシンチレータ，ミラー，レンズ等を備えている。
【００５６】
この実施の形態の放射線利用検出装置においては、Ｘ線源ユニット24と検出ユニット25をステージコントローラ27で同期をとって駆動することにより、被検体３の透過像を連続的に撮像することができ、この連続撮像画像データは、画像処理装置28において画像処理することにより大面積の撮像画像として表示することができる。
【００５７】
本実施の形態の放射線利用検査装置は、大サイズの被検体の透過像を得るのに有効であり、平行Ｘ線ビームを使用することにより散乱成分に対する防護のための遮蔽措置が不要である。
【００５８】
次に本発明の第11の実施の形態の放射線利用検査装置を図15を参照して説明する。この実施の形態の放射線利用検査装置は、同図（ａ）に示すように、Ｘ線源１とコリメータ装置４を有しステージ26に搭載されてタンク等の被検体３ａに対向して配置されたコンプトン散乱検出ユニット29と、ステージ26を駆動するステージコントローラ27と、このステージコントローラ27からコンプトン散乱検出ユニット29の位置信号を受け、光子カウンター22を介してコンプトン散乱検出ユニット29から散乱Ｘ線についての信号を受けて被検体３ａの断層画像を表示する画像処理ユニット28を備えている。
【００５９】
この実施の形態の放射線利用検査装置は、コンプトン散乱検出ユニット29をステージ26によって被検体３ａの外壁方向からスキャンニングしながら取り込んだ信号を画像処理ユニット28で処理することにより、同図（ｂ）に示すように、構造壁の内表面、または内部の欠陥、亀裂などの様子をとらえた断層画像を得ることができる。したがって、本実施の形態によれば、何らかの溶液を満たした容器について、溶液を充填したままで容器の外から容器構造壁の探傷検査を行うことができる。
【００６０】
次に本発明の第12の実施の形態の放射線利用検査装置を図16を参照して説明する。この実施の形態の放射線利用検査装置は、放射線（γ線）を放出する被検体３ｂに対向して配置される撮像装置42と、この撮像装置42から信号を受けて被検体３ｂの放射線画像および可視光画像を描く画像処理ユニット28ａとを備えている。
【００６１】
撮像装置42は、被検体３ｂに対して45度の角度で向けられるγ線・可視光分割ミラー11ｃと、この分割ミラー11ｃのγ線透過側に設けられγ線ビームを集束させるコリメータ装置４とシンチレータとミラー11とCCDカメラ12を有するコリメータ・検出ユニット25ａと、前記γ線・可視光分割ミラー11ｃの可視光反射側に設けられたミラー11，CCDカメラ12ｂ，自動焦点・ズーム制御ユニット30を備えている。γ線・可視光分割ミラー11ｃは例えばアルミニウム蒸着プラスチックからなる。
【００６２】
コリメータ・検出ユニット25ａ中に設置するコリメータ装置４は、ある外部に向かって発散方向で内部の任意の点に集束点を持つようにビーム通過孔を施した回転コリメータを適用し、放射性物質の付着した被検体３ｂからの放射線（γ線）をとらえることによって被検体３ｂの放射線放出強度（放射化の程度）のマッピング画像を得ることがかできる。また、回転コリメータのビーム透過溝によって決まる画角にあわせて同一方向に向けた可視光画像をCCDカメラ12ｂの可視光撮像系でとらえ、これを先の放射線強度マッピング画像と合成することによって可視光画像の上に放射線放出強度のマッピング画像を重ねて表示した画像を得ることができる。
【００６３】
このように、本実施の形態の放射線利用検出装置では、回転コリメータを用いて画像内に入射する放射線（γ線）の方向を選択することによって極度に強い放射線を放出する部分からの放射線による画像上のかぶりの発生を防止し、被検体の形状と放射化の程度を同時に計測することができる。
【００６４】
次に本発明の第13の実施の形態の放射線利用検出装置を図17を参照して説明する。本実施の形態の放射線利用検出装置は、前述の第５の実施の形態（図８）における撮像装置14をマニピュレータ31上に搭載して、格納容器33中にある放射化された構造材等からなる被検体３ｂに対向配置し、格納容器33の外部にマニピュレータ制御ユニット32と画像処理ユニット28を設けたものである。
【００６５】
この実施の形態によれば、小サイズにまとめた撮像装置14を格納容器内の構造材の外表面に自在に走査することができる。また。撮像装置14内に設置するコリメータ装置４は、構造材から放出されるγ線の中で、回転コリメータに平行に入射する成分だけを選択して透過させることによって構造材の内部から表面への透過像を、ファイバー光学系16ａを通してCCDチップ12ａでとらえ、その画像を画像処理ユニット28で処理することによって構造材表面の亀裂等の状態や大きさを示す画像として表示することができる。
【００６６】
次に本発明の第14の実施の形態の放射線利用検査装置を図18を参照して説明する。本実施の形態は、面状のＸ線放出領域を持つＸ線源１とＸ線ビームを１点に集束するコリメータ装置４を備えた複数のＸ線源ユニット24をそれぞれのＸ線ビーム２の集束点が一致するように配置したものである。
【００６７】
この実施の形態によれば、被検体３ｄ内の１点に高密度のＸ線を照射することができ、拡散成分や散乱成分によるターゲット以外の部位への照射量を最低限に抑制することができる。また、Ｘ線源ユニット24の備えるコリメータ装置４を集束距離を変更したものに取りかえることによって照射点に至るまでのＸ線ビーム２の形を任意に決めることができる。
【００６８】
次に本発明の第15の実施の形態の放射線利用検査装置を図19を参照して説明する。本実施の形態は、面状のＸ線放出領域を持つＸ線源１とＸ線ビームを１点に集束するコリメータ装置４を備えたＸ線源ユニット24から出射される集束Ｘ線ビーム２をＸ線分光器33に通して任意の単色（単一エネルギー）成分だけを取り出し、試料34の表面に焦点位置を合わせて入射することによって試料34の表面の元素から蛍光Ｘ線を発生させる。この蛍光Ｘ線を、試料34表面のＸ線照射点に焦点位置を合わせたようにビーム通過孔を施したコリメータ装置41を通してSi(Li)のようなエネルギー分別型のＸ線検出器35に入射することによって蛍光Ｘ線のスペクトルを検出し、試料表面の元素組成を測定、判別する。
【００６９】
この実施の形態によれば、試料34表面の目標領域以外へのＸ線照射や試料34内部から発せられる散乱成分がＸ線検出器35に入射することによって生じるバックグラウンドレベルの増加を抑制し、試料34に微量に含まれる元素の検出を行うことができる。
【００７０】
【発明の効果】
本発明によれば、Ｘ線やγ線の放射方向や照射面積と照射体積を容易にコントロールすることができ、高い解像度と高いコントラストの得られる放射線利用検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の放射線利用検査装置の構成図。
【図２】本発明の第１の実施の形態の放射線利用検査装置における透過撮像作用を説明する図。
【図３】本発明の第１の実施の形態の放射線利用検査装置における回転コリメータの構成方法を説明する図。
【図４】本発明の第２の実施の形態の放射線利用検査装置の構成図。
【図５】本発明の第３の実施の形態の放射線利用検査装置の構成図。
【図６】本発明の第３の実施の形態の放射線利用検査装置における回転コリメータの構成方法を説明し、（ａ）は部分図、（ｂ）は全体図、（ｃ）は部分側面図。
【図７】本発明の第４の実施の形態の放射線利用検査装置の構成図。
【図８】本発明の第５の実施の形態の放射線利用検査装置の構成図。
【図９】本発明の第６の実施の形態の放射線利用検査装置の構成図。
【図１０】本発明の第７の実施の形態の放射線利用検査装置の構成図。
【図１１】Ｘ線コンプトン散乱撮像法の説明図。
【図１２】本発明の第８の実施の形態の放射線利用検査装置の構成図。
【図１３】本発明の第９の実施の形態の放射線利用検査装置の構成図。
【図１４】本発明の第10の実施の形態の放射線利用検査装置の構成図。
【図１５】本発明の第11の実施の形態の放射線利用検査装置を示し、（ａ）は全体構成図、（ｂ）は断層画像を例示する図。
【図１６】本発明の第12の実施の形態の放射線利用検査装置の構成図。
【図１７】本発明の第13の実施の形態の放射線利用検査装置の構成図。
【図１８】本発明の第14の実施の形態の放射線利用検査装置の構成図。
【図１９】本発明の第15の実施の形態の放射線利用検査装置の構成図。
【図２０】従来の技術を説明する図。
【符号の説明】
１…Ｘ線源、１ａ…点状線源、１ｂ…大面積Ｘ線源、１ｃ…放出領域、１ｄ…平板型Ｘ線源、１ｅ…面状線源、２…Ｘ線ビーム、２ａ…Ｘ線ビームの有効成分、２ｂ…Ｘ線ビームの無効成分、２ｃ…Ｘ線ビームの散乱成分、２ｄ…ペンシル状Ｘ線ビーム、２ｅ…コンプトン散乱Ｘ線、２ｆ…点集束Ｘ線ビーム、３，３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ…被検体、４…コリメータ装置、４ａ，４ａ１…回転コリメータ、４ｂ…ビーム通過孔、４ｃ…溝、４ｄ…遮蔽ロッド、５…コリメータハウジング、６…回転子、７…モータ、８…ベアリング、９…外部ハウジング、10，10ｂ…シンチレータ、11，11ｂ…ミラー、11ｃ…γ線・可視光分割ミラー、12…CCDカメラ、12ａ…CCDチップ、13…Ｘ線遮蔽板、14…撮像装置、14ａ…遮光箱、15…モニタ、16，16ａ…ファイバー光学系、16ｂ…バンドルファイバー、17…光線処理装置、17ａ…遮光箱、18…Ｘ線フィルター、19…固定コリメータ、20…レンズ、21…光電子増倍管、21ａ…Ｘ線検出器、22，22ａ…光子カウンタ、23…光ファイバ、24…Ｘ線源ユニット、25…検出ユニット、25ａ…コリメータ・検出ユニット、26，26ａ，26ｂ…ステージ、27…ステージコントローラ、28，28ａ…画像処理ユニット、29…コンプトン散乱検出ユニット、30…自動焦点・ズーム制御ユニット、31…マニピュレータ、32…マニピュレータ制御ユニット、33…格納容器、33…Ｘ線分光器、34…試料、35…Ｘ線検出器、41…コリメータ装置、42…撮像装置。

Claims

Ｘ線またはγ線からなる放射線ビームを放出する放射線源と、前記放射線ビームから細いペンシル状ビームを形成する第１のコリメータと、前記ペンシル状ビームを被検体に入射したとき発生する所定のコンプトン散乱Ｘ線を通過させる回転子を備えた第２のコリメータと、この第２のコリメータを通過したコンプトン散乱Ｘ線を受けて発光するシンチレータと、このシンチレータの発光を反射するミラーと、この反射された発光を検出する光検出器と、前記第１のコリメータと前記第２のコリメータと前記シンチレータを収容する遮光箱とを備えたことを特徴とする放射線利用検査装置。
Ｘ線またはγ線からなる放射線ビームを放出する放射線源と、前記放射線ビームを被検体内の所定の一点に向けて集束する第１のコリメータと、前記放射線ビームによって被検体内で発生する所定のコンプトン散乱Ｘ線を通過させる回転子を備えた第２のコリメータと、この第２のコリメータを通過したコンプトン散乱Ｘ線を受けて発光するシンチレータと、このシンチレータの発光を反射するミラーと、この反射された発光を検出する光検出器と、前記第２のコリメータとシンチレータを収容する遮光箱とを備えたことを特徴とする放射線利用検査装置。
前記ミラーは、中心に放射線を透過する孔を有する放射線・可視光分割ミラーであることを特徴とする請求項１または２の放射線利用検査装置。
前記光検出器は、前記シンチレータの発光を集光レンズを介して受光する光電子増倍管と、この光電子増倍管から出力される電気信号の入力を受ける光子カウンタとを備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項記載の放射線利用検査装置。
前記光検出器は前記遮光箱の外部に設けられ、前記遮光箱の内外を連絡する光ファイバーをさらに備えたことを特徴とする請求項４記載の放射線利用検査装置。